專利名稱：場(chǎng)發(fā)射顯示器及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種顯示裝置，尤其涉及一種場(chǎng)發(fā)射顯示器及其制造方法。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，各種顯示器發(fā)展迅速，已被廣泛的應(yīng)用于個(gè)人計(jì)算機(jī)、移動(dòng)通訊及消費(fèi)性電子產(chǎn)品等領(lǐng)域，成為信息技術(shù)的一大平臺(tái)。目前應(yīng)用較為普遍的顯示器有液晶顯示器、等離子體顯示器及場(chǎng)發(fā)射顯示器等。其中，場(chǎng)發(fā)射顯示器與其它顯示器相比，具有更高的對(duì)比度、更廣的視角、更高的亮度、更低的能量消耗、更短的響應(yīng)時(shí)間以及更寬的工作溫度等優(yōu)點(diǎn)，可適合作照明光源、平板顯示器及室外用的全色大屏幕顯示屏以及各種廣告顯示面板等。
請(qǐng)參閱圖1，目前的場(chǎng)發(fā)射顯示器一般包括一支撐基底1、一形成在支撐基底1內(nèi)表面的陰極2、一透明基板5、一形成在透明基板1上面對(duì)陰極2的表面的陽(yáng)極4、以及一形成在陽(yáng)極4內(nèi)表面的熒光層6。該陰極2包括一導(dǎo)電基底7和形成在該導(dǎo)電基底7上的多個(gè)發(fā)射體8。該熒光層6具有多個(gè)熒光單元分別與多個(gè)發(fā)射體8相對(duì)應(yīng)，且所述熒光單元與發(fā)射體8間隔一定距離。通常，在電場(chǎng)的作用下，電子從各個(gè)發(fā)射體8發(fā)出，經(jīng)過(guò)電場(chǎng)的加速至陽(yáng)極4。該具有一定能量的電子通常能轟擊陽(yáng)極4上對(duì)應(yīng)的熒光單元，使得其中的熒光粉的發(fā)光成分發(fā)出所需要的熒光。這種場(chǎng)發(fā)射器件所用的熒光粉一般為高壓熒光粉，其發(fā)光效率在高壓下達(dá)到最大。
然而，這種場(chǎng)發(fā)射顯示器中各熒光單元和發(fā)射體分離于陰極和陽(yáng)極上，此種結(jié)構(gòu)有著很多不便之處。其一，不同顏色的熒光粉需要涂敷在陽(yáng)極4的確定位置，形成各熒光單元，同時(shí)需保證和陰極2上的各發(fā)射體8之間的嚴(yán)格對(duì)準(zhǔn)關(guān)系，然而由于所述熒光單元與發(fā)射體8間隔一定距離，實(shí)際制作時(shí)很難確保所需的嚴(yán)格對(duì)準(zhǔn)關(guān)系，從而使得陰極2上各發(fā)射體8發(fā)出的電子難以正確的激發(fā)所需顏色的熒光粉，容易造成顏色失真。其二，如圖2所示，如果制作可變形或者可折疊的場(chǎng)發(fā)射顯示器時(shí)，當(dāng)該裝置發(fā)生變形或者折疊時(shí)，同樣由于所述熒光單元與發(fā)射體8之間有一段空間隔離，即使本來(lái)較為對(duì)準(zhǔn)的發(fā)射體8和陽(yáng)極4上的熒光單元將出現(xiàn)錯(cuò)位，造成顏色錯(cuò)誤。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，有必要提供一種便于陰極與熒光層對(duì)準(zhǔn)的場(chǎng)發(fā)射顯示器及其制造方法。
一種場(chǎng)發(fā)射顯示器，包括一支撐基底；一陰極，形成在該支撐基底的表面；一透明基板，其是以面對(duì)所述支撐基底形成有陰極的表面的方式設(shè)置，并與陰極間隔形成一真空空間；一陽(yáng)極，形成在所述透明基板面對(duì)陰極的表面上；以及一熒光層，形成在所述陰極面對(duì)陽(yáng)極的表面上。
一種場(chǎng)發(fā)射顯示器的制造方法，其包括下列步驟提供一支撐基底；形成一陰極在所述支撐基底的表面；形成一熒光層在所述陰極表面；提供一透明基底；形成一陽(yáng)極在所述透明基底面對(duì)所述陰極的表面上；將形成有陽(yáng)極的透明基底與形成有陰極及熒光層的支撐基底密封形成一真空空間，密封時(shí)保持陽(yáng)極與熒光層處于面對(duì)的位置。
相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，上述場(chǎng)發(fā)射顯示器通過(guò)將熒光層形成在陰極上，熒光層將隨同陰極一同變化，即便當(dāng)陽(yáng)極的形變和陰極形變不一致時(shí)，陽(yáng)極的形變對(duì)熒光層不會(huì)產(chǎn)生影響，使得陰極發(fā)出的電子仍按預(yù)定設(shè)計(jì)對(duì)準(zhǔn)熒光層相應(yīng)部分。同時(shí)，由于是將熒光層形成在陰極上，從而使得在該場(chǎng)發(fā)射顯示器的制造過(guò)程中可以很方便地將熒光層與陰極對(duì)準(zhǔn)。


圖1為目前常用的一種場(chǎng)發(fā)射顯示器的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為圖1中的場(chǎng)發(fā)射顯示器發(fā)生形變時(shí)的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3為本發(fā)明第一實(shí)施例提供的場(chǎng)發(fā)射顯示器的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
圖4為本發(fā)明第二實(shí)施例提供的場(chǎng)發(fā)射顯示器的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
圖5為本發(fā)明第三實(shí)施例提供的場(chǎng)發(fā)射顯示器的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
圖6為圖5中的場(chǎng)發(fā)射顯示器發(fā)生形變時(shí)的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。
請(qǐng)參閱圖3，為本發(fā)明第一實(shí)施例提供的場(chǎng)發(fā)射顯示器10，該場(chǎng)發(fā)射顯示器10包括一支撐基底11，一陰極12，一陽(yáng)極14，一透明基板15，以及一熒光層16。該陰極12形成在所述支撐基底11上，該陽(yáng)極14面對(duì)所述陰極12設(shè)置且形成在該透明基板15上，該熒光層16形成在所述陰極12面對(duì)所述陽(yáng)極14的表面上。
所述支撐基底11由絕緣材料制成，如玻璃、陶瓷等材料，并可做成平板狀。同樣，此種絕緣材料的支撐基底11也可制成可變形的支撐基底，如采用可變形玻璃、陶瓷或添加有變形材料的玻璃、陶瓷等。
可選地，所述支撐基底11可以由導(dǎo)電材料制成，如采用銅、銀、金、鎳、鉬或其他金屬材料制成，并可將支撐基底11做成平板狀。另外，支撐基底11還可制成可變形的支撐基底，如采用可變形的導(dǎo)電材料或添加有可變形材料的銅、銀、金、鎳、鉬或其他金屬材料。
當(dāng)所述支撐基底11為絕緣材料制成時(shí)，如圖3所示，所述陰極12可包括一導(dǎo)電基底122和一發(fā)射體124。該導(dǎo)電基底122可為由導(dǎo)電材料，如ITO(銦錫氧化物)制成的導(dǎo)電膜或金屬層，可為長(zhǎng)條或帶狀，還可于其內(nèi)添加可變形材料。該導(dǎo)電基底122形成在所述支撐基底11上。該發(fā)射體124形成在該導(dǎo)電基底122內(nèi)側(cè)面對(duì)陽(yáng)極14的表面上，并采用高發(fā)射性能材料，如碳納米管、碳纖維、碳化硅、石墨或金剛石等材料。如采用碳納米管作為發(fā)射體124材料，可將碳納米管直接沉積生長(zhǎng)在導(dǎo)電基底122，從而形成陰極12。
當(dāng)所述支撐基底11為導(dǎo)電材料制成時(shí)，所述陰極12包括一發(fā)射體124，該發(fā)射體124直接形成在所述支撐基底11內(nèi)側(cè)面對(duì)陽(yáng)極14的表面上，并可采用如上所述的高發(fā)射性能材料。如采用碳納米管作為發(fā)射體124材料時(shí)，可直接將碳納米管沉積生長(zhǎng)在支撐基底11上，從而形成發(fā)射體124。
所述透明基板1 5采用透明材料如玻璃等制成，并制成平板狀。同樣也可制成可變形的透明基板1，如采用可變形玻璃或添加有變形材料的玻璃等透明材料。
所述陽(yáng)極14可由ITO導(dǎo)電膜或金屬層做成，還可于其內(nèi)添加可變形材料。所述陽(yáng)極14可通過(guò)絕緣的多個(gè)側(cè)壁18支撐，并與陰極12隔開(kāi)一定距離，形成真空密封的內(nèi)部空間。
所述熒光層16采用磷粉等發(fā)光材料，當(dāng)受到電子轟擊時(shí)可發(fā)出可見(jiàn)光，其形成在陰極12的發(fā)射體124面對(duì)陽(yáng)極14的表面上。當(dāng)該陰極12的發(fā)射體124發(fā)出電子時(shí)，該發(fā)出的電子直接在熒光層16內(nèi)部復(fù)合躍遷產(chǎn)生可見(jiàn)光，由此產(chǎn)生顯示效果。如此則將熒光層16與陰極12的發(fā)射體124準(zhǔn)確地結(jié)合在一起，從而降低了對(duì)準(zhǔn)難度，有效地減小了對(duì)準(zhǔn)誤差造成的顏色失真。
本實(shí)施例的場(chǎng)發(fā)射顯示器10可采用下列步驟制成(1)提供一支撐基底11，其可為導(dǎo)電材料或絕緣材料。
(2)形成一陰極12在所述支撐基底11的表面。當(dāng)支撐基底11采用導(dǎo)電材料時(shí)，可直接在所述支撐基底11的表面生長(zhǎng)發(fā)射體124，如采用化學(xué)氣相沉積法直接在所述支撐基底11的表面生長(zhǎng)碳納米管層，即形成陰極12。同時(shí)也可采用薄膜沉積法、涂敷法、濺鍍法、光阻制程、絲網(wǎng)印刷技術(shù)等直接形成發(fā)射體124在導(dǎo)電的支撐基底11上。當(dāng)支撐基底11采用絕緣材料時(shí)，此步驟具體可為首先采用薄膜沉積法或涂敷法形成一導(dǎo)電基底122在支撐基底11表面，再采用薄膜沉積法或涂敷法形成一發(fā)射體124在該導(dǎo)電基底122上。例如，發(fā)射體124采用碳納米管材料時(shí)，可通過(guò)化學(xué)氣相沉積法直接在導(dǎo)電基底122上生長(zhǎng)碳納米管，即形成發(fā)射體124。
(3)形成一熒光層16在陰極12的表面。具體可為采用薄膜沉積法或涂敷法將熒光層16形成在陰極12上的發(fā)射體124的表面。
(4)提供一透明基底15。
(5)形成一陽(yáng)極14在所述透明基底15上?？刹捎帽∧こ练e法或涂敷法將陽(yáng)極14形成在所述透明基底15。
(6)將形成有陽(yáng)極14的透明基底15與形成有陰極12及熒光層16的支撐基底11密封形成一真空空間，密封時(shí)保持陽(yáng)極14與熒光層16處于面對(duì)的位置。具體可為將透明基底15上的陽(yáng)極14與陰極12上的熒光層16相面對(duì)并間隔一定距離，再通過(guò)多個(gè)側(cè)壁18支撐在透明基底15與形成有陰極12的支撐基底11之間形成一內(nèi)部空間，然后將該內(nèi)部空間抽真空并密封。
如此，即可獲得本實(shí)施例的場(chǎng)發(fā)射顯示器10。
其中，需要說(shuō)明的是，上述各步驟并不限于如上所列的先后順序，實(shí)際操作時(shí)各步驟順序可以調(diào)整。例如，步驟(4)和(5)可以排在步驟(1)、(2)和(3)前面進(jìn)行，或者與其同時(shí)進(jìn)行。
另外，本實(shí)施例中的導(dǎo)電基底、發(fā)射體、陽(yáng)極和熒光層并不限于上述的薄膜沉積法或涂敷法，還可選擇其他方法如化學(xué)氣相沉積法、濺鍍法、光阻制程、絲網(wǎng)印刷技術(shù)等形成。
請(qǐng)參閱圖4，為本發(fā)明第二實(shí)施例提供的場(chǎng)發(fā)射顯示器20，該場(chǎng)發(fā)射顯示器20基本結(jié)構(gòu)類似于第一實(shí)施例中的場(chǎng)發(fā)射顯示器10，主要包括一支撐基底21，一陰極22，一陽(yáng)極24，一透明基底25，一熒光層26，以及多個(gè)側(cè)壁28。該陰極22形成在所述支撐基底21上，該陽(yáng)極24面對(duì)所述陰極22形成在透明基底15，該熒光層26形成在所述陰極22面對(duì)所述陽(yáng)極24的表面上。兩場(chǎng)發(fā)射顯示器不同之處主要在于陰極和熒光層。
如圖4所示，本實(shí)施例中的支撐基底21采用絕緣材料，此時(shí)陰極22包括一導(dǎo)電基底222和多個(gè)發(fā)射體224。該導(dǎo)電基底222類似于第一實(shí)施例中的導(dǎo)電基底122。多個(gè)發(fā)射體224形成在該導(dǎo)電基底222內(nèi)側(cè)面對(duì)陽(yáng)極24的表面上，同時(shí)，所述多個(gè)發(fā)射體224可為陣列式或點(diǎn)陣式排布的發(fā)射層。每個(gè)發(fā)射體224采用與第一實(shí)施例中的發(fā)射體224相同的材料和形狀結(jié)構(gòu)。與第一實(shí)施例相同，其中導(dǎo)電基底222為可選層，即當(dāng)支撐基底21采用導(dǎo)電材料時(shí)，所述陰極22即包括多個(gè)發(fā)射體224直接形成在導(dǎo)電的支撐基底21。
本實(shí)施例中的熒光層26為一連續(xù)的整體層，其形成在所述多個(gè)發(fā)射體224的面對(duì)陽(yáng)極24的表面上。所述多個(gè)發(fā)射體224可各自發(fā)出電子，各自發(fā)出的電子直接在熒光層26相應(yīng)的部分復(fù)合躍遷產(chǎn)生可見(jiàn)光，由此可產(chǎn)生顯示效果。如此即將熒光層26與陰極22的發(fā)射體224準(zhǔn)確地結(jié)合在一起，從而降低了對(duì)準(zhǔn)難度，有效地減小了對(duì)準(zhǔn)誤差造成的顏色失真。所述熒光層26同樣可采用磷粉等發(fā)光材料，當(dāng)受到電子轟擊時(shí)可發(fā)出可見(jiàn)光。
優(yōu)選地，相鄰發(fā)射體224之間可設(shè)置一絕緣間隔體29，用以隔絕相鄰的發(fā)射體224，并可協(xié)助發(fā)射體224支撐所述熒光層26。該絕緣間隔體29可采用聚合物等絕緣材料制成。
本實(shí)施例的場(chǎng)發(fā)射顯示器20制造方法類似于第一實(shí)施例所提供的制造方法，不同之處主要在于陰極22及熒光層26的形成步驟。
本實(shí)施例中陰極22的形成步驟具體可包括下列制程首先采用與第一實(shí)施例的導(dǎo)電基底122同樣的形成方法(如薄膜沉積法或涂敷法等)，形成一導(dǎo)電基底222在絕緣支撐基底21表面，然后在一具有預(yù)定圖案的模板的掩罩下，采用與第一實(shí)施例的發(fā)射體124同樣的形成方法(如薄膜沉積法或涂敷法等)，形成陣列式或點(diǎn)陣式排布的具有相應(yīng)圖案的包含多個(gè)發(fā)射體224的發(fā)射層。與第一實(shí)施例相同，可在導(dǎo)電材料制成的支撐基底21的表面直接生長(zhǎng)陣列式或點(diǎn)陣式排布的發(fā)射體224，如采用化學(xué)氣相沉積法直接在所述支撐基底21的表面生長(zhǎng)碳納米管陣列，即形成陰極22。
所述熒光層26的形成步驟具體可包括下列制程先將預(yù)定的熒光層26形成在一承載基底(如壓敏膠)上，再將該承載基底上的熒光層26貼至所述包含多個(gè)發(fā)射體224的發(fā)射層上，然后將承載基底揭掉即可。也可采用前述相同圖案的模板掩罩下，采用與第一實(shí)施例的熒光層16同樣的形成方法(如薄膜沉積法或涂敷法等)，形成熒光層26在多個(gè)發(fā)射體224表面上。
另外，當(dāng)相鄰發(fā)射體224之間設(shè)置絕緣間隔體29時(shí)，還包括絕緣間隔體29的形成，然后再形成熒光層26。所述絕緣間隔體29的形成具體可采用先涂敷液態(tài)絕緣間隔體29在多個(gè)發(fā)射體224之間，再采用如蝕刻或配合光罩進(jìn)行曝光等方法去除可能附著在發(fā)射體224表面的液態(tài)絕緣間隔體29，然后固化即可。也可在一具有與前述預(yù)定圖案互補(bǔ)的負(fù)圖案模板的掩罩下，通過(guò)薄膜沉積法或涂敷法等形成具有相應(yīng)負(fù)圖案的絕緣間隔體29。然后，將所述熒光層26直接形成在絕緣間隔體29層及包含多個(gè)發(fā)射體224的發(fā)射層上。
請(qǐng)參閱圖5，為本發(fā)明第三實(shí)施例提供的場(chǎng)發(fā)射顯示器30，該場(chǎng)發(fā)射顯示器30基本結(jié)構(gòu)類似于第二實(shí)施例中的場(chǎng)發(fā)射顯示器20，主要包括一支撐基底3 1，一陰極32，一陽(yáng)極34，一透明基底35，一熒光層36，絕緣間隔體39，以及多個(gè)側(cè)壁38。陰極32包括一導(dǎo)電基底322和陣列式或點(diǎn)陣式排布的多個(gè)發(fā)射體324。其中，導(dǎo)電基底322同樣為可選層。兩實(shí)施例不同之處主要在于熒光層36被分割成多個(gè)單獨(dú)的熒光單元，每個(gè)熒光單元分別對(duì)應(yīng)形成在一發(fā)射體324面對(duì)所述陽(yáng)極34的表面上。
本實(shí)施例的場(chǎng)發(fā)射顯示器30制造方法類似于第二實(shí)施例所提供的場(chǎng)發(fā)射顯示器20制造方法，不同之處主要在于熒光層36的形成步驟。
所述熒光層36的形成步驟具體可包括下列制程在一具有類似于形成發(fā)射體224或324所用的模板的掩罩下，采用與第一、第二實(shí)施例相同的熒光層形成方法(如薄膜沉積法或涂敷法等)，形成與多個(gè)發(fā)射體324一一對(duì)應(yīng)的多個(gè)熒光單元，即形成所述熒光層36。
請(qǐng)參閱圖6，為本發(fā)明第三實(shí)施例提供的場(chǎng)發(fā)射顯示器30形變狀態(tài)圖。當(dāng)陰極32和陽(yáng)極34受外力或內(nèi)部應(yīng)力等作用而變形或者折疊時(shí)，由于所述熒光層36與陰極32的發(fā)射體324準(zhǔn)確地結(jié)合在一起，所述熒光層36的每個(gè)熒光單元仍與對(duì)應(yīng)的發(fā)射體324相連，使得變形或者折疊后，每個(gè)熒光單元仍與各發(fā)射體324一一對(duì)應(yīng)，各發(fā)射體324發(fā)出的電子仍按預(yù)定設(shè)計(jì)對(duì)準(zhǔn)熒光層36中相應(yīng)熒光單元，從而便于色彩保真，避免變形或者折疊后造成的顏色錯(cuò)誤現(xiàn)象發(fā)生。顯然地，與本實(shí)施例相同，第一、第二實(shí)施例中的場(chǎng)發(fā)射顯示器10以及場(chǎng)發(fā)射顯示器20同樣具有以上優(yōu)點(diǎn)。
此外，各實(shí)施例還可依次在所述熒光層上形成一絕緣層及一柵極層。各發(fā)射體也可依實(shí)際需要設(shè)計(jì)成其他形狀，如錐形、圓臺(tái)形或細(xì)小的柱形等。陰極與陽(yáng)極的間隔距離也可變化，以適應(yīng)不同分辨率或顯示效果。各實(shí)施例的場(chǎng)發(fā)射顯示器可應(yīng)用于照明光源、場(chǎng)發(fā)射平板顯示器、交通指示燈、廣告顯示面板或電子槍等場(chǎng)發(fā)射電子源裝置。
而且，本領(lǐng)域技術(shù)人員還可在本發(fā)明精神內(nèi)做其他變化，當(dāng)然，這些依據(jù)本發(fā)明精神所做的變化，都應(yīng)包含在本發(fā)明所要求保護(hù)的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種場(chǎng)發(fā)射顯示器，其包括一支撐基底；一陰極，形成在該支撐基底的表面；一透明基板，其是以面對(duì)所述支撐基底形成有陰極的表面的方式設(shè)置，并與陰極間隔形成一真空空間；一陽(yáng)極，形成在所述透明基板面對(duì)陰極的表面上；其特征在于，所述陰極上面對(duì)陽(yáng)極的表面形成有一熒光層。
2.如權(quán)利要求1所述的場(chǎng)發(fā)射顯示器，其特征在于，所述支撐基底為一導(dǎo)電基底，所述陰極包括至少一發(fā)射體形成在所述導(dǎo)電基底上。
3.如權(quán)利要求1所述的場(chǎng)發(fā)射顯示器，其特征在于，所述支撐基底為一絕緣基底，所述陰極包括一導(dǎo)電基底形成在所述絕緣基底上以及至少一發(fā)射體，該至少一發(fā)射體形成在導(dǎo)電基底面對(duì)陽(yáng)極的表面上。
4.如權(quán)利要求2或3所述的場(chǎng)發(fā)射顯示器，其特征在于，所述熒光層為一連續(xù)的整體層，其形成在所述至少一發(fā)射體的面對(duì)陽(yáng)極的表面上。
5.如權(quán)利要求2或3所述的場(chǎng)發(fā)射顯示器，其特征在于，所述熒光層分為至少一熒光單元，每個(gè)熒光單元形成在相應(yīng)一發(fā)射體面對(duì)陽(yáng)極的表面上。
6.如權(quán)利要求2或3所述的場(chǎng)發(fā)射顯示器，其特征在于，所述至少一發(fā)射體為陣列式或點(diǎn)陣式排布的多個(gè)發(fā)射體。
7.如權(quán)利要求2或3所述的場(chǎng)發(fā)射顯示器，其特征在于，所述發(fā)射體材料選自碳納米管、碳纖維、石墨碳、金剛石、碳化硅或金屬。
8.如權(quán)利要求1所述的場(chǎng)發(fā)射顯示器，其特征在于，所述支撐基底和透明基板均包含可變形材料。
9.如權(quán)利要求1所述的場(chǎng)發(fā)射顯示器，其特征在于，所述陰極和陽(yáng)極為添加有可變形材料的銦錫氧化物導(dǎo)電膜或金屬層。
10.一種場(chǎng)發(fā)射顯示器的制造方法，其包括下列步驟提供一支撐基底；形成一陰極在所述支撐基底的表面；形成一熒光層在所述陰極表面；提供一透明基底；形成一陽(yáng)極在所述透明基底面對(duì)所述陰極的表面；將形成有陽(yáng)極的透明基底與形成有陰極及熒光層的支撐基底密封形成一真空空間，密封時(shí)保持陽(yáng)極與熒光層處于面對(duì)的位置。
11.如權(quán)利要求10所述的場(chǎng)發(fā)射顯示器的制造方法，其特征在于，所述陰極的形成方法包括步驟直接在該支撐基底上形成至少一發(fā)射體。
12.如權(quán)利要求10所述的場(chǎng)發(fā)射顯示器的制造方法，其特征在于，所述陰極的形成方法包括步驟形成一導(dǎo)電基底在支撐基底表面，再在該導(dǎo)電基底上形成至少一發(fā)射體。
13.如權(quán)利要求11或12所述的場(chǎng)發(fā)射顯示器的制造方法，其特征在于，所述熒光層、陽(yáng)極以及形成陰極的各步驟中的形成方法選自薄膜沉積法、涂敷法、化學(xué)氣相沉積法、濺鍍法、光阻制程法、絲網(wǎng)印刷法。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種場(chǎng)發(fā)射顯示器及其制造方法。該場(chǎng)發(fā)射顯示器包括互相間隔開(kāi)的陰極和陽(yáng)極，以及形成在陰極面對(duì)該陽(yáng)極的表面上的熒光層，該陰極形成在一支撐基底上，該陽(yáng)極形成在一透明基板上。該場(chǎng)發(fā)射顯示器通過(guò)將熒光層與陰極結(jié)合在一起，熒光層將隨同陰極一同變化，即便當(dāng)陽(yáng)極的形變和陰極形變不一致時(shí)，陽(yáng)極的形變對(duì)熒光層不會(huì)產(chǎn)生影響，陰極發(fā)出的電子仍按預(yù)定設(shè)計(jì)對(duì)準(zhǔn)熒光層相應(yīng)部分。
文檔編號(hào)H01J29/02GK101093773SQ20061006130
公開(kāi)日2007年12月26日 申請(qǐng)日期2006年6月23日 優(yōu)先權(quán)日2006年6月23日
發(fā)明者姚湲, 唐潔, 范守善 申請(qǐng)人:清華大學(xué), 鴻富錦精密工業(yè)(深圳)有限公司