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顯影液供應(yīng)系統(tǒng)的制作方法

文檔序號(hào):9750013閱讀:884來(lái)源:國(guó)知局
顯影液供應(yīng)系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示面板的生產(chǎn)領(lǐng)域,尤其涉及一種顯影液供應(yīng)系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]薄膜晶體管液晶顯不器(ThinFilm Transistor Liquid Crystal Display,TFT-LCD)由于色彩度高、體積小、功耗低等優(yōu)勢(shì),在目前平板顯示領(lǐng)域占主流地位。作為液晶顯示器重要組件之一的彩色濾光片(Color filter),主要通過(guò)RGB彩色層的濾光實(shí)現(xiàn)顯色。彩色濾光片的傳統(tǒng)的制作工藝,主要包括涂布、預(yù)烘烤、曝光、顯影、烘烤等制程。其中顯影制程對(duì)形成圖形的寬度及形態(tài)特別重要。彩色濾光片一般使用負(fù)型光刻膠,顯影制程一般為使用顯影液將未被光照射到的光刻膠溶解,然后用水將基板沖洗干凈。其中,顯影液主要包括氫氧化鉀(KOH)和表面活性劑,光刻膠內(nèi)的樹(shù)脂羧酸基團(tuán)和顯影液中的的氫氧根離子(0H—)發(fā)生反應(yīng),形成羧基,從而使光刻膠溶于水而溶解。因此,顯影液中的0H—的濃度是影響顯影液使用周期(lift time)的重要因素。
[0003]目前,顯影液在顯影制程中的運(yùn)轉(zhuǎn)方式為:如圖1所示,顯影液供應(yīng)源300將顯影液輸入互為備用關(guān)系的第一顯影液循環(huán)槽210、第二顯影液循環(huán)槽220內(nèi),當(dāng)待顯影的基板500到達(dá)顯影機(jī)臺(tái)100的顯影室110內(nèi)后,其內(nèi)的噴淋頭120將顯影液噴到待顯影的基板500上,其內(nèi)的顯影液再通過(guò)管路回流到第一或第二顯影液循環(huán)槽210/220內(nèi),顯影液在第一或第二顯影液循環(huán)槽210/220和顯影機(jī)臺(tái)100內(nèi)循環(huán)流動(dòng)。然而,第一、第二顯影液循環(huán)槽210、220和顯影機(jī)臺(tái)100并不是完全密閉的,均與外界的空氣接觸。顯影液循環(huán)槽210、220的液位上方還有大量的空間,而顯影機(jī)臺(tái)100內(nèi)噴淋顯影液時(shí)也與空氣完全接觸,顯影液的主要成分0H—與空氣中二氧化碳(CO2)發(fā)生反應(yīng),生成碳酸根離子(C032—),使其內(nèi)的使0H—被大量消耗,從而導(dǎo)致顯影液的使用周期縮短。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的在于提供一種顯影液供應(yīng)系統(tǒng),通過(guò)將系統(tǒng)設(shè)置為密封狀態(tài),并通過(guò)氮?dú)夤?yīng)源向該系統(tǒng)內(nèi)充入氮?dú)?,以?duì)顯影液進(jìn)行氮?dú)獗Wo(hù),隔絕空氣與顯影液的反應(yīng),使顯影液的使用周期得以延長(zhǎng)。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供了一種顯影液供應(yīng)系統(tǒng),包括:
[0006]—顯影機(jī)臺(tái),包括顯影室、設(shè)于顯影室內(nèi)的數(shù)個(gè)噴淋頭,所述顯影室具有入口、及出口,所述顯影室的入口、及出口上均設(shè)有密封門(mén),通過(guò)關(guān)閉密封門(mén)可使得所述顯影機(jī)臺(tái)變成與顯影液供應(yīng)系統(tǒng)外部不相通的密閉狀態(tài),待顯影的基板、及已顯影的基板通過(guò)顯影室的入口、及出口輸入、輸出;
[0007]互為備用關(guān)系的第一顯影液循環(huán)槽、第二顯影液循環(huán)槽,所述第一、第二顯影槽通過(guò)管道連接所述顯影機(jī)臺(tái)的數(shù)個(gè)噴淋頭,用于向顯影機(jī)臺(tái)提供顯影液,所述第一、第二顯影液循環(huán)槽為與該顯影液的供應(yīng)系統(tǒng)外部不相通的密閉狀態(tài);
[0008]顯影液供應(yīng)源,通過(guò)管道向第一、第二顯影液循環(huán)槽提供顯影液;
[0009]氮?dú)夤?yīng)源,通過(guò)管道向第一顯影液循環(huán)槽、第二顯影液循環(huán)槽、及顯影機(jī)臺(tái)內(nèi)充入氮?dú)猓瑥亩鴮?duì)所述第一、第二顯影槽、及顯影機(jī)臺(tái)內(nèi)的顯影液進(jìn)行氮?dú)獗Wo(hù)。
[0010]所述顯影液的組分包括碳酸鉀、表面活性劑、及溶劑。
[0011 ]所述顯影液的組分還包括氫氧化鉀。
[0012]顯影液通過(guò)管路在第一顯影液循環(huán)槽、第二顯影液循環(huán)槽和顯影機(jī)臺(tái)內(nèi)循環(huán)流動(dòng),當(dāng)顯影液在第一或第二顯影液循環(huán)槽和顯影機(jī)臺(tái)內(nèi)循環(huán)流動(dòng)時(shí),相應(yīng)的第二或第一顯影液循環(huán)槽處于備用狀態(tài),與顯影機(jī)臺(tái)之間的循環(huán)通路被截止。
[0013]所述第一、第二顯影液循環(huán)槽和顯影機(jī)臺(tái)之間的連接管路上設(shè)有感應(yīng)器件,當(dāng)所述感應(yīng)器件感測(cè)到連接管路中的顯影液的電導(dǎo)率低于一定值時(shí),切換顯影液的循環(huán)通路,并相應(yīng)的將第一、或第二顯影液循環(huán)槽內(nèi)的顯影液排空,由顯影液供應(yīng)源向其輸入新的顯影液。
[0014]所述第一、第二顯影液循環(huán)槽上設(shè)有廢液排放管,所述廢液排放管上設(shè)有廢液控制閥,通過(guò)打開(kāi)所述廢液控制閥將第一、第二顯影液循環(huán)槽內(nèi)的顯影液進(jìn)行排空。
[0015]還包括傳送裝置,所述傳送裝置將待顯影的基板傳送至所述顯影室內(nèi),將已顯影的基板傳出所述顯影室外。
[0016]所述傳送裝置將待顯影的基板傳送至顯影室后,氮?dú)夤?yīng)源通過(guò)管道向第一顯影液循環(huán)槽、第二顯影液循環(huán)槽、及顯影機(jī)臺(tái)內(nèi)充入氮?dú)?,關(guān)閉密封門(mén),使整個(gè)顯影液的供應(yīng)系統(tǒng)內(nèi)充滿氮?dú)?,開(kāi)始對(duì)待顯影的基板進(jìn)行顯影,顯影完成后,打開(kāi)密封門(mén),所述傳送裝置將已顯影的基板傳出所述顯影室外。
[0017]本發(fā)明的有益效果:本發(fā)明提供了一種顯影液供應(yīng)系統(tǒng),包括一顯影機(jī)臺(tái)、互為備用關(guān)系的第一顯影液循環(huán)槽和第二顯影液循環(huán)槽、顯影液供應(yīng)源、及氮?dú)夤?yīng)源,其中,通過(guò)將第一、第二顯影液循環(huán)槽及顯影機(jī)臺(tái)設(shè)置為與顯影液供應(yīng)系統(tǒng)外部隔絕的密閉狀態(tài),且使氮?dú)夤?yīng)源通過(guò)管道向第一、第二顯影液循環(huán)槽及顯影機(jī)臺(tái)內(nèi)充入氮?dú)?,能夠使整個(gè)系統(tǒng)處于密封及氮?dú)獗Wo(hù)的狀態(tài),從而隔絕了空氣對(duì)顯影液中氫氧根離子的消耗,使顯影液的使用周期得以延長(zhǎng)。
[0018]為了能更進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征以及技術(shù)內(nèi)容,請(qǐng)參閱以下有關(guān)本發(fā)明的詳細(xì)說(shuō)明與附圖,然而附圖僅提供參考與說(shuō)明用,并非用來(lái)對(duì)本發(fā)明加以限制。
【附圖說(shuō)明】
[0019]下面結(jié)合附圖,通過(guò)對(duì)本發(fā)明的【具體實(shí)施方式】詳細(xì)描述,將使本發(fā)明的技術(shù)方案及其它有益效果顯而易見(jiàn)。
[0020]附圖中,
[0021 ]圖1為現(xiàn)有的顯影液供應(yīng)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0022]圖2為本發(fā)明的顯影液供應(yīng)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]為更進(jìn)一步闡述本發(fā)明所采取的技術(shù)手段及其效果,以下結(jié)合本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例及其附圖進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0024]請(qǐng)參閱圖2,本發(fā)明首先提供一種顯影液供應(yīng)系統(tǒng),包括:
[0025]一顯影機(jī)臺(tái)I,包括顯影室11、設(shè)于顯影室內(nèi)11的數(shù)個(gè)噴淋頭12,所述顯影室11具有入口、及出口,所述顯影室11的入口、及出口上均設(shè)有密封門(mén)13,通過(guò)關(guān)閉密封門(mén)13可使得所述顯影機(jī)臺(tái)I變成與顯影液供應(yīng)系統(tǒng)外部不相通的密閉狀態(tài),待顯影的基板70、及已顯影的基板通過(guò)顯影室11的入口、及出口輸入、輸出;
[0026]互為備用關(guān)系的第一顯影液循環(huán)槽21、第二顯影液循環(huán)槽22,所述第一、第二顯影槽21、22通過(guò)管道連接所述顯影機(jī)臺(tái)I的數(shù)個(gè)噴淋頭12,用于向顯影機(jī)臺(tái)I提供顯影液,所述第一、第二顯影液循環(huán)槽21、22為與顯影液供應(yīng)系統(tǒng)外部不相通的密閉狀態(tài);
[0027]顯影液供應(yīng)源30,通過(guò)管道向第一、第二顯影液循環(huán)槽21、22提供顯影液;
[0028]氮?dú)夤?yīng)源40,通過(guò)管道分別向第一顯影液循環(huán)槽21、第二顯影液循環(huán)槽22、及顯影機(jī)臺(tái)I內(nèi)充入氮?dú)?,?
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