專利名稱：等離子顯示面板及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是關(guān)于等離子顯示面板及其制造方法的技術(shù)，更為詳細(xì)地說，就是關(guān)于可以提高色度的等離子顯示面板及其制造方法。
背景技術(shù)：
等離子顯示面板(Plasma Display PanelPDP)是通過氣體放電產(chǎn)生的紫外線來作用熒光體時(shí)，利用從熒光體發(fā)生的可視光線的顯示器。PDP與目前顯示器之一的陰極線管顯示器(Cathode Ray TubeCRT)相比其厚度更薄、重量更輕，而且具有高清晰度大畫面的特點(diǎn)。PDP是由呈矩陣排列的多個(gè)放電單元構(gòu)成，一個(gè)放電單元形成畫面的一個(gè)像素。
傳統(tǒng)的3電極交流面放電型PDP的放電單元其構(gòu)成包括如下裝置包括在上部基板上形成的維持電極組的掃描電極和維持電極的上板；包括下部基板上與維持電極組交叉形成的尋址電極的下板；在上板和下板之間備有放電空間的間隔壁。
此種結(jié)構(gòu)的PDP是依尋址電極和維持電極間相對(duì)放電選擇后，依據(jù)維持電極組間的面放電來維持放電。依據(jù)維持放電時(shí)產(chǎn)生的紫外線，熒光體發(fā)光，可視光線向單元外部放出。其結(jié)果是，放電單元調(diào)節(jié)放電維持的時(shí)間，實(shí)現(xiàn)灰度。其放電單元呈矩陣排列的PDP顯示圖像。
傳統(tǒng)的PDP其紅色、綠色和藍(lán)色的熒光體層的發(fā)光特性互不相同，所以實(shí)現(xiàn)紅色，綠色和藍(lán)色的放電單元輝度也不相同，即，依紅色放電單元，綠色放電單元和藍(lán)色放電單元的順序輝度依次降低，根據(jù)不同放電單元其輝度不同的特性，放電單元整體色度下降，實(shí)現(xiàn)白平衡比較困難。

發(fā)明內(nèi)容
由此，本發(fā)明提供的等離子顯示面板及其制造方法的目的在于提高色度。
為了實(shí)現(xiàn)上述目的，依據(jù)本發(fā)明的等離子顯示面板配備有具有上部電極的上部基板；具有下部電極的下部基板；形成于上部基板和下部基板之間，區(qū)分紅色、綠色和藍(lán)色放電單元的間隔壁。這種等離子顯示面板其特點(diǎn)是，上部電極的厚度是由不同的實(shí)現(xiàn)紅色，綠色和藍(lán)色的放電單元所形成。
所述的上部電極其特點(diǎn)包括在上部基板上形成的透明電極；在透明電極上按實(shí)現(xiàn)紅色、綠色和藍(lán)色的放電單元的不同，其厚度形成不同的總線電極。
上面所說的總線電極的厚度是依紅色放電單元、綠色放電單元和藍(lán)色放電單元的順序依次變厚。
所述的紅色，綠色和藍(lán)色放電單元的幅相同。
為實(shí)現(xiàn)上述目的，依據(jù)本發(fā)明的等離子顯示器構(gòu)成包括形成有上部電極的上部基板；形成有下部電極的下部基板；形成于上部基板和下部基板之間，區(qū)分紅色，綠色和藍(lán)色放電單元的間隔壁。對(duì)于此種構(gòu)成的等離子顯示面板制造方法來說，形成上部電極的步驟包括第一步驟在上部基板上形成透明電極；第二步驟在上述透明電極上形成紅色，綠色和藍(lán)色放電單元厚度不同的總線電極。
形成總線電極的步驟包括如下步驟形成按紅色放電單元、綠色放電單元和藍(lán)色放電單元的順序其厚度依次變厚的總線電極。
形成總線電極的步驟還包括如下步驟第一步驟紅色、綠色和藍(lán)色放電單元的透明電極上形成第1總線層；第二步驟綠色和藍(lán)色放電單元的第1總線層上形成第2總線層；第三步驟藍(lán)色放電單元的第2總線層上形成有第3總線層。
上面所說的第1至第3總線層是利用絲網(wǎng)印刷(screen printing)工序和影印法(photolithography)工序中至少一種工序來形成。
形成總線電極的步驟包括如下步驟首先，在形成有透明電極的基板上形成總線金屬層；其次，在上述總線金屬層上利用半透掩模和反射掩模(mask)中任意一種，形成高度互不相同的第1至第3光致抗蝕劑模型(pattern)；再次，通過利用第1至第3光致抗蝕劑模型的蝕刻工序，形成厚度互不相同的紅色，綠色和藍(lán)色放電單元的總線電極。
按上面所說的第1光致抗蝕劑模型、第2光致抗蝕劑模型、第3光致抗蝕劑模型的順序厚度變厚，第1光致抗蝕劑模型形成于紅色放電單元區(qū)域中，而第2光致抗蝕劑模型形成于綠色放電單元區(qū)域中，第3光致抗蝕劑模型形成于藍(lán)色放電單元區(qū)域中。
除上述目的以外，依據(jù)本發(fā)明的另一目的和特征參照所附圖，通過對(duì)實(shí)施例的說明得以闡明。
本發(fā)明的效果與上所述相同，依據(jù)本發(fā)明的等離子顯示面板由總線電極厚度各不相同的放電單元構(gòu)成。由此，總線電極電流相對(duì)高的藍(lán)色放電單元的可視光放出量與其它的放電單元相比要多，總線電極電流相對(duì)少的紅色放電單元的可視光放出量與其它的放電單元相比要少，由此，可以提高傳統(tǒng)輝度相對(duì)低的藍(lán)色放電單元的輝度，可以降低傳統(tǒng)輝度相對(duì)高的藍(lán)色放電單元的輝度，進(jìn)而提高顏色純度和色溫度。
為進(jìn)一步說明本發(fā)明的上述目的、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和效果，以下將結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)的描述。


圖1是依據(jù)本發(fā)明的等離子顯示面板平面示意圖；圖2是圖1中根據(jù)線″I-I′″橫斷的等離子顯示面板橫截面示意圖；圖3a至圖3c是圖2所示的總線電極制造方法的第1實(shí)施例的橫截面示意圖；圖4a至圖4h是圖2所示的總線電極制造方法的第2實(shí)施例的橫截面示意圖。
附圖中主要部分的符號(hào)說明110，118基板112R，112G，112B透明電極113R，113G，115b總線電極114，122絕緣體層116保護(hù)膜 124間隔壁126熒光體 X尋址電極YR，YG，YB掃描電極 ZR，ZG，ZB維持電極具體實(shí)施方式
以下，參照?qǐng)D1至圖4h，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行說明。
圖1是依據(jù)本發(fā)明第1實(shí)施例的PDP平面示意圖；圖2、圖1所示的紅色(R)，綠色(G)和藍(lán)色(B)放電單元的橫截面示意圖。
參照?qǐng)D1和圖2，依據(jù)本發(fā)明的PDP的放電單元配備有上部基板110上形成的掃描電極Y和維持電極Z；下部基板118上形成的尋址電極X。
掃描電極Y和維持電極Z并排形成的上部基板110上疊加有上部絕緣體層114和保護(hù)膜116。在上部絕緣體層114上累積有等離子放電時(shí)產(chǎn)生的壁電荷。保護(hù)膜116是防止等離子放電時(shí)產(chǎn)生的濺射對(duì)上部絕緣體層114的損傷，同時(shí)提高了二次電子放出的效率。保護(hù)膜116通常由氧化鎂(MgO)形成。
形成有尋址電極X的下部基板118上，形成有下部絕緣體層122和間隔壁124；下部絕緣體層122和間隔壁124的表面涂抹有熒光體126。尋址電極X在掃描電極Y和維持電極Z交叉的方向上形成。間隔壁124與尋址電極X并排形成，防止放電產(chǎn)生的紫外線和可視光向相鄰的放電單元泄漏。熒光體126受等離子放電時(shí)產(chǎn)生的紫外線作用，產(chǎn)生紅色、綠色或藍(lán)色中任意一種可視光線。上/下部基板110，112和間隔壁124之間形成的放電空間中注入有用于氣體放電的惰性氣體。
另一方面依據(jù)本發(fā)明的等離子顯示面板的掃描電極YR、YG、YB和維持電極ZR、ZG、ZB分別包括透明電極112R、112G、112B；比透明電極112R、112G、112B線幅小，且在透明電極112R、112G、112B一側(cè)邊緣形成的總線電極113R、113G、113B。透明電極112R、112G、112B通常是由氧化銦(Indium Tin OxideITO)在上部基板110上形成，總線電極113R、113G、113B是由銀(Ag)、鉻(Cr)、銅(Cu)等傳導(dǎo)性好的物質(zhì)形成。這種總線電極113R、113G、113B在透明電極112R、112G、112B一側(cè)上形成，可以起到減少因高電阻的透明電極112R、112G、112B產(chǎn)生電壓下降的作用。
總線電極113R、113G、113B按紅色(R)、綠色(G)和藍(lán)色(B)放電單元的不同其厚度也不同，即總線電極113R、113G、113B與各放電單元輝度成反比，依紅色放電單元、綠色放電單元、藍(lán)色放電單元的順序厚度依次增加。
紅色，綠色和藍(lán)色放電單元中輝度高的紅色放電單元其總線電極113R的厚度相對(duì)低些，因此，與數(shù)學(xué)式1相同，與總線電極厚度成反比的紅色放電單元的總線電極113R自身的阻抗相對(duì)高，而根據(jù)高阻抗，紅色、綠色和藍(lán)色放電單元認(rèn)可同一電壓時(shí)，與數(shù)學(xué)式2相同，紅色放電單元的總線電極113R電流變低。
數(shù)學(xué)式1R=ρlA]]>(R表示阻抗、ρ表示比例常數(shù)、l表示長度、A表示橫截面積)數(shù)學(xué)式2V＝IR(V表示電壓、I表示電流、R表示電阻)紅色、綠色和藍(lán)色放電單元中，具有中間輝度特性的綠色放電單元其總線電極113G的厚度與紅色放電單元的總線電極113R的厚度相比，要厚些，與藍(lán)色放電單元的總線電極113B的厚度相比要薄些，與數(shù)字式1相同，與總線電極的厚度成反比的綠色放電單元的總線電極113G自身的電阻與紅色放電單元的總線電極113R電阻相比要低，與藍(lán)色放電單元的總線電極113B電阻相比要高。依比紅色放電單元的總線電極113R電阻要低些的綠色放電單元的總線電極113G電阻，紅色，綠色和藍(lán)色放電單元認(rèn)可同一電壓時(shí)，依數(shù)學(xué)式2，綠色放電單元的總線電極113的電流比紅色放電單元總線電極113R的電流要高。
紅色，綠色和藍(lán)色放電單元中輝度最低的藍(lán)色放電單元中，總線電極113B的厚度相對(duì)形成得較厚，藍(lán)色放電單元的總線電極113B自身的電阻與數(shù)學(xué)式1相同，因?yàn)榕c厚度成反比，所以比綠色放電單元的總線電極113G電阻要低。依與綠色放電單元的總線電極113G電阻相比低的藍(lán)色放電單元的總線電極113B電阻，紅色，綠色和藍(lán)色放電單元認(rèn)可同一電壓時(shí)，與數(shù)學(xué)式2相同，藍(lán)色放電單元的總線電極113B電流比綠色放電單元的總線電極113G電流要高。
總線電極電流相對(duì)高的藍(lán)色放電單元的可視光射出量與其它的放電單元相比多，總線電極電流相對(duì)少的紅色放電單元的可視光放出量與其它放電單元相比要少，由此，可以提高傳統(tǒng)輝度相對(duì)低的藍(lán)色放電單元的輝度，可以降低傳統(tǒng)輝度相對(duì)高的藍(lán)色放電單元的輝度，進(jìn)而提高顏色純度和色溫度。
圖3a至圖3c是圖2所示的總線電極制造方法的第1實(shí)施例橫截面示意圖。
首先，形成有透明電極112R、112G、112B的基板110上，與圖3a所示相同，形成有紅色放電單元的總線電極113R；綠色放電單元和藍(lán)色放電單元的第1總線層115a。紅色放電單元的總線電極113R、綠色放電單元和藍(lán)色放電單元的第1總線層115a利用絲網(wǎng)(screen)印刷法模型印刷絕緣膠水，或通過影印法(photolithography)工序(光刻法工序和蝕刻工序)定形金屬層。
紅色放電單元的總線電極113R、綠色放電單元和藍(lán)色放電單元的第1總線層115a形成的基板110上，與圖3b所示相同，第1總線層115a上形成有第2總線層115b有順序地疊加的綠色放電單元的總線電極113G；和藍(lán)色放電單元的第2總線層115b。
綠色和藍(lán)色放電單元的第2總線層115b利用絲網(wǎng)(screen)印刷法，在除紅色放電單元以外的其它放電單元中模型印刷絕緣膠水，或者在除紅色放電單元以外的其它放電單元中利用光刻法工序和蝕刻工序定型金屬型。
綠色放電單元的總線電極113G、藍(lán)色放電單元的第2總線層115b形成的基板110上，利用絲網(wǎng)(screen)印刷法，只在藍(lán)色放電單元上有選擇地模型印刷絕緣膠水，由此，與圖3c所示相同，形成有依次疊加第1至第3總線層115a、115b、115c的藍(lán)色放電單元的總線電極113B。
藍(lán)色放電單元的總線電極113B的第3總線層115c利用絲網(wǎng)(screen)印刷法將絕緣膠水有選擇地模型印刷至藍(lán)色放電單元，或者利用光刻法工序和蝕刻工序使金屬層留在藍(lán)色放電單元中。
圖4a至圖4h是圖2所示的總線電極制造方法的第2實(shí)施例的橫截面示意圖。
首先，形成有透明電極112R、112G、112B的上部基板110上前面涂抹有總線金屬層162和光致抗蝕劑160。形成有這種光致抗蝕劑160的上部基板110上，與圖4a所示相同，在上述總線金屬層上利用半透掩模和反射掩模(mask)中任意一種，形成有光掩模150。所述的光掩模150包括掩模基板152；掩?；?52上形成的第1和第2部分透過層156，158；以及阻斷層154。利用這種光掩模150，曝光光致抗蝕劑160，與圖4b所示相同，形成依次高度增加的第1至第3光致抗蝕劑模型164A、164B、164C。高度最低的第1光致抗蝕劑模型164A形成于紅色放電單元區(qū)域中，中間高度的第2光致抗蝕劑模型164B形成于綠色放電單元區(qū)域，高度最高的第3光致抗蝕劑模型164C形成于藍(lán)色放電單元區(qū)域。
利用這種第1至第3光致抗蝕劑模型164A、164B、164C的蝕刻工序，對(duì)總線金屬層進(jìn)行一次蝕刻，與圖4c所示相同，形成有紅色、綠色和藍(lán)色放電單元的總線電極113R、113G、113B。之后，通過對(duì)第1至第3光致抗蝕劑模型164A、164B、164C進(jìn)行灰化處理，與圖4d所示相同，除去高度最低的第1光致抗蝕劑模型164A，第2和第3光致抗蝕劑模型164B、164C的高度變低。將高度變低的第2和第3光致抗蝕劑模型164B、164C作為掩模使用，與圖4e所示相同，將外露的紅色放電單元的總線電極113R進(jìn)行二次蝕刻處理，使紅色放電單元的總線電極的厚度與綠色和藍(lán)色放電單元的總線電極113G、113B相比變低。在這之后，對(duì)第2和第3光致抗蝕劑模型164B、164C進(jìn)行灰化(ashing)處理，與圖4f所示相同，除去第2光致抗蝕劑模型164B，第3光致抗蝕劑模型164C的高度變低，將高度變低的第3光致抗蝕劑模型164C作為掩模，將外露的紅色放電單元和綠色放電單元的總線電極113R、113G進(jìn)行三次蝕刻處理，與圖4g所示相同，紅色和綠色放電單元的總線電極113R、113G的厚度與藍(lán)色放電單元的總線電極113B相比變低。由此，總線電極113的厚度按紅色，綠色和藍(lán)色放電單元的順序依次變厚，之后，藍(lán)色放電單元上留有的第3光致抗蝕劑模型164C與圖4h所示相同，通過剝離工序來除去。
另一方面，依據(jù)與此相同的本發(fā)明實(shí)施例，為補(bǔ)償傳統(tǒng)的R，G，B放電單元間的輝度差異，與各R，G，B放電單元的單元間隔不同地加以制作的非對(duì)稱放電單元等離子顯示面板不同，可以制作出各R，G，B放電單元的單元間隔呈相同對(duì)稱的放電單元等離子顯示面板。由此，就可以解決制作非對(duì)稱放電單元等離子顯示面板工序中發(fā)生的許多問題。
本技術(shù)領(lǐng)域中的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到，以上的實(shí)施例僅是用來說明本發(fā)明，而并非用作為對(duì)本發(fā)明的限定，只要在本發(fā)明的實(shí)質(zhì)精神范圍內(nèi)，對(duì)以上所述實(shí)施例的變化、變型都將落在本發(fā)明權(quán)利要求書的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種等離子顯示面板，配備有具有上部電極的上部基板；具有下部電極的下部基板；形成于上部基板和下部基板之間，區(qū)分紅色、綠色和藍(lán)色放電單元的間隔壁，其特征在于所述等離子顯示面板的上部電極的厚度是由不同的實(shí)現(xiàn)紅色，綠色和藍(lán)色的放電單元所形成。
2.如權(quán)利要求1所述的等離子顯示面板，其特征在于所述的上部電極包括在所述上部基板上形成的透明電極；在所述透明電極上按實(shí)現(xiàn)所述紅色、綠色和藍(lán)色的放電單元的不同，其厚度形成不同的總線電極。
3.如權(quán)利要求2所述的等離子顯示面板，其特征在于所述的總線電極的厚度是依紅色放電單元、綠色放電單元和藍(lán)色放電單元的順序依次變厚。
4.如權(quán)利要求1所述的等離子顯示面板，其特征在于所述的紅色，綠色和藍(lán)色放電單元的幅相同。
5.一種等離子顯示面板的制造方法，所述等離子顯示面板包括形成有上部電極的上部基板；形成有下部電極的下部基板；形成于上部基板和下部基板之間，區(qū)分紅色，綠色和藍(lán)色放電單元的間隔壁，其特征在于所述等離子顯示面板的制造方法形成所述上部電極的步驟包括第一步驟在所述上部基板上形成透明電極；第二步驟在所述透明電極上形成紅色，、綠色和藍(lán)色放電單元厚度不同的總線電極。
6.如權(quán)利要求5所述的等離子顯示面板的制造方法，其特征在于形成所述總線電極的步驟包括如下步驟按紅色放電單元、綠色放電單元和藍(lán)色放電單元的順序，其厚度依次變厚形成的總線電極。
7.如權(quán)利要求6所述的等離子顯示面板的制造方法，其特征在于形成所述總線電極的步驟還包括如下步驟第一步驟所述紅色、綠色和藍(lán)色放電單元的透明電極上形成第1總線層；第二步驟所述綠色和藍(lán)色放電單元的第1總線層上形成第2總線層；第三步驟所述藍(lán)色放電單元的第2總線層上形成有第3總線層。
8.如權(quán)利要求7所述的等離子顯示面板的制造方法，其特征在于所述的第1至第3總線層是利用絲網(wǎng)印刷工序或影印法工序形成。
9.如權(quán)利要求6所述的等離子顯示面板的制造方法，其特征在于形成所述總線電極包括如下步驟首先，在形成有透明電極的基板上形成總線金屬層；其次，在上述總線金屬層上利用半透掩模和反射掩模中任意一種，形成高度互不相同的第1至第3光致抗蝕劑模型；再次，通過利用第1至第3光致抗蝕劑模型的蝕刻工序，形成厚度互不相同的紅色，綠色和藍(lán)色放電單元的總線電極。
10.如權(quán)利要求9所述的等離子顯示面板的制造方法，其特征在于厚度是按所述的第1光致抗蝕劑模型、第2光致抗蝕劑模型、第3光致抗蝕劑模型的順序變厚；第1光致抗蝕劑模型形成于紅色放電單元區(qū)域中，而第2光致抗蝕劑模型形成于綠色放電單元區(qū)域中，第3光致抗蝕劑模型形成于藍(lán)色放電單元區(qū)域中。
全文摘要
本發(fā)明是關(guān)于可以提高色度的等離子顯示面板及其制造方法，本發(fā)明的等離子顯示面板配備有具有上部電極的上部基板；具有下部電極的下部基板；形成于上部基板和下部基板之間，區(qū)分紅色、綠色和藍(lán)色放電單元的間隔壁。這種等離子顯示面板其特點(diǎn)是上部電極的厚度是由不同的實(shí)現(xiàn)紅色，綠色和藍(lán)色的放電單元所形成。本發(fā)明的總線電極電流相對(duì)高的藍(lán)色放電單元的可視光放出量與其它的放電單元相比要多，總線電極電流相對(duì)少的紅色放電單元的可視光放出量與其它的放電單元相比要少，由此，可以提高傳統(tǒng)輝度相對(duì)低的藍(lán)色放電單元的輝度，可以降低傳統(tǒng)輝度相對(duì)高的藍(lán)色放電單元的輝度，進(jìn)而提高顏色純度和色溫度。
文檔編號(hào)H01J11/10GK101042967SQ200610024929
公開日2007年9月26日 申請(qǐng)日期2006年3月22日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月22日
發(fā)明者李鵬周, 權(quán)吉容, 辛永教 申請(qǐng)人:樂金電子(南京)等離子有限公司