專利名稱：放電燈、連接用線纜、光源裝置及曝光裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及放電燈、連接放電燈與電源之時使用的連接用線纜、具備放電燈的光源裝置以及具備該光源裝置的曝光裝置。
背景技術(shù)：
在用于制造各種設(shè)備(微型設(shè)備、電子設(shè)備等)的光刻工序中，為了將形成于母版 (或光掩模等)上的圖案向涂布有抗蝕劑的晶片(或玻璃平板等)上轉(zhuǎn)印，使用步進機等一次性曝光型(靜止曝光型)的投影曝光裝置以及掃描步進裝置等掃描曝光型的投影曝光裝置等曝光裝置。在這些曝光裝置中，使用將水銀燈等放電燈與聚光鏡組合而成的曝光用的光源裝置，其放電燈被經(jīng)由給定的安裝機構(gòu)保持。在具有放電燈的以往光源裝置當(dāng)中，存在一種為了減輕發(fā)熱的影響而設(shè)置有冷卻機構(gòu)的類型。以往的冷卻機構(gòu)的一個例子是下述機構(gòu)，即從放電燈的一方的燈頭的外面經(jīng)由燈泡部的外面向另一方的燈頭的外面供應(yīng)已被冷卻的空氣的機構(gòu)(例如參照專利文獻 1)。作為以往的冷卻機構(gòu)的其他的例子，還已知有下述的機構(gòu)，即在放電燈的燈頭上設(shè)置環(huán)狀的槽部，經(jīng)由該槽部及給定的送風(fēng)管向燈泡部供應(yīng)已被冷卻的空氣(例如參照專利文獻2)。專利文獻1 日本特開平9-2131 號公報專利文獻2 日本特開平1H83898號公報以往的光源裝置的放電燈的冷卻機構(gòu)，因為主要向放電燈的燈泡部吹送冷風(fēng)，所以存在對燈頭的冷卻作用小的問題。另外，放電燈中具有固定側(cè)的燈頭和自由端側(cè)的燈頭，在使用以往的冷卻機構(gòu)對自由端側(cè)的燈頭冷卻時，需要在燈頭的周圍也設(shè)置送風(fēng)用的配管，因而會有來自放電燈的光被遮擋這樣的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于此種情況，其目的在于提供一種光源裝置，其對放電燈的燈頭的冷卻作用大，并且在將自由端側(cè)的燈頭冷卻之時對從放電燈中產(chǎn)生的光的遮光量少。另外，本發(fā)明的目的還在于，提供能夠應(yīng)用于此種光源裝置中的放電燈及連接用線纜以及使用此種光源裝置的曝光技術(shù)。本發(fā)明的放電燈是在玻璃構(gòu)件的內(nèi)部收納有用于放電的電極的放電燈，并且具備連結(jié)于該玻璃構(gòu)件的燈頭構(gòu)件；設(shè)于該燈頭構(gòu)件而由導(dǎo)電性材料形成的中繼構(gòu)件；具有與該中繼構(gòu)件電連接的導(dǎo)電性構(gòu)件的連結(jié)構(gòu)件；設(shè)于該中繼構(gòu)件及該連結(jié)構(gòu)件而用于向該燈頭構(gòu)件供應(yīng)冷卻介質(zhì)的流路。
另外，本發(fā)明的連接用線纜是用于將使用冷卻介質(zhì)及電力的裝置與該冷卻介質(zhì)的供應(yīng)源及電源連結(jié)的連接用線纜，并且具備管狀構(gòu)件，其由柔性材料形成，并且具有該冷卻介質(zhì)的流路；覆蓋構(gòu)件，其由具有導(dǎo)電性的柔性材料形成，并且設(shè)置成覆蓋該管狀構(gòu)件。另外，本發(fā)明的光源裝置是與電源和冷卻介質(zhì)的供應(yīng)源連接的光源裝置，并且具有本發(fā)明的放電燈；用于將該電源及該供應(yīng)源與該放電燈連接的本發(fā)明的連接用線纜。另外，本發(fā)明的曝光裝置是利用從光源裝置中產(chǎn)生的曝光光在感光基板上將圖案曝光的曝光裝置，該光源裝置使用本發(fā)明的光源裝置。根據(jù)本發(fā)明的放電燈，用于放電的電力經(jīng)由連結(jié)構(gòu)件的導(dǎo)電性構(gòu)件、中繼構(gòu)件及燈頭構(gòu)件向用于放電的電極供應(yīng)。另外，冷卻介質(zhì)經(jīng)由連結(jié)構(gòu)件及設(shè)于中繼構(gòu)件中的流路向燈頭構(gòu)件供應(yīng)。根據(jù)本發(fā)明的連接用線纜，來自電源的電力經(jīng)由具有柔性的覆蓋構(gòu)件向裝置側(cè)供應(yīng)，來自供應(yīng)源的冷卻介質(zhì)穿過設(shè)于該覆蓋構(gòu)件內(nèi)的具有柔性的管狀構(gòu)件的內(nèi)部向裝置側(cè)供應(yīng)。因此，根據(jù)本發(fā)明的光源裝置及曝光裝置，來自電源的電力經(jīng)由連接用線纜的覆蓋構(gòu)件、放電燈的連結(jié)構(gòu)件、中繼構(gòu)件及燈頭構(gòu)件向用于放電的電極供應(yīng)。另外，來自供應(yīng)源的冷卻介質(zhì)在穿過連接用線纜的管狀構(gòu)件后，穿過放電燈的連結(jié)構(gòu)件及中繼構(gòu)件內(nèi)的流路向燈頭構(gòu)件供應(yīng)。因此，對該燈頭構(gòu)件的冷卻作用大。另外，冷卻介質(zhì)穿過連接用線纜的電力供應(yīng)用的具有柔性的覆蓋構(gòu)件內(nèi)的具有柔性的管狀構(gòu)件向放電燈側(cè)供應(yīng)。因此，在該燈頭構(gòu)件處于自由端側(cè)的情況下，由該連接用線纜造成的對從放電燈中產(chǎn)生的光的遮光量少，光的利用效率高，并且光源裝置的溫度上升也很少。


圖1是表示實施方式的一例的投影曝光裝置的概略構(gòu)成的圖。圖2(A)是將表示圖1中的放電燈1的一部分切開的圖，圖2(B)是沿著圖2(A)的 BB線的剖面圖。圖3(A)是表示圖2(A)的燈頭部觀側(cè)的流路折曲構(gòu)件51及燈頭側(cè)連接器52的俯視圖，圖3(B)是表示圖2(A)的燈頭部觀附近的構(gòu)成的剖面圖，圖3(C)是圖3(B)的要部的側(cè)視圖。圖4是將實施方式的一例的表示連結(jié)線纜57的一部分切開的圖。圖5是將表示在圖3⑶的放電燈1的燈頭側(cè)連接器52上借助圖4的連結(jié)線纜57 連結(jié)了電源32及送風(fēng)裝置34的狀態(tài)的一部分切開的圖。圖6是實施方式的變形例，是將在放電燈1的流路折曲構(gòu)件51與燈頭側(cè)連接器之間連接了延長線纜57A的例子的表示要部的一部分切開的圖。圖7是將實施方式的變形例的表示燈頭部附近的構(gòu)成的一部分切開的圖。附圖標(biāo)記說明1...放電燈，2...橢圓鏡，25...玻璃管，25a...燈泡部， 25c...棒狀部，26 J8...燈頭部，28b...槽部，30...曝光光源，31...安裝構(gòu)件，32...電源，33A、3!3B...電力線纜，34...送風(fēng)裝置，35A...送風(fēng)用配管41...電源側(cè)連接器， 50...外罩構(gòu)件，51...流路折曲構(gòu)件，51c...送風(fēng)路，52...燈頭側(cè)連接器，55...固定部， 57...連結(jié)線纜，57A...延長線纜，58A、58B...線纜側(cè)連接器，62A、62B...線纜側(cè)連結(jié)構(gòu)
4件。
具體實施例方式下面，參照圖1 圖5對本發(fā)明的優(yōu)選實施方式的一例進行說明。圖1表示具備本例曝光光源30的投影曝光裝置(曝光裝置)，在該圖1中，由弧放電型的水銀燈構(gòu)成的放電燈1經(jīng)由安裝裝置31固定于由絕緣物制成的固定板四。另外，分別從電源32經(jīng)由具有柔性的電力線纜33A及33B向放電燈1內(nèi)的陽極側(cè)及陰極側(cè)的電極供應(yīng)電力。另外，經(jīng)由具有柔性的送風(fēng)用配管35A及35B從送風(fēng)裝置34穿過防塵過濾器向放電燈1的兩個燈頭供應(yīng)已被冷卻的空氣(以下稱作冷風(fēng)。)。送風(fēng)裝置34能夠使用以給定的風(fēng)量供應(yīng)通過取入外部氣體并進行除塵及冷卻所得到的空氣(或者也可以是從氮氣瓶中取入的氮氣等)的機構(gòu)。送風(fēng)裝置34除此以外，還可以使用在工廠內(nèi)用于向氣缸等供應(yīng)壓縮空氣的壓縮空氣供應(yīng)部。該冷風(fēng)也可以是室溫左右，但也可以不是一定要冷卻到室溫以下。另外，未圖示的支架上固定有橢圓鏡2 (聚光鏡)，并且包圍放電燈1的燈泡部。放電燈1的燈泡部內(nèi)的發(fā)光部作為一例而配置于橢圓鏡2的第一焦點Pl的附近。曝光光源 30構(gòu)成包括放電燈1、橢圓鏡2、安裝構(gòu)件31、電力線纜33A、33B、送風(fēng)用配管35A、35B、電源32以及送風(fēng)裝置34 (詳情后述)。從放電燈1射出的光束，被橢圓鏡2會聚在第二焦點P2附近后，穿過打開狀態(tài)的快門3的附近而成為發(fā)散光，射入光路折曲用的反射鏡4?？扉T3利用快門驅(qū)動裝置3a進行開閉，作為一個例子，后述的載臺控制系統(tǒng)15根據(jù)統(tǒng)一控制裝置整體的動作的主控制系統(tǒng)14的指令來控制快門驅(qū)動裝置3a。由反射鏡4反射的光束射入干涉濾光器5，利用干涉濾光器5僅選擇給定的亮線 (例如波長365nm的i線)的曝光光IL。這里，作為曝光光IL除了 i線以外，也可以使用 g線、h線或它們的混合光等或者水銀燈以外的燈的亮線等。該被選擇的曝光光IL射入復(fù)眼透鏡6 (光學(xué)積分器)，在配置在復(fù)眼透鏡6的射出面上的可變孔徑光闌7上形成多個二次光源。穿過可變孔徑光闌7的曝光光IL，經(jīng)過第一中繼透鏡8射入母版遮簾(可變視場光闌)9。母版遮簾9的配置面實質(zhì)上與母版R的圖案面共軛，通過經(jīng)由驅(qū)動裝置9a設(shè)定母版遮簾9的開口形狀，來規(guī)定母版R上的照明區(qū)域。另外，也可以如下構(gòu)成，即載臺控制系統(tǒng)15能夠經(jīng)由驅(qū)動裝置9a將母版遮簾9開閉，從而在晶片W的步進時等情況下不會將不需要的曝光光向晶片W上照射。穿過母版遮簾9的曝光光IL，經(jīng)由第二中繼透鏡10、反射曝光光IL的二向色鏡11 及聚光透鏡12將母版R的圖案面的圖案區(qū)域落射照明。照明光學(xué)系統(tǒng)13構(gòu)成包括快門 3、反射鏡4、干涉濾光器5、復(fù)眼透鏡6、可變孔徑光闌7、中繼透鏡8、10、母版遮簾9、二向色鏡11及聚光透鏡12。來自曝光光源30的光束經(jīng)過照明光學(xué)系統(tǒng)13作為曝光光IL將母版R (掩模)照明，母版R的圖案區(qū)域內(nèi)的圖案，經(jīng)由投影光學(xué)系統(tǒng)PL在涂布有光刻膠的晶片W(感光基板)的一個拍攝區(qū)域上以投影倍率β (β例如為1/4、1/5等)曝光。下面，與投影光學(xué)系統(tǒng)PL的光軸AX平行地取Z軸，在垂直于Z軸的平面內(nèi)與圖1的紙面平行地取 X軸，與圖1的紙面垂直地取Y軸進行說明。此時，母版R被保持在能夠在母版基座(未圖示)上沿X方向、Y方向及繞Z軸的旋轉(zhuǎn)方向輕微移動的母版載臺RST上。母版載臺RST的位置由向固定于其上的移動鏡17R 照射計測用激光束的激光干涉儀18R高精度地計測，該計測值被供應(yīng)給載臺控制系統(tǒng)15及主控制系統(tǒng)14。根據(jù)該計測值及來自主控制系統(tǒng)14的控制信息，載臺控制系統(tǒng)15經(jīng)由包括線性電機等的驅(qū)動系統(tǒng)19R控制母版載臺RST的位置。另一方面，晶片W被經(jīng)由未圖示的晶片夾具保持在晶片載臺WST上，晶片載臺WST 被能夠在晶片基座(未圖示)上沿X方向及Y方向自由移動地放置。晶片載臺WST的位置由向固定于其上的移動鏡17W照射計測用激光束的激光干涉儀18W高精度地計測，該計測值提供給應(yīng)載臺控制系統(tǒng)15及主控制系統(tǒng)14。根據(jù)該計測值及來自主控制系統(tǒng)14的控制信息，載臺控制系統(tǒng)15經(jīng)由包括線性電機等的驅(qū)動系統(tǒng)19W控制晶片載臺WST (晶片W)的位置。在晶片W的曝光時，以分步重復(fù)方式(st印-and-r印eat)反復(fù)進行下述動作，即 利用晶片載臺WST將晶片W的各拍攝區(qū)域向投影光學(xué)系統(tǒng)PL的曝光區(qū)內(nèi)移動的動作；將來自曝光光源30的光束經(jīng)由照明光學(xué)系統(tǒng)13向母版R照射，將母版R的圖案經(jīng)由投影光學(xué)系統(tǒng)PL在晶片W上的該拍攝區(qū)域中曝光的動作。這樣，母版R的圖案的像就被轉(zhuǎn)印到晶片 W上的各拍攝區(qū)域。這里，為了在該曝光之時預(yù)先進行對準(zhǔn)，母版R的上方設(shè)有用于檢測形成在母版R 上的對準(zhǔn)標(biāo)記的位置的母版對準(zhǔn)顯微鏡20，投影光學(xué)系統(tǒng)PL的側(cè)面設(shè)有用于檢測附設(shè)在于晶片W上的各拍攝區(qū)域中的對準(zhǔn)標(biāo)記的位置的對準(zhǔn)傳感器21。另外，晶片載臺WST上的晶片W的附近設(shè)有形成了用于對準(zhǔn)傳感器21等的多個基準(zhǔn)標(biāo)記的基準(zhǔn)標(biāo)記構(gòu)件22。母版對準(zhǔn)顯微鏡20及對準(zhǔn)傳感器21的檢測信號，被供應(yīng)給對準(zhǔn)信號處理系統(tǒng)16，對準(zhǔn)信號處理系統(tǒng)16例如利用這些檢測信號的圖像處理求出受檢標(biāo)記的排列坐標(biāo)，將該排列坐標(biāo)的信息提供應(yīng)主控制系統(tǒng)14。主控制系統(tǒng)14根據(jù)該排列坐標(biāo)的信息進行母版R及晶片W的對準(zhǔn)。下面，對包括本例的投影曝光裝置的放電燈1的曝光光源30的基本的構(gòu)成進行說明。圖2(A)是將表示圖1的曝光光源30中的放電燈1及其安裝機構(gòu)的一部分切開的圖，該圖2(A)中放電燈1具備由燈泡部2 及將其夾著而固定的大致對稱且圓筒狀的2 個棒狀部25b、25c構(gòu)成的玻璃管25 ；陰極側(cè)的與一方的固定側(cè)的棒狀部25b的端部連結(jié)的燈頭部沈；陽極側(cè)的與朝向另一方的外側(cè)直徑階段性地變小的自由端側(cè)的棒狀部25c的端部連結(jié)的燈頭部觀。在該燈泡部25a內(nèi)相面對地固定有用于形成發(fā)光部的陽極ELl及陰極EL2，陰極EL2及陽極ELl分別與燈頭部沈及觀連接，燈頭部沈及觀由電導(dǎo)率及熱導(dǎo)率良好的金屬制成。燈頭部26、玻璃管25及燈頭部觀配置于將玻璃管25的棒狀部25b、 25c的中心軸連結(jié)而穿過發(fā)光部的中心的一條直線上。與連結(jié)該棒狀部25b、25c的中心軸的直線平行的方向是放電燈1的長度方向L。燈頭部沈及28基本上作為用于從電源32經(jīng)由電力線纜3 及33A(參照圖1) 向陰極EL2及陽極ELl供應(yīng)電力的電力接收端子使用。此外，燈頭部沈還作為用于保持玻璃管25 (放電燈1)的被保持部使用，燈頭部沈及觀都具備流過用于將從玻璃管25傳導(dǎo)過來的熱冷卻的氣體的機構(gòu)。S卩，與陰極EL2連接的燈頭部沈中，從棒狀部2 起向外側(cè)依次形成凸緣部^a、圓柱狀的軸部^b、圓柱狀的凹部^f、與軸部26b相比外徑略小的圓柱狀的固定部^h，凹部26f與固定部^h的交界部形成有由與長度方向L大致垂直的面構(gòu)成的被推壓面^g。在固定放電燈1時，將放電燈1的軸部26b嵌合在以雙點劃線表示的安裝構(gòu)件31 的開口部31b中，將凸緣部26a放置在安裝構(gòu)件31的上面31a上。如圖2(B)所示，凸緣部 26a上形成有圓形的開口 27A、27B，通過向這些開口 27A、27B中插穿固定于圖2(A)的上面 31a的圓柱狀的突部(未圖示)，從而對放電燈1進行旋轉(zhuǎn)方向的定位。另外，在軸部^b的外面，繞著平行于長度方向L的軸以螺旋狀形成有槽部沈(1。 從送風(fēng)裝置34經(jīng)由具有柔性的送風(fēng)用配管35B及形成于安裝構(gòu)件31上的送風(fēng)路31c向槽部26d供應(yīng)冷風(fēng)。另外，在導(dǎo)電性良好的金屬制的安裝構(gòu)件31上利用螺栓39固定有端子 38，端子38利用電力線纜3 而與電源32連接。利用該構(gòu)成從電源32經(jīng)由電力線纜33B、 端子38、安裝構(gòu)件31及燈頭部沈的凸緣部^a向放電燈1的陰極EL2供應(yīng)電力。另外，在安裝構(gòu)件31的下方的3個部位，能夠自由旋轉(zhuǎn)地并且被拉伸螺旋彈簧 37A、37B、37C向下方推靠地固定有推靠構(gòu)件36A、36B、36C。通過用推靠構(gòu)件36A 36C的前端部將燈頭部26的被推壓面^g向下方推靠，能夠?qū)纛^部26 (乃至放電燈1)穩(wěn)定地保持于安裝構(gòu)件31。另外，通過利用未圖示的控制桿機構(gòu)將推靠構(gòu)件36A 36C向上方提拉，能夠?qū)⒎烹姛?很容易地從安裝構(gòu)件31上卸下。此外，在圖2㈧中，放電燈1的陽極側(cè)(本例中也是自由端側(cè))的燈頭部觀的概略結(jié)構(gòu)是在近似圓柱狀的軸部的表面繞著平行于長度方向L的軸以螺旋狀形成槽部 ^b的結(jié)構(gòu)。另外，固定有導(dǎo)電性良好的金屬(例如銅、黃銅、鋁等。以下相同)制的近似圓筒狀的外罩構(gòu)件50，以便從外側(cè)覆蓋燈頭部觀。外罩構(gòu)件50上固定有導(dǎo)電性良好的金屬制的近似圓板狀的流路折曲構(gòu)件51，流路折曲構(gòu)件51的朝向與長度方向L正交的方向加工為平面的側(cè)面51a(參照圖3(B)上，固定有燈頭側(cè)連接器52。燈頭側(cè)連接器52的朝向與長度方向L正交的方向的連結(jié)部上，能夠連結(jié)圖1的電力線纜33A及送風(fēng)用配管35A (詳情后述)O在朝向與放電燈1的長度方向L正交的方向，設(shè)置了用于連結(jié)電力線纜33A及送風(fēng)用配管35A的燈頭側(cè)連接器52這樣的情況下，如圖1所示，能夠?qū)㈦娏€纜33A及送風(fēng)用配管35A遠(yuǎn)離利用橢圓鏡2將來自放電燈1的光束聚光的第二焦點P2。所以，由于由電力線纜33A及送風(fēng)用配管35A造成的對來自放電燈1的光束的遮光量變少，并且被該光束加熱的構(gòu)件變少，因此可以抑制放電燈1的溫度上升。圖3⑶是表示圖2 (A)的放電燈1的陽極側(cè)的燈頭部觀附近的構(gòu)成的放大剖面圖，圖3(A)是圖3(B)的俯視圖，圖3(C)是圖3(B)的要部的側(cè)視圖。圖3 (B)中，在形成有燈頭部觀的槽部28b的軸部28a的上端，隔著環(huán)狀的缺口部28d形成圓板狀的裝載部^c， 從裝載部^c的中心部朝向外側(cè)而形成通氣用的槽部^e。另外，外罩構(gòu)件50具有放置于裝載部28c的上面的環(huán)形的平板部50a ；覆蓋燈頭部28的側(cè)面的圓筒部50c，圓筒部50c的前端部50ca比燈頭部28更向玻璃管25的棒狀部 25c側(cè)延伸。這里，圖3(B)中，雖然描繪成在軸部28a與圓筒部50c之間具有間隙，但是該間隙實際上也可以極小。在固定于外罩構(gòu)件50上的流路折曲構(gòu)件51的底面形成圓筒狀的突部51d，突部 5Id向外罩構(gòu)件50的平板部50a的中央的開口 50b突出，從該突部5Id的中央部朝向流路折曲構(gòu)件51的中央部，并在此處朝向平坦的側(cè)面51a折曲地形成用于供應(yīng)冷風(fēng)的送風(fēng)路 71c，送風(fēng)路51c的前端部連通于設(shè)于側(cè)面51a上的凹部51b。另外，如圖3(A)所示，在流路折曲構(gòu)件51的上面的4個部位形成锪孔部51e，利用锪孔部51e內(nèi)的螺栓53，如圖3(B) 所示，將流路折曲構(gòu)件51及外罩構(gòu)件50 (設(shè)有螺栓53用的開口)一體化地固定于燈頭部 28。另外，燈頭側(cè)連接器52具有固定于流路折曲構(gòu)件51的側(cè)面51a上的固定部M ； 利用螺紋部^a與固定部M的中央的開口部螺合而固定的圓筒部55，固定部M及圓筒部陽都由導(dǎo)電性良好的金屬制成。固定部討具有固定于側(cè)面51a上的平板部5 和向外側(cè)突出的圓筒部^b，在圓筒部Mb內(nèi)的3個部位形成有凹部Mc。另外，在平板部Ma的4 個部位如圖3(C)所示地形成锪孔部Md，利用锪孔部Md內(nèi)的螺栓56，將固定部54(乃至燈頭側(cè)連接器52)固定于流路折曲構(gòu)件51的側(cè)面51a。圖3 (B)中，經(jīng)由圖1的電力線纜33A向燈頭側(cè)連接器52的固定部M供應(yīng)的電力，經(jīng)過流路折曲構(gòu)件51、外罩構(gòu)件50及燈頭部觀向玻璃管25內(nèi)的陽極供應(yīng)。另外，經(jīng)由圖1的送風(fēng)用配管35A向燈頭側(cè)連接器52的圓筒部55供應(yīng)的冷風(fēng)，穿過流路折曲構(gòu)件51 的凹部5lb、送風(fēng)路51c、外罩構(gòu)件50的開口 50b、槽部28e及缺口部觀(1向燈頭部28的槽部28b供應(yīng)，流過槽部^b的空氣被從棒狀部25c與外罩構(gòu)件50的前端部50ca之間向圖 2 (A)的玻璃管25的燈泡部2 側(cè)吹送。這樣，能夠有效地冷卻燈頭部28及玻璃管25。此外，圖4表示本例的包括圖1的電力線纜33A及送風(fēng)用配管35A的連結(jié)線纜57， 該圖4中，連結(jié)線纜57是將線纜側(cè)第一連接器58A、線纜側(cè)第一連結(jié)構(gòu)件62A、電力線纜33A 及送風(fēng)用配管35A、線纜側(cè)第二連結(jié)構(gòu)件62B、線纜側(cè)第二連接器58B連結(jié)而構(gòu)成的。連接器側(cè)第一連接器58A具有具有圓筒狀的前端部59Aa的主體構(gòu)件59A ；利用止動螺釘61A 固定于主體構(gòu)件59A內(nèi)的細(xì)長的圓筒構(gòu)件60A。前端部59A的外面的3個部位設(shè)有突部 59Ab，將前端部59Aa的突部沿圓周方向夾入的位置形成有用于使之具有柔性的切槽部(未圖示)。圓筒構(gòu)件60A為插入圖3 (A)的燈頭側(cè)連接器52的圓筒部55內(nèi)的大小，主體構(gòu)件 59A的前端部59Aa為與圖3(A)的燈頭側(cè)連接器52的固定部M的圓筒部Mb的內(nèi)面嵌合的大小。在將前端部59Aa插入到圓筒部54b內(nèi)的狀態(tài)下，前端部59A的突部59Aa就被收納于圖3(B)的圓筒部Mb內(nèi)的凹部Mc中，將前端部59Aa穩(wěn)定地保持在圓筒部Mb中。而且，雖然圓筒構(gòu)件60A的前端部形成有錐面部，以便可以與圓筒部55容易地連結(jié)，然而例如在加工精度高的情況下，也可以省略該錐面部。 圖4中，線纜側(cè)第一連結(jié)構(gòu)件62A具有具有通過與線纜側(cè)第一連接器58A的主體構(gòu)件59A的螺紋部59Ac螺合而固定的前端部63Aa的主體構(gòu)件63A ；利用止動螺釘65A固定于主體構(gòu)件63A內(nèi)的細(xì)長的圓筒構(gòu)件64A，主體構(gòu)件63A的另一端側(cè)形成有圓筒構(gòu)件63Ab， 圓筒構(gòu)件64A從圓筒部63Ab中向外側(cè)突出。線纜側(cè)第一連接器58A的主體構(gòu)件59A及圓筒構(gòu)件60A、線纜側(cè)第一連結(jié)構(gòu)件62A的主體構(gòu)件63A及圓筒構(gòu)件64A都由導(dǎo)電性良好的金屬制成。 另外，本例中電力線纜33A如箭頭B的外觀所示，是將細(xì)長的多條導(dǎo)線編成圓筒的網(wǎng)眼狀的具有柔性的構(gòu)件，在該電力線纜33A內(nèi)收納有送風(fēng)用配管35A，送風(fēng)用配管35A由軟性的合成樹脂(例如軟質(zhì)聚氯乙烯、低密度聚乙烯等。以下相同)或合成橡膠等制成，并且是具有柔性的細(xì)長的圓筒狀的構(gòu)件。電力線纜33A的兩個端部比送風(fēng)用配管35A伸得更長，送風(fēng)用配管35A為能夠收納線纜側(cè)第一連結(jié)構(gòu)件62A的圓筒構(gòu)件64A的大小。此外，在圓筒構(gòu)件64A的前端部被插入送風(fēng)用配管35A內(nèi)，并且電力線纜33A的前端部將線纜側(cè)第一連結(jié)構(gòu)件62A的圓筒部63Ab覆蓋的狀態(tài)下，將送風(fēng)用配管35A的前端部及圓筒部63Ab 用電力線纜33A緊固地固定金屬制的帶部66A。另外，線纜側(cè)第二連結(jié)構(gòu)件62B是與線纜側(cè)第一連結(jié)構(gòu)件62A對稱地在主體構(gòu)件 63B上利用止動螺釘65B固定圓筒構(gòu)件64B而構(gòu)成的，線纜側(cè)第二連接器58B是與線纜側(cè)第一連接器58A對稱地在主體構(gòu)件59B上利用止動螺釘61B固定圓筒構(gòu)件60B而構(gòu)成的。主體構(gòu)件59Β、6!3Β及圓筒構(gòu)件60Β、64Β都由導(dǎo)電性良好的金屬制成，將插入到圓筒構(gòu)件64Β 的前端部的送風(fēng)用配管35Α的前端部及主體構(gòu)件63Β的圓筒部63 用電力線纜33A緊固地固定金屬制的帶部66B。這樣，就會按照將送風(fēng)用配管35A與圓筒構(gòu)件64A、64B連通的方式，并且按照將電力線纜33A與主體構(gòu)件63A、63B電導(dǎo)通的方式，將線纜側(cè)連結(jié)構(gòu)件62A及 62B與電力線纜33A及送風(fēng)用配管35A連結(jié)。另外，線纜側(cè)第二連結(jié)構(gòu)件62B的主體構(gòu)件6 的前端部63Ba被螺合固定于線纜側(cè)第二連接器58B的主體構(gòu)件59B的螺紋部59Bc上。在線纜側(cè)第二連接器58B的主體構(gòu)件59B的圓筒狀的前端部59Ba的外面的3個部位形成有突部5邪b。在圖4的連結(jié)線纜57中，從圖1的電源32向線纜側(cè)第二連接器58B的主體構(gòu)件 59B供應(yīng)的電力，經(jīng)由線纜側(cè)第二連結(jié)構(gòu)件62B的主體構(gòu)件63B、電力線纜33A、線纜側(cè)第一連結(jié)構(gòu)件62A的主體構(gòu)件63A及線纜側(cè)第一連接器58A的主體構(gòu)件59A向圖3 (B)的燈頭側(cè)連接器52供應(yīng)。另外，從圖1的送風(fēng)裝置34向圖4的線纜側(cè)第二連接器58B的圓筒構(gòu)件60B內(nèi)供應(yīng)的冷風(fēng)，經(jīng)由線纜側(cè)第二連結(jié)構(gòu)件62B的圓筒構(gòu)件64B、送風(fēng)用配管35A、線纜側(cè)第一連結(jié)構(gòu)件62A的圓筒構(gòu)件64A及線纜側(cè)第一連接器58A的圓筒構(gòu)件60A向圖3 (B) 的燈頭側(cè)連接器52的圓筒部55內(nèi)吹送。而且，在連結(jié)線纜57中，可以省略圓筒部構(gòu)件60A、64A、64B、60B。另外，也可以采用如下的構(gòu)成，即省略線纜側(cè)連結(jié)構(gòu)件62A及62B而在線纜側(cè)連接器58A及58B上連結(jié)電力線纜33A及送風(fēng)用配管35A。此外，圖5表示將圖3⑶的放電燈1的燈頭側(cè)連接器52與圖1的電源32及送風(fēng)裝置34用圖4的連結(jié)線纜57連結(jié)(連接)的狀態(tài)，該圖5中，在導(dǎo)電性良好的金屬制的安裝構(gòu)件40上，利用螺栓(未圖示)固定有與圖3(B)的燈頭側(cè)連接器52相同結(jié)構(gòu)的、由導(dǎo)電性良好的金屬制的固定部42和圓筒部43構(gòu)成的電源側(cè)連接器41的平板部42a。固定部 42的圓筒部42b為能夠在其內(nèi)面中嵌合圖4的連結(jié)線纜57的線纜側(cè)第二連接器58B的前端部59Ba的大小，圓筒部43為能夠向其內(nèi)側(cè)插入該線纜側(cè)第二連接器58B的圓筒構(gòu)件60B 的大小。另外，與圖4的線纜側(cè)第二連接器58B的前端部58Ba的突部59 對應(yīng)地在圖5 的圓筒部42c的內(nèi)面形成凹部42c。而且，雖然在圓筒構(gòu)件60B的前端部形成有錐面部，以便可以與圓筒部43容易地連結(jié)，然而例如在加工精度高的情況下，也可以省略該錐面部。另外，利用螺栓44固定于安裝構(gòu)件40上的端子由電力線纜46與電源32連結(jié)，從而將電力線纜46與電源側(cè)連接器41的固定部42電導(dǎo)通。另外，電源側(cè)連接器41的圓筒部43借助沿著設(shè)于安裝構(gòu)件40上的凹部40a及配管路配置的配管45與送風(fēng)裝置34連結(jié)， 從而可以從送風(fēng)裝置34向電源側(cè)連接器41的圓筒部43供應(yīng)冷風(fēng)。圖5中，為了在放電燈1的燈頭側(cè)連接器52上連接連結(jié)線纜57，只要向燈頭側(cè)連接器52的圓筒部Mb內(nèi)插入連結(jié)線纜57的線纜側(cè)第一連接器58A的前端部59Aa，將前端部59Aa的突部59Ab嵌合在圓筒部Mb內(nèi)的凹部5 中即可。而且，前端部59Aa與圓筒部 54b的連結(jié)方法可以使用將突部59Aa與凹凸5 對接的方法以外的通常的連接器之間的連結(jié)中所用的任意的方法。這對于連結(jié)線纜57與電源側(cè)連接器41的連結(jié)來說也是相同的。 即，為了在電源側(cè)連接器41上連接連結(jié)線纜57，只要向電源側(cè)連接器41的圓筒部42b內(nèi)插入連結(jié)線纜57的線纜側(cè)第二連接器58B的前端部，向圓筒部42b內(nèi)的凹部42c中嵌入該前端部的突部59 即可。這樣通過使用連結(jié)線纜57，就可以極為容易并且迅速地將電源32 及送風(fēng)裝置34與放電燈1連接。 在該情況下，放電燈1的燈頭側(cè)連接器52的圓筒部54b與連結(jié)線纜57的線纜側(cè)第一連接器58A的前端部59Aa被連結(jié)。由此，線纜側(cè)第一連接器58A的圓筒構(gòu)件60A被插入燈頭側(cè)連接器52的圓筒部55中，將兩者連通。另外，電源側(cè)連接器41的圓筒部2b與連結(jié)線纜57的線纜側(cè)第二連接器58B的前端部被連結(jié)。由此，線纜側(cè)第二連接器58B的圓筒構(gòu)件60B被插入電源側(cè)連接器41的圓筒構(gòu)件43中，將兩者連通。 圖5中，從電源32經(jīng)由電力線纜46向電源側(cè)連接器41的固定部42供應(yīng)的電力， 經(jīng)由連結(jié)線纜57的線纜側(cè)第二連接器58B (主體構(gòu)件59B)、線纜側(cè)第二連結(jié)構(gòu)件62B (主體構(gòu)件63B)、電力線纜33A、線纜側(cè)第一連結(jié)構(gòu)件62A (主體構(gòu)件63A)及線纜側(cè)第一連接器 58A(主體構(gòu)件59A)向燈頭側(cè)連接器52的固定部M及圓筒部55供應(yīng)。此外，向燈頭側(cè)連接器52的固定部M供應(yīng)的電力，經(jīng)由流路折曲構(gòu)件51、外罩構(gòu)件50及燈頭部觀向玻璃管 25內(nèi)的陽極供應(yīng)。另一方面，從圖5的送風(fēng)裝置；34經(jīng)由配管；34向電源側(cè)連接器41的圓筒部43供應(yīng)的冷風(fēng)，如箭頭A1、A2、A3、A4所示，經(jīng)由連結(jié)線纜57的線纜側(cè)第二連接器58B的圓筒構(gòu)件 60B、線纜側(cè)第二連結(jié)構(gòu)件62B的圓筒構(gòu)件64B、送風(fēng)用配管35A、線纜側(cè)第一連結(jié)構(gòu)件62A 的圓筒構(gòu)件64A及線纜側(cè)第一連接器58A的圓筒構(gòu)件60A向燈頭側(cè)連接器52的圓筒部55 內(nèi)吹送。此外，向圓筒部55供應(yīng)的冷風(fēng)，如箭頭A5、A6、A7所示，穿過流路折曲構(gòu)件51的送風(fēng)路51c、外罩構(gòu)件50的開口 50b、槽部^e、缺口部^cU燈頭部28的槽部28b及棒狀部 25c與外罩構(gòu)件50的前端部50ca之間的空間向玻璃管25的燈泡部25a (參照圖2(A))側(cè)吹送。這樣，能夠有效地冷卻燈頭部28及玻璃管25。另外，圖5中，例如在為了維護放電燈1而將連結(jié)線纜57與放電燈1分離的情況下，只要從燈頭側(cè)連接器52的圓筒部Mb中將連結(jié)線纜57的線纜側(cè)第一連接器58A的前端部59Aa抽出即可。另外，為了將連結(jié)線纜57與電源32及送風(fēng)裝置34分離，只要從電源側(cè)連接器41的圓筒部42b中將連結(jié)線纜57的線纜側(cè)第二連接器58B的前端部抽出即可。 這樣通過使用連結(jié)線纜57，能夠極為容易并且迅速地將電源32及送風(fēng)裝置34與放電燈1 分離。本實施方式的曝光光源30及曝光裝置的作用效果如下所示。(1)圖3(B)的放電燈1具備連結(jié)于玻璃管25的燈頭部觀；設(shè)在該燈頭部觀上而由導(dǎo)電性材料形成的流路折曲構(gòu)件51 ；具有與該流路折曲構(gòu)件51導(dǎo)通的固定部M的燈頭側(cè)連接器52 ；包括流路折曲構(gòu)件51內(nèi)的送風(fēng)路51c和燈頭側(cè)連接器52的圓筒部55內(nèi)的送風(fēng)路，并用于將冷風(fēng)流向燈頭部觀的送風(fēng)路。因此，用于放電的電力經(jīng)由燈頭側(cè)連接器52的固定部M、流路折曲構(gòu)件51及燈頭部觀向用于放電的電極供應(yīng)，冷風(fēng)經(jīng)由流路折曲構(gòu)件51及燈頭側(cè)連接器52內(nèi)的送風(fēng)路向燈頭部觀供應(yīng)。這樣，能夠有效地冷卻燈頭部觀。(2)另外，燈頭側(cè)連接器52的固定部M的前端部為圓筒狀，設(shè)有其內(nèi)部形成送風(fēng)路的圓筒部陽。因此，能夠在該固定部M的前端部上很容易地連結(jié)圖4的連結(jié)線纜57的線纜側(cè)第一連接器58A，并且能夠與該連結(jié)同時地將線纜側(cè)第一連接器58A內(nèi)的圓筒構(gòu)件 60A內(nèi)的送風(fēng)路與圓筒部55內(nèi)的送風(fēng)路連通。(3)另外，燈頭部觀沿長度方向L(參照圖2(A))與玻璃管25連結(jié)，燈頭側(cè)連接器52將固定部M的前端部朝向與該長度方向L正交的方向(也可以是交叉的方向)地安裝在流路折曲構(gòu)件51上。因此，因為能夠沿與該長度方向L正交的方向?qū)D4的連結(jié)線纜 57與該燈頭側(cè)連接器52連結(jié)，所以能夠遠(yuǎn)離圖1的橢圓鏡2的第二焦點P2配置連結(jié)線纜 57。所以，能夠減少由連結(jié)線纜57造成的對來自放電燈1的光的遮光量。(4)另外，圖3(B)的流路折曲構(gòu)件51具有從與長度方向L正交的方向(也可以是交叉的方向)朝向長度方向L的送風(fēng)路51c。因此，能夠?qū)呐c長度方向L正交的方向供應(yīng)的冷風(fēng)折曲而向燈頭部觀的方向供應(yīng)。(5)另外，在圖3(B)的流路折曲構(gòu)件51的底面，固定有具有將燈頭部觀的側(cè)面覆蓋的圓筒部50c的外罩構(gòu)件50，流路折曲構(gòu)件51內(nèi)的送風(fēng)路51c與外罩構(gòu)件50和燈頭部 28之間的送風(fēng)路連通。因此，能夠有效地冷卻燈頭部28。(6)另外，本實施方式中，經(jīng)由外罩構(gòu)件50與燈頭部28之間向玻璃管25側(cè)供應(yīng)冷風(fēng)。這樣通過將冷卻了燈頭部觀的空氣向玻璃管25側(cè)供應(yīng)，也能夠冷卻玻璃管25。就此而言，通過將外罩構(gòu)件50的圓筒部50c的前端部50ca延伸得比燈頭部28還長，就能夠提高對玻璃管25側(cè)的冷卻效果。但是，例如在送風(fēng)量很多之類的情況下，不一定需要將前端部50ca延伸得比燈頭部28還長。而且，也可以取代冷風(fēng)(或其他的氣體)而使用冷卻了的液體(純水、氟系惰性液體等)。在該情況下，也可以設(shè)置用于將流過燈頭部觀的表面的液體回收而再次冷卻以便向燈頭側(cè)連接器52側(cè)供應(yīng)的回收路。(7)另外，在外罩構(gòu)件50與燈頭部28之間的、燈頭部28的軸部28a的表面以螺旋狀形成有作為送風(fēng)路的槽部^b。這樣通過以螺旋狀向燈頭部觀的表面送風(fēng)，就能夠提高燈頭部觀的冷卻效率。這里，也可以不是像這樣在燈頭部28的軸部28a側(cè)設(shè)置槽部^b，而是在外罩構(gòu)件50的圓筒部50c的與軸部28a相面對的區(qū)域形成螺旋狀的槽部。利用該構(gòu)成也可以提高燈頭部觀的冷卻效率。(8)另外，在圖3(B)的燈頭部觀的上端設(shè)有裝載部^c，螺旋狀的槽部^b與設(shè)于裝載部^c的側(cè)面的槽部28e連通。因此，能夠在該裝載部28c上設(shè)置外罩構(gòu)件50及流路折曲構(gòu)件51等，并且能夠?qū)碜粤髀氛矍鷺?gòu)件51的送風(fēng)路51c的冷風(fēng)經(jīng)由外罩構(gòu)件50 的開口 50b及該槽部^e導(dǎo)向燈頭部28的側(cè)面的槽部^b。(9)另外，圖4的連結(jié)線纜57是用于將使用冷風(fēng)及電力的放電燈1與圖5的電源 32及送風(fēng)裝置34連結(jié)的線纜，并且具備送風(fēng)用配管35A，其由柔性材料制成，具有冷風(fēng)的送風(fēng)路；電力線纜33A，其具有導(dǎo)電性的柔性材料制成，被設(shè)置成覆蓋送風(fēng)用配管35A。在該情況下，來自電源32的電力經(jīng)由電力線纜33A向放電燈1側(cè)供應(yīng)，來自送風(fēng)裝置34的冷風(fēng)經(jīng)由送風(fēng)用配管35A向放電燈1側(cè)供應(yīng)。因此，實質(zhì)上就能夠使用一條線纜很容易地將電力及冷風(fēng)向放電燈1供應(yīng)。(10)另外，因為電力線纜33A是將多條導(dǎo)線以網(wǎng)眼狀編成的構(gòu)件，所以能夠很容易地同時實現(xiàn)柔性和導(dǎo)電性兩方面。(11)另外，因為連結(jié)線纜57具備與電力線纜33A及送風(fēng)用配管35A的一端連結(jié)的線纜側(cè)第一連接器58A，經(jīng)由該線纜側(cè)第一連接器58A與放電燈1的燈頭側(cè)連接器52連接，所以能夠容易并且迅速地進行與放電燈1的連結(jié)及分離。(12)另外，連結(jié)線纜57具備連結(jié)于電力線纜33A及送風(fēng)用配管35A的另一端的線纜側(cè)第二連接器58B，經(jīng)由該線纜側(cè)第二連接器58B而與電源32及送風(fēng)裝置34的電源側(cè)連接器41連接。因此，能夠容易并且迅速地進行與電源32及送風(fēng)裝置34的連結(jié)及分離。(13)另外，本實施方式的曝光光源30是與圖5的電源32和送風(fēng)裝置34連接的裝置，并且具備圖5的放電燈1和連結(jié)線纜57，利用連結(jié)線纜57將電源32及送風(fēng)裝置34與放電燈1連接。因此，來自電源32的電力經(jīng)由連結(jié)線纜57的電力線纜33A、放電燈1的燈頭側(cè)連接器52的固定部M、流路折曲構(gòu)件51及燈頭部觀向用于放電的電極供應(yīng)。另外， 來自送風(fēng)裝置34的冷風(fēng)在穿過連結(jié)線纜57的電力線纜33A內(nèi)的送風(fēng)用配管35A后，穿過放電燈1的燈頭側(cè)連接器52及流路折曲構(gòu)件51內(nèi)的送風(fēng)路向燈頭部觀供應(yīng)。因此，對燈頭部觀的冷卻作用很大。另外，本例的燈頭部觀處于放電燈1的自由端側(cè)，因為由連結(jié)線纜57造成的對從放電燈1中產(chǎn)生的光的遮光量少，所以光的利用效率高，并且放電燈1的溫度上升也很少。(14)另外，本例的曝光裝置是利用從放電燈1中產(chǎn)生的曝光光在晶片W(感光基板)上將母版R的圖案曝光的曝光裝置，作為曝光光源使用本例的曝光裝置30。因此，來自放電燈1的光的遮光量變少，能夠提高曝光光的照度而提高曝光工序的生產(chǎn)率。另外，因為能夠有效地冷卻放電燈1，減少熱變形，所以能夠提高成像特性等。而且，上述的實施方式中，如圖3(B)所示，在放電燈1的流路折曲構(gòu)件51的側(cè)面 51a上直接固定燈頭側(cè)連接器52。但是，也可以不是這樣而是如圖6所示，在流路折曲構(gòu)件 51的側(cè)面51a上，借助延長線纜57A連結(jié)燈頭側(cè)連接器52A。圖6表示該變形例的放電燈1的包括陽極側(cè)的燈頭部28的部分的構(gòu)成，在該圖6 中，在流路折曲構(gòu)件51的側(cè)面51a上，利用螺栓71固定有在中央形成有送風(fēng)用的開口的連結(jié)構(gòu)件70。另外，延長線纜57A由與圖4的連結(jié)線纜57內(nèi)的電力線纜33A及送風(fēng)用配管 35A分別相同構(gòu)成(但是，該變形例中在長度較短這一點上不同)的電力線纜33A1及送風(fēng)用配管35A1構(gòu)成，將送風(fēng)用配管35A1收納于以網(wǎng)眼狀編結(jié)的電力線纜33A1內(nèi)。另外，具備固定部54A及圓筒部55A的燈頭側(cè)連接器52A與圖3 (B)的燈頭側(cè)連接器52不同的方面在于以下方面，即燈頭側(cè)連接器52A中，在固定部54A的底面形成圓筒狀的連結(jié)部54Ad，并且圓筒部55A利用螺合等固定于固定部54A的平板部上，并未突出。除此以外的構(gòu)成與燈頭側(cè)連接器52相同，固定部54A的圓筒部54Ab內(nèi)，形成有與圖4的連結(jié)線纜57的突部59Ab對應(yīng)的凹部54Ac。另外，在電力線纜33A1將連結(jié)構(gòu)件70的圓筒部70a覆蓋的狀態(tài)下，將圓筒部70a 的前端部覆蓋地配置送風(fēng)用配管35A的一端，將前端部70a用電力線纜33A1緊固地固定金屬制的帶部66C。同樣地，在電力線纜33A1將燈頭側(cè)連接器52A的固定部54A的連結(jié)部54Ad覆蓋的狀態(tài)下，將連結(jié)部54Ad的前端部覆蓋地配置送風(fēng)用配管35A1的另一端，將連結(jié)部54Aa用電力線纜33A1緊固地固定金屬制的帶部66D。其結(jié)果是，燈頭側(cè)連接器52A的固定部54A，經(jīng)由延長線纜57A的電力線纜33A1及連結(jié)構(gòu)件70而與流路折曲構(gòu)件51電導(dǎo)通，燈頭側(cè)連接器52A的圓筒部55A，經(jīng)由延長線纜 57A的送風(fēng)用配管35A1及連結(jié)構(gòu)件70而與流路折曲構(gòu)件51的送風(fēng)路51c連通。因此，通過在圖6的燈頭側(cè)連接器52A上連結(jié)圖4的連結(jié)線纜57的線纜側(cè)第一連接器58A，將線纜側(cè)第二連接器58B連結(jié)在圖5的電源側(cè)連接器41上，就能夠向圖6的放電燈1供應(yīng)電力及冷風(fēng)。該變形例的作用效果如下所示。(1)因為具備配置于燈頭側(cè)連接器52A與流路折曲構(gòu)件51之間，可以針對放電燈 1供應(yīng)電極的電力及冷風(fēng)的延長線纜57A，因此在燈頭側(cè)連接器52A上拆裝圖5的連結(jié)線纜 57之時，就不會在放電燈1上作用應(yīng)力等。因此，就有在連結(jié)線纜57的拆裝時不用擔(dān)心對放電燈1造成損傷的優(yōu)點。(2)另外，延長線纜57A具有由柔性材料制成并且內(nèi)部被設(shè)為送風(fēng)路的送風(fēng)用配管35A1 ；由具有導(dǎo)電性的柔性材料制成并且將送風(fēng)用配管35A1覆蓋的電力線纜33A1。因此，因為能夠?qū)嵸|(zhì)上用一條線纜供應(yīng)電力和冷風(fēng)，所以不會有將配管等復(fù)雜化的情況。(3)另外，因為電力線纜33A1是將多條導(dǎo)線編成網(wǎng)眼狀的構(gòu)件，所以能夠同時實現(xiàn)柔性和導(dǎo)電性兩方面。(4)另外，因為電力線纜33A1將一端借助連結(jié)構(gòu)件70固定于流路折曲構(gòu)件51上， 將另一端固定于燈頭側(cè)連接器52A的固定部54A上，所以能夠用簡單的構(gòu)成將燈頭側(cè)連接器52A與流路折曲構(gòu)件51導(dǎo)通。另外，上述的實施方式中，如圖3 (B)所示，在燈頭部觀與外罩構(gòu)件50之間形成有螺旋狀的槽部^b。但是，也能夠如圖7所示使用在圓筒狀的軸部28e中未形成槽部等的燈頭部^A。圖7的構(gòu)成中，流路折曲構(gòu)件51的送風(fēng)路51c內(nèi)的空氣經(jīng)由設(shè)于燈頭部2名k的裝載部^c的一部分的槽部^e向軸部28a與外罩構(gòu)件50的圓筒部50c之間的空間供應(yīng)， 原樣不動地經(jīng)過軸部^a的表面流向棒狀部25c側(cè)。另外，上述實施方式的投影曝光裝置(曝光裝置)可以通過將由曝光光源、多個透鏡等構(gòu)成的照明光學(xué)系統(tǒng)及投影光學(xué)系統(tǒng)裝入曝光裝置主體而進行光學(xué)調(diào)整，將由多個機械部件構(gòu)成的母版載臺或晶片載臺安裝在曝光裝置主體上而連接配線或配管，繼而進行綜合調(diào)整(電氣調(diào)整、動作確認(rèn)等)來制造。而且，該投影曝光裝置的制造最好在控制了溫度及潔凈度等的無塵室中進行。另外，半導(dǎo)體設(shè)備等微型設(shè)備可以經(jīng)過進行微型設(shè)備的功能、性能設(shè)計的步驟； 制作基于該設(shè)計步驟的掩模(母版)的步驟；制造作為設(shè)備的基材的基板的步驟；基板處理步驟，其包括利用所述的實施方式的投影曝光裝置將母版的圖案在基板(晶片等)上曝光的工序、將曝光了的基板顯影的工序、顯影了的基板的加熱(老化)及蝕刻工序等；設(shè)備組裝步驟(包括切片工序、接合工序、封裝工序)；以及檢查步驟等而制造。這里，本發(fā)明的光源裝置除了上述的分步重復(fù)方式的投影曝光裝置(步進機等) 以外，還可以適用于分步掃描方式的掃描曝光型的投影曝光裝置(掃描步進裝置等)的曝光光源中。另外，本發(fā)明的光源裝置還可以適用于國際公開第99/49504號小冊子、國際公開第2004/0191 號小冊子等中所公開的液浸型曝光裝置的曝光光源中。另外，本發(fā)明的光源裝置還可以適用于不使用投影光學(xué)系統(tǒng)的近接(proximity)方式或接觸方式的曝光裝置的光源裝置或曝光裝置以外的機器的光源中。這里，上述的實施方式中，雖然使用了形成有轉(zhuǎn)印用的圖案的母版(掩模)，然而也可以取代該母版，例如像美國專利第6，778，257號說明書中所公開的那樣，使用基于應(yīng)當(dāng)曝光圖案的電子數(shù)據(jù)形成透過圖案或反射圖案的電子掩模。另外，本發(fā)明并不限于半導(dǎo)體設(shè)備制造用的曝光裝置，還可以適用于在包括液晶顯示元件或等離子體顯示器等顯示器的制造中所用的將設(shè)備圖案向玻璃平板上轉(zhuǎn)印的曝光裝置；將薄膜磁頭的制造中所用的設(shè)備圖案向陶瓷晶片上轉(zhuǎn)印的曝光裝置；以及在拍攝元件(CCD 等)、有機 EL、微型機器、MEMS (Microelectromechanical Systems)及 DNA 芯片等的制造中所用的曝光裝置等中。另外，不僅是半導(dǎo)體元件等微型設(shè)備，為了制造在光曝光裝置及EUV曝光裝置等中使用的掩模，也可以將本發(fā)明應(yīng)用于向玻璃基板或硅晶片等轉(zhuǎn)印電路圖案的曝光裝置中。另外，上述的實施方式的圖4的連結(jié)線纜57也可以用于將曝光裝置以外的使用電力及冷風(fēng)的機器與圖5的電源32及送風(fēng)裝置34連結(jié)的情況中。如此所述，本發(fā)明并不限定于上述的實施方式，可以在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍中采取各種的構(gòu)成。另外，包括說明書、技術(shù)方案的范圍、附圖及摘要在內(nèi)的2007年4月 12日提出的美國臨時申請第60/907，656號的所有的公開內(nèi)容全都被原樣地引用而加入本申請中。
權(quán)利要求
1.一種連接用線纜，其用于將在玻璃構(gòu)件的內(nèi)部收納有用于放電的電極的放電燈與所述冷卻介質(zhì)的供應(yīng)源及電源連結(jié)，其特征在于，所述連接用線纜具備管狀構(gòu)件，其由柔性材料形成，并且具有所述冷卻介質(zhì)的流路；覆蓋構(gòu)件，其由具有導(dǎo)電性的柔性材料形成，并且設(shè)置成覆蓋所述管狀構(gòu)件，用于從所述電源向所述放電燈供應(yīng)電力；第一端子構(gòu)件，其既連結(jié)于所述管狀構(gòu)件的一端，又連結(jié)于所述覆蓋構(gòu)件的一端，并能夠與設(shè)置在覆蓋所述放電燈的燈頭構(gòu)件的外罩構(gòu)件上的連接器連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的連接用線纜，其特征在于，所述覆蓋構(gòu)件是將多條導(dǎo)線以網(wǎng)眼狀編成的構(gòu)件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的連接用線纜，其特征在于，所述連接用線纜還具備第二端子構(gòu)件，所述第二端子構(gòu)件既連結(jié)于所述管狀構(gòu)件的另一端，又連結(jié)于所述覆蓋構(gòu)件的另一端，所述連接用線纜經(jīng)由所述第二端子構(gòu)件而與所述冷卻介質(zhì)的供應(yīng)源及所述電源連接。
4.一種光源裝置，其與電源和冷卻介質(zhì)的供應(yīng)源連接，其特征在于，所述光源裝置具有放電燈；和用于將所述電源及所述供應(yīng)源與所述放電燈連接的權(quán)利要求1至3中任意一項所述的連接用線纜。
5.一種曝光裝置，其利用從光源裝置中產(chǎn)生的曝光光在感光基板上將圖案曝光，其特征在于，使用權(quán)利要求4所述的光源裝置作為所述光源裝置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種對放電燈的燈頭構(gòu)件的冷卻作用大的光源裝置。將電源(32)及送風(fēng)裝置(34)側(cè)的連接器(41)與放電燈(1)的燈頭側(cè)連接器(52)利用在電力線纜(33A)內(nèi)收納送風(fēng)用配管(35A)的連結(jié)線纜(57)連結(jié)。將來自電源(32)的電力經(jīng)由連結(jié)線纜(57)的電力線纜(33A)、燈頭側(cè)連接器(52)以及流路折曲構(gòu)件(51)向燈頭部(28)供應(yīng)，將來自送風(fēng)裝置(28)的冷風(fēng)經(jīng)由連結(jié)線纜(57)的送風(fēng)用配管(35A)、燈頭側(cè)連接器(52)及流路折曲構(gòu)件(51)內(nèi)的送風(fēng)路向燈頭部(28)的槽部(28b)供應(yīng)。
文檔編號H01J61/52GK102446669SQ20111033901
公開日2012年5月9日 申請日期2008年4月3日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月12日
發(fā)明者北野博, 菊池孝幸 申請人:株式會社尼康