專利名稱：分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于平板顯示技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平板場致發(fā)射顯示器的器件制作，具體涉及到碳納米管陰極的平板場致發(fā)射顯示器的器件制作方面的內(nèi)容，特別涉及一種分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
背景技術(shù)：
碳納米管場致發(fā)射顯示器是結(jié)合了傳統(tǒng)陰極射線管顯示器的高圖像質(zhì)量特點的、利用碳納米管陰極場致電子發(fā)射原理而研制的新型平面顯示技術(shù)。這種顯示器具有自主發(fā)光的特型，不需要背光源，而且在較低的工作電壓下就能夠產(chǎn)生與陰極射線管顯示器相近的高亮度，其工作溫度范圍比較廣，具有較佳的耐環(huán)境性能，因此早就引起了眾多科研人員的高度關(guān)注。碳納米管是一種呈現(xiàn)小管狀的石墨層結(jié)構(gòu)物質(zhì)，具有小的尖端曲率半徑，能夠在外加電場強(qiáng)度作用下發(fā)射電子，是一種性能相當(dāng)優(yōu)秀的場致發(fā)射冷陰極材料。
在目前的三極結(jié)構(gòu)場致發(fā)射平板顯示器件當(dāng)中，盡管器件結(jié)構(gòu)各不相同，其柵極結(jié)構(gòu)的控制模式也多種多樣，但實質(zhì)上柵極結(jié)構(gòu)的基本功能沒有發(fā)生變化，即通過減小柵極結(jié)構(gòu)和碳納米管陰極結(jié)構(gòu)之間的距離，使得較小的柵極電壓就能夠在碳納米管陰極頂端形成足夠大的電場強(qiáng)度，進(jìn)行電子發(fā)射，從而降低了器件的工作電壓。但是在目前的顯示器件當(dāng)中，大多數(shù)的顯示器件都采用了柵極結(jié)構(gòu)位于碳納米管陰極結(jié)構(gòu)上方的控制模式，其制作工藝較簡單，柵極的控制功能較顯著，但是隨之附帶的就是柵極電壓居高不下，柵極電流過于偏大等不利之處，還需要進(jìn)一步的改進(jìn)。碳納米管陰極對整體器件的影響也不容忽視，更多的碳納米管陰極進(jìn)行電子發(fā)射則有利于提高器件的顯示亮度，而碳納米管陰極形狀的變化，會對陰極頂端的電場強(qiáng)度的形成具有決定性的影響作用，從這一方面也可以進(jìn)行間接的降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓。因此，在實際器件的設(shè)計和制作過程中，如何將各種影響因素綜合到一起，究竟采用何種控制結(jié)構(gòu)模式，進(jìn)行高質(zhì)量的器件制作，都需要認(rèn)真地思考和加以解決。
此外，在三極結(jié)構(gòu)的平板場致發(fā)射顯示器件中，在確保柵極結(jié)構(gòu)對碳納米管陰極具有良好控制作用前提下，還需降低總體器件成本，進(jìn)行穩(wěn)定可靠、成本低廉、性能優(yōu)良、高質(zhì)量的器件制作。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于克服上述平板顯示器件中存在的缺點和不足而提供一種成本低廉、制作過程穩(wěn)定可靠、制作成功率高、結(jié)構(gòu)簡單的分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝。
本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上有柵極引線層、碳納米管以及分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)。
所述的分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極增高層；柵極增高層的上下表面均為平面，其下表面要覆蓋住柵極引線層以及空余的絕緣層部分；柵極增高層中存在圓型孔，即圓型孔在柵極增高層上表面所形成的截面為一個中空的圓盤面，圓型孔的內(nèi)側(cè)壁是垂直于陰極玻璃面板的圓筒面；柵極增高層中圓型孔的底部暴露柵極引線層；柵極增高層中圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上面的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極一層；調(diào)控柵極一層呈現(xiàn)圓筒面狀依附于圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上，并且和底部柵極引線層相互連通；柵極增高層圓型孔中印刷的絕緣漿料層形成附加?xùn)艠O增高層；附加?xùn)艠O增高層的底部完全覆蓋柵極引線層，下部分填充滿柵極增高層的圓型孔，上部分呈現(xiàn)三角圓錐型形狀，位于柵極增高層圓型孔的中央位置；附加?xùn)艠O增高層上面三角圓錐型形狀側(cè)面上刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極二層；調(diào)控柵極二層和調(diào)控柵極一層相互連通；柵極增高層上面印刷絕緣漿料層形成隔離一層；調(diào)控柵極一層和調(diào)控柵極二層上面印刷的絕緣漿料層形成隔離二層；隔離一層和隔離二層的上表面是平齊的，是連接在一起的，且均為平面；隔離二層上表面上存在方形孔，即方形孔縱向截面為方形，環(huán)繞在調(diào)控柵極一層的內(nèi)部，呈現(xiàn)一個圓環(huán)型形狀，方形孔的內(nèi)側(cè)壁也垂直于陰極玻璃面板；方形孔的底部上面的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層上面的印刷的銀漿層形成陰極增高層；陰極增高層位于陰極過渡層的中央位置，呈現(xiàn)圓環(huán)型形狀環(huán)繞在陰極過渡層的上方，其圓環(huán)中心位置與陰極過渡層的圓環(huán)中心位置相重合，將陰極過渡層劃分為內(nèi)外兩個圓環(huán)部分；陰極過渡層表面上的以及陰極增高層表面上刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；隔離一層上面刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層和陰極過渡層、陰極導(dǎo)電層都是相互連通的；陰極引線層上面印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；調(diào)控柵極一層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、銅；調(diào)控柵極二層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向相互垂直；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳。
一種分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板的制作對整體平板玻璃劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)柵極引線層的制作在絕緣層上制出一個金屬層，刻蝕形成柵極引線層；4)柵極增高層的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極增高層；5)調(diào)控柵極一層的制作在柵極增高層圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成調(diào)控柵極一層；6)附加?xùn)艠O增高層的制作在柵極增高層圓型孔中印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成附加?xùn)艠O增高層；7)調(diào)控柵極二層的制作在附加?xùn)艠O增高層上面三角圓錐型形狀側(cè)面上制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成調(diào)控柵極二層；8)隔離一層的制作在柵極增高層上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離一層；9)隔離二層的制作在調(diào)控柵極一層和調(diào)控柵極二層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離二層；10)陰極過渡層的制作在方形孔的底部上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極過渡層；11)陰極增高層的制作在陰極過渡層的上面印刷銀漿層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極增高層；12)陰極導(dǎo)電層的制作在陰極過渡層表面上以及陰極增高層表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；13)陰極引線層的制作在隔離一層上制出金屬層，刻蝕形成陰極引線層；14)陰極覆蓋層的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；15)分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；16)碳納米管的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；17)陽極玻璃面板的制作對整體平板玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；18)陽極導(dǎo)電層[17]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；19)絕緣漿料層[18]的制作在陽極導(dǎo)電層非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；20)熒光粉層[19]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；21)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)和四周玻璃圍框裝配到一起，并將消氣劑放入到空腔當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定；22)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟19具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟20具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟22具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
本發(fā)明具有如下的積極效果首先，在所述的分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)中，將碳納米管陰極制作在了呈現(xiàn)倒T型陰極導(dǎo)電層的表面上。這樣充分利用了碳納米管陰極中的邊緣位置能夠發(fā)射大量電子的特有現(xiàn)象，提高了碳納米管陰極的電子發(fā)射效率；增大了碳納米管陰極的電子發(fā)射面積，使得更多的碳納米管陰極都能夠發(fā)射出大量的電子，有助于提高整體器件的顯示亮度；由于碳納米管陰極和調(diào)控柵極層之間可以盡可能的接近，也就縮短了二者之間的距離，可以降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓。
其次，在所述分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)中，將柵極結(jié)構(gòu)制在碳納米管陰極結(jié)構(gòu)的側(cè)面和下方?？梢猿浞纸Y(jié)合底柵和側(cè)柵結(jié)構(gòu)各自優(yōu)點，進(jìn)行高質(zhì)量的器件制作；由于柵極結(jié)構(gòu)位于碳納米管陰極的旁側(cè)和下端，因此從碳納米管陰極所發(fā)射的電子不會受到柵極結(jié)構(gòu)的截留，極大地減小了柵極電流。當(dāng)在調(diào)控柵極層上施加適當(dāng)電壓以后，就會在碳納米管陰極表面頂端形成強(qiáng)大的電場強(qiáng)度，迫使碳納米管發(fā)射出大量電子，從而也會體現(xiàn)出柵極結(jié)構(gòu)的強(qiáng)大控制功能。
此外，在分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)中，并沒采用特殊的結(jié)構(gòu)制作材料，也沒采用特殊的器件制作工藝，這就降低了整體平板顯示器件制作成本，簡化了器件的制作過程，能夠進(jìn)行大面積的器件制作，有利于進(jìn)行商業(yè)化的大規(guī)模生產(chǎn)。


圖1給出了分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；圖2給出了分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；圖3給出了分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)發(fā)射結(jié)構(gòu)的平面顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進(jìn)一步說明，但并不局限于這些實施例。
所述的分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[16]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[21]所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層[17]以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[19]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[20]及消氣劑附屬元件[22]；在陰極玻璃面板上有柵極引線層[3]、碳納米管[15]以及分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)。
所述的分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)包括陰極玻璃面板[1]、絕緣層[2]、柵極引線層[3]、柵極增高層[4]、調(diào)控柵極一層[5]、附加?xùn)艠O增高層[6]、調(diào)控柵極二層[7]、隔離一層[8]、隔離二層[9]、陰極過渡層[10]、陰極增高層[11]、陰極導(dǎo)電層[12]、陰極引線層[13]、陰極覆蓋層[14]和碳納米管[15]部分。
所述的分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，如鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面的印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面的刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成柵極增高層；柵極增高層的上下表面均為平面，其下表面要覆蓋住柵極引線層以及空余的絕緣層部分；柵極增高層中存在圓型孔，即圓型孔在柵極增高層上表面所形成的截面為一個中空的圓盤面，圓型孔的內(nèi)側(cè)壁是垂直于陰極玻璃面板的圓筒面；柵極增高層中圓型孔的底部要暴露出柵極引線層；柵極增高層中圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上面的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極一層；調(diào)控柵極一層呈現(xiàn)圓筒面狀依附于圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上，并且和底部的柵極引線層是相互連通的；柵極增高層圓型孔中印刷的絕緣漿料層形成附加?xùn)艠O增高層；附加?xùn)艠O增高層的底部要完全覆蓋住柵極引線層，下部分要填充滿柵極增高層的圓型孔，上部分呈現(xiàn)三角圓錐型形狀，位于柵極增高層圓型孔的中央位置；附加?xùn)艠O增高層上面三角圓錐型形狀側(cè)面上的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極二層；調(diào)控柵極二層和調(diào)控柵極一層是相互連通的；柵極增高層上面的印刷的絕緣漿料層形成隔離一層；調(diào)控柵極一層和調(diào)控柵極二層上面的印刷的絕緣漿料層形成隔離二層；隔離一層和隔離二層的上表面是平齊的，是連接在一起的，且均為平面；隔離二層上表面上存在方形孔，即方形孔的縱向截面為方形，環(huán)繞在調(diào)控柵極一層的內(nèi)部，呈現(xiàn)一個圓環(huán)型形狀，方形孔的內(nèi)側(cè)壁也是垂直于陰極玻璃面板的；方形孔的底部上面的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層上面的印刷的銀漿層形成陰極增高層；陰極增高層位于陰極過渡層的中央位置，呈現(xiàn)圓環(huán)型形狀環(huán)繞在陰極過渡層的上方，其圓環(huán)中心位置與陰極過渡層的圓環(huán)中心位置相重合，將陰極過渡層劃分為內(nèi)外兩個圓環(huán)部分；陰極過渡層表面上的以及陰極增高層表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；隔離一層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層和陰極過渡層、陰極導(dǎo)電層都是相互連通的；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
所述的分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；調(diào)控柵極一層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、銅；調(diào)控柵極二層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向是相互垂直的；陰極引線層可以為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層可以為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層可以為金屬鐵、鈷、鎳。
一種分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)柵極引線層[3]的制作在絕緣層上面制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成柵極引線層；4)柵極增高層[4]的制作在柵極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極增高層；5)調(diào)控柵極一層[5]的制作在柵極增高層圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上面制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成調(diào)控柵極一層；6)附加?xùn)艠O增高層[6]的制作在柵極增高層圓型孔中印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成附加?xùn)艠O增高層；7)調(diào)控柵極二層[7]的制作在附加?xùn)艠O增高層上面三角圓錐型形狀側(cè)面上制備出一個金屬鉻層，刻蝕后形成調(diào)控柵極二層；8)隔離一層[8]的制作在柵極增高層上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離一層；9)隔離二層[9]的制作在調(diào)控柵極一層和調(diào)控柵極二層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離二層；10)陰極過渡層[10]的制作在方形孔的底部上面制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極過渡層；11)陰極增高層[11]的制作在陰極過渡層的上面印刷銀漿層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極增高層；12)陰極導(dǎo)電層[12]的制作在陰極過渡層表面上以及陰極增高層表面上制備出一個金屬鎳層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；13)陰極引線層[13]的制作在隔離一層的上面制備出一個金屬鉬層，刻蝕后形成陰極引線層；14)陰極覆蓋層[14]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；
15)分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；16)碳納米管[15]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；17)碳納米管的后處理對碳納米管進(jìn)行后處理，改善場致發(fā)射特性；18)陽極玻璃面板[16]的制作對整體平板鈉鈣玻璃進(jìn)行劃割，制作出陽極玻璃面板；19)陽極導(dǎo)電層[17]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；20)絕緣漿料層[18]的制作在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；21)熒光粉層[19]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；22)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[20]和四周玻璃圍框[21]裝配到一起，并將消氣劑[22]放入到空腔當(dāng)中，用低熔點玻璃粉固定。在玻璃面板的四周涂抹好低熔點玻璃粉，用夾子固定；23)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
所述步驟20具體為在陽極導(dǎo)電層的非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，用于防止寄生電子發(fā)射；經(jīng)過烘烤(烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)(燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟21具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤(烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘)。
所述步驟23具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐當(dāng)中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
權(quán)利要求
1.一種分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器，包括由陽極玻璃面板[16]、陰極玻璃面板[1]和四周玻璃圍框[21]所構(gòu)成的密封真空腔；設(shè)置在陽極玻璃面板上的陽極導(dǎo)電層[17]以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層[19]；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)[20]以及消氣劑附屬元件[22]；其特征在于在陰極玻璃面板上設(shè)置有柵極引線層[3]、碳納米管[15]以及分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的襯底材料為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，即陰極玻璃面板；陰極玻璃面板上面印刷的絕緣漿料層形成絕緣層；絕緣層上面刻蝕后的金屬層形成柵極引線層；柵極引線層上面印刷的絕緣漿料層形成柵極增高層；柵極增高層上下表面均為平面，其下表面覆蓋住柵極引線層以及空余的絕緣層部分；柵極增高層中存在圓型孔，即圓型孔在柵極增高層上表面所形成的截面為中空的圓盤面，圓型孔的內(nèi)側(cè)壁是垂直于陰極玻璃面板的圓筒面；柵極增高層中圓型孔的底部要暴露出柵極引線層；柵極增高層中圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上面的刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極一層；調(diào)控柵極一層呈現(xiàn)圓筒面狀依附于圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上，并且和底部的柵極引線層是相互連通的；柵極增高層圓型孔中印刷的絕緣漿料層形成附加?xùn)艠O增高層；附加?xùn)艠O增高層的底部要完全覆蓋住柵極引線層，下部分要填充滿柵極增高層的圓型孔，上部分呈現(xiàn)三角圓錐型形狀，位于柵極增高層圓型孔的中央位置；附加?xùn)艠O增高層上面三角圓錐型形狀側(cè)面上刻蝕后的金屬層形成調(diào)控柵極二層；調(diào)控柵極二層和調(diào)控柵極一層相互連通；柵極增高層上面的印刷的絕緣漿料層形成隔離一層；調(diào)控柵極一層和調(diào)控柵極二層上面的印刷的絕緣漿料層形成隔離二層；隔離一層和隔離二層的上表面是平齊的，連接在一起的，且均為平面；隔離二層上表面上存在方形孔，即方形孔的縱向截面為方形，環(huán)繞在調(diào)控柵極一層的內(nèi)部，呈現(xiàn)一個圓環(huán)型形狀，方形孔的內(nèi)側(cè)壁是垂直于陰極玻璃面板；方形孔底部上面的刻蝕后的金屬層形成陰極過渡層；陰極過渡層上面的印刷的銀漿層形成陰極增高層；陰極增高層位于陰極過渡層的中央位置，呈現(xiàn)圓環(huán)型形狀環(huán)繞在陰極過渡層的上方，其圓環(huán)中心位置與陰極過渡層的圓環(huán)中心位置相重合，將陰極過渡層劃分為內(nèi)外兩個圓環(huán)部分；陰極過渡層表面上的以及陰極增高層表面上的刻蝕后的金屬層形成陰極導(dǎo)電層；隔離一層上面的刻蝕后的金屬層形成陰極引線層；陰極引線層和陰極過渡層、陰極導(dǎo)電層都是相互連通的；陰極引線層上面的印刷的絕緣漿料層形成陰極覆蓋層；碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層的上面。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器，其特征在于所述的分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的固定位置為安裝固定在陰極玻璃面板上；柵極引線層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；調(diào)控柵極一層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、銅；調(diào)控柵極二層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻；陰極引線層的走向和柵極引線層的走向相互垂直；陰極引線層為金屬金、銀、銅、鋁、鉬、鉻、錫、鉛、銦；陰極過渡層為金屬金、銀、鋁、鉬、鉻、錫；陰極導(dǎo)電層為金屬鐵、鈷、鎳。
4.一種分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于，其制作工藝如下1)陰極玻璃面板[1]的制作對整體平板玻璃劃割，制出陰極玻璃面板；2)絕緣層[2]的制作在陰極玻璃面板上印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成絕緣層；3)柵極引線層[3]的制作在絕緣層上制出金屬層，刻蝕成柵極引線層；4)柵極增高層[4]的制作在柵極引線層上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成柵極增高層；5)調(diào)控柵極一層[5]的制作在柵極增高層圓型孔的內(nèi)側(cè)壁上面制備出一個金屬層，刻蝕后形成調(diào)控柵極一層；6)附加?xùn)艠O增高層[6]的制作在柵極增高層圓型孔中印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成附加?xùn)艠O增高層；7)調(diào)控柵極二層[7]的制作在附加?xùn)艠O增高層上面三角圓錐型形狀側(cè)面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成調(diào)控柵極二層；8)隔離一層[8]的制作在柵極增高層上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離一層；9)隔離二層[9]的制作在調(diào)控柵極一層和調(diào)控柵極二層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成隔離二層；10)陰極過渡層[10]的制作在方形孔的底部上面制備出金屬層，刻蝕后形成陰極過渡層；11)陰極增高層[11]的制作在陰極過渡層的上面印刷銀漿層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極增高層；12)陰極導(dǎo)電層[12]的制作在陰極過渡層表面上以及陰極增高層表面上制備出一個金屬層，刻蝕后形成陰極導(dǎo)電層；13)陰極引線層[13]的制作在隔離一層的上面制出金屬層，刻蝕后形成陰極引線層；14)陰極覆蓋層[14]的制作在陰極引線層的上面印刷絕緣漿料層，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極覆蓋層；15)分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的表面清潔處理對分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的表面進(jìn)行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；16)碳納米管[15]的制備將碳納米管制備在陰極導(dǎo)電層上面；17)陽極玻璃面板[16]的制作對整體平板玻璃劃割，制出陽極玻璃面板；18)陽極導(dǎo)電層[17]的制作在陽極玻璃面板上蒸鍍一層錫銦氧化物膜層；刻蝕后形成陽極導(dǎo)電層；19)絕緣漿料層[18]的制作在陽極導(dǎo)電層非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層；20)熒光粉層[19]的制作在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；21)器件裝配將陰極玻璃面板、陽極玻璃面板、支撐墻結(jié)構(gòu)[20]和四周玻璃圍框[21]裝到一起，將消氣劑[22]放入空腔中，用低熔點玻璃粉固定；22)成品制作對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行封裝工藝形成成品件。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟19具體為在陽極導(dǎo)電層非顯示區(qū)域印刷絕緣漿料層，經(jīng)過烘烤，烘烤溫度150℃，保持時間5分鐘，之后，放置在燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，燒結(jié)溫度580℃，保持時間10分鐘。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟20具體為在陽極導(dǎo)電層上面的顯示區(qū)域印刷熒光粉層；在烘箱當(dāng)中進(jìn)行烘烤，烘烤溫度120℃，保持時間10分鐘。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器的制作工藝，其特征在于所述步驟22具體為對已經(jīng)裝配好的器件進(jìn)行如下的封裝工藝將樣品器件放入烘箱中進(jìn)行烘烤；放入燒結(jié)爐中進(jìn)行燒結(jié)；在排氣臺上進(jìn)行器件排氣、封離，在烤消機(jī)上對器件內(nèi)部的消氣劑進(jìn)行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)的平板顯示器及其制作工藝，包括由陽極玻璃面板、陰極玻璃面板和四周玻璃圍框所構(gòu)成的密封真空腔；在陽極玻璃面板上有陽極導(dǎo)電層以及制備在陽極導(dǎo)電層上面的熒光粉層；位于陽極玻璃面板和陰極玻璃面板之間的支撐墻結(jié)構(gòu)以及消氣劑附屬元件；在陰極玻璃面板上有柵極引線層、碳納米管以及分岔狀側(cè)底柵控型結(jié)構(gòu)；能夠進(jìn)一步增大陽極工作電流，降低柵極結(jié)構(gòu)的工作電壓，具有制作過程穩(wěn)定可靠、制作工藝簡單、制作成本低廉、結(jié)構(gòu)簡單的優(yōu)點。
文檔編號H01J1/46GK101071742SQ200710054629
公開日2007年11月14日 申請日期2007年6月20日 優(yōu)先權(quán)日2007年6月20日
發(fā)明者李玉魁 申請人:中原工學(xué)院