專(zhuān)利名稱：氣體放電顯示裝置及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及備有等離子體顯示板等氣體放電板的氣體放電顯示裝置及其制造方法。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，在以高清晰度為代表的高品位上對(duì)大屏幕顯示器的期望越來(lái)越高，為此，正進(jìn)行著對(duì)CRT、液晶顯示器(以下簡(jiǎn)稱為L(zhǎng)CD)、等離子體顯示板(Plasma Display Panel，以下簡(jiǎn)稱為PDP)等各種顯示器的研究開(kāi)發(fā)。這些顯示器分別具有如下的特征。
CRT，在析像度及畫(huà)質(zhì)方面優(yōu)良，很久以來(lái)廣泛應(yīng)用于電視機(jī)等。但當(dāng)使其大屏幕化時(shí)，存在著厚度尺寸及重量極度增加的課題，如何解決這一問(wèn)題便成為CRT的開(kāi)發(fā)要點(diǎn)。從上述課題看來(lái)，一般認(rèn)為，很難制作超過(guò)40英寸的大屏幕CRT。
另一方面，LCD比CRT耗電量少，并具有厚度尺寸小且重量也輕的優(yōu)異性能，目前作為計(jì)算機(jī)的監(jiān)視器而日益普及。但是，在LCD中有代表性的TFT(Thin Film Transistor；薄膜晶體管)方式的LCD具有非常細(xì)微的結(jié)構(gòu)，所以為制造TFT方式的LCD必需經(jīng)過(guò)數(shù)道復(fù)雜的工序。因此，如增大LCD的屏面尺寸，則上述工序?qū)⑦M(jìn)一步復(fù)雜化，因而制造時(shí)的合格率降低。為此，一般認(rèn)為，目前很難制作尺寸超過(guò)30英寸的LCD。
與如上所述的CRT及LCD不同，PDP是有利于以較輕的重量實(shí)現(xiàn)大屏幕的氣體放電板顯示裝置。因此，在尋求新一代顯示器的當(dāng)前情況下，特別積極地推進(jìn)著為使PDP大屏幕化的研究開(kāi)發(fā)，并已開(kāi)發(fā)出超過(guò)50英寸的產(chǎn)品。
PDP的具體結(jié)構(gòu)為，將按條狀并列設(shè)置有多對(duì)顯示電極和多個(gè)障壁的玻璃板與另一片玻璃板相對(duì)配置，在障壁之間按RGB各種顏色涂布熒光體，然后將2片玻璃板氣密粘接，通過(guò)上述多對(duì)顯示電極的放電使封入到障壁與2片玻璃板之間的放電空間內(nèi)的放電氣體產(chǎn)生紫外線(UV)并由紫外線(UV)激發(fā)熒光體而發(fā)光。這里，
圖13(a)是表示配置在正面玻璃板21上的現(xiàn)有的PDP中的一對(duì)顯示電極22、23的斜視圖，圖13(b)是從z方向俯視該一對(duì)顯示電極22、23的正視圖。圖(a)、(b)所示的一對(duì)顯示電極22、23，通過(guò)將金屬制的匯流線(總線電極)221、231重疊在帶狀體的透明電極220、230上而構(gòu)成。340是由鄰接的障壁30分隔的用于圖象顯示的單元，例如將具有R(紅)、G(綠)、B(藍(lán))熒光體層的各單元340沿著顯示電極22、23的縱向平行配置，從而形成用于彩色顯示的象素。
這種PDP，因驅(qū)動(dòng)方式的不同而分為DC(直流)型和AC(交流)型。一般認(rèn)為，其中的AC型適于大屏幕化，因此這種型式正作為一般的PDP而得到普及。
可是，在當(dāng)前期望著盡可能抑制耗電量的電氣產(chǎn)品的情況下，對(duì)PDP也希望降低驅(qū)動(dòng)時(shí)的耗電量。特別是，從近來(lái)的大屏幕化及高清晰度化的動(dòng)向來(lái)看，所開(kāi)發(fā)的PDP的耗電量有增加的傾向，所以提高了對(duì)節(jié)電技術(shù)的需求?；谏鲜銮闆r，期望著減低PDP的耗電量。
但是，如果只一味地推行減低PDP的耗電量的對(duì)策，則將使上述多對(duì)顯示電極之間發(fā)生的放電規(guī)模減小，因而不能得到足夠的發(fā)光量，所以必須在抑制耗電量的同時(shí)獲得良好的顯示性能(即獲得良好的發(fā)光效率)。如果發(fā)光量不足，則PDP的顯示性能降低，所以只是單純地減小PDP的耗電量的對(duì)策很難說(shuō)是用于提高發(fā)光效率的有效對(duì)策。
另外，為提高發(fā)光效率，例如還進(jìn)行了提高由熒光體將紫外線變換為可見(jiàn)光時(shí)的變換效率的研究，但在現(xiàn)階段還不曾看到有什么非常顯著的改善，因而依然留有進(jìn)一步的研究余地。
以上的問(wèn)題，不限于PDP等氣體放電板，例如，在備有除(在充滿了放電氣體的玻璃容器中通過(guò)放電而發(fā)光的)PDP以外的氣體放電板的氣體放電顯示裝置中也同樣存在。
一般認(rèn)為，在這類(lèi)氣體放電顯示裝置中，確保適當(dāng)?shù)陌l(fā)光效率目前還非常困難。
發(fā)明的公開(kāi)本發(fā)明是鑒于上述問(wèn)題而開(kāi)發(fā)的，其目的是提供一種能夠確保適當(dāng)?shù)陌l(fā)光效率并由此而在使耗電量比以往低的同時(shí)確保用于獲得良好顯示性能的放電規(guī)模的氣體放電顯示裝置及其制造方法。
上述目的可以由如下的氣體放電顯示裝置實(shí)現(xiàn)，即，在相對(duì)設(shè)置的一對(duì)基板之間，按矩陣狀配置封入了放電氣體的多個(gè)單元，上述一對(duì)基板中在第1基板的與第2基板相對(duì)的面上以橫跨多個(gè)單元的狀態(tài)配置一對(duì)以上的顯示電極，在該氣體放電顯示裝置中，一對(duì)顯示電極，備有沿上述矩陣的行方向延伸的2個(gè)延伸部、在該2個(gè)延伸部上與1個(gè)延伸部電氣連接并向另一個(gè)延伸部伸出配置的多個(gè)內(nèi)側(cè)伸出部、及在上述2個(gè)延伸部之間保持一定距離并將配置在同一延伸部上的2個(gè)以上的內(nèi)側(cè)伸出部電氣連接的連接部。
按照這種結(jié)構(gòu)，在本發(fā)明中由內(nèi)側(cè)伸出部與連接部的組合形成顯示電極，所以在一對(duì)顯示電極的間隙內(nèi)發(fā)生的放電通過(guò)各內(nèi)側(cè)伸出部及將其連接的連接部逐漸擴(kuò)大。在本發(fā)明中，特別是以電氣連接的方式設(shè)置連接部和各內(nèi)側(cè)伸出部，所以能夠沿著顯示電極的縱向有效地?cái)U(kuò)大放電規(guī)模。
另外，在延伸部與多個(gè)連接部之間存在多個(gè)空孔區(qū)域。在該空孔區(qū)域內(nèi)當(dāng)然不蓄存電荷，所以，當(dāng)驅(qū)動(dòng)氣體放電顯示裝置而開(kāi)始放電時(shí)，與以往相比在結(jié)構(gòu)上將使蓄存在顯示電極上的電荷量減少。此外，當(dāng)一旦開(kāi)始放電時(shí)，放電也將擴(kuò)散和擴(kuò)大到空孔區(qū)域所在的部位，所以，盡管設(shè)置著空孔區(qū)域，放電規(guī)模仍能達(dá)到滿意的規(guī)模。
基于上述的特征，本發(fā)明的氣體放電顯示裝置，可以在減少蓄存在顯示電極上的電荷量從而抑制耗電量的同時(shí)確保顯示性能相當(dāng)于或超過(guò)現(xiàn)有的裝置。就是說(shuō)，在本發(fā)明中，能夠合理地減小顯示部的顯示電極的面積(電容量)并節(jié)省多余電力消耗，從而可以實(shí)現(xiàn)發(fā)光效率優(yōu)異的氣體放電顯示裝置。
這里，例如在特開(kāi)平8-250029號(hào)公報(bào)、USP5587624等文獻(xiàn)中公開(kāi)了在顯示電極上設(shè)置多個(gè)伸出部的例，可以認(rèn)為由此取得了提高發(fā)光效率等效果。
但是，在這些文獻(xiàn)中，沒(méi)有公開(kāi)如本發(fā)明這樣的設(shè)置將2個(gè)以上的內(nèi)部伸出部電氣連接的連接部的技術(shù)，而且，由于各伸出部獨(dú)立設(shè)置，其定位是很困難的。鑒于這種情況，在本發(fā)明中，通過(guò)在顯示電極上設(shè)置上述連接部，可以避免因在制造精度上產(chǎn)生偏差而使制造成本大幅度增加的問(wèn)題及圖象均勻性惡化的問(wèn)題，因而在這些方面也具有優(yōu)異的效果。
作為本發(fā)明的氣體放電顯示裝置，具體地說(shuō)，可舉出PDP等。在PDP中存在著有效地抑制伴隨著當(dāng)前的大屏幕化而產(chǎn)生的耗電量增大的課題，如將本發(fā)明應(yīng)用于PDP，則可以認(rèn)為是極其有效的。
另外，在本發(fā)明中，也可以在每個(gè)延伸部上配置多個(gè)連接部。
另外，也可以用透明電極材料制作內(nèi)側(cè)伸出部及連接部，并用金屬材料制作延伸部。在這種情況下，延伸部將成為匯流線。由于透明電極材料與金屬材料相比電阻高，所以如采用本發(fā)明則可以期待著耗電量將得到有效的改善。
進(jìn)一步，在本發(fā)明中，也可以在與內(nèi)側(cè)伸出部相反一側(cè)的方向上設(shè)置外側(cè)伸出部，使1條匯流線的寬度方向的兩個(gè)端部位于中間。按照這種結(jié)構(gòu)，則除上述效果外，還可以將放電規(guī)模從匯流線向外側(cè)擴(kuò)大，因而可以獲得更優(yōu)異的發(fā)光效率。
另外，當(dāng)形成使其覆蓋一對(duì)以上的顯示電極的層時(shí)，以由氧化鎂形成的層構(gòu)成與一對(duì)顯示電極的最短放電間隙對(duì)應(yīng)的區(qū)域，除此以外的區(qū)域可以由電子發(fā)射率低于氧化鎂的材質(zhì)(例如氧化鋁)形成。按照這種結(jié)構(gòu)，在驅(qū)動(dòng)氣體放電顯示裝置時(shí)，可以取得在放電初期易于發(fā)生放電的效果。
附圖的簡(jiǎn)單說(shuō)明圖1是本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1的PDP的板部的局部斷面斜視圖。
圖2是實(shí)施形態(tài)1的PDP的板驅(qū)動(dòng)部和顯示電極等的簡(jiǎn)圖。
圖3是表示實(shí)施形態(tài)1的板驅(qū)動(dòng)部的驅(qū)動(dòng)過(guò)程的圖。
圖4是表示實(shí)施形態(tài)1的PDP的顯示電極的正視圖。
圖5是表示實(shí)施形態(tài)2的PDP的顯示電極的正視圖。
圖6是表示實(shí)施形態(tài)3的PDP的顯示電極的正視圖。
圖7是表示實(shí)施形態(tài)4的PDP的顯示電極的正視圖。
圖8是表示實(shí)施形態(tài)5的PDP的顯示電極的正視圖。
圖9是表示實(shí)施形態(tài)5的PDP的顯示電極的變形例的正視圖。
圖10是實(shí)施形態(tài)6的PDP的局部斷面圖。
圖11是表示進(jìn)行了黑底處理的實(shí)施形態(tài)1的顯示電極的正視圖。
圖12是表示作為本發(fā)明一應(yīng)用例的氣體放電器件的結(jié)構(gòu)的圖。(a)是氣體放電器件的總體斜視圖。(b)是表示氣體放電器件的放電電板結(jié)構(gòu)的圖。
圖13表示現(xiàn)有型PDP的顯示電極的正視圖。(a)是表示現(xiàn)有的顯示電極的局部斜視圖。(b)是表示現(xiàn)有的顯示電極的正視圖。
用于實(shí)施發(fā)明的最佳形態(tài)1．氣體放電顯示裝置的結(jié)構(gòu)1-1．實(shí)施形態(tài)1圖1是表示作為本發(fā)明實(shí)施形態(tài)1的氣體放電顯示裝置一例的交流沿面放電型PDP的板部2的主要結(jié)構(gòu)的局部斷面斜視圖。圖中，z方向是PDP的厚度方向，xy平面相當(dāng)于與PDP的板面平行的平面。該xyz各方向，在后文說(shuō)明的所有的圖1～13中通用。本PDP的結(jié)構(gòu)，大致分為該板部2及后文所述的板驅(qū)動(dòng)部1。
如圖1所示，本PDP的板部2，由使主表面彼此相對(duì)地配置的正面板20及背面板26構(gòu)成。
在用作正面板20的基板的正面玻璃板21上，在其一個(gè)表面上沿著x方向構(gòu)成一對(duì)顯示電極22、23(X電極22、Y電極23)，并在一對(duì)顯示電極22、23之間進(jìn)行沿面放電。顯示電極22、23的詳細(xì)結(jié)構(gòu)將在后文中說(shuō)明。
在配置有顯示電極22、23的正面玻璃板21上，在該玻璃板21的整個(gè)表面上覆蓋電介質(zhì)層24，并進(jìn)一步在電介質(zhì)層24上覆蓋保護(hù)層25。
在用作背面板26的基板的背面玻璃板27上，在其一個(gè)表面上將y方向作為縱向并以一定間隔按條狀并列設(shè)置多個(gè)地址電極28，并在背面玻璃板27的整個(gè)表面上覆蓋電介質(zhì)膜29，使其包敷該地址電極28。在電介質(zhì)膜29上，按照鄰接的地址電極28的間隙配置障壁30，然后在鄰接的障壁30的側(cè)面及在其間的電介質(zhì)膜29的表面上形成與紅色(R)、綠色(G)、藍(lán)色(B)的任何一種顏色對(duì)應(yīng)的熒光體層31～33。這些RGB的各熒光體層31～33沿x方向依次配置，從而構(gòu)成板的彩色顯示。
具有上述結(jié)構(gòu)的正面板20和背面板26，彼此相對(duì)地配置成使地址電極28與顯示電極22、23的縱向相互正交，同時(shí)在兩個(gè)板20、26的外周緣部進(jìn)行封接和密封。然后，在上述兩個(gè)板20、26之間以規(guī)定的壓力(以往通常為4×104～8×104pa左右)封入由He、Xe、Ne等稀有氣體構(gòu)成的放電氣體(封入氣體)，并在鄰接的障壁30之間形成放電空間38，由鄰接的一對(duì)顯示電極22、23與1個(gè)地址電極28隔著放電空間38而相互交叉的區(qū)域，對(duì)應(yīng)著與圖象顯示有關(guān)的單元340(在圖2之后的圖中示出)。
然后，當(dāng)由板驅(qū)動(dòng)部1驅(qū)動(dòng)該P(yáng)DP時(shí)，在地址電極28與顯示電極22、23的任何一個(gè)(在本實(shí)施形態(tài)中將其假定為X電極22。一般將該X電極22稱為掃描電極，將Y電極23稱為維持電極)或一對(duì)顯示電極22、23之間通過(guò)放電而產(chǎn)生短波長(zhǎng)的紫外線(將波長(zhǎng)約147nm及173nm作為中心波長(zhǎng)的譜線)，并使熒光體層31～33發(fā)光而進(jìn)行圖象顯示。
放電氣體，可以先通過(guò)插設(shè)在背面板26上的尖嘴管(圖中未示出)對(duì)放電空間內(nèi)進(jìn)行排氣，然后再以規(guī)定的壓力(在本PDP中為2.6×105Pa)封入。當(dāng)放電氣體壓力比大氣壓力高時(shí)，正面板20和背面板26最好是通過(guò)障壁30的頂部粘接。
這里，圖2是配置有顯示電極22、23的正面玻璃板21和連接于顯示電極22、23及地址電極28的板驅(qū)動(dòng)部1的簡(jiǎn)圖。
該圖所示的板驅(qū)動(dòng)部1，具有眾所周知的結(jié)構(gòu)，由與地址電極28連接的數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)器101、與各Y電極22連接的維持驅(qū)動(dòng)器102、與各X電極23連接的掃描驅(qū)動(dòng)器103、及控制這些驅(qū)動(dòng)器101～103的驅(qū)動(dòng)電路100等構(gòu)成。
各驅(qū)動(dòng)器101～103，控制對(duì)各自的連接端的各電極22、23、28等的通電，驅(qū)動(dòng)電路100統(tǒng)括地控制各驅(qū)動(dòng)器101～103的動(dòng)作，并使板部2進(jìn)行適當(dāng)?shù)漠?huà)面顯示。
在驅(qū)動(dòng)電路100內(nèi)裝有將從本PDP的外部輸入的圖象數(shù)據(jù)存儲(chǔ)一定時(shí)間的存儲(chǔ)部、及將所存儲(chǔ)的圖象依次取出并進(jìn)行γ校正處理等圖象處理用的多個(gè)電路。
以下，根據(jù)圖3說(shuō)明由以上結(jié)構(gòu)部件100～104構(gòu)成的板驅(qū)動(dòng)部1對(duì)PDP的大致驅(qū)動(dòng)過(guò)程。
首先，板驅(qū)動(dòng)器1由掃描驅(qū)動(dòng)器103對(duì)各X電極22施加初始化脈沖，并對(duì)蓄存在各單元340內(nèi)的電荷(壁電荷)進(jìn)行初始化。
然后，板驅(qū)動(dòng)器1，用掃描驅(qū)動(dòng)器103和數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)器101分別同時(shí)對(duì)板平面上從上起的第1個(gè)X電極22施加掃描脈沖、對(duì)與進(jìn)行顯示的單元340對(duì)應(yīng)的地址電極28施加寫(xiě)入脈沖以進(jìn)行寫(xiě)入放電，從而將壁電荷蓄存在電介質(zhì)層24的表面上。
接著，板驅(qū)動(dòng)部1，分別同時(shí)對(duì)第2個(gè)X電極22施加掃描脈沖、對(duì)與進(jìn)行顯示的單元340對(duì)應(yīng)的地址電極28施加寫(xiě)入脈沖以進(jìn)行寫(xiě)入放電，從而將壁電荷蓄存在電介質(zhì)層24的表面上。
板驅(qū)動(dòng)部1，按同樣方式以持續(xù)的掃描脈沖依次將與進(jìn)行顯示的單元340對(duì)應(yīng)的壁電荷蓄存在電介質(zhì)層24的表面上，從而寫(xiě)入板的1個(gè)畫(huà)面的潛象。
接著，板驅(qū)動(dòng)部1，為進(jìn)行維持放電(沿面放電)，使地址電極28接地并用掃描驅(qū)動(dòng)器103和維持驅(qū)動(dòng)器102對(duì)任意一對(duì)顯示電極22、23交替地施加維持脈沖。由此在電介質(zhì)層24的表面上蓄存了壁電荷的單元340中將使電介質(zhì)層24的表面電位超過(guò)放電起始電壓而發(fā)生放電，在施加著維持脈沖的期間(圖中所示的放電維持期間)內(nèi)，將維持該放電(即沿面放電)。
在這之后，板驅(qū)動(dòng)器1，通過(guò)掃描驅(qū)動(dòng)器103對(duì)X電極22施加寬度狹窄的脈沖，并發(fā)生不完全放電而將壁電荷消除，從而進(jìn)行畫(huà)面的擦除(擦除期間)。通過(guò)反復(fù)進(jìn)行上述動(dòng)作，板驅(qū)動(dòng)部1使板部2進(jìn)行畫(huà)面顯示。
以上是PDP的板驅(qū)動(dòng)部1和板部2的總體結(jié)構(gòu)及其大致的動(dòng)作。其中，本發(fā)明的主要特征在于，以顯示電極22、23為中心的結(jié)構(gòu)。
圖4是從z方向(PDP的厚度方向)觀察在該P(yáng)DP的正面玻璃板21上形成的顯示電極22、23的局部正視圖。圖中，與y方向平行延伸的2條虛線之間，是鄰接的2個(gè)障壁30之間的x方向的單元間距(360μm)。此外，平行的單點(diǎn)鎖線之間，相當(dāng)于障壁30的厚度。在該圖4及其后的圖5～圖9、圖11中，為簡(jiǎn)單起見(jiàn)將地址電極28等的圖示省略。
一對(duì)顯示電極22、23，主要由透明電極220(230)及匯流線221(231)構(gòu)成。透明電極220(230)，由氧化銦錫(ITO)構(gòu)成，匯流線221(231)，由Cr/Cu/Cr或Ag等構(gòu)成(這里是Ag)。
透明電極220(230)，如圖所示，由基部2201(2301)、內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)、及連接部2203(2303)各部分構(gòu)成。
基部2201(2301)，是沿x方向延伸的帶狀體(y方向?qū)挾?0μm×z方向厚度0.5μm)，在該基部2201(2301)上延伸層疊著電氣接觸的帶狀體(y方向?qū)挾?0μm×z方向厚度4μm)匯流線221(231)。
內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)，是在一對(duì)顯示電極22、23的間隙中沿y方向從基部2201(2301)延伸的x方向?qū)挾?0μm×y方向長(zhǎng)度80μm×z方向厚度0.5μm的長(zhǎng)方體，按每一定間隔(每50μm)沿x方向并列設(shè)置。在本實(shí)施形態(tài)1中，內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)，在單元間距內(nèi)對(duì)應(yīng)地各配置4個(gè)(在一對(duì)顯示電極22、23中總計(jì)各為8個(gè))。
連接部2203(2303)，是沿x方向延伸的帶狀體(y方向?qū)挾?0μm×z方向厚度0.5μm)，用于連接上述內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)的前端。
按照上述透明電極220(230)的結(jié)構(gòu)，該透明電極220(230)可形成沿x方向按每個(gè)單元間距并排著多個(gè)大致為正方形(x方向長(zhǎng)度50μm×y方向長(zhǎng)度50μm)的空孔區(qū)域2204(2304)的陣列圖案。
在圖4中，一對(duì)顯示電極22、23的最短間隙即連接部2203、2303的放電間隙D1為40μm，匯流線221、231之間的放電間隙D2為210μm，在一對(duì)顯示電極22、23中，最大的放電間隙D3為280μm。此外，為防止串?dāng)_等的發(fā)生，將沿y方向鄰接的顯示電極22(23)之間的間隙設(shè)定為400μm，并將y方向的單元間距設(shè)定為1080μm。在圖4中，為便于理解本實(shí)施形態(tài)1的透明電極220(230)的形狀特征，將基部2201(2301)、內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)等的寬度和間隔畫(huà)得比實(shí)際細(xì)。
這種結(jié)構(gòu)的顯示電極22、23主要參照以下各點(diǎn)制作。
構(gòu)成透明電極220(230)的ITO，與用于形成匯流線221(231)的金屬材料(Ag等)相比，具有較高的電阻。
這里，從外部供給透明電極220(230)的電力，并不一定全部用于產(chǎn)生紫外線的放電及放電本身，而是在透明電極220(230)中蓄存多余的電荷，因而存在著白白消耗的部分。
另外，即使盡量地將透明電極設(shè)置在使障壁30與透明電極220(230)交叉的區(qū)域(即透明電極220(230)靠近障壁30的區(qū)域)附近，對(duì)發(fā)光也沒(méi)有多大的直接幫助，而且很容易導(dǎo)致上述的多余電力消耗。
因此，在本發(fā)明中，設(shè)法從現(xiàn)有型透明電極減少了產(chǎn)生上述的多余電力消耗的部分。有鑒于此，本實(shí)施形態(tài)1的透明電極220(230)，使面積比現(xiàn)有型小而避免了多余電荷的蓄存，從而抑制了電力消耗，另一方面，以勻稱協(xié)調(diào)的方式設(shè)計(jì)成能夠保持滿意的放電規(guī)模(特別是向X方向擴(kuò)展的放電規(guī)模)的形狀。
進(jìn)一步，在本實(shí)施形態(tài)1中，為獲得良好的發(fā)光效率，對(duì)一對(duì)顯示電極22、23的放電間隙采取了如下的設(shè)計(jì)方式。即，首先，根據(jù)眾所周知的帕邢定律設(shè)定內(nèi)側(cè)伸出部2202a、2302a的放電間隙D1。就是說(shuō)，當(dāng)放電氣體壓力為P、放電間隙為d時(shí)，利用表示乘積Pd與放電起始電壓的關(guān)系的帕邢曲線，相對(duì)于上述放電氣體壓力(2.6×105Pa)并考慮到大量生產(chǎn)中的偏差，將放電間隙D1按照使放電起始電壓比極小值稍大的間隙值設(shè)定為大約40μm。此外，根據(jù)上述帕邢曲線，匯流線221、231之間的D2，設(shè)定為在放電效率上使放電維持電壓接近極小的值，一對(duì)顯示電極22、23中最大的放電間隔D3，設(shè)定為使其能夠獲得規(guī)模足夠的沿面放電。
由于帕邢曲線的形狀因放電氣體的種類(lèi)而不同，所以D1～D3的值具有依賴于各放電氣體的帕邢曲線的性質(zhì)。因此，當(dāng)設(shè)定D1～D3時(shí)，最好每次都根據(jù)帕邢曲線適當(dāng)?shù)卣{(diào)整D1～D3的值。
另外，在本實(shí)施形態(tài)1中，通過(guò)連接部2203(2303)將多個(gè)內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)電氣連接，所以，即使因制造工序的誤差而使內(nèi)側(cè)伸出部2202a與2302a的位置有一些偏移，對(duì)放電也不會(huì)有什么影響。
按照具有以上結(jié)構(gòu)的PDP，在驅(qū)動(dòng)PDP時(shí)的放電維持期間的初期，如將維持脈沖施加于一對(duì)顯示電極22、23，則根據(jù)上述帕邢定律在最適于開(kāi)始放電的放電間隙D1中、即在內(nèi)側(cè)伸出部2202a和2302a的前端部之間開(kāi)始沿面放電。這時(shí)，放電間隙D1如為大約40μm，則比以往的間隙窄，所以，與沒(méi)有設(shè)置內(nèi)側(cè)伸出部的情況相比，開(kāi)始放電所需的電壓(放電起始電壓)變低，因而可以在抑制耗電量的同時(shí)開(kāi)始滿意的放電。
在本PDP中，在放電開(kāi)始后，在經(jīng)過(guò)放電維持期間的過(guò)程中向xy方向(即板面方向)擴(kuò)展，有助于放電的顯示電極22、23的區(qū)域通過(guò)匯流線221、231擴(kuò)大。特別是，在本發(fā)明中，放電向x方向的擴(kuò)大，因配置了連接部2203(2303)而變得更為良好。就是說(shuō)，在本發(fā)明中，具有使放電規(guī)模擴(kuò)大到蓄存了電荷的電極區(qū)域以外的區(qū)域的特征，基于這一特征，盡管因設(shè)置空孔區(qū)域2204(2304)而減小了透明電極220(230)的面積，但在放電開(kāi)始后，在空孔區(qū)域2204(2304)內(nèi)也進(jìn)行放電，因而能夠確保足夠的放電規(guī)模。
在放電間隙D1中發(fā)生的放電，最終將擴(kuò)大到外側(cè)伸出部222b、232b的最大放電間隔D3，從而可以在寬闊的面積范圍上進(jìn)行沿面放電。因此，本實(shí)施形態(tài)1的PDP，可以抑制多余的電力消耗，而且能確保足夠的沿面放電規(guī)模，所以是發(fā)光和電力消耗之間均衡、即發(fā)光效率優(yōu)異的PDP。
這里，單元間距內(nèi)的內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)的個(gè)數(shù)，不限于4個(gè)，也可以是除此以外的個(gè)數(shù)。進(jìn)一步，內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)以及連接部2203(2303)等的尺寸，也可以根據(jù)單元尺寸進(jìn)行適當(dāng)?shù)恼{(diào)節(jié)。但是，如果連接部2203(2303)等太細(xì)，則電阻增大，反而會(huì)產(chǎn)生焦耳熱損失等多余的電力消耗。因此，最好是用實(shí)驗(yàn)預(yù)先確認(rèn)耗電量與發(fā)光效率的均衡后再進(jìn)行尺寸設(shè)定。此外，也可以根據(jù)同樣的條件變更以下各實(shí)施形態(tài)中的透明電極220(230)的各部尺寸。
以下，說(shuō)明其他實(shí)施形態(tài)。各實(shí)施形態(tài)的特征部分以外的重復(fù)說(shuō)明從略。
1-2．實(shí)施形態(tài)2在上述實(shí)施形態(tài)1中，假定為具有基部2201(2301)的透明電極220(230)，但也可以將該基部2201(2301)省去，并進(jìn)行進(jìn)一步減少基部2201(2301)與匯流線221(231)沿z方向重疊的區(qū)域上的透明電極220(230)的耗電量的改進(jìn)。
這里，圖5的一對(duì)顯示電極22、23的正視圖，是表示進(jìn)行了上述改進(jìn)的本實(shí)施形態(tài)2的特征的圖。在本實(shí)施形態(tài)2中，除上述改進(jìn)以外，從一對(duì)顯示電極22、23的間隙沿y方向向外側(cè)配置著從內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)延伸的外側(cè)伸出部2202b(2302b)(x方向?qū)挾?0μm×y方向長(zhǎng)度30μm×z方向厚度0.5μm)。即，在本實(shí)施形態(tài)2中，將內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)和外側(cè)伸出部2202b(2302b)形成為一體的伸出部2202(2302)(x方向?qū)挾?0μm×y方向長(zhǎng)度110μm×z方向厚度0.5μm)與匯流線221(231)正交，內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)的前端與連接部2203(2303)連接。按照這種結(jié)構(gòu)，在各放電間隙D1～D3的值中，D1為40μm,D2為200μm,D3為320μm。
另外，x方向和y方向的單元間距，分別設(shè)定為360μm和1080μm。
按照具有這種結(jié)構(gòu)的本實(shí)施形態(tài)2的PDP，除實(shí)施形態(tài)1的效果以外，由于在PDP驅(qū)動(dòng)時(shí)的放電維持期間減少了因存在基部2201(2301)時(shí)蓄存的電荷而導(dǎo)致的多余電力消耗，所以可以期待著節(jié)電性能的進(jìn)一步提高。此外，由于所發(fā)生的放電通過(guò)匯流線221(231)而擴(kuò)展到外側(cè)伸出部2202b(2302b)，所以使沿面放電的規(guī)模相應(yīng)地進(jìn)一步擴(kuò)大，從而可以進(jìn)行發(fā)光效率滿意的沿面放電。
另外，外側(cè)伸出部，只需設(shè)置2202b和2302b中的任何一個(gè)即可，但為確保上述規(guī)模滿意的沿面放電，最好還是2202b和2302b兩者都設(shè)置。
1-3．實(shí)施形態(tài)3本實(shí)施形態(tài)3的透明電極220(230)，在上述實(shí)施形態(tài)2的基礎(chǔ)上，備有多個(gè)連接部，即，如圖6的一對(duì)顯示電極22、23的正視圖所示，其中包括第一連接部2203a(2303b)、第二連接部2203b(2303b)，在結(jié)構(gòu)上將該各連接部2203a、……連接于伸出部2204(2304)。
具體地說(shuō)，將實(shí)施形態(tài)1中配置的基部2201(2301)省去，使伸出部2202(2302)與匯流線221(231)正交，并設(shè)置內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)、外側(cè)伸出部2202b(2302b)，另一方面，將第一連接部2203a(2303 a)、第二連接部2203b(2303b)沿x方向平行配置。按照這種結(jié)構(gòu)，在本實(shí)施形態(tài)3中，在各透明電極220(230)上，存在著沿xy方向按矩陣狀分2段配置的多個(gè)空孔區(qū)域2204(2304)的陣列圖案。
在該透明電極220(230)上包含的各部的尺寸，例如如下所列。而在圖4中為了易于理解透明電極220(230)的形狀，使空孔區(qū)域2204(2304)等的形狀與實(shí)際有一些不同。
·第一連接部2203a(2303a)、第二連接部2203b(2303b):y方向長(zhǎng)度20μm×z方向厚度0.5μm)·空孔區(qū)域2204(2304):x方向?qū)挾?0μm×y方向長(zhǎng)度10μm·內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a):x方向?qū)挾?0μm×y方向長(zhǎng)度80μm×z方向厚度0.5μm·外側(cè)伸出部2202b(2302b):x方向?qū)挾?0μm×y方向長(zhǎng)度30μm×z方向厚度0.5μm·x方向、y方向的各單元間距分別為360μm、1080μm·放電間隙D1、D2、D3分別為40μm、200μm、320μm、按照具有這種結(jié)構(gòu)的本實(shí)施形態(tài)3的PDP，除實(shí)施形態(tài)2的效果以外，在PDP驅(qū)動(dòng)時(shí)的放電維持期間開(kāi)始之后，通過(guò)總計(jì)4個(gè)連接部(第一連接部2203a、2303a及第二連接部2203b、2303b)使沿面放電向x方向擴(kuò)展，因而可以取得更為良好的效果。
1-4．實(shí)施形態(tài)4在本實(shí)施形態(tài)4中，如圖7中示出的一對(duì)顯示電極22、23的正視圖所示，是結(jié)構(gòu)大體上與實(shí)施形態(tài)3相同的PDP，即其特征為由連接部(圖中為第二連接部2203b(2303b))將內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)的各尖端對(duì)齊的PDP。
在具有結(jié)構(gòu)如上所述的透明電極220(230)的本實(shí)施形態(tài)4的PDP中，除實(shí)施形態(tài)3的效果以外，在x方向上均勻地存在著在放電初期有效的最短放電間隙D1，所以，在PDP驅(qū)動(dòng)時(shí)的放電維持期間的初期，可以發(fā)生在各部位上均勻的放電，并能比較容易地發(fā)生放電。
1-5．實(shí)施形態(tài)5在實(shí)施形態(tài)5中，如圖8中示出的一對(duì)顯示電極22、23的正視圖所示，是在透明電極220(230)中備有與x方向平行的3個(gè)連接部、即第一～第三連接部2203a～c(2303a～c)并由第三連接部2203c(2303c)連接各內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)的前端部的PDP。而且，具有沿y方向形成3段陣列圖案的各空孔區(qū)域2204(2304)的面積，設(shè)定為離一對(duì)顯示電極22、23的間隙越遠(yuǎn)越小，并使內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)的x方向的寬度在一對(duì)顯示電極22、23的間隙中沿相對(duì)的方向依次增加。這種透明電極220(230)的形狀的設(shè)定意圖是，使電荷的蓄存量從放電間隙D3到D1依次增大。
按照具有以上結(jié)構(gòu)的本實(shí)施形態(tài)5的PDP，在PDP驅(qū)動(dòng)時(shí)的放電期間的放電初期，在透明電極220(230)中，在一對(duì)顯示22、23的最短間隙D1附近最容易蓄存電荷，所以能以足夠的電荷量開(kāi)始良好的放電。在這之后，當(dāng)沿面放電穩(wěn)定下來(lái)時(shí)，放電規(guī)模擴(kuò)展到電荷量比D1減少的間隙D2、D3附近，其結(jié)果是，可以在寬闊的范圍上進(jìn)行沿面放電。這樣，可以根據(jù)需要量使適當(dāng)?shù)碾姾尚畲嬖谕该麟姌O220(230)上，從而避免消耗過(guò)多的電力，因而能制成在電力消耗與發(fā)光效率的均衡上優(yōu)異的PDP。
在圖8中，示出了改變各空孔區(qū)域2204(2304)的面積的例，但如代替這種方式而如圖9所示使各空孔區(qū)域2204(2304)的面積固定，并使鄰接的空孔區(qū)域2204(2304)的間距(即內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)的x方向?qū)挾?在趨向間隙D1的方向上依次增加，則也可以取得與上述同樣的效果。
另外，在本實(shí)施形態(tài)5中，在結(jié)構(gòu)上使電荷易于蓄存在最短放電間隙D1附近的透明電極220(230)的區(qū)域，而且電荷的蓄存量在趨向最大放電間隙D3的方向上逐漸減少，但本發(fā)明并不限于此，在一對(duì)顯示電極22、23中也可以按其他形態(tài)設(shè)定電荷的蓄存量。例如，也可以使圖8中具有3段的各陣列圖案的空孔區(qū)域2204(2304)從最短放電間隙D1到匯流線220(230)按大→小→中改變尺寸，從而使透明電極220(230)沿相同方向的電荷蓄存量按小→大→中變化。通過(guò)這種設(shè)計(jì)，一般在從放電間隙向匯流線221(231)的方向擴(kuò)展的放電過(guò)程中，在該放電過(guò)程的中間電荷蓄存量大，即能夠取得可以在能量轉(zhuǎn)換效率高的區(qū)域激勵(lì)更多的熒光體的效果。
1-6．實(shí)施形態(tài)6本實(shí)施形態(tài)6中的一對(duì)顯示電極22、23的結(jié)構(gòu)大體上與實(shí)施形態(tài)1相同(參照?qǐng)D4)，本實(shí)施形態(tài)6的特征主要在于保護(hù)層25的結(jié)構(gòu)。圖10是沿著該P(yáng)DP的厚度方向(z方向)的局部斷面圖。
這里，隔著在正面玻璃板21的整個(gè)表面上形成的電介質(zhì)層24在與內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)對(duì)應(yīng)的區(qū)域(圖10中內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)的正上方附近的區(qū)域)上形成氧化鎂(MgO)保護(hù)層251，并在除此以外的其他區(qū)域上形成氧化鋁(Al2O3)保護(hù)層252。
按照具有這種結(jié)構(gòu)的PDP，由于氧化鎂的電子發(fā)射率高于氧化鋁，所以在驅(qū)動(dòng)PDP時(shí)的放電期間的初期在最短放電間隙即放電間隙D1中更容易發(fā)生放電，并能將放電起始電壓抑制得很低，從而可以抑制開(kāi)始放電時(shí)的電力消耗。在這之后，電子充滿整個(gè)單元340，在開(kāi)始維持放電之后，雖然在氧化鋁保護(hù)層252上也進(jìn)行放電，但可以抑制無(wú)益于發(fā)光的多余的電子發(fā)射，其結(jié)果是，能夠減少電流量。與其他實(shí)施形態(tài)一樣，可以充分地確保這時(shí)的發(fā)光區(qū)域。
另外，電子發(fā)射率低的保護(hù)層不限定于氧化鋁，也可以采用其他材料。而顯示電極的形狀也不限定于與上述實(shí)施形態(tài)相同，在可能的范圍內(nèi)可以做適當(dāng)?shù)淖兏?。進(jìn)一步，氧化鎂保護(hù)層251，也不限定于如上所述的與內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)相對(duì)應(yīng)的配置方法，即使從圖10中的配置位置到與D1對(duì)應(yīng)的區(qū)域都均勻地設(shè)置該保護(hù)層，也可以取得同樣的效果。
另外，本實(shí)施形態(tài)6根據(jù)實(shí)施形態(tài)1進(jìn)行了說(shuō)明，但也可以根據(jù)其他實(shí)施形態(tài)說(shuō)明。
以上，對(duì)實(shí)施形態(tài)1～6進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明也不一定限定于使顯示電極包括由透明電極材料構(gòu)成的伸出部及由金屬材料構(gòu)成的匯流線的構(gòu)成方法。就是說(shuō)，所包括的兩者也可以用同一材料制作。按照這種方法，可以簡(jiǎn)化制造工序，特別是在制作高清晰度PDP中的微細(xì)的顯示電極上有很大的價(jià)值。具體地說(shuō)，作為這種情況下的金屬材料，例如Ag材料是最佳的，但其他如Cr/Cu/Cr等也可以使用。特別是當(dāng)以Ag材料形成顯示電極時(shí)，與用Cr/Cu/Cr形成相比，可以降低顯示電極的電阻，因而是最理想的。
當(dāng)如上所述以Ag材料構(gòu)成顯示電極時(shí)，從本發(fā)明人的實(shí)驗(yàn)可以清楚地看出，由顯示電極反射的放電發(fā)光的反射率，可以達(dá)到從80％到最大95％以上。因此，在單元內(nèi)產(chǎn)生的發(fā)光即使投射到顯示電極上(即使放電發(fā)光經(jīng)過(guò)3、4次反射)，其發(fā)光量也幾乎不衰減地返回到單元內(nèi)。因此，可以取得使顯示電極上發(fā)生的放電有助于高效率的發(fā)光顯示的效果，而對(duì)單元的孔徑比沒(méi)有什么影響。另外，現(xiàn)有的一般透明電極的可見(jiàn)光透射率限制在大約80％以下，因而很難獲得像本發(fā)明這樣優(yōu)異的放電效率。
另外，在本發(fā)明中，進(jìn)一步還可以對(duì)顯示電極進(jìn)行黑底處理。
這里，圖11示出從PDP的顯示側(cè)觀察進(jìn)行了黑底處理的實(shí)施形態(tài)1的顯示電極的正視圖。該黑底處理，可以在形成顯示電極之前在正面玻璃板上的預(yù)先形成透明電極的位置上利用由含有金屬氧化物或Ag的金屬材料構(gòu)成的黑色材料設(shè)置黑色層2205、2305。
按照這種黑底處理，在PDP驅(qū)動(dòng)時(shí)的放電維持期間的初期，可以防止從外部入射到顯示器的可見(jiàn)光通過(guò)顯示電極而發(fā)出閃光。由此，與以往相比可以獲得在可視性上非常優(yōu)異的顯示性能。
另外，這里作為一例給出了對(duì)實(shí)施形態(tài)1的顯示電極22、23進(jìn)行黑底處理的例，但本發(fā)明當(dāng)然不限定于此，也可以應(yīng)用于其他形狀的顯示電極或只由金屬材料構(gòu)成的顯示電極。
2．PDP的制作方法以下，對(duì)上述各實(shí)施形態(tài)的PDP的制作方法說(shuō)明其一例。
2-1．正面板的制作在由厚度約2.6mm的鈉鈣玻璃構(gòu)成的正面玻璃板的表面上制作顯示電極。為此，首先通過(guò)以下的光刻形成透明電極。
在正面玻璃板的整個(gè)表面上按0.5μm左右的厚度涂布光致抗蝕劑(例如紫外線固化型樹(shù)脂)。然后，將具有一定圖案的光掩模放置在光致抗蝕劑上，用紫外線照射，并浸在顯像液中洗去未固化的樹(shù)脂。接著，用CVD法將作為透明電極材料的ITO等涂布在正面玻璃板的抗蝕劑間隙內(nèi)。在這之后，用清洗液等將抗蝕劑除去，即可形成透明電極。
接著，用以Ag或Cr/Cu/Cr為主要成分的金屬材料在上述透明電極上形成厚度約4μm的匯流線。當(dāng)使用Ag時(shí)，可采用絲網(wǎng)印刷法，當(dāng)使用Cr/Cu/Cr時(shí)，可采用蒸鍍法或?yàn)R射法等。
另外，在全部用Ag制作顯示電極等情況下，例如可以通過(guò)上述光刻等一次制成。
下一步，在正面玻璃板的整個(gè)表面上從顯示電極的頂部按大約15～45μm的厚度覆蓋鉛系玻璃的膏劑，并在燒結(jié)后形成電介質(zhì)層。
然后，在電介質(zhì)層的表面上，用蒸鍍法或CVD(化學(xué)蒸鍍法)等形成厚度約0.3～0.6μm的保護(hù)層。在保護(hù)層上基本使用氧化鎂(MgO)，但當(dāng)部分地改變保護(hù)層的材質(zhì)時(shí)，例如為了將MgO和氧化鋁(Al2O3)區(qū)別使用，通過(guò)采用適當(dāng)金屬掩模的圖案形成法形成保護(hù)層。
由此即可制成正面板。
2-2．背面板的制作在由厚度約2.6mm的鈉鈣玻璃構(gòu)成的背面玻璃板的表面上，用絲網(wǎng)印刷法以一定間隔按條狀涂布以Ag為主要成分的導(dǎo)電體材料，并形成厚度約5μm的地址電極。這里，為使所制成的PDP為40英寸級(jí)的NTSC或VGA，將鄰接的2個(gè)地址電極的間隔設(shè)定為大約0.4μm以下。
接著，在形成了地址電極的背面玻璃板的整個(gè)表面上，按大約20～30μm的厚度涂布鉛系玻璃膏劑，并在燒結(jié)后形成電介質(zhì)膜。
然后，用與電介質(zhì)膜相同的鉛系玻璃材料，在電介質(zhì)膜上在鄰接的每個(gè)地址電極之間形成高度約為60～100μm的障壁。該障壁，例如可以通過(guò)用絲網(wǎng)印刷法反復(fù)涂布含有上述玻璃材料的膏劑并接著進(jìn)行燒結(jié)而形成。
在已形成障壁之后，在障壁的壁面及暴露于障壁之間的電介質(zhì)膜的表面上，涂布含有紅色(R)熒光體、綠色(G)熒光體、藍(lán)色(B)熒光體的任何一種熒光體的熒光油墨，并在對(duì)其進(jìn)行干燥、燒結(jié)后形成各熒光體層。
以下列舉一般在PDP中使用的熒光體材料的一例。
「紅色熒光體」(YxGd1-x)BO3:Eu3+「綠色熒光體」Zn2SiO4:Mn「藍(lán)色熒光體」BaMgAl10O17:Eu3+(或BaMgAl14O23:Eu3+)各熒光體材料，例如可采用平均粒徑約為3μm左右的粉末。熒光體油墨的涂布法，可以采用若干種方法，但這里采用眾所周知的稱作彎月面法的一面形成彎月面(由表面張力引起的架橋面)一面從極細(xì)的噴嘴噴出熒光體油墨的方法。這種方法對(duì)于將熒光體油墨均勻地涂布在目標(biāo)區(qū)域非常適用。而本發(fā)明當(dāng)然并不限定于這種方法，也可以采用絲網(wǎng)印刷法等其他方法。
以上完成了背面板的制作。
對(duì)正面玻璃板及背面玻璃板采用了由鈉鈣玻璃構(gòu)成的材料，但這只是作為材料的一例舉出的，也可以采用其他材料。
2-3．PDP的完成將所制成的正面板和背面板用封接用玻璃粘合。然后，將放電空間的內(nèi)部排氣到高真空(1.1×10-4pa)左右，并以規(guī)定的壓力(這里為2.7×105Pa)將Ne-Xe系列、He-Ne-Xe系列、或He-Ne-Xe-Ar系列等放電氣體封入到該放電空間內(nèi)。
從實(shí)驗(yàn)可知，如將封入時(shí)的氣體壓力設(shè)定在1.1×105Pa～5.3×105Pa的范圍內(nèi)，則可以提高發(fā)光效率(詳見(jiàn)特愿平9-141954號(hào)公報(bào))。
3．其他事項(xiàng)在上述各實(shí)施形態(tài)1～6中，給出了在一對(duì)顯示電極22、23上對(duì)稱地形成透明電極220(230)的例，但本發(fā)明不限定于此，也不一定是對(duì)稱形狀。在其中也可以只設(shè)置內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)或連接部2203(2303)中的任何一方。此外，也可以用金屬電極(即只用匯流線)構(gòu)成一對(duì)顯示電極中的一個(gè)，而另一個(gè)則用透明電極和匯流線構(gòu)成。
另外，在各實(shí)施形態(tài)1～6中，在各圖中示出了將內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)沿y方向彼此相對(duì)設(shè)置的例，但本發(fā)明不限定于此，也可以設(shè)置在沿x方向分別錯(cuò)開(kāi)的位置。
另外，設(shè)置各內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)的x方向的間距，在一對(duì)透明電極220、230上也可以分別不同。但是，若想在各單元中獲得均勻的放電規(guī)模，最好使該間距一致。
另外，在上述實(shí)施形態(tài)2～4中，給出了設(shè)置外側(cè)伸出部2202b(2302b)的例，但也不一定非得設(shè)置。
另外，外側(cè)伸出部2202b(2302b)，也可以只設(shè)置于透明電極220、230的一方。
另外，還給出了將內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)和外側(cè)伸出部2202b(2302b)形成為一體并作為伸出部2202(2302)配置的例，但本發(fā)明不限定于此，也可以不形成為一體而分別設(shè)置。
另外，內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)和外側(cè)伸出部2202b(2302b)的個(gè)數(shù)也沒(méi)有必要一致，可以根據(jù)相互的尺寸適當(dāng)變更。
另外，連接部并不限定只設(shè)置于內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)，也可以設(shè)置于外側(cè)伸出部2202b(2302b)。
進(jìn)一步，對(duì)于連接部2202a、……，不限定于在各實(shí)施形態(tài)1～6中給出的個(gè)數(shù)，也可以調(diào)節(jié)為適當(dāng)?shù)膫€(gè)數(shù)。但是，在這種情況下，如使個(gè)數(shù)過(guò)多，則將蓄存多余的電荷，因而與現(xiàn)有的透明電極就沒(méi)有什么差別了，這是必須注意的。
進(jìn)一步，空孔區(qū)域的形狀，不限定于長(zhǎng)方形(或正方形)，也可以是其他形狀。
進(jìn)一步，內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)和外側(cè)伸出部2202b(2302b)，沒(méi)有必要與匯流線正交，也可以稍有傾斜。
在上述各實(shí)施形態(tài)1～6中，說(shuō)明了將本發(fā)明應(yīng)用于氣體放電板(PDP)的例。但是，本發(fā)明并不限定只應(yīng)用于氣體放電板，也可以是其他的器件(氣體放電器件)。這里，圖12示出的結(jié)構(gòu)是氣體放電器件的一例。圖12(a)所示的氣體放電器件400的結(jié)構(gòu)為，在板(基板)401上配置放電電極(顯示電極)422、423(Y電極422、X電極423)，并用具有半圓柱狀外殼的玻璃蓋401a、401b覆蓋該板401的兩面。玻璃蓋401a、401b由板401粘結(jié)在一起，并在其內(nèi)部封入放電氣體。這里，如圖(b)所示，顯示電極422、423，分別具有多個(gè)梳齒狀的電極分支4220、4230，在板401上配置成使各電極分支4220、4230位于相互交錯(cuò)的位置。將該電極分支4220、4230作為電極本體(或匯流線)，適當(dāng)?shù)嘏渲萌绺鲗?shí)施形態(tài)1～6所示的連接部2202a、……、內(nèi)側(cè)伸出部2202a(2302a)、外側(cè)伸出部2202b(2302b)等。本發(fā)明，也可以應(yīng)用于這種氣體放電器件400的顯示電極422、423。
進(jìn)一步，也可以對(duì)這種氣體放電器件400的顯示電極422、423進(jìn)行上述的黑底處理。
產(chǎn)業(yè)上的可應(yīng)用性以上的本發(fā)明的氣體放電顯示裝置及其制造方法，主要可以應(yīng)用于高清晰度電視機(jī)等所使用的PDP及其制造方法。
權(quán)利要求
1．一種氣體放電顯示裝置，在相對(duì)設(shè)置的一對(duì)基板之間，按矩陣狀配置封入了放電氣體的多個(gè)單元，上述一對(duì)基板中在第1基板的與第2基板相對(duì)的面上以橫跨多個(gè)單元的狀態(tài)配置一對(duì)以上的顯示電極，該氣體放電顯示裝置的特征在于一對(duì)顯示電極，備有沿上述矩陣的行方向延伸的2個(gè)延伸部、在該2個(gè)延伸部上與1個(gè)延伸部電氣連接并向另一個(gè)延伸部伸出配置的多個(gè)內(nèi)側(cè)伸出部、及在上述2個(gè)延伸部之間保持一定距離并將配置在同一延伸部上的2個(gè)以上的內(nèi)側(cè)伸出部電氣連接的連接部。
2．根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體放電顯示裝置，其特征在于上述氣體放電顯示裝置是等離子體顯示板。
3．根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體放電顯示裝置，其特征在于在同一延伸部上設(shè)置多個(gè)連接部，以便將配置在同一延伸部上的2個(gè)以上的內(nèi)側(cè)伸出部電氣連接，并由此在一對(duì)顯示電極上沿著各延伸部的縱向設(shè)置多個(gè)空孔區(qū)域的陣列圖案，而且將該多個(gè)空孔區(qū)域的陣列圖案沿著各延伸部的寬度方向形成2段以上。
4．根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體放電顯示裝置，其特征在于連接部是與延伸部的縱向平行配置的帶狀體。
5．根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣體放電顯示裝置，其特征在于在結(jié)構(gòu)上，使在各延伸部上設(shè)置的多個(gè)空孔區(qū)域的尺寸按每個(gè)陣列圖案而彼此不同。
6．根據(jù)權(quán)利要求5所述的氣體放電顯示裝置，其特征在于在各延伸部上設(shè)置的多個(gè)空孔區(qū)域的尺寸，形成為離一對(duì)顯示電極的最短間隙越遠(yuǎn)越逐漸變大。
7．根據(jù)權(quán)利要求3所述的氣體放電顯示裝置，其特征在于在結(jié)構(gòu)上，使上述多個(gè)空孔區(qū)域的陣列圖案的間距按照在各延伸部上設(shè)置的每個(gè)上述陣列圖案而不同。
8．根據(jù)權(quán)利要求7所述的氣體放電顯示裝置，其特征在于在結(jié)構(gòu)上，上述多個(gè)空孔區(qū)域的陣列圖案的間距，在各延伸部上，離一對(duì)顯示電極的最短間隙越遠(yuǎn)越逐漸變窄。
9．根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體放電顯示裝置，其特征在于在上述一對(duì)顯示電極的間隙中，由連接部將分別配置在2個(gè)延伸部上的上述2個(gè)以上的內(nèi)側(cè)伸出部的尖端電氣連接，在2個(gè)延伸部的每一個(gè)上連接上述2個(gè)以上的內(nèi)側(cè)伸出部的尖端的各連接部之間的間隙，是該一對(duì)顯示電極的最短間隙。
10．根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體放電顯示裝置，其特征在于從上述2個(gè)延伸部的相對(duì)側(cè)和相反側(cè)的端部的至少一方，沿著列方向設(shè)置1個(gè)以上的外側(cè)伸出部。
11．根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體放電顯示裝置，其特征在于延伸部是由金屬材料構(gòu)成的匯流線，內(nèi)側(cè)伸出部由透明電極材料構(gòu)成。
12．根據(jù)權(quán)利要求11所述的氣體放電顯示裝置，其特征在于上述匯流線由Ag材料構(gòu)成。
13．根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體放電顯示裝置，其特征在于上述一對(duì)顯示電極由Ag材料構(gòu)成。
14．根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體放電顯示裝置，其特征在于在第1基板的表面上，形成使其覆蓋一對(duì)以上的顯示電極的層，該層與一對(duì)顯示電極的最短放電間隙對(duì)應(yīng)的區(qū)域，由氧化鎂構(gòu)成，除此以外的區(qū)域由電子發(fā)射率低于氧化鎂的材質(zhì)構(gòu)成。
15．根據(jù)權(quán)利要求14所述的氣體放電顯示裝置，其特征在于上述電子發(fā)射率低的材質(zhì)是氧化鋁。
16．根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體放電顯示裝置，其特征在于當(dāng)放電氣體壓力為P、放電間隙為d時(shí)，在上述一對(duì)顯示電極之間的最短間隙，在表示乘積Pd與放電起始電壓的關(guān)系的帕邢曲線上，相當(dāng)于放電起始電壓為極小值或接近極小值的間隙。
17．根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體放電顯示裝置，其特征在于在上述一對(duì)以上的顯示電極與形成有該一對(duì)以上的顯示電極的第1基板之間，按照上述一對(duì)以上的顯示電極的圖案配置用于黑底的黑色層。
18．根據(jù)權(quán)利要求17所述的氣體放電顯示裝置，其特征在于上述用于黑底的黑色層，由含有金屬氧化物或Ag的金屬材料構(gòu)成。
19．一種氣體放電顯示裝置，面對(duì)封入了放電氣體的放電空間配置一對(duì)以上的放電電極，并分別對(duì)該一對(duì)以上的放電電極供電，從而在各對(duì)放電電極之間發(fā)生放電而發(fā)光，該氣體放電顯示裝置的其特征在于一對(duì)放電電極，備有沿同一方向延伸的2個(gè)延伸部、在該2個(gè)延伸部上與1個(gè)延伸部電氣連接并向另一個(gè)延伸部伸出配置的多個(gè)內(nèi)側(cè)伸出部、及在上述2個(gè)延伸部之間保持一定距離并將配置在同一延伸部上的2個(gè)以上的內(nèi)側(cè)伸出部電氣連接的連接部。
20．根據(jù)權(quán)利要求19所述的氣體放電顯示裝置，其特征在于在同一延伸部上設(shè)置多個(gè)連接部，以便將配置在同一延伸部上的2個(gè)以上的內(nèi)側(cè)伸出部電氣連接，由此，在一對(duì)放電電極中沿著各延伸部的縱向設(shè)置多個(gè)空孔區(qū)域的陣列圖案，而且將該多個(gè)空孔區(qū)域的陣列圖案沿著各延伸部的寬度方向形成2段以上。
21．根據(jù)權(quán)利要求19所述的氣體放電顯示裝置，其特征在于連接部是與延伸部的縱向平行配置的帶狀體。
22．根據(jù)權(quán)利要求19所述的氣體放電顯示裝置，其特征在于在上述一對(duì)放電電極的間隙中，由連接部將分別配置在2個(gè)延伸部上的上述2個(gè)以上的上述內(nèi)側(cè)伸出部的尖端電氣連接，在2個(gè)延伸部的每一個(gè)上連接上述2個(gè)以上的內(nèi)側(cè)伸出部的尖端的各連接部之間的間隙，是該一對(duì)放電電極的最短間隙。
23．根據(jù)權(quán)利要求19所述的氣體放電顯示裝置，其特征在于從上述2個(gè)延伸部的相對(duì)側(cè)和相反側(cè)的端部的至少一方，沿著列方向設(shè)置1個(gè)以上的外側(cè)伸出部。
24．根據(jù)權(quán)利要求19所述的氣體放電顯示裝置，其特征在于當(dāng)放電氣體壓力為P、放電間隙為d時(shí)，在上述一對(duì)放電電極之間的最短間隙，在表示乘積Pd與放電起始電壓的關(guān)系的帕邢曲線上，相當(dāng)于放電起始電壓為極小值或接近極小值的間隙。
25．根據(jù)權(quán)利要求1所述的氣體放電顯示裝置，其特征在于在上述一對(duì)以上的放電電極的表面的至少一部分上，按照該一對(duì)以上的放電電極的圖案配置用于黑底的黑色層。
26．根據(jù)權(quán)利要求25所述的氣體放電顯示裝置，其特征在于上述用于黑底的黑色層，由含有金屬氧化物或Ag的金屬材料構(gòu)成。
27．一種氣體放電顯示裝置制造方法，包括在上述第1基板的表面上延伸設(shè)置一對(duì)以上的顯示電極的第一步驟、及在上述第一步驟后將設(shè)有上述一對(duì)以上的顯示電極的第1基板的面與第2基板的面隔著多個(gè)障壁相對(duì)設(shè)置并將鄰接的障壁與一對(duì)顯示電極的交叉區(qū)域作為發(fā)光顯示的各單元而形成的第二步驟，該氣體放電顯示裝置制造方法的特征在于上述第一步驟，包括在一對(duì)顯示電極上設(shè)置2條以上的匯流線的匯流線配置步驟、在該2條匯流線中從一條匯流線起向另一條匯流線伸出配置多個(gè)內(nèi)側(cè)伸出部的伸出部配置步驟、配置在上述2條匯流線之間保持一定距離并將配置于同一匯流線的2個(gè)以上的內(nèi)側(cè)伸出部電氣連接的連接部的連接部配置步驟。
28．根據(jù)權(quán)利要求27所述的氣體放電顯示裝置制造方法，其特征在于通過(guò)在上述第一步驟中將各匯流線沿行方向延伸并在上述第二步驟中沿行列方向按矩陣狀形成上述各單元，制造等離子體顯示板。
29．根據(jù)權(quán)利要求27所述的氣體放電顯示裝置制造方法，其特征在于在上述連接部配置步驟中，對(duì)同一匯流線設(shè)置多個(gè)連接部，以便將配置于同一匯流線的2個(gè)以上的內(nèi)側(cè)伸出部電氣連接，并由此在一對(duì)顯示電極中沿著各延伸部的縱向設(shè)置多個(gè)空孔區(qū)域的陣列圖案，而且將該多個(gè)空孔區(qū)域的陣列圖案沿著各延伸部的寬度方向形成2段以上。
30．根據(jù)權(quán)利要求27所述的氣體放電顯示裝置制造方法，其特征在于在上述連接部配置步驟中，將連接部設(shè)置為與匯流線的縱向平行的帶狀體。
31．根據(jù)權(quán)利要求29所述的氣體放電顯示裝置制造方法，其特征在于在上述第一步驟中，配置多個(gè)連接部及多個(gè)內(nèi)側(cè)伸出部，使在各匯流線上設(shè)置的多個(gè)空孔區(qū)域的尺寸按每個(gè)陣列圖案而彼此不同。
32．根據(jù)權(quán)利要求31所述的氣體放電顯示裝置制造方法，其特征在于在上述第一步驟中，配置多個(gè)連接部及多個(gè)內(nèi)側(cè)伸出部，使在各匯流線上設(shè)置的多個(gè)空孔區(qū)域的尺寸離一對(duì)顯示電極的最短間隙越遠(yuǎn)越逐漸變大。
33．根據(jù)權(quán)利要求29所述的氣體放電顯示裝置制造方法，其特征在于在上述第一步驟中，配置多個(gè)連接部及多個(gè)內(nèi)側(cè)伸出部，使上述多個(gè)空孔區(qū)域的陣列圖案的間距按照在各匯流線設(shè)置的每個(gè)上述陣列圖案而不同。
34．根據(jù)權(quán)利要求27所述的氣體放電顯示裝置制造方法，其特征在于在上述第一步驟中，配置多個(gè)連接部及多個(gè)內(nèi)側(cè)伸出部，使上述多個(gè)空孔區(qū)域的陣列圖案的間距在各匯流線上離一對(duì)顯示電極的最短間隙越遠(yuǎn)越逐漸變窄。
35．根據(jù)權(quán)利要求27所述的氣體放電顯示裝置制造方法，其特征在于在上述第一步驟中，在上述一對(duì)顯示電極的間隙中由連接部將分別配置在2個(gè)延伸部上的上述2個(gè)以上的內(nèi)側(cè)伸出部的尖端電氣連接，在2個(gè)延伸部的每一個(gè)上連接上述2個(gè)以上的內(nèi)側(cè)伸出部的尖端的各連接部之間的間隙，是該一對(duì)顯示電極的最短間隙。
36．根據(jù)權(quán)利要求28所述的氣體放電顯示裝置制造方法，其特征在于在上述第一步驟中，從上述2條匯流線的相對(duì)側(cè)和相反側(cè)的端部的至少一方，沿著矩陣的列方向設(shè)置1個(gè)以上的外側(cè)伸出部。
37．根據(jù)權(quán)利要求27所述的氣體放電顯示裝置制造方法，其特征在于在上述匯流線配置步驟中，上述匯流線由金屬材料制作，在上述伸出部配置步驟中，各伸出部由透明電極材料制作。
38．根據(jù)權(quán)利要求27所述的氣體放電顯示裝置制造方法，其特征在于在第一步驟和第二步驟之間，要經(jīng)過(guò)一個(gè)層形成步驟，在該步驟中，在第1基板的表面上，形成使其覆蓋一對(duì)以上的顯示電極的層，其中與一對(duì)顯示電極的最短放電間隙對(duì)應(yīng)的層的區(qū)域，由氧化鎂制作，除此以外的層的區(qū)域由電子發(fā)射率低于氧化鎂的材質(zhì)制作。
39．根據(jù)權(quán)利要求38所述的氣體放電顯示裝置制造方法，其特征在于在上述層形成步驟中，對(duì)上述電子發(fā)射率低的材質(zhì)使用氧化鋁。
40．根據(jù)權(quán)利要求27所述的氣體放電顯示裝置制造方法，其特征在于在上述第一步驟中，當(dāng)放電氣體壓力為P、放電間隙為d時(shí)，在表示乘積Pd與放電起始電壓的關(guān)系的帕邢曲線上，按照放電起始電壓為極小值或接近極小值的間隙設(shè)定上述一對(duì)顯示電極的最短放電間隙。
41．根據(jù)權(quán)利要求27所述的氣體放電顯示裝置制造方法，其特征在于在上述第一步驟中，要經(jīng)過(guò)一個(gè)黑色層配置步驟，在該步驟中，在上述一對(duì)以上的顯示電極與形成有該一對(duì)以上的顯示電極的第1基板之間，按照上述一對(duì)以上的顯示電極的圖案配置用于黑底的黑色層。
42．根據(jù)權(quán)利要求41所述的氣體放電顯示裝置制造方法，其特征在于在上述黑色層配置步驟中，用于黑底的黑色層，用含有金屬氧化物或Ag的金屬材料配置。
全文摘要
本發(fā)明的氣體放電顯示裝置,在相對(duì)設(shè)置的一對(duì)基板之間,按矩陣狀配置封入了放電氣體的多個(gè)單元,上述一對(duì)基板中在第1基板的與第2基板相對(duì)的面上以橫跨多個(gè)單元的狀態(tài)配置一對(duì)以上的顯示電極,該氣體放電顯示裝置的特征在于:一對(duì)顯示電極,備有沿上述矩陣的行方向延伸的2個(gè)延伸部、在該2個(gè)延伸部上與1個(gè)延伸部電氣連接并向另一個(gè)延伸部伸出配置的多個(gè)內(nèi)側(cè)伸出部、及在上述2個(gè)延伸部之間保持一定距離并將配置在同一延伸部上的2個(gè)以上的內(nèi)側(cè)伸出部電氣連接的連接部。
文檔編號(hào)H01J17/49GK1319244SQ00801612
公開(kāi)日2001年10月24日 申請(qǐng)日期2000年6月2日 優(yōu)先權(quán)日1999年6月4日
發(fā)明者村井隆一, 高田祐助, 鹽川晃, 真銅勝利, 東野秀隆, 長(zhǎng)尾宣明, 安藤亨, 西村征起 申請(qǐng)人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社