一種光刻膠噴涂裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種光刻膠噴涂裝置，包括涂膠頭，所述涂膠頭在入口中部內(nèi)置一個用于緩沖光刻膠的腔體；所述腔體內(nèi)置有一個用于調(diào)節(jié)光刻膠流量的旋轉(zhuǎn)卡槽；所述涂膠頭在所述腔體的下部出口與噴嘴之間設(shè)置有多條出膠支路。通過加寬光刻膠流通的通道以緩沖大量的光刻膠，并且，通過內(nèi)置旋轉(zhuǎn)卡槽實現(xiàn)光刻膠的出口量的調(diào)節(jié)并排出出口處的空氣。本發(fā)明提供的旋轉(zhuǎn)卡槽為扇形柱狀裝置，光刻膠的壓力使得卡槽扇形缺口向下旋轉(zhuǎn)一定角度，使得大量光刻膠獲得緩沖后才流到出口，從而可以得到流量控制的效果，通過改變輸送光刻膠的泵的壓力可以改變涂膠的膜厚，并且可以通過設(shè)置多條出膠支路確保噴涂出膠的均勻性。
【專利說明】
一種光刻膠噴涂裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種光刻膠噴涂裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]涂膠是黃光制程中一道重要的步驟。涂膠是把光刻膠按照一定的工藝參數(shù)涂到玻璃基板上面，然后再對玻璃基板進行后續(xù)的曝光和顯影?，F(xiàn)有的涂膠方式主要包括SlitCoater(狹縫涂膠)和Spin Coater(旋轉(zhuǎn)涂膠)。其中，在狹縫涂膠時,Nozzle(涂膠頭)會位于RolleH滾軸)上方。參看圖1，是現(xiàn)有技術(shù)提供的一種光刻膠噴涂裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。光刻膠在外部栗壓作用下注入噴涂裝置中唯一的注入通道，并流至噴涂出口/噴嘴處。通過Nozzle滴出光刻膠，而Rol Ier轉(zhuǎn)動并帶走一部分光刻膠，使得Nozzle上存在一些光刻膠均勻地殘留在Nozz I e的前端，準備好做涂膠動作。
[0003]在傳統(tǒng)的涂膠頭的設(shè)計中，存在有氣泡無法完全排出和膜厚均勻性的問題。其主要原因是:首先，采用單一通道注入光刻膠時，由于光刻膠的出膠量的不同，導(dǎo)致出膠口膜厚變化。具體地，當涂膠頭前端殘留膠量較多時，會造成涂膠初始邊膜厚度變厚;而涂膠頭前端殘留膠量較少時厚度變薄。參看圖2和圖3，分別是涂膠頭前端殘留膠量較多或較少時，玻璃基板上涂覆的光刻膠膜厚度狀態(tài)示意圖。
[0004]此外，當涂膠頭設(shè)置不當時，將會使得出膠口出現(xiàn)真空，從而使得空氣有可能進入涂膠頭并形成氣泡，影響涂膠效果。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是，提供一種光刻膠噴涂裝置，可以改善現(xiàn)有的狹縫涂膠頭出現(xiàn)的氣泡和膜厚均一性問題。
[0006]為解決以上技術(shù)問題，本發(fā)明實施例提供一種光刻膠噴涂裝置，包括涂膠頭，所述涂膠頭在入口中部內(nèi)置一個用于緩沖光刻膠的腔體；
[0007]所述腔體內(nèi)置有一個用于調(diào)節(jié)光刻膠流量的旋轉(zhuǎn)卡槽;所述涂膠頭在所述腔體的下部出口與噴嘴之間設(shè)置有多條出膠支路。
[0008]進一步地，所述旋轉(zhuǎn)卡槽上設(shè)置有彈簧控制裝置，用于根據(jù)涌入的光刻膠的壓力大小，控制所述旋轉(zhuǎn)卡槽在預(yù)設(shè)范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)。
[0009]優(yōu)選地，所述旋轉(zhuǎn)卡槽上鏤空有多個孔洞，用于流通光刻膠和排出光刻膠中的內(nèi)部氣泡。
[0010]優(yōu)選地，所述旋轉(zhuǎn)卡槽為扇形柱狀裝置，且所述旋轉(zhuǎn)卡槽的扇形缺口根據(jù)光刻膠的壓力變化，向下旋轉(zhuǎn)至所述腔體的下部出口。
[0011 ]進一步地，所述旋轉(zhuǎn)卡槽橫向設(shè)置在所述腔體內(nèi)。
[0012]進一步地，每條所述出膠支路的內(nèi)徑相同，且每條所述出膠支路的一端匯集在噴嘴處，另一端均勻分布在所述腔體的下部出口。
[0013]進一步地，所述腔體的兩側(cè)設(shè)有排氣孔。
[0014]本發(fā)明實施例提供的光刻膠噴涂裝置，在現(xiàn)有狹縫涂膠頭的基礎(chǔ)上加寬了中間的通道，以緩沖大量的光刻膠;并且，通過在中部腔體內(nèi)置旋轉(zhuǎn)卡槽，通過旋鈕轉(zhuǎn)動卡槽實現(xiàn)光刻膠的出口量的調(diào)節(jié)；當噴嘴出口處有氣泡時候，可以旋轉(zhuǎn)卡槽，攪動加快出口處的光刻膠量，從而排出出口處的空氣。中部腔體和旋轉(zhuǎn)卡槽上設(shè)有多個孔洞或排氣孔，用于流通光刻膠的同時作為排氣通道，以排出光刻膠內(nèi)部氣泡。旋轉(zhuǎn)卡槽中間鏤空的多個孔洞可以使得光刻膠順利地充盈整個加寬腔體，而且可以通過卡槽的旋轉(zhuǎn)控制光刻膠在出口處的流量。優(yōu)選地，本發(fā)明提供的旋轉(zhuǎn)卡槽為扇形柱狀裝置，并可在旋轉(zhuǎn)卡槽一側(cè)增設(shè)彈簧控制裝置調(diào)控卡槽的旋轉(zhuǎn)范圍，使得只有當光刻膠流至涂膠噴嘴Nozzle處的流量較大時，光刻膠的壓力使得卡槽扇形缺口向下旋轉(zhuǎn)一定角度，使得大量光刻膠獲得緩沖后才流到出口，從而可以得到流量控制的效果。并且，中部腔體出口處的多條出膠支路確保噴涂出膠的均勻性，無論到達噴嘴的光刻膠量的多少，噴嘴出膠口量都不會有較大的膜厚浮動，并且，通過改變輸送光刻膠的栗的壓力可以改變涂膠的膜厚。
【附圖說明】
[0015]圖1是現(xiàn)有技術(shù)提供的一種光刻膠噴涂裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖2是涂膠頭前端殘留膠量較多時玻璃基板上涂覆的光刻膠膜厚度狀態(tài)示意圖。
[0017]圖3是涂膠頭前端殘留膠量較少時玻璃基板上涂覆的光刻膠膜厚度狀態(tài)示意圖。
[0018]圖4是本發(fā)明提供的光刻膠噴涂裝置的一個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]圖5是本發(fā)明提供的面向旋轉(zhuǎn)卡槽的扇形缺口的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0020]圖6是本發(fā)明提供的背向旋轉(zhuǎn)卡槽的扇形缺口的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0021]下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述。
[0022]參見圖4，是本發(fā)明提供的光刻膠噴涂裝置的一個實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]在本實施例中，所述的光刻膠噴涂裝置包括涂膠頭100，其中，所述涂膠頭100在入口中部內(nèi)置一個用于緩沖光刻膠的腔體101;所述腔體101內(nèi)置有一個用于調(diào)節(jié)光刻膠流量的旋轉(zhuǎn)卡槽1011;所述涂膠頭100在所述腔體1I的下部出口 1012與噴嘴1 2之間設(shè)置有多條出膠支路103(圖4中示出了三條出膠支路)。
[0024]具體實施時，進一步地，所述旋轉(zhuǎn)卡槽1011上設(shè)置有彈簧控制裝置104，用于根據(jù)涌入的光刻膠的壓力大小，控制所述旋轉(zhuǎn)卡槽1011在預(yù)設(shè)范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)。優(yōu)選地，通過在彈簧控制裝置104中設(shè)置旋鈕附加旋轉(zhuǎn)彈簧，使得僅當光刻膠流到噴嘴處的流量較大時，光刻膠的壓力使得旋轉(zhuǎn)卡槽1011的缺口處向下旋轉(zhuǎn)一定角度(優(yōu)選0°?60°)，缺口地方接近腔體101的出口 1012，使得大量光刻膠獲得緩沖后流到噴嘴，從而可以得到流量控制的效果。
[0025]具體地，所述旋轉(zhuǎn)卡槽1011上鏤空有多個孔洞，用于流通光刻膠和排出光刻膠中的內(nèi)部氣泡。優(yōu)選地，所述旋轉(zhuǎn)卡槽1011為扇形柱狀裝置，且所述旋轉(zhuǎn)卡槽1011的扇形缺口根據(jù)光刻膠的壓力變化，向下旋轉(zhuǎn)至所述腔體101的下部出口 1012。
[0026]參看圖5和圖6，是本發(fā)明提供的旋轉(zhuǎn)卡槽的一種實施例的結(jié)構(gòu)示意圖。其中，圖5是面向旋轉(zhuǎn)卡槽的扇形缺口的結(jié)構(gòu)示意圖；圖6是背向旋轉(zhuǎn)卡槽的扇形缺口的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實施時，所述旋轉(zhuǎn)卡槽1011橫向設(shè)置在所述腔體101內(nèi)，并且，旋轉(zhuǎn)卡槽1011根據(jù)栗壓作用下注入的光刻膠的壓力大小進行旋轉(zhuǎn)。改變輸送光刻膠的栗的壓力可以改變涂膠的覆膜厚度。特別地，卡槽1011旋轉(zhuǎn)的最大強度不能使得扇形缺口完全對準出口 1012，以有效控制光刻膠流量。
[0027]在本實施例中，優(yōu)選地，每條所述出膠支路103的內(nèi)徑相同，且每條所述出膠支路103的一端匯集在噴嘴102處，另一端均勻分布在所述腔體101的下部出口 1012。在本實施例中，所述腔體101的兩側(cè)設(shè)有排氣孔，在流通光刻膠的同時排出光刻膠內(nèi)部氣泡。
[0028]本發(fā)明實施例提供的光刻膠噴涂裝置，在現(xiàn)有狹縫涂膠頭的基礎(chǔ)上增設(shè)腔體101加寬了中間的通道，以緩沖大量的光刻膠;并且，通過在中部腔體101內(nèi)置旋轉(zhuǎn)卡槽1011，通過旋鈕轉(zhuǎn)動卡槽1011實現(xiàn)光刻膠的出口量的調(diào)節(jié)；當噴嘴102出口處有氣泡時候，可以旋轉(zhuǎn)卡槽1011，攪動加快出口處的光刻膠量，從而排出出口處的空氣。
[0029]旋轉(zhuǎn)卡槽1011上設(shè)有多個孔洞或排氣孔，用于流通光刻膠的同時作為排氣通道，以排出光刻膠內(nèi)部氣泡。旋轉(zhuǎn)卡槽1011中間鏤空的多個孔洞可以使得光刻膠順利地充盈整個加寬腔體101，而且可以通過卡槽1011的旋轉(zhuǎn)控制光刻膠在出口處的流量。優(yōu)選地，本發(fā)明提供的旋轉(zhuǎn)卡槽1011為扇形柱狀裝置，并可在旋轉(zhuǎn)卡槽一側(cè)增設(shè)彈簧控制裝置103調(diào)控卡槽的旋轉(zhuǎn)范圍，使得僅當光刻膠流至涂膠噴嘴102處的流量較大時，光刻膠的壓力使得卡槽1011扇形缺口向下旋轉(zhuǎn)一定角度，使得大量光刻膠獲得緩沖后才流到出口 1012，從而可以得到流量控制的效果，并且，薄膜(thinner)液清洗刀頭不會出現(xiàn)氣泡情況，需清洗時拆出用thinner液清洗即可。
[0030]進一步地，中部腔體1I出口處1012的多條出膠支路確保噴涂出膠的均勻性，無論到達噴嘴102的光刻膠量的多少，噴嘴出膠口量都不會有較大的膜厚浮動，S卩，克服了傳統(tǒng)噴涂頭在前端殘留膠量多時造成涂膠初始邊膜厚變厚，量少時則覆膜變薄的技術(shù)問題。并且，通過改變輸送光刻膠的栗的壓力可以改變涂膠的膜厚。
[0031]以上所述是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也視為本發(fā)明的保護范圍。
【主權(quán)項】
1.一種光刻膠噴涂裝置，包括涂膠頭，其特征在于，所述涂膠頭在入口中部內(nèi)置一個用于緩沖光刻膠的腔體； 所述腔體內(nèi)置有一個用于調(diào)節(jié)光刻膠流量的旋轉(zhuǎn)卡槽;所述涂膠頭在所述腔體的下部出口與噴嘴之間設(shè)置有多條出膠支路。2.如權(quán)利要求1所述的光刻膠噴涂裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)卡槽上設(shè)置有彈簧控制裝置，用于根據(jù)涌入的光刻膠的壓力大小，控制所述旋轉(zhuǎn)卡槽在預(yù)設(shè)范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)。3.如權(quán)利要求1所述的光刻膠噴涂裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)卡槽上鏤空有多個孔洞，用于流通光刻膠和排出光刻膠中的內(nèi)部氣泡。4.如權(quán)利要求3所述的光刻膠噴涂裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)卡槽為扇形柱狀裝置，且所述旋轉(zhuǎn)卡槽的扇形缺口根據(jù)光刻膠的壓力變化，向下旋轉(zhuǎn)至所述腔體的下部出口。5.如權(quán)利要求4所述的光刻膠噴涂裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)卡槽橫向設(shè)置在所述腔體內(nèi)。6.如權(quán)利要求1所述的光刻膠噴涂裝置，其特征在于，每條所述出膠支路的內(nèi)徑相同，且每條所述出膠支路的一端匯集在噴嘴處，另一端均勻分布在所述腔體的下部出口。7.如權(quán)利要求1所述的光刻膠噴涂裝置，其特征在于，所述腔體的兩側(cè)設(shè)有排氣孔。
【文檔編號】G03F7/16GK105842991SQ201610169134
【公開日】2016年8月10日
【申請日】2016年3月22日
【發(fā)明人】曾憲祥, 任思雨, 蘇君海, 李建華
【申請人】信利（惠州）智能顯示有限公司