專利名稱：放電燈、連接用線纜、光源裝置及曝光裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及放電燈、連接放電燈與電源之時使用的連接用線纜、具 備放電燈的光源裝置以及具備該光源裝置的曝光裝置。
背景技術(shù)：
在用于制造各種設(shè)備(微型設(shè)備、電子設(shè)備等)的光刻工序中，為了 將形成于母版(或光^^才莫等)上的圖案向涂布有抗蝕劑的晶片(或玻璃平 板等)上轉(zhuǎn)印，使用步進(jìn)機(jī)等一次性曝光型(靜止曝光型)的投影曝光裝 置以及掃描步進(jìn)裝置等掃描曝光型的投影曝光裝置等曝光裝置。在這些曝 光裝置中，使用將水銀燈等放電燈與聚光鏡組合而成的曝光用的光源裝 置，其放電燈被經(jīng)由給定的安裝^保持。
在具有放電燈的以往光源裝置當(dāng)中，存在一種為了減輕發(fā)熱的影響而
設(shè)置有冷卻機(jī)構(gòu)的類型。以往的冷卻機(jī)構(gòu)的一個例子是下述機(jī)構(gòu)，即從 放電燈的一方的燈頭的外面經(jīng)由燈泡部的外面向另一方的燈頭的外面供 應(yīng)已,皮冷卻的空氣的才幾構(gòu)(例如參照專利文獻(xiàn)1 )。作為以往的冷卻才幾構(gòu)的 其他的例子，還已知有下述的機(jī)構(gòu)，即在放電燈的燈頭上設(shè)置環(huán)狀的槽 部，經(jīng)由該槽部及給定的送風(fēng)管向燈泡部供應(yīng)冷卻了的空氣(例如參照專 利文獻(xiàn)2)。
專利文獻(xiàn)l:日本特開平9 - 213129號>^才艮 專利文獻(xiàn)2:日本特開平11 - 283898號公報
以往的光源裝置的放電燈的冷卻才幾構(gòu)，因?yàn)橹饕蚍烹姛舻臒襞莶看?送冷風(fēng)，所以存在對燈頭的冷卻作用小的問題。
另外，放電燈中有固定側(cè)的燈頭和自由端側(cè)的燈頭，在使用以往的冷 卻機(jī)構(gòu)對自由端側(cè)的燈頭冷卻時，需要在燈頭的周圍也設(shè)置送風(fēng)用的配 管，因而會有來自放電燈的光被遮擋很多的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于此種情況，其目的在于提供一種光源裝置，其對放電燈 的燈頭的冷卻作用大，并且在將自由端側(cè)的燈頭冷卻之時對從放電燈中 產(chǎn)生的光的遮光量少。
另外，本發(fā)明的目的還在于，提供能夠應(yīng)用于此種光源裝置中的放 電燈及連接用線纜以及使用此種光源裝置的曝光技術(shù)。
本發(fā)明的放電燈是在玻璃構(gòu)件的內(nèi)部收納有用于放電的電極的放
電燈，并且具備連結(jié)于該玻璃構(gòu)件的燈頭構(gòu)件；安裝于該燈頭構(gòu)件而 由導(dǎo)電性材料形成的中繼構(gòu)件；固定于該中繼構(gòu)件而能夠借助該中繼構(gòu) 件向該燈頭構(gòu)件供應(yīng)用于放電的電力的第一線纜；設(shè)于該中繼構(gòu)件而用 于向該燈頭構(gòu)件供應(yīng)冷卻用介質(zhì)的流路；固定于該中繼構(gòu)件而能夠經(jīng)由 該流路向該燈頭構(gòu)件供應(yīng)冷卻用介質(zhì)的第二線纜。
另外，本發(fā)明的連接用線纜是用于將使用冷卻用介質(zhì)及電力的裝置 與該冷卻用介質(zhì)的供應(yīng)源及電源連結(jié)的連接用線纜，并且具備中繼構(gòu) 件，其由導(dǎo)電性材料形成，能夠在使用該冷卻用介質(zhì)及電力的裝置上拆 裝；管狀構(gòu)件，其一端固定于該中繼構(gòu)件，并且由柔性材料形成，具有 該冷卻用介質(zhì)的流路；導(dǎo)電構(gòu)件，其與該管狀構(gòu)件分開地設(shè)置， 一端固 定于該中繼構(gòu)件，并且由具有導(dǎo)電性的柔性材料形成。
另外，本發(fā)明的光源裝置是與電源和冷卻用介質(zhì)的供應(yīng)源連接的光 源裝置，并且具備放電燈，其具有收納有用于放電的電極的玻璃構(gòu)件 和與該玻璃構(gòu)件連結(jié)的燈頭構(gòu)件；本發(fā)明的連接用線纜，該連接用線纜 的中繼構(gòu)件安裝于該放電燈的燈頭構(gòu)件，在該中繼構(gòu)件中形成有該冷卻 用介質(zhì)的流路，經(jīng)由該連接用線纜的導(dǎo)電構(gòu)件及該中繼構(gòu)件從該電源向 該燈頭構(gòu)件供應(yīng)電力，經(jīng)由該連接用線纜的管狀構(gòu)件及該中繼構(gòu)件從該 供應(yīng)源向該燈頭構(gòu)件供應(yīng)該冷卻用介質(zhì)。
另外，本發(fā)明的曝光裝置是利用從光源裝置中產(chǎn)生的曝光光在感光 基板上將圖案曝光的曝光裝置，該光源裝置使用本發(fā)明的光源裝置。
根據(jù)本發(fā)明的放電燈，用于放電的電力經(jīng)由連結(jié)構(gòu)件的導(dǎo)電性構(gòu) 件；中繼構(gòu)件及燈頭構(gòu)件向用于放電的電極供應(yīng)。另外，冷卻用介質(zhì)經(jīng)由連結(jié)構(gòu)件及設(shè)于中繼構(gòu)件中的流路向燈頭構(gòu)件供應(yīng)。
根據(jù)本發(fā)明的連接用線纜，來自電源的電力經(jīng)由具有柔性的導(dǎo)電構(gòu) 件及中繼構(gòu)件向裝置側(cè)供應(yīng)，來自供應(yīng)源的冷卻用介質(zhì)經(jīng)由具有柔性的 管狀構(gòu)件及中繼構(gòu)件向裝置側(cè)供應(yīng)。
根據(jù)本發(fā)明的光源裝置及曝光裝置，來自電源的電力經(jīng)由連接用線 纜及燈頭構(gòu)件向用于放電的電極供應(yīng)。另夕卜，來自供應(yīng)源的冷卻用介質(zhì) 穿過連接用線纜的管狀構(gòu)件及中繼構(gòu)件內(nèi)的流路向燈頭構(gòu)件供應(yīng)。因 此，對該燈頭構(gòu)件的冷卻作用大。另外，冷卻用介質(zhì)在燈頭構(gòu)件的附近 通過設(shè)于中繼構(gòu)件中的流路。因此，在該燈頭構(gòu)件處于自由端側(cè)的情況 下，由冷卻用介質(zhì)供應(yīng)用的配管等造成的對從放電燈中產(chǎn)生的光的遮光 量變少，光的利用效率高，并且光源裝置的溫度上升也很少。


圖l是表示實(shí)施方式的一例的投影曝光裝置的概略構(gòu)成的圖。
圖2(A)是將表示圖1中的放電燈l的一部分切開的圖，圖2(B) 是沿著圖2 (A)的BB線的剖面圖。
圖3 (A)是表示圖2(A)的燈頭部28側(cè)的流路折曲構(gòu)件71的俯 視圖，圖3 (B)是表示圖2 (A)的燈頭部28附近的構(gòu)成的剖面圖， 圖3 (C)是圖3 (B)的要部的側(cè)視圖。
圖4 (A)是將表示實(shí)施方式的一例的連結(jié)線纜72的一部分切開的 圖，圖4 (B)是表示圖4 (A)中的連結(jié)機(jī)構(gòu)73A的側(cè)視圖。
圖5是將表示在圖3(B)的放電燈l上借助圖4的連結(jié)線纜72連 結(jié)電源32及送風(fēng)裝置34的狀態(tài)的一部分切開的圖。
圖6是將表示實(shí)施方式的變形例的燈頭部附近的構(gòu)成的一部分切開 的圖。
附圖標(biāo)記說明1…放電燈，2…橢圓鏡，25…玻璃管，25a…燈泡 部，25c…棒狀部，26…燈頭部，28…燈頭部，28b…槽部，30…曝光光 源，31…安裝構(gòu)件，32…電源，33D…電力線纜，34…送風(fēng)裝置，35D…送風(fēng)用配管，50…外罩構(gòu)件，71…流路折曲構(gòu)件，71c…送風(fēng)路，72… 連結(jié)線纜，73A、 73B…連結(jié)機(jī)構(gòu)，74A、 74B…環(huán)狀構(gòu)件，75A、 75B… 控制桿，76A、 76B…送風(fēng)用端子。
具體實(shí)施例方式
下面，參照圖1~圖5對本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式的一例進(jìn)行說明。
圖1表示具備本例的曝光光源30的投影曝光裝置(曝光裝置)，在 該圖1中，由弧放電型的水銀燈構(gòu)成的放電燈1經(jīng)由安裝裝置31固定 于由絕緣物制成的固定板29。另外，分別從電源32經(jīng)由具有柔性的電 力線纜33D及33B向放電燈1內(nèi)的陽極側(cè)及陰極側(cè)的電極供應(yīng)電力。 另外，經(jīng)由具有柔性的送風(fēng)用配管35D及35B從送風(fēng)裝置34穿過防塵 過濾器向放電燈l的兩個燈頭供應(yīng)已被冷卻的空氣(以下稱作冷風(fēng)。)。 送風(fēng)裝置34能夠使用以給定的風(fēng)量供應(yīng)通過取入外部氣體而進(jìn)行除塵 及冷卻所得到的空氣(或者也可以是從氮?dú)馄恐腥∪氲牡獨(dú)獾?的機(jī)構(gòu)。 送風(fēng)裝置34除此以外，還可以使用在工廠內(nèi)用于向氣缸等供應(yīng)壓縮空 氣的壓縮空氣供應(yīng)部。該冷風(fēng)也可以是室溫左右，但也可以不是一定要 冷卻到室溫以下。
另外，未圖示的支架上固定有橢圓鏡2 (聚光鏡)，并且包圍放電燈 1的燈泡部。放電燈1的燈泡部內(nèi)的發(fā)光部作為一例配置于橢圓鏡2的 第一焦點(diǎn)P1的附近。曝光光源30構(gòu)成包括放電燈l、橢圓鏡2、安 裝構(gòu)件31、電力線纜33D、 33B、送風(fēng)用配管35D、 35B、電源32以及 送風(fēng)裝置34 (詳情后述)。
從放電燈1射出的光束，被橢圓鏡2會聚在第二焦點(diǎn)P2附近后， 穿過打開狀態(tài)的快門3的附近而成為發(fā)散光，射入光路折曲用的反射鏡 4?？扉T3利用快門驅(qū)動裝置3a進(jìn)行開閉，作為一個例子，后述的載臺 控制系統(tǒng)15根據(jù)統(tǒng)一控制裝置整體的動作的主控制系統(tǒng)14的指令來控 制快門驅(qū)動裝置3a。
由反射鏡4反射的光束射入干涉濾光器5，利用干涉濾光器5僅選 擇給定的亮線(例如波長365nm的i線)的曝光光IL。這里，作為曝 光光IL除了 i線以外，也可以使用g線、h線或它們的混合光等或者水銀燈以外的燈的亮線等。該被選擇的曝光光IL射入復(fù)眼透鏡6 (光學(xué) 積分器)，在配置在復(fù)眼透鏡6的射出面上的可變孔徑光闌7上形成多 個二次光源。穿過可變孔徑光闌7的曝光光IL經(jīng)過第一中繼透鏡8射 入母版遮簾(可變視場光闌)9。母版遮簾9的配置面實(shí)質(zhì)上與母版R 的圖案面共軛，通過經(jīng)由驅(qū)動裝置9a設(shè)定母版遮簾9的開口形狀，來 規(guī)定母版R上的照明區(qū)域。另外，也可以如下構(gòu)成，即載臺控制系統(tǒng) 15能夠借助驅(qū)動裝置9a將母版遮簾9開閉，從而在晶片W的步進(jìn)時等 情況下不會將不需要的曝光光向晶片W上照射。
穿過母版遮簾9的曝光光IL,經(jīng)由第二中繼透鏡10、反射曝光光 IL的二向色鏡11及聚光透鏡12將母版R的圖案面的圖案區(qū)域落射照 明。照明光學(xué)系統(tǒng)13構(gòu)成包括快門3、反射鏡4、干涉濾光器5、復(fù) 眼透鏡6、可變孔徑光闌7、中繼透鏡8、 10、母版遮簾9、 二向色鏡ll 及聚光透鏡12。來自曝光光源30的光束經(jīng)過照明光學(xué)系統(tǒng)13作為曝光 光IL將母版R (掩模)照明，母版R的圖案區(qū)域內(nèi)的圖案，經(jīng)由投影 光學(xué)系統(tǒng)PL在涂布有光刻膠的晶片W(感光基板)的一個拍攝區(qū)域上 以投影倍率P ( p例如為1/4、 1/5等)曝光。下面，與投影光學(xué)系統(tǒng) PL的光軸AX平行地取Z軸，在垂直于Z軸的平面內(nèi)與圖1的紙面平 行地取X軸，與圖1的紙面垂直地取Y軸進(jìn)行說明。
此時，母版R被保持在能夠在母版基座(未圖示)上沿X方向、Y 方向及繞Z軸的旋轉(zhuǎn)方向輕微移動的母版載臺RST上。母版載臺RST 的位置由向固定于其上的移動鏡17R照射計測用激光束的激光干涉儀 18R高精度地計測，該計測值被提供應(yīng)載臺控制系統(tǒng)15及主控制系統(tǒng) 14。根據(jù)該計測值及來自主控制系統(tǒng)14的控制信息，載臺控制系統(tǒng)15 經(jīng)由包括線性電機(jī)等的驅(qū)動系統(tǒng)19R控制母版載臺RST的位置。
另一方面，晶片W經(jīng)由未圖示的晶片夾具保持在晶片載臺WST上， 晶片載臺WST被能夠在晶片基座(未圖示)上沿X方向及Y方向自由 移動地放置。晶片載臺WST的位置由向固定于其上的移動鏡17W照射 計測用激光束的激光干涉儀18W高精度地計測，該計測值被提供應(yīng)載 臺控制系統(tǒng)15及主控制系統(tǒng)14。才艮據(jù)該計測值及來自主控制系統(tǒng)14 的控制信息，載臺控制系統(tǒng)15經(jīng)由包括線性電機(jī)等的驅(qū)動系統(tǒng)19W控 制晶片載臺WST (晶片W)的位置。在晶片W的曝光時，以分步重復(fù)方式(step - and - repeat)反復(fù) 進(jìn)行下述動作，即利用晶片載臺WST將晶片W的各拍攝區(qū)域向投影 光學(xué)系統(tǒng)PL的曝光區(qū)內(nèi)移動的動作；將來自曝光光源30的光束經(jīng)由照 明光學(xué)系統(tǒng)13向母版R照射，將母版R的圖案經(jīng)由投影光學(xué)系統(tǒng)PL 在晶片W上的該拍攝區(qū)域中曝光的動作。這樣，母版R的圖案的像就 被轉(zhuǎn)印到晶片W上的各拍攝區(qū)域。這里，為了在該曝光之時預(yù)先進(jìn)行對準(zhǔn)，在母版R的上方，設(shè)有用 于檢測形成在母版R上的對準(zhǔn)標(biāo)記的位置的母版對準(zhǔn)系統(tǒng)20,在投影 光學(xué)系統(tǒng)PL的側(cè)面，設(shè)有用于檢測附設(shè)在晶片W上的各拍攝區(qū)域中的 對準(zhǔn)標(biāo)記的位置的對準(zhǔn)傳感器21。另外，在晶片載臺WST上的晶片W 的附近設(shè)有形成了用于對準(zhǔn)傳感器21等的多個基準(zhǔn)標(biāo)記的基準(zhǔn)標(biāo)記構(gòu) 件22。母版對準(zhǔn)系統(tǒng)20及對準(zhǔn)傳感器21的檢測信號被供應(yīng)給對準(zhǔn)信號 處理系統(tǒng)16,對準(zhǔn)信號處理系統(tǒng)16例如利用這些檢測信號的圖像處理 求出受檢標(biāo)記的排列坐標(biāo)，將該排列坐標(biāo)的信息供應(yīng)主給控制系統(tǒng)14。 主控制系統(tǒng)14根據(jù)該排列坐標(biāo)的信息進(jìn)行母版R及晶片W的對準(zhǔn)。下面，對包括本例的投影曝光裝置的放電燈1的曝光光源30的基 本的構(gòu)成進(jìn)行說明。圖2 (A)是將表示圖1的曝光光源30中的放電燈1及其安裝機(jī)構(gòu)的 一部分切開的閨，該圖2 (A)中放電燈1具備由燈泡部25a及將其夾著 而固定的大致對稱且圓筒狀的2個棒狀部25b、 25c構(gòu)成的玻璃管25;陰 極側(cè)的與一方的固定側(cè)的棒狀部25b的端部連結(jié)的燈頭部26;陽極側(cè)的與 朝向另一方的外側(cè)直徑階段性地變小的自由端側(cè)的棒狀部25c的端部連結(jié) 的燈頭部28。在該燈泡部25a內(nèi)相面對地固定有用于形成發(fā)光部的陽極 EL1及陰極EL2，陰極EL2及陽極EL1分別與燈頭部26及28連接，燈 頭部26及28由電導(dǎo)率及熱導(dǎo)率良好的金屬制成。燈頭部26、玻璃管25 及燈頭部28配置于將玻璃管25的棒狀部25b、25c的中心軸連結(jié)而穿it^L 光部的中心的一條直線上。與連結(jié)該棒狀部25b、 25c的中心軸的直線平行 的方向是放電燈1的長度方向L。燈頭部26及28基本上作為用于從電源32經(jīng)由電力線纜33B及33D (參照圖1 )向陰極EL2及陽極EL1供應(yīng)電力的電力接收端子使用。此外， 燈頭部26還作為用于保持玻璃管25 (放電燈1)的被保持部使用，燈頭部26及28都具備流過用于將從玻璃管25傳導(dǎo)過來的熱冷卻的氣體的M。即，在與陰極EL2連接的燈頭部26中，從棒狀部25b起向外側(cè)依次 形成凸緣部26a、圓柱狀的軸部26b、圓柱狀的凹部26f、與軸部26b相比 外徑略小的圃柱狀的固定部26h,凹部26f與固定部26h的交界部形成有 由與長度方向L大致垂直的面構(gòu)成的被推壓面26g。在固定放電燈1時，將放電燈1的軸部26b嵌合在以雙點(diǎn)劃線表示的 安裝構(gòu)件31的開口部31b中，將凸緣部26a放置在安裝構(gòu)件31的上面31a 上。如圖2 (B)所示，在凸緣部26a上形成有圓形的開口 27A、 27B,通 過向這些開口 27A、 27B中插穿固定于圖2 (A)的上面31a的圓柱狀的突 部(未圖示)，從而對放電燈l進(jìn)行旋轉(zhuǎn)方向的定位。另外，在軸部26b的外面，繞著平行于長度方向L的軸以螺旋狀形成 有槽部26d。從送風(fēng)裝置34經(jīng)由具有柔性的送風(fēng)用配管35B及形成于安裝 構(gòu)件31上的送風(fēng)路31c向槽部26d供應(yīng)冷風(fēng)。另夕卜，在導(dǎo)電性良好的金屬 制的安裝構(gòu)件31上利用螺栓39固定有端子38，端子38利用電力線纜33B 與電源32連接。利用該構(gòu)成從電源32經(jīng)由電力線纜33B、端子38、安裝 構(gòu)件31及燈頭部26的凸緣部26a向放電燈1的陰極EL2供應(yīng)電力。另外，在安裝構(gòu)件31的下方的3個部位，能夠自由旋轉(zhuǎn)地并且被拉伸 螺旋彈簧37A、 37B、 37C向下方推靠地固定有推靠構(gòu)件36A、 36B、 36C。 通過用推靠構(gòu)件36A ~ 36C的頭端部將燈頭部26的被推壓面26g向下方推 靠，能夠?qū)纛^部26(乃至放電燈1)穩(wěn)定地保持在安裝構(gòu)件31上。另夕卜， 通過利用未圖示的控制桿機(jī)構(gòu)將推靠構(gòu)件36A 36C向上方提拉，能夠?qū)?放電燈1很容易地從安裝構(gòu)件31上卸下。接著，在圖2 (A)中，放電燈l的陽極側(cè)(本例中也是自由端側(cè))的 燈頭部28的概略結(jié)構(gòu)是在近似圓柱狀的軸部28a的表面繞著平行于長度方 向L的軸以螺旋狀形成槽部28b的結(jié)構(gòu)。另外，固定有導(dǎo)電性良好的金屬 (例如銅、黃銅、鋁等。以下相同)制的近似圓筒狀的外罩構(gòu)件50，以便 從外側(cè)覆蓋燈頭部28。外罩構(gòu)件50上固定有導(dǎo)電性良好的金屬制的流路 折曲構(gòu)件71。圖3 (B)是表示圖2(A)的放電燈l的陽極側(cè)的燈頭部28附近的構(gòu) 成的放大剖面圖，圖3 (A)是圖3 (B)的俯視圖，圖3(C)是圖3(B) 的要部的側(cè)視圖。圖3 (B)中，在形成有燈頭部28的槽部28b的軸部28a的上端，隔著環(huán)狀的缺口部28d形成圓板狀的裝載部28c,從裝載部28c 的中心部朝向外側(cè)地形成通氣用的槽部28e。另外，外罩構(gòu)件50具有放置于裝載部28c的上面的環(huán)形的平板部 50a;覆蓋燈頭部28的側(cè)面的圓筒部50c，圓筒部50c的頭端部50ca比燈 頭部28更向玻璃管25的棒狀部25c側(cè)延伸。這里，圖3(B)中，雖然描 繪成在軸部28a與圓筒部50c之間具有間隙，然而該間隙實(shí)際上也可以極 小。在固定于外罩構(gòu)件50上的流^54斤曲構(gòu)件71的平板部71a的底面形成 圃筒狀的突部71d,圓筒狀的突部71d向外罩構(gòu)件50的平板部50a的中央 的開口 50b突出，平板部71a的上面形成有圓柱狀的嵌合部71b。此外， 從流膝折曲構(gòu)件71的突部71d的中央部朝向嵌合部71b的大致中間的高 度的位置，并在此處與嵌合部71b的側(cè)面的開口 71e (參照圖3 (C))連 通地形成折曲的送風(fēng)路71c,從開口 71e向送風(fēng)路71c供應(yīng)用于冷卻燈頭 部28的冷風(fēng)。如圖3(A)所示，在流路折曲構(gòu)件71的上面的4個部位形 成锪孔部71f，利用锪孔部71f內(nèi)的螺栓53，如圖3(B)所示，將流5M斤 曲構(gòu)件71及外罩構(gòu)件50 (設(shè)有螺栓53用的開口 ) 一體化地固定于燈頭部 28。圖3 (B)中，經(jīng)由圖1的電力線纜33D向流5I4斤曲構(gòu)件71供應(yīng)的電 力，經(jīng)過外罩構(gòu)件50及燈頭部28向玻璃管25內(nèi)的陽極供應(yīng)。另夕卜，經(jīng)由 圖1的送風(fēng)用配管35D向流漆纖曲構(gòu)件71的開口 71e供應(yīng)的冷風(fēng)，穿過 送風(fēng)路71c、外罩構(gòu)件50的開口 50b、槽部28e;^缺口部28d向燈頭部28 的槽部28b供應(yīng)，流過槽部28b的空氣被從棒狀部25c與外罩構(gòu)件50的 頭端部50ca之間向圖2 (A)的玻璃管25的燈泡部25a側(cè)吹送。這樣，能 夠有效地冷卻燈頭部28及玻璃管25。此外，圖4 (A)是將包括圖1的電力線纜33D及送風(fēng)用配管35D的 本例的表示連結(jié)線纜72的一部分切開的圖，連結(jié)線纜72是將第一連結(jié)機(jī) 構(gòu)73A、電力線纜33D及送風(fēng)用配管35D、第二連結(jié)機(jī)構(gòu)73B連結(jié)而構(gòu)成 的。另外，圖4 (B)是表示圖4 (A)中的第一連結(jié)機(jī)構(gòu)73A的側(cè)視圖。圖4 (A)中，第一連結(jié)機(jī)構(gòu)73A具備形成有柔和地嵌合在圖3(B) 的流膝纖曲構(gòu)件71的嵌合部71b中的貫穿孔74Aa的環(huán)狀構(gòu)件74A;在頭 端形成有螺玟部的控制桿75A;止動螺釘79A。環(huán)狀構(gòu)件74A由導(dǎo)電性良好的金屬制成。沿著包含貫穿孔74Aa的中心軸的平面橫切貫穿孔74Aa 地形成狹縫部74Ab，橫切狹縫部74Ab地形成貫穿孔及螺紋部74Ae (參 照圖4 (B))?？刂茥U75A穿過該貫穿孔而將其頭端的螺紋部而與螺紋部 74Ae螺合地安裝于環(huán)狀構(gòu)件74A。利用該構(gòu)成，如圖4(B)所示，通過 在環(huán)狀構(gòu)件74A的貫穿孔74Aa中嵌合了流路折曲構(gòu)件71的嵌合部71b 的狀態(tài)下，利用控制桿75A將狹縫部74Ab緊固，能夠迅速并且容易地將 環(huán)狀構(gòu)件74A穩(wěn)定地安裝于流路折曲構(gòu)件71。環(huán)狀構(gòu)件74A的上面及底面(放置于流i M斤曲構(gòu)件71的平板部71a 上的面)被加工為平面，在其上面的狹縫部74Ab的附近，如圖4(B)所 示形成有螺紋部74Ag。另夕卜，在環(huán)狀構(gòu)件74A的大致中間的高度的位置， 形成具有與貫穿孔74Aa連通的第一敞開端的T字形的送風(fēng)路74Ac，在送 風(fēng)路74Ac的第二敞開端形成螺玟部74Ad，送風(fēng)路74Ac的第三敞開端被 止動螺釘79A封堵。在環(huán)狀構(gòu)件74A內(nèi)必需的送風(fēng)路是將內(nèi)側(cè)的貫穿孔 74Aa及側(cè)面的一處連通的送風(fēng)路，然而由于難以加工僅具有2個敞開端的 送風(fēng)路，因此在形成了容易加工的T字形的送風(fēng)路74Ac后，將不需要的 第三敞開端用止動螺釘79A封堵。這樣，連結(jié)機(jī)構(gòu)73A的制造就會變得容 易。另外，如圖4 (B)所示，與環(huán)狀構(gòu)件74A的貫穿孔74Aa連通的送風(fēng) 路74Ac的第一敞開端的距離底面的高度，與設(shè)于流路折曲構(gòu)件71的嵌合 部71b中的開口 71e (與圖3 (B)的送風(fēng)路71c連通)的距離平板部71a 的高度相同。在本例中，在環(huán)狀構(gòu)件74A的貫穿孔74Aa中嵌合了流^4斤 曲構(gòu)件71的嵌合部71b的狀態(tài)下，調(diào)整環(huán)狀構(gòu)件74A相對于流膝肝曲構(gòu) 件71的相對的旋轉(zhuǎn)角，使得送風(fēng)路74Ac的第一敞開端與流路纖曲構(gòu)件71 的開口71e相面對。這樣，能夠?qū)沫h(huán)狀構(gòu)件74A的送風(fēng)路74Ac的螺紋 部74Ad側(cè)供應(yīng)的冷風(fēng)經(jīng)由流5M斤曲構(gòu)件71的送風(fēng)路71c向圖3 (B)的 燈頭部28側(cè)供應(yīng)。另夕卜，形成于環(huán)狀構(gòu)件74A的上面74Af中的螺紋部74Ag和與送風(fēng)路 74Ac連通的螺紋部74Ad，如圖4(A)所示，以將狹縫部74Ab夾入的配 置形成。利用該構(gòu)成，能夠與側(cè)面方向大致平行地向環(huán)狀構(gòu)件74A上連接 電力線纜33D及送風(fēng)用配管35D。另外，第二連結(jié)機(jī)構(gòu)73B與第一連結(jié)機(jī)構(gòu)73A相同，并且具備具有 貫穿孔74Ba的導(dǎo)電性良好的金屬制的環(huán)狀構(gòu)件74B;與之連結(jié)而將狹縫部74Bb緊固的控制桿75B;用于將環(huán)狀構(gòu)件74B內(nèi)的T字形的送風(fēng)路74Bc 的第三敞開端封堵的止動螺釘79B。
另外，本例的電力線纜33D是將細(xì)長的多條導(dǎo)線編成圓筒的網(wǎng)眼狀的 具有柔性的構(gòu)件。電力線纜33D的兩端分別固定有具有形成了開口的平板 部的導(dǎo)電性的第一及第二端子77A、 77B。另外，送風(fēng)用配管35D由軟性 的合成樹脂(例如軟質(zhì)聚氯乙烯、低密度聚乙烯等，以下相同)或合成橡 膠等制成，并且是具有柔性的細(xì)長的圓筒狀的構(gòu)件，在其內(nèi)部吹過冷風(fēng)。 在送風(fēng)用配管35D的兩端，分別以氣密狀態(tài)固定有圓筒狀且在內(nèi)部形成有 送風(fēng)路76Aa等的第一及第二送風(fēng)用端子76A、 76B。在第一送風(fēng)用端子 76A的頭端部，形成有與環(huán)狀構(gòu)件74A的螺紋部74Ad螺合的螺紋部76Ab， 在第二送風(fēng)用端子76B的頭端部也形成有與環(huán)狀構(gòu)件74B的iHX路74Bc 的敞開端的螺紋部螺合的螺紋部。
另外，通過在第一連結(jié)機(jī)構(gòu)73A的環(huán)狀構(gòu)件74A的上面74Af上放置 了第一端子77A的平板部的狀態(tài)下，將螺栓78A穿過該平板部的開口與螺 紋部74Ag螺合，從而將第一端子77A固定于環(huán)狀構(gòu)件74A上。同樣，通 過利用螺栓78B將第二端子77B固定于環(huán)狀構(gòu)件74B上，將第一連結(jié)^ 73A的環(huán)狀構(gòu)件74A與第二連結(jié)機(jī)構(gòu)73B的環(huán)狀構(gòu)件74B以借助電力線 纜33D電導(dǎo)通的狀態(tài)連結(jié)。
另外，第 一送風(fēng)用端子76A的螺紋部76Ab #皮與環(huán)狀構(gòu)件74A的螺紋 部74Ad螺合狀連結(jié)，第二送風(fēng)用端子76B的螺紋部被與環(huán)狀構(gòu)件74B的 未圖示的螺紋部螺合狀連結(jié)。其結(jié)果是，第一連結(jié)機(jī)構(gòu)73A的環(huán)狀構(gòu)件74A 的貫穿孔74Aa與第二連結(jié)機(jī)構(gòu)73B的環(huán)狀構(gòu)件74B的貫穿孔74Ba經(jīng)由 送風(fēng)用配管35D連通。
在圖4 (A)的連結(jié)線纜72中，從圖1的電源32向第二連結(jié)機(jī)構(gòu)73B 的環(huán)狀構(gòu)件74B供應(yīng)的電力，經(jīng)由電力線纜33D及第一連結(jié)機(jī)構(gòu)73A的 環(huán)狀構(gòu)件74A,向圖3 (B)的流5M斤曲構(gòu)件71供應(yīng)。另外，從圖1的送 風(fēng)裝置34A向圖4 (A)的第二連結(jié)機(jī)構(gòu)73B的環(huán)狀構(gòu)件74B內(nèi)的送風(fēng)路 74Bc供應(yīng)的冷風(fēng)，經(jīng)由送風(fēng)用配管35D及第一連結(jié)機(jī)構(gòu)73A的環(huán)狀構(gòu)件 74A內(nèi)的送風(fēng)路74Ac向圖3( B )的流^M斤曲構(gòu)件71的送風(fēng)路71c內(nèi)吹送。
這里，圖4 (A)中，將連結(jié)機(jī)構(gòu)73A、 73B看作連結(jié)線纜72的一部 分，然而通過將連結(jié)機(jī)構(gòu)73A安裝于圖3(A)的放電燈1的流i M斤曲構(gòu)件71上，也可以將連結(jié)機(jī)構(gòu)73A看作放電燈1的一個構(gòu)成構(gòu)件。
另外，也可以從圖4(A)的連結(jié)線纜72中省略第二連結(jié)機(jī)構(gòu)73B。 在該情況下，也可以將電力線纜33D的第二端子77B與圖1的電源32的 端子等直接連接，將送風(fēng)用配管35D的第二送風(fēng)用端子76B與圖1的送風(fēng) 裝置34的送風(fēng)用的配管直接連接。
接著，圖5表示將圖3(B)的放電燈1的流5M斤曲構(gòu)件71與圖1的 電源32及送風(fēng)裝置34用圖4 (A)的連結(jié)線纜72連結(jié)(連接)的狀態(tài)， 該圖5中，在導(dǎo)電性良好的金屬制的安裝構(gòu)件40上，借助利用螺栓44固 定了的端子及電力線纜46連接有電源32。另外，在安裝構(gòu)件40上，利用 螺栓(未圖示)固定有與圖3(B)的流漆纖曲構(gòu)件71大致相同結(jié)構(gòu)的導(dǎo) 電性良好的金屬制的流膝纖曲構(gòu)件47。
流路折曲構(gòu)件47具有固定于安裝構(gòu)件40上的平板部47a;從平板 部47a中向外側(cè)突出的圓柱狀的嵌合部47b,從平板部47a的底面延伸到 嵌合部47b的中間左右的高度的位置后與嵌合部47b的側(cè)面的開口連通地 形成送風(fēng)路47c。從送風(fēng)裝置34經(jīng)由配置于安裝構(gòu)件40的凹部40a及送 風(fēng)路中的配管45向送風(fēng)路47c供應(yīng)冷風(fēng)。
圖5中，為了在放電燈1的流路折曲構(gòu)件71上連接連結(jié)線纜72，向 流路折曲構(gòu)件71的嵌合部71b中嵌合第一連結(jié)機(jī)構(gòu)73A的環(huán)狀構(gòu)件74A 的貫穿孔74Aa，在將圖4 (A)的送風(fēng)路74Ac的第一敞開端與圖3 (B) 的流漆纖曲構(gòu)件71的開口 71e相面對的狀態(tài)下，將圖4(A)的控制桿75A 緊固。
同樣，為了在圖5的電源側(cè)的流路忻曲構(gòu)件47上連接連結(jié)線纜72， 向流路折曲構(gòu)件47的嵌合部47b中嵌合第二連結(jié)機(jī)構(gòu)73B的環(huán)狀構(gòu)件74B 的貫穿孔74Ba,在將圖4(A)的送風(fēng)路74Bc的第一敞開端與圖5的與流 路折曲構(gòu)件47的送風(fēng)路47c連通的開口相面對的狀態(tài)下，將圖4 (A)的 控制桿75B緊固。這樣通過使用連結(jié)線纜72,能夠極為容易并且迅速地將 電源32及送風(fēng)裝置34與放電燈1連接。
圖5中，從電源32經(jīng)由電力線纜46、安裝構(gòu)件40向流路折曲構(gòu)件47 供應(yīng)的電力經(jīng)由連結(jié)線纜72的第二連結(jié)機(jī)構(gòu)73B的環(huán)狀構(gòu)件74B、第二 端子77B、電力線纜33D、第一端子77A及第一連結(jié)機(jī)構(gòu)73A的環(huán)狀構(gòu)件 74A向放電燈1的流5M斤曲構(gòu)件71供應(yīng)。向流路針曲構(gòu)件71供應(yīng)的電力經(jīng)由外罩構(gòu)件50及燈頭部28向玻璃管25內(nèi)的陽極供應(yīng)。
另一方面，從圖5的送風(fēng)裝置34經(jīng)由配管45向流漆忻曲構(gòu)件47內(nèi)的 送風(fēng)路47c供應(yīng)的冷風(fēng)，如箭頭A1、 A2、 A3、 A4所示，經(jīng)由第二連結(jié)機(jī) 構(gòu)73B的環(huán)狀構(gòu)件74B內(nèi)的送風(fēng)路74Bc、第二送風(fēng)用端子76B、送風(fēng)用 配管35D、第一送風(fēng)用端子76A及第一連結(jié)機(jī)構(gòu)73A的環(huán)狀構(gòu)件74A內(nèi) 的送風(fēng)路74Ac，向流^M斤曲構(gòu)件71內(nèi)的送風(fēng)路71c吹送。此后，向送風(fēng) 路71c供應(yīng)的冷風(fēng)，如箭頭A5、 A6、 A7所示，穿過外罩構(gòu)件50的開口 50b、槽部28e、缺口部28d、燈頭部28的槽部28b及棒狀部25c與外罩 構(gòu)件50的圃筒部50c的頭端部之間的空間，向玻璃管25的燈泡部25a(參 照圖2(A))側(cè)吹送。這樣，能夠有效地冷卻燈頭部28及玻璃管25。
另外，圖5中，例如在為了進(jìn)行放電燈l的維護(hù)，將連結(jié)線纜72與放 電燈l分離的情況下，只要松開圖4 (A)的控制桿75A，將第一連結(jié)機(jī)構(gòu) 73A的環(huán)狀構(gòu)件74A從流路折曲構(gòu)件71的嵌合部71b中卸下即可。同樣， 為了將連結(jié)線纜72與圖5的電源32及iHX裝置34分離，只要木>開圖4( A) 的控制桿75B而將第二連結(jié)機(jī)構(gòu)73B的環(huán)狀構(gòu)件74B從流路折曲構(gòu)件47 的嵌合部47b中卸下即可。這樣通過使用連結(jié)線纜72，能夠極為容易并且 迅速地將電源32及iHX裝置34與放電燈1分離。
本實(shí)施方式的曝光光源30及曝光裝置的作用效果如下所示。
(1) 在圖3 (B)的放電燈l的流i M斤曲構(gòu)件71上連結(jié)了圖4 (A) 的第一連結(jié)機(jī)構(gòu)73A (環(huán)狀構(gòu)件74A)的狀態(tài)的燈具備連結(jié)于玻璃管25 的燈頭部28;(借助流路折曲構(gòu)件71)安裝于該燈頭部28而由導(dǎo)電性材料 形成的環(huán)狀構(gòu)件74A;固定于環(huán)狀構(gòu)件74A而可以經(jīng)由環(huán)狀構(gòu)件74A向燈 頭部28供應(yīng)用于放電的電力的電力線纜33D; i更于環(huán)狀構(gòu)件74A而用于 向燈頭部28供應(yīng)冷風(fēng)的送風(fēng)路74Ac;固定于環(huán)狀構(gòu)件74A而可以經(jīng)由送 風(fēng)路74Ac向燈頭部28供應(yīng)冷風(fēng)的送風(fēng)用配管35D。
因此，用于放電的電力經(jīng)由電力線纜33D、環(huán)狀構(gòu)件74A及燈頭部28 向用于放電的電極供應(yīng)，冷風(fēng)經(jīng)由送風(fēng)用配管35D及環(huán)狀構(gòu)件74A內(nèi)的送 風(fēng)路74Ac向燈頭部28供應(yīng)。這樣，能夠有效地冷卻燈頭部28。
(2) 另夕卜，圖4 (A)的環(huán)狀構(gòu)件74A具有連接電力線纜33D的上 面74Af (第一端子部)；連接送風(fēng)用配管35D并且形成有與送風(fēng)路74Ac 連通的開口的螺紋部74Ad (第二端子部)。因此，能夠很容易地連接電力線纜33D及送風(fēng)用配管35D。(3) 另外，如圖5所示，燈頭部28與玻璃管25的長度方向L側(cè)連 結(jié)，環(huán)狀構(gòu)件74A的螺紋部74Ad (參照圖4 (B))被朝向與長度方向L 正交的方向(也可以是交叉的方向)而安裝于環(huán)狀構(gòu)件74A。因此，由于 能夠?qū)D4 (A)的送風(fēng)用配管35D沿與該長度方向L正交的方向連結(jié)在 該環(huán)狀構(gòu)件74A (第一連結(jié)機(jī)構(gòu)73A)上，因此能夠?qū)⑺惋L(fēng)用配管35D遠(yuǎn) 離圖1的橢圓鏡2的第二焦點(diǎn)P2地配置。因此，由于能夠減少由送風(fēng)用 配管35D (連結(jié)線纜72)造成的對來自放電燈l的光的遮光量，因此光的 利用效率提高，并且曝光光源30的發(fā)熱量變少。另外，在本例中，由于電力線纜33D與送風(fēng)用配管35D大致平行地與 環(huán)狀構(gòu)件74A連結(jié)，因此也能夠?qū)㈦娏€纜33D遠(yuǎn)離橢圓鏡2的第二焦點(diǎn) P2地配置。所以，能夠進(jìn)一步減少來自放電燈l的光的遮光量。(4) 另外，圖4 (A)的環(huán)狀構(gòu)件74A的螺紋部74Ad與送風(fēng)用配管 35D的第一送風(fēng)用端子76A的螺紋部76Ab卡合。因此，能夠?qū)lLX用配 管35D利用螺紋的螺合迅速并且穩(wěn)定地連結(jié)于環(huán)狀構(gòu)件74A。(5) 另外，環(huán)狀構(gòu)件74A的上面74Af是形成了用于將電力線纜33D 的第一端子77A螺旋緊固的螺紋部74Ag的平坦部。因此，能夠?qū)㈦娏€ 纜33D迅速并且穩(wěn)定地連結(jié)于環(huán)狀構(gòu)件74A。(6) 另外，在本例中，在圖3 (A)的燈頭部28上經(jīng)由外罩構(gòu)件50 設(shè)有具有嵌合部71b的流路折曲構(gòu)件71，圖4 (A)的環(huán)狀構(gòu)件74A具有 與嵌合部71b嵌合(卡合)的貫穿孔74Aa;橫切該貫穿孔74Aa地設(shè)置的 狹縫部74Ab，具備在將貫穿孔74Aa嵌合在嵌合部71b中的狀態(tài)下將狹縫 部74Ab緊固的控制桿75A。因此，通過將控制桿75A緊固或;^開，能夠 很容易地并且在短時間內(nèi)進(jìn)行環(huán)狀構(gòu)件74A相對于流路折曲構(gòu)件71的拆 裝。(7) 另外，環(huán)狀構(gòu)件74A的送風(fēng)路74Ac在外罩構(gòu)件50和燈頭部28 之間連通。因此，能夠有效地冷卻燈頭部28。(8) 另外，在本例中，經(jīng)由圖3 (B)的外罩構(gòu)件50與燈頭部28之 間向玻璃管25側(cè)供應(yīng)冷風(fēng)。這樣通過將冷卻了燈頭部28的空氣向玻璃管 25側(cè)供應(yīng)，能夠?qū)⒉ＡЧ?5也冷卻。就此而言，通過將外罩構(gòu)件50的圓 筒部50c的頭端部50ca延伸得比燈頭部28還長，能夠提高對玻璃管25的冷卻效果。但是，例如在送風(fēng)量很多之類的情況下，不一定需要將頭端部
50ca延伸得比燈頭部28還長。
而且，也可以取代冷風(fēng)(或其他的氣體)而使用已被冷卻的液體(純 水、氟系惰性液體等)。在該情況下，也可以^L置用于將流過燈頭部28的 表面的液體回收而再次冷卻以^使向送風(fēng)用配管35D (該情況下為液體供應(yīng) 用的配管)供應(yīng)的回ijti洛。
(9) 另外，在圖3 (B)的外罩構(gòu)件50與燈頭部28之間的、燈頭部 28的軸部28a的表面以螺旋狀形成有作為送風(fēng)路的槽部28b。這樣通過以 螺旋狀向燈頭部28的表面送風(fēng)，能夠提高燈頭部28的冷卻效率。
這里，也可以不是l象這樣在燈頭部28的軸部28a側(cè):&置槽部28b,而 是在外罩構(gòu)件50的圓筒部50c的與軸部28a相面對的區(qū)域形成螺旋狀的槽 部。利用該構(gòu)成也可以提高燈頭部28的冷卻效率。
(10) 另外，在圖3 (B)的燈頭部28的上端設(shè)有裝載部28c，螺旋 狀的槽部28b與設(shè)于裝載部28c的側(cè)面的槽部28e連通。因此，能夠在該 裝載部28c上設(shè)置外罩構(gòu)件50及流5M斤曲構(gòu)件71、環(huán)狀構(gòu)件74A等，并 且能夠?qū)碜原h(huán)狀構(gòu)件74A的送風(fēng)路74Ac及流路忻曲構(gòu)件71的送風(fēng)路 71c的冷風(fēng)經(jīng)由外罩構(gòu)件50的開口 50b及該槽部28e導(dǎo)向燈頭部28的側(cè) 面的槽部28b。
(11) 另外，圖4 (A)的連結(jié)線纜72是用于將使用冷風(fēng)及電力的放 電燈1與送風(fēng)裝置34及電源32連結(jié)的連接用線纜，并且具備環(huán)狀構(gòu)件 74A,其由導(dǎo)電性材料制成，能夠在放電燈1 (流路折曲構(gòu)件71)上拆裝； 送風(fēng)用配管35D,其一端固定于環(huán)狀構(gòu)件74A，并且由柔性材料制成，具 有該冷風(fēng)的送風(fēng)路；電力線纜33D,其與送風(fēng)用配管35D分開地設(shè)置，一 端固定于環(huán)狀構(gòu)件74A，并且由具有導(dǎo)電性的柔性材料制成。
利用該連結(jié)線纜72 ，能夠?qū)碜噪娫?2的電力經(jīng)由電力線纜33D及 環(huán)狀構(gòu)件74A向放電燈1側(cè)供應(yīng)，將來自送風(fēng)裝置34的冷風(fēng)經(jīng)由送風(fēng)用 配管35D及環(huán)狀構(gòu)件74A (送風(fēng)路74Ac)向放電燈1供應(yīng)。因此，能夠 經(jīng)由一個環(huán)狀構(gòu)件74A將電力和冷風(fēng)很容易地向放電燈1供應(yīng)。
(12) 另外，由于電力線纜33D是將多條導(dǎo)線以網(wǎng)眼狀編成的構(gòu)件， 因此能夠4艮容易地同時實(shí)現(xiàn)柔性和導(dǎo)電性兩方面。
而且，也可以將電力線纜33D的外側(cè)用具有柔性的絕緣材料覆蓋。另外，作為電力線纜33D,也可以使用由通常的絕緣材料覆蓋了的引線等。(13 )另外，環(huán)狀構(gòu)件74A具有連接電力線纜33D的上面74Af; 連接送風(fēng)用配管35D并且在內(nèi)部形成有冷風(fēng)的送風(fēng)路74Ac的螺紋部 74Ad。因此，能夠?qū)㈦娏€纜33D及送風(fēng)用配管35D很容易地連接于環(huán) 狀構(gòu)件74A。(14) 另外，環(huán)狀構(gòu)件74A是在中央部形成了貫穿孔74Aa的圓板狀 構(gòu)件，在該圓板狀構(gòu)件的側(cè)面形成有送風(fēng)用配管35D所連結(jié)的螺紋部 74Ad。因此，由于在將環(huán)狀構(gòu)件74A安裝于放電燈1上的情況下，能夠沿 與放電燈1的長度方向L (參照圖2 (A))正交的方向，即沿著遠(yuǎn)離圖1 的橢圓鏡2的第二焦點(diǎn)P2的方向連結(jié)送風(fēng)用配管35D,因此能夠減少由 送風(fēng)用配管35D造成的對來自放電燈1的光的遮光量。(15) 另外，送風(fēng)用配管35D的一端固定有形成了螺紋部76A的空心 的第一送風(fēng)用端子76A,環(huán)狀構(gòu)件74A的螺紋部74Ad與第一送風(fēng)用端子 76A的螺玟部76Ab螺合。因此，能夠經(jīng)由第一送風(fēng)用端子76A將送風(fēng)用 配管35D ^艮容易地連結(jié)于環(huán)狀構(gòu)件74A。(16) 另外，電力線纜33D的一端固定有包含形成了開口的平板部的 第一端子77A，環(huán)狀構(gòu)件74A的上面74Af是形成用于將該第一端子77A 的平板部螺旋緊固的螺紋部74Ag的平坦部。因此，能夠經(jīng)由該平板部將 電力線纜33D 4艮容易并且穩(wěn)定地固定于該上面74Af。(17) 另外，本例的膝光光源30是與圖5的電源32和送風(fēng)裝置34連 接的裝置，如圖5所示，具備放電燈l,其具有收納了用于放電的電極 的玻璃管25、與玻璃管25連結(jié)的燈頭部28;和連結(jié)線纜72,連結(jié)線纜72 的環(huán)狀構(gòu)件74A安裝于放電燈1的燈頭部28，并且在環(huán)狀構(gòu)件74A上形 成有冷風(fēng)用的送風(fēng)路74Ac，經(jīng)由連結(jié)線纜72的電力線纜33D及環(huán)狀構(gòu)件 74A，從電源32向燈頭部28供應(yīng)電力，經(jīng)由連結(jié)線纜72的送風(fēng)用配管35D 及環(huán)狀構(gòu)件74A從送風(fēng)裝置34向燈頭部28供應(yīng)冷風(fēng)。因此，來自電源32的電力朝L從該燈頭部28向玻璃管25內(nèi)的用于放電 的電極供應(yīng)，來自送風(fēng)裝置34的冷風(fēng)被向燈頭部28供應(yīng)。因此，對燈頭 部28的冷卻作用4艮大。另外，冷風(fēng)在燈頭部28的附近穿過i殳于環(huán)狀構(gòu)件 74A上的送風(fēng)路74Ac。因此，在1象本例那樣燈頭部28處于自由端側(cè)的情 況下，由冷風(fēng)供應(yīng)用的配管等造成的對M電燈1中產(chǎn)生的光的遮光量變少，光的利用效率高，并且曝光光源30的溫度上升也^^少。
(18)另外，本例的曝光裝置是利用從放電燈l中產(chǎn)生的曝光光在 晶片W (感光基板)上將母版R的圖案曝光的曝光裝置，作為曝光光 源使用本例的曝光裝置30。因此，來自放電燈l的光的遮光量變少，能 夠提高曝光光的照度而提高曝光工序的生產(chǎn)率。另外，由于可以將放電 燈l有效地冷卻，減少熱變形，因此能夠提高成像特性等。
另外，在上述的實(shí)施方式中，如圖3(B)所示，在燈頭部28與外 罩構(gòu)件50之間形成有螺旋狀的槽部28b。但是也可以如圖6所示使用 在圓筒狀的軸部28e中未形成槽部等的燈頭部28A。圖6的構(gòu)成中，流 路折曲構(gòu)件71的送風(fēng)路71c內(nèi)的空氣，經(jīng)由設(shè)于燈頭部28A的裝載部 28c的一部分的槽部28e向軸部28a與外罩構(gòu)件50的圓筒部50c之間的 空間供應(yīng)，原樣不動地經(jīng)過軸部28a的表面流向棒狀部25c側(cè)。
另外，上述的實(shí)施方式的投影曝光裝置(曝光裝置)，能夠通過將 由曝光光源、多個透鏡等構(gòu)成的照明光學(xué)系統(tǒng)及投影光學(xué)系統(tǒng)裝入曝光 裝置主體而進(jìn)行光學(xué)調(diào)整，將由多個機(jī)械部件構(gòu)成的母版載臺或晶片載 臺安裝在曝光裝置主體上而連接配線或配管，繼而進(jìn)行綜合調(diào)整(電氣 調(diào)整、動作確認(rèn)等)來制造。這里，該投影曝光裝置的制造最好在控制 了溫度及潔凈度等的無塵室中進(jìn)行。
另外，半導(dǎo)體設(shè)備等微型設(shè)備可以經(jīng)過進(jìn)行微型設(shè)備的功能、性 能設(shè)計的步驟；制作基于該設(shè)計步驟的掩模(母版)的步驟；制造作為 設(shè)備的基材的基板的步驟；基板處理步驟，其包括利用所述的實(shí)施方式 的投影曝光裝置將母版的圖案在基板(晶片等)上曝光的工序、將曝光 了的基板顯影的工序、顯影了的基板的加熱(老化)及蝕刻工序等；設(shè) 備組裝步驟(包括切片工序、接合工序、封裝工序)；以及檢查步驟等 而制造。
這里，本發(fā)明的光源裝置除了上述的分步重復(fù)方式的投影曝光裝置(步 進(jìn)機(jī)等)以外，還可以適用于分步掃描方式的掃描曝光型的投影膝光裝置 (掃描步進(jìn)裝置等)的曝光光源中。另外，本發(fā)明的光源裝置還可以適用 于國際公開第99/49504號小冊子、國際公開第2004/019128號小冊子等中 所公開的液浸型曝光裝置的曝光光源中。另外，本發(fā)明的光源裝置還可以適用于不使用投影光學(xué)系統(tǒng)的近接(proximity)方式或接觸方式的曝光裝 置的光源裝置或曝光裝置以外的機(jī)器的光源中。這里，在上述的實(shí)施方式中，雖然使用了形成有轉(zhuǎn)印用的圖案的母版 (掩模)，然而也可以取代該母版，例如像美國專利第6， 778， 257號說明 書中所公開的那樣，使用基于應(yīng)當(dāng)曝光圖案的電子數(shù)據(jù)形成透過圖案或反 射圖案的電子掩模。另外，本發(fā)明并不限于半導(dǎo)體設(shè)備制造用的曝光裝置，還可以適用于 在包括液晶顯示元件或等離子體顯示器等顯示器的制造中所用的將設(shè)備 圖案向玻璃平板上轉(zhuǎn)印的曝光裝置；將薄膜磁頭的制造中所用的設(shè)備圖案 向陶瓷晶片上轉(zhuǎn)印的曝光裝置；以及在拍攝元件(CCD等)、有機(jī)EL、微 型機(jī)器、MEMS (Microelectromechanical Systems)及DNA芯片等的制 造中所用的曝光裝置等中。另外，不僅是半導(dǎo)體元件等微型設(shè)備，為了制 造在光曝光裝置及EUV曝光裝置等中使用的掩模，也可以將本發(fā)明應(yīng)用 于向玻璃基板或硅晶片等轉(zhuǎn)印電路圖案的曝光裝置中。另外，上述的實(shí)施方式的圖4 (A)的連結(jié)線纜72也可以用于將曝光 裝置以外的使用電力及冷風(fēng)的機(jī)器與圖5的電源32及送風(fēng)裝置34連結(jié)的 情況中。如此所述，本發(fā)明并不限定于上述的實(shí)施方式，可以在不脫離本發(fā)明 的主旨的范圍中采取各種的構(gòu)成。另外，包拾沈明書、技術(shù)方案的范圍、 附圖及摘要在內(nèi)的2007年4月12日提出的美國臨時申請第60/卯7， 654 號的所有的公開內(nèi)容全都^Uf、樣地引用而加入本申請中。
權(quán)利要求
1. 一種放電燈，其在玻璃構(gòu)件的內(nèi)部收納有用于放電的電極，其特征在于，所述放電燈具備連結(jié)于所述玻璃構(gòu)件的燈頭構(gòu)件；安裝于所述燈頭構(gòu)件而由導(dǎo)電性材料形成的中繼構(gòu)件；固定于所述中繼構(gòu)件而能夠經(jīng)由所述中繼構(gòu)件向所述燈頭構(gòu)件供應(yīng)用于放電的電力的第一線纜；設(shè)于所述中繼構(gòu)件而用于向所述燈頭構(gòu)件供應(yīng)冷卻用介質(zhì)的流路；固定于所述中繼構(gòu)件而能夠經(jīng)由所述流路向所述燈頭構(gòu)件供應(yīng)冷卻用介質(zhì)的第二線纜。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的放電燈，其特征在于，所述中繼構(gòu)件具有連接所述第一線纜的第一端子部；連接所述第 二線纜并且形成與所述流路連通的開口的第二端子部。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的放電燈，其特征在于，所述燈頭構(gòu)件在所述玻璃構(gòu)件的第一方向側(cè)連結(jié)，所述第二端子部被朝向與所述第一方向交叉的方向而安裝在所述 中繼構(gòu)件上。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的放電燈，其特征在于， 在所述第二端子部形成與所述第二線纜的端部卡合的螺紋部。
5. 根據(jù)權(quán)利要求2至4中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，所述中繼構(gòu)件的所述第一端子部是形成用于將所述第一線纜的端 部螺旋緊固的螺紋部的平坦部。
6. 根據(jù)權(quán)利要求2至5中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于，所述燈頭構(gòu)件具有突部，所述中繼構(gòu)件具有與所述突部卡合的開口部、狹縫部，所述放電燈還具備控制桿構(gòu)件，其在將所述中繼構(gòu)件的開口部與所 述燈頭構(gòu)件的所述突部嵌合的狀態(tài)下，將所述狹縫部緊固。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1至6中任意一項(xiàng)所述的放電燈，其特征在于， 所述中繼構(gòu)件具有將所述燈頭構(gòu)件的至少一部分覆蓋的圓筒部， 所述流路在所述圓筒部和所述燈頭構(gòu)件之間連通。
8. 根據(jù)權(quán)利要求7所述的放電燈，其特征在于， 所述冷卻用介質(zhì)是已被冷卻的氣體，經(jīng)由所述圓筒部與所述燈頭構(gòu)件之間向所述玻璃構(gòu)件側(cè)供應(yīng)所述 已被冷卻的氣體。
9. 根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的放電燈，其特征在于，在所述中繼構(gòu)件所具有的所述圓筒部與所述燈頭構(gòu)件之間，以螺旋 狀形成所述流路。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的放電燈，其特征在于， 在所述燈頭構(gòu)件的表面形成所述螺旋狀的槽部。
11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述的放電燈，其特征在于，所述螺旋狀的槽部與設(shè)于所述燈頭構(gòu)件的所述突部的側(cè)面的缺口 部連通。
12. —種連接用線纜，其用于將使用冷卻用介質(zhì)及電力的裝置與所 述冷卻用介質(zhì)的供應(yīng)源及電源連結(jié)，其特征在于，所述連接用線纜具備中繼構(gòu)件，其由導(dǎo)電性材料形成，并且能夠在使用所述冷卻用介質(zhì) 及電力的裝置上拆裝；管狀構(gòu)件，其一端固定于所述中繼構(gòu)件，并且由柔性材料形成，具有所述冷卻用介質(zhì)的流路；導(dǎo)電構(gòu)件，其與所述管狀構(gòu)件分開設(shè)置， 一端固定于所述中繼構(gòu)件 并且由具有導(dǎo)電性的柔性材料形成。
13. 根據(jù)權(quán)利要求12所述的連接用線纜，其特征在于， 所述導(dǎo)電構(gòu)件是將多條導(dǎo)線以網(wǎng)眼狀編成的構(gòu)件。
14. 根據(jù)權(quán)利要求12或13所述的連接用線纜，其特征在于，所述中繼構(gòu)件具有連接所述導(dǎo)電構(gòu)件的第一端子部；連接所述管 狀構(gòu)件并且在內(nèi)部形成所述冷卻用介質(zhì)的流路的第二端子部。
15. 根據(jù)權(quán)利要求14所述的連接用線纜，其特征在于，所述中繼構(gòu)件是在中央部形成開口的圓板狀構(gòu)件，在所述圓板狀構(gòu) 件的側(cè)面形成所述第二端子部。
16. 根據(jù)權(quán)利要求14或15所述的連接用線纜，其特征在于， 在所述管狀構(gòu)件的一端固定形成有螺紋部的空心的端子構(gòu)件， 在所述第二端子部形成與所述端子構(gòu)件卡合的螺紋部。
17. 根據(jù)權(quán)利要求14至16中任意一項(xiàng)所述的連接用線纜，其特征 在于，在所述導(dǎo)電材料的一端固定包含形成有開口的平板部的端子部，所述中繼構(gòu)件的所述第一端子部是形成有用于將所述平板部螺旋 緊固的螺紋部的平坦部。
18. 根據(jù)權(quán)利要求15所述的連接用線纜，其特征在于，所述中繼構(gòu)件還具備設(shè)于所述開口的一部分中的狹縫部；調(diào)整所述 狹縫部的緊固力的控制桿構(gòu)件。
19. 一種光源裝置，其與電源和冷卻用介質(zhì)的供應(yīng)源連接，其特征 在于，所述光源裝置具備放電燈，其具有收納有用于放電的電極的玻璃構(gòu)件；連結(jié)于所述玻 璃構(gòu)件的燈頭構(gòu)件；權(quán)利要求12至18中任意一項(xiàng)所述的連接用線纜，所述連接用線纜的所述中繼構(gòu)件安裝于所述放電燈的燈頭構(gòu)件，并 且在所述中繼構(gòu)件中形成有所述冷卻用介質(zhì)的流路，經(jīng)由所述連接用線纜的所述導(dǎo)電構(gòu)件及所述中繼構(gòu)件從所述電源 向所述燈頭構(gòu)件供應(yīng)電力，源向所述燈頭構(gòu)件供應(yīng)所述冷卻用介質(zhì)。
20. —種曝光裝置，其利用從光源裝置中產(chǎn)生的i 上將圖案曝光，其特征在于，所述光源裝置使用權(quán)利要求19所述的光源裝置。.光光在感光基板
全文摘要
本發(fā)明提供一種對放電燈的燈頭構(gòu)件的冷卻作用大的光源裝置。其具備放電燈，其具有收納有用于放電的電極的玻璃管(25)和連結(jié)于玻璃管(25)的燈頭部(28)；連結(jié)線纜(72)，連結(jié)線纜(72)的環(huán)狀構(gòu)件(74A)安裝于放電燈的燈頭部(28)，并且在環(huán)狀構(gòu)件(74A)中形成冷風(fēng)用的送風(fēng)路(74Ac)，經(jīng)由連結(jié)線纜(72)的電力線纜(33D)及環(huán)狀構(gòu)件(74A)從電源(32)向燈頭部(28)供應(yīng)電力，經(jīng)由連結(jié)線纜(72)的送風(fēng)用配管(35D)及環(huán)狀構(gòu)件(74A)從送風(fēng)裝置(34)向燈頭部(28)供應(yīng)冷風(fēng)。
文檔編號F21V29/00GK101548133SQ200880000918
公開日2009年9月30日 申請日期2008年4月3日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月12日
發(fā)明者菊池孝幸 申請人:株式會社尼康