顯影機的花籃搖擺架的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種搖擺架，具體涉及一種顯影機的花籃搖擺架。
【背景技術(shù)】
[0002]硅片在用顯影機進行顯影工序時，需要先將硅片放置在花籃上，花籃上有多個用來插裝硅片的插槽，然后將花籃裝在搖擺架上，而花籃浸沒在顯影機的顯影池內(nèi)的顯影液中，即可實施。
[0003]—方面，已有的用來承載硅片的花籃有單排插槽，有的是雙排插槽，那根據(jù)不同的花籃，就要有不同的搖擺架進行配套使用，這樣，就導(dǎo)致一種搖擺架不能適用于多種類型花籃使用，而是需要多個配套的搖擺架，因此，不僅占用空間大，而且根據(jù)不同產(chǎn)品在實施顯影時，就需要裝配不同的搖擺架，使得工作效率低。
[0004]另一方面，現(xiàn)有的花籃裝在搖擺架上后，會因搖擺架擺動或顯影液產(chǎn)生的浮力導(dǎo)致花籃會晃動，一旦花籃發(fā)生晃動，就會使得花籃上的硅片也晃動，不僅會影響硅片的顯影，嚴重時，還會導(dǎo)致硅片因晃動而發(fā)生破裂的情況發(fā)生，直接造成硅片為廢料。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本實用新型所述搖擺架，是專門用來與顯影機的花籃配置使用的搖擺架。
[0006]本實用新型的目的是:提供一種不僅能夠適用多種類型花籃，而且能夠有效防止花籃晃動，并對花籃進行鎖止的顯影機的花籃搖擺架，以克服現(xiàn)有技術(shù)的不足。
[0007]為了達到上述目的，本實用新型的技術(shù)方案是:一種顯影機的花籃搖擺架，包括擺桿和用來安置花籃的花籃座，所述花籃座的一端與擺桿的底部固定連接；其創(chuàng)新點在于:
[0008]所述花籃座包括兩個并排布置的用來支撐兩端有花籃臂的花籃桿的承載臂，以及位于承載臂外側(cè)的鎖止座；每一個承載臂上均設(shè)有用來卡裝2個花籃臂中的一個花籃臂的卡槽；
[0009]所述鎖止座包括擋板、連接板和固定座，所述連接板的底部與固定座固定連接，擋板與連接板的頂部固定連接，且擋板位于固定座的上方，所述固定座的內(nèi)側(cè)設(shè)有用來卡裝另一個花籃臂的凹槽。
[0010]在上述技術(shù)方案中，所述每一個承載臂上均設(shè)有一個或兩個卡槽，所述固定座的內(nèi)側(cè)設(shè)有與一個或兩個卡槽相對應(yīng)的凹槽。
[0011]在上述技術(shù)方案中，所述擺桿的頂部設(shè)有鉸接座，底部設(shè)有連接座，且連接座與花籃座的一端固定連接。
[0012]本實用新型所具有的積極效果是:采用本實用新型的搖擺架后，由于本實用新型所述花籃座包括兩個并排布置的用來支撐兩端有花籃臂的花籃桿的承載臂，每一個承載臂上均設(shè)有用來卡裝2個花籃臂中的一個花籃臂的卡槽，這樣，具有單排插槽的花籃或雙排插槽的花籃都可與本實用新型配套使用，不僅減少了配備的輔助工裝，占用空間小，而且根據(jù)不同產(chǎn)品在實施顯影時，使得本實用新型能夠適用于多種不同類型的花籃，有效提高了工作效率；又由于所述花籃座還包括位于承載臂外側(cè)的鎖止座，所述鎖止座包括擋板、連接板和固定座，所述連接板的底部與固定座固定連接，擋板與連接板的頂部固定連接，且擋板位于固定座的上方，所述固定座的內(nèi)側(cè)設(shè)有用來卡裝另一個花籃臂的凹槽，這樣，在與花籃配套使用時，先將花籃的一個花籃臂卡裝在固定座的凹槽內(nèi)，再將花籃的花籃桿支撐在承載臂上，并且另一個花籃臂卡裝在卡槽內(nèi)，配裝后的花籃桿位于擋板的下方，這樣，硅片在實施顯影時，就不會因擺桿的擺動或顯影液產(chǎn)生的浮力，而導(dǎo)致花籃發(fā)生晃動的現(xiàn)象，也就使得花籃上的硅片不會晃動，使得硅片實施顯影工序的質(zhì)量好，也不會發(fā)生硅片因晃動而產(chǎn)生破裂的情況，大大減少了硅片在該工序產(chǎn)生廢料的數(shù)量，實現(xiàn)了本實用新型的目的。
【附圖說明】
[0013]圖1是本實用新型一種【具體實施方式】的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2是圖1的右視示意圖；
[0015]圖3是圖1的俯視示意圖；
[0016]圖4是圖1的A-A剖視示意圖；
[0017]圖5圖1的B-B剖視示意圖；
[0018]圖6是本實用新型一種使用狀態(tài)示意圖；
[0019]圖7是圖6的右視示意圖；
[0020]圖8是本實用新型另一種使用狀態(tài)示意圖。
【具體實施方式】
[0021]以下結(jié)合附圖以及給出的實施例，對本實用新型作進一步的說明，但并不局限于此。
[0022]如圖1、2、3、4、5、6、7、8所示，一種顯影機的花籃搖擺架，包括擺桿1和用來安置花籃3的花籃座2，所述花籃座2的一端與擺桿1的底部固定連接；
[0023]所述花籃座2包括兩個并排布置的用來支撐兩端有花籃臂3-2的花籃桿3-1的承載臂2-1，以及位于承載臂2-1外側(cè)的鎖止座2-2 ;每一個承載臂2-1上均設(shè)有用來卡裝2個花籃臂3-1中的一個花籃臂的卡槽2-1-1 ;
[0024]所述鎖止座2-2包括擋板2-2-1、連接板2_2_2和固定座2_2_3，所述連接板2_2_2的底部與固定座2-2-3固定連接，擋板2-2-1與連接板2-2-2的頂部固定連接，且擋板
2-2-1位于固定座2-2-3的上方，所述固定座2-2-3的內(nèi)側(cè)設(shè)有用來卡裝另一個花籃臂3_2的凹槽2-2-3-1。
[0025]如圖2、7所示，為了使得結(jié)構(gòu)更加合理，所述擋板2-2-1與連接板2_2_相互垂直。
[0026]如圖3、4、5所示，為了便于與不同規(guī)格的裝載硅片的花籃3配用，所述每一個承載臂2-1上均設(shè)有一個或兩個卡槽2-1-1，所述固定座2-2-3的內(nèi)側(cè)設(shè)有與一個或兩個卡槽
2-1-1相對應(yīng)的凹槽2-2-3-1。
[0027]如圖1、2、6、8所示，為了便于與顯影機的轉(zhuǎn)軸裝連，以及使得擺桿的結(jié)構(gòu)更加合理，使得使用壽命長，所述擺桿1的頂部設(shè)有鉸接座1-1，底部設(shè)有連接座1-2，且連接座1-2與花籃座2的一端固定連接。
[0028]如圖6、7所示，單排插槽的花籃3包括單排硅片插槽和一個花籃桿3-1，所述花籃桿3-1的兩端分別設(shè)有方形的花籃臂3-2 ;如圖8所示，雙排插槽的花籃3包括雙排硅片插槽和兩個平行布置的花籃桿，每一個花籃桿的兩端均設(shè)有方形的花籃臂。上述兩種規(guī)格的花籃與本實用新型配套使用時，花籃桿是支撐在花籃座2的承載臂2-1上的。
[0029]將具有單排插槽的花籃3 (如圖6、7所示)或雙排插槽的花籃3 (如圖8所示)與本實用新型配套使用，使用時，先將花籃3的一個花籃臂3-2卡裝在固定座2-2-3的凹槽2-2-3-1內(nèi)，再將花籃桿3-1支撐在承載臂2-1上，并令花籃3的另一個花籃臂3_2卡裝在卡槽2-1-1內(nèi)，配裝后的花籃3的花籃桿3-1位于擋板2-2-1的下方，不僅減少了配備的輔助工裝，占用空間小，而且根據(jù)不同產(chǎn)品在實施顯影時，就無需另外再配備相匹配的搖擺架，使得本實用新型能夠適用于多種不同類型的花籃，有效提高了工作效率；硅片在實施顯影時，就不會因擺桿的擺動或顯影液產(chǎn)生的浮力，而導(dǎo)致花籃發(fā)生晃動的現(xiàn)象，也就使得花籃上的硅片不會晃動，使得硅片實施顯影工序的質(zhì)量好，也不會發(fā)生硅片因晃動而產(chǎn)生破裂的情況，大大減少了硅片在該工序產(chǎn)生廢料的數(shù)量。
[0030]本實用新型小試結(jié)果顯示，其效果是十分滿意的。
【主權(quán)項】
1.一種顯影機的花籃搖擺架，包括擺桿(1)和用來安置花籃(3)的花籃座(2)，所述花籃座(2)的一端與擺桿(1)的底部固定連接；其特征在于: 所述花籃座(2)包括兩個并排布置的用來支撐兩端有花籃臂(3-2)的花籃桿(3-1)的承載臂(2-1)，以及位于承載臂(2-1)外側(cè)的鎖止座(2-2 );每一個承載臂(2-1)上均設(shè)有用來卡裝2個花籃臂(3-1)中的一個花籃臂的卡槽(2-1-1); 所述鎖止座(2-2)包括擋板(2-2-1)、連接板(2-2-2)和固定座(2_2_3)，所述連接板(2-2-2 )的底部與固定座(2-2-3 )固定連接，擋板(2-2-1)與連接板(2-2-2 )的頂部固定連接，且擋板(2-2-1)位于固定座(2-2-3)的上方，所述固定座(2-2-3)的內(nèi)側(cè)設(shè)有用來卡裝另一個花籃臂(3-2)的凹槽(2-2-3-1)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影機的花籃搖擺架，其特征在于:所述每一個承載臂(2-1)上均設(shè)有一個或兩個卡槽(2-1-1)，所述固定座(2-2-3)的內(nèi)側(cè)設(shè)有與一個或兩個卡槽(2-1-1)相對應(yīng)的凹槽(2-2-3-1)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯影機的花籃搖擺架，其特征在于:所述擺桿(1)的頂部設(shè)有鉸接座(1-1 )，底部設(shè)有連接座(1-2)，且連接座(1-2)與花籃座(2)的一端固定連接。
【專利摘要】本實用新型涉及一種顯影機的花籃搖擺架，包括擺桿和用來安置花籃的花籃座，所述花籃座的一端與擺桿的底部固定連接；所述花籃座包括兩個并排布置的用來支撐兩端有花籃臂的花籃桿的承載臂，以及位于承載臂外側(cè)的鎖止座；每一個承載臂上均設(shè)有用來卡裝2個花籃臂中的一個花籃臂的卡槽；所述鎖止座包括擋板、連接板和固定座，所述連接板的底部與固定座固定連接，擋板與連接板的頂部固定連接，且擋板位于固定座的上方，所述固定座的內(nèi)側(cè)設(shè)有用來卡裝另一個花籃臂的凹槽。本實用新型能夠適用多種類型花籃，而且能夠有效防止花籃晃動，并對花籃進行鎖止。
【IPC分類】G03F7/30
【公開號】CN204964986
【申請?zhí)枴緾N201520719800
【發(fā)明人】高寶華
【申請人】常州銀河電器有限公司
【公開日】2016年1月13日
【申請日】2015年9月17日