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放電燈、連接用線纜、光源裝置及曝光裝置的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):2907224

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本發(fā)明涉及放電燈、連接放電燈與電源之時(shí)使用的連接用線纜、具備放電燈的光源裝置以及具備該光源裝置的曝光裝置。背景技術(shù)在用于制造各種設(shè)備(微型設(shè)備、電子設(shè)備等)的光刻工序中,為了將形成于母版 (或光掩模等)上的圖案向涂布有抗蝕劑的晶片(或玻璃平板等)上轉(zhuǎn)印,使用步進(jìn)機(jī)等一次性曝光型(靜止曝光型)的投影曝光裝置以及掃描步進(jìn)裝置等掃描曝光型的投影曝光裝置等曝光裝置。在這些曝光裝置中,使用將水銀燈等放電燈與聚光鏡組合而成的曝光用的光源裝置,其放電燈被經(jīng)由給定的安裝機(jī)...
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