專利名稱:校準對齊部分的方法、具有校準對齊部分的繪圖裝置和傳送裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種校準對齊部分的方法，并涉及一種其中對齊被校準的繪圖裝置，還涉及一種傳送裝置。
背景技術：
通常所使用的繪圖裝置的實例包括諸如印刷板(柔性板)曝光裝置、激光繪圖儀和激光打印機的曝光裝置。這些裝置是掃描型曝光裝置，它們使用光束通過掃描記錄介質而在記錄介質上繪制需要的圖形。
在這樣的曝光裝置中，例如在印刷板曝光裝置的情況下，通過在用于印刷線路板的襯底材料上掃描激光而實現繪圖，其中所述襯底材料是記錄介質。此處所使用的用于印刷線路板的襯底材料，通過在絕緣層上形成導電薄膜并且用光致抗蝕劑覆蓋該導電薄膜而構成。
印刷板曝光裝置在這樣的襯底材料上掃描激光，其中所述激光根據圖形數據被調制。需要的襯底圖案由此被曝光在光致抗蝕劑層上。
已經過如此曝光處理的用于印刷線路板的襯底材料被從印刷板曝光裝置移除，并且經過光刻處理，并由此作為印刷板被完成。
在以此方式所使用的傳統(tǒng)的印刷板(柔性襯底)曝光裝置，細長、帶狀記錄介質(柔性襯底)在裝載機(loader)和卸載機(unloader)之間伸展，其中所述裝載機進給出軋制板形式的記錄介質，而所述卸載機用于收集記錄介質。該記錄介質的伸展部分通過固定裝置被放置和固定在繪圖臺的繪圖表面上，并且在此狀態(tài)下，繪圖臺可以利用滑動裝置高精度地滑動。此外，掃描激光的掃描光學系統(tǒng)直接布置在記錄介質的上方，其中所述記錄介質在裝載機和卸載機之間伸展。
當繪圖臺利用滑動裝置高精度地傳送時，其中記錄介質的伸展部分通過固定裝置被固定在所述繪圖臺的繪圖表面上，掃描光學系統(tǒng)通過在與繪圖臺一起高精度滑動的介質上掃描激光而執(zhí)行繪圖，其中所述激光根據圖形數據被調制。
在這種傳統(tǒng)的印刷板曝光裝置中，在第一繪圖處理完成之后，為了再次啟動繪圖處理，繪圖臺的固定裝置松開，記錄介質被裝載機的夾緊輥對固定并被卸載機的驅動輥對固定，以便在裝載機和卸載機之間伸展的記錄介質被設定在不能移動的狀態(tài)。其后，繪圖臺被滑動裝置朝裝載機移動。接下來，記錄介質通過繪圖臺的固定裝置被固定在繪圖臺的繪圖表面上。
隨后，裝載機的夾緊輥對松開，記錄介質被裝載機的一對抽出輥抽出，以便在所述記錄介質上產生松弛。然后，當繪圖臺被滑動裝置朝卸載機移動時，固定在繪圖臺的繪圖表面上的記錄介質被掃描光學系統(tǒng)掃描，并且記錄介質被卸載機的驅動輥對收集在卸載機中，從而完成接下來的繪圖處理。請注意，當隨后的繪圖處理被執(zhí)行時，上述操作被重復需要次數。參照例如日本專利申請公開(JP-A)No.2000-235267。
這種傳統(tǒng)的印刷板(柔性襯底)曝光裝置通常設置有對齊裝置，所述對齊裝置用于調整對齊以便預定圖案被高精度地繪制在細長、帶狀的記錄介質上。在這種用于具有設置有校準標記的不同位置的細長、帶狀記錄介質的每一類型的對齊裝置中，必須通過使用與細長、帶狀記錄介質的繪圖位置相對應地布置在繪圖臺上的校準度盤(scale)而執(zhí)行對齊裝置的位置校準。
然而，在上述、傳統(tǒng)的印刷板(柔性襯底)曝光裝置中，繪圖處理總是在以下狀態(tài)下被執(zhí)行細長、帶狀記錄介質是跨越的并且在細長、帶狀記錄介質和掃描激光的掃描激光系統(tǒng)之間不存在阻礙部件。因此，用于細長、帶狀記錄介質的傳送路徑必須設置在布置在繪圖臺上的校準度盤上。
因此，在細長、帶狀記錄介質被設置在傳送路徑上的狀態(tài)下，用于執(zhí)行對齊裝置的位置校準的校準度盤被隱藏在細長、帶狀、柔性的記錄介質之下。因此，當在單一、細長、帶狀、柔性記錄介質的多種類型的襯底上執(zhí)行繪圖處理時，其中在所述多種類型的襯底處校準標記位置是不同的，通過使用用于一種類型的每一細長、帶狀記錄介質不能執(zhí)行校準裝置的位置校準，其中在所述類型的記錄介質中設置對準標記的位置是不同的。
因此，在上述的、傳統(tǒng)的印刷板(柔性襯底)曝光裝置中的問題是繪圖處理，并同時通過校準對齊裝置的位置而高精度地執(zhí)行對齊調整，其中對對齊裝置的位置的校準是通過使用用于一種類型的每一細長、帶狀記錄介質的校準度盤，在所述類型的記錄介質中設置校準標記的位置不同。

發(fā)明內容本發(fā)明的第一方面是一種校準對齊部分的方法。該方法包括在對齊被對齊部分調整并且繪圖被執(zhí)行，同時包括多種類型的對齊標記位置的一細長、柔性記錄介質被傳送的狀態(tài)下，當柔性記錄介質上的對齊標記位置變?yōu)椴煌恢脮r，限制繪圖單元的傳送路徑上的柔性記錄介質。該方法還包括相對地移動校準部件和對齊部分，從而使校準部件和對齊部分彼此相對應。該方法還包括通過使用校準部件，校準對齊部分的參考位置的數據。
根據校準對齊部分的上述方法，即使當細長、柔性記錄介質由于它處于在柔性記錄介質上執(zhí)行曝光處理中而不能從掃描用傳送部分的傳送路徑移除時，其中所述柔性記錄介質形成為單一細長體并包括具有不同的設置對齊標記的位置的多種類型，在通過使用用于每一種設置對齊標記的位置不同的類型的校準部件校準對齊部分的位置之后，對齊調整被高精度地執(zhí)行并且繪圖處理可以被執(zhí)行。
本發(fā)明的第二方面是一種可以校準對齊的繪圖裝置。所述繪圖裝置在繪圖單元處執(zhí)行繪圖，同時以給定傳送方向在設定在掃描用傳送部分處的傳送路徑上傳送細長、柔性記錄介質，并且所述繪圖裝置具有對齊部分，所述對齊部分被布置從而能夠在執(zhí)行對齊處并設定在掃描用傳送部分的傳送路徑上的區(qū)域的位置處執(zhí)行檢測，其中細長、柔性記錄介質在所述傳送路徑上被傳送；校準部件，所述校準部件被布置在比傳送路徑更接近對齊部分的位置處；和相對移動機構，所述相對移動機構相對地移動對齊部分和校準部件，以便對齊部分被設定在檢測校準部件的狀態(tài)。
根據上述結構，即使當細長、柔性記錄介質由于它處于在柔性記錄介質上執(zhí)行曝光處理中而不能從掃描用傳送部分的傳送路徑移除時，其中所述柔性記錄介質形成為單一細長體并包括具有不同的設置對齊標記的位置的多種類型，通過相對移動機構使校準部件和設置在比傳送路徑更接近對齊部分的位置處的對齊部分彼此相對應，校準對齊部分的位置之后，對齊調整被高精度地執(zhí)行并且繪圖處理可以被執(zhí)行。
本發(fā)明的第三方面是一種校準對齊部分的方法。該校準方法是一種校準細長、柔性記錄介質的傳送裝置中的對齊部分的方法，并且所述方法包括以下步驟在柔性記錄介質被設定在傳送路徑處的狀態(tài)下，相對地移動對齊部分和校準部件，所述校準部件被布置在比傳送路徑更接近對齊部分的位置處，并且使對齊部分的位置和校準部件的位置彼此相對；并且通過使用校準部件，執(zhí)行對齊部分的位置校準。
本發(fā)明的第四方面是一種傳送裝置。該傳送裝置是一種細長、柔性記錄介質的傳送裝置，并且所述傳送裝置具有傳送部分，所述傳送部分在給定傳送方向上傳送柔性記錄介質；對齊部分，所述對齊部分被布置以能夠在執(zhí)行對齊并且設定在傳送路徑上的區(qū)域的位置處執(zhí)行檢測，柔性記錄介質被傳送部分沿著所述傳送路徑傳送；校準部件，所述校準部件被布置在比傳送路徑更接近對齊部分的位置處；和相對移動機構，所述相對移動機構相對地移動對齊部分和校準部件，以便對齊部分被設定在檢測校準部件的狀態(tài)中。
圖1是透視圖，顯示了根據本發(fā)明實施例的繪圖裝置的主要部分的示意結構；圖2是主視圖，顯示了根據本發(fā)明實施例的繪圖裝置的主要部分的示意結構；圖3是主要部分的示意結構視圖，顯示了根據本發(fā)明實施例的繪圖裝置的用于掃描的傳送部分移動到用于對齊照相機校準的位置的狀態(tài)，其中所述傳送部分設置有用于檢測的單元；圖4是主要部分的示意結構視圖，顯示了以下狀態(tài)根據本發(fā)明實施例的繪圖裝置的裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分移動到用于光束位置檢測的位置；圖5是主要部分的示意結構視圖，顯示了以下狀態(tài)根據本發(fā)明實施例的繪圖裝置的裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分移動到用于曝光表面功率校準的位置；圖6是主要部分的示意性放大結構視圖，顯示了以下結構實例在根據本發(fā)明實施例的繪圖裝置中，用于環(huán)帶的引導件被設置在曝光處理部分的傳送路徑部分處；圖7是主要部分的俯視圖，顯示了在根據本發(fā)明實施例的繪圖裝置處經過曝光處理的柔性印刷線路板材料的實例。
具體實施方式將參照圖1到圖7說明根據本發(fā)明實施例的繪圖裝置的實施例。
根據本發(fā)明的實施例的繪圖裝置被構造為這樣一種柔性印刷線路板曝光裝置，所述柔性印刷線路板曝光裝置由控制單元自動地控制并且所述柔性印刷線路板曝光裝置在掃描方向上移動柔性印刷線路板材料(作為形成細長、帶狀板的柔性記錄介質)的同時，根據在控制單元處從圖形數據產生的調制信號空間地調制從光源發(fā)出的多束光，并將空間調制后的多束光照射到柔性印刷線路板材料上，由此執(zhí)行曝光處理。
如圖1中所示，在該繪圖裝置中，曝光處理部分12被布置在底基10的中心部分處。未曝光的記錄介質提供部分14布置在曝光處理部分12的一側部分處(圖1中的左側部分)。曝光后的記錄介質收集部分16布置在曝光處理部分12的另一側部分處(圖1中的右側部分)。
在曝光處理部分12處，襯底傳送部分22通過直線移動機構20安裝在裝置座18的平坦表面上，布置在基底10上的所述裝置座18具有隔振功能。
直線移動機構20被構造為，直線電機或另一給送裝置安裝在具有隔振功能的裝置座18的頂部平面部分和移動臺21之間，襯底傳送部分22安裝在所述移動臺21上。
當直線移動機構20由例如直線電機構成時，未顯示的桿狀定子部分(磁體部分)沿著傳送方向安裝在具有隔振功能的裝置座18處。布置在移動臺21的底部表面?zhèn)鹊木€圈部分(未顯示)被設置。由于定子部分的磁場和通電的線圈部分所產生的磁場的作用所產生的驅動力，直線電機在傳送方向上移動移動臺21。
直線電機可高精度地并通過電控制驅動和控制在襯底傳送部分22的傳送操作中啟動、停止等時候的速度的恒定性、定位精確性和扭矩波動性。
由于直線移動機構20在柔性印刷線路板材料28的傳送方向上向上游或向下游地移動整個襯底傳送部分22，因此襯底傳送部分22可從圖1和圖2中所示的曝光處理位置移動到圖3中所示的用于對齊照相機校準的位置，或者到圖4中所示的用于光束位置檢測的位置，或者到圖5中所示的用于曝光表面功率校準的位置。
如圖1和圖2中所示，襯底傳送部分22被如下地構造。用于襯底厚度調整的Z臺24被設定在移動臺21上。裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26被設定在用于襯底厚度調整的Z臺上。
為了調整記錄介質的曝光表面的高度位置，用于襯底厚度調整的Z臺24被構造為能夠平行于裝備有用于檢測的單元的整個掃描用傳送部分26移動，通過使用傾斜表面的細微移動調整機構在高度方向(Z軸線方向)上移動。
如圖2中所示，帶傳送機構被安裝到裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26上，以便傳送作為細長的、帶狀的柔性記錄介質的柔性印刷線路板材料28。該帶傳送機構由以下部分構造而成布置在傳送方向上游側的夾緊輥對30、布置在傳送方向下游側的夾緊驅動輥對32，和拉在它們之間的環(huán)帶33。
夾緊驅動輥對32由多個(此處為兩個)夾緊輥32B構成，所述夾緊輥32B旋轉并同時通過環(huán)帶33接觸驅動輥32A的外周表面。柔性印刷線路板材料28通過環(huán)帶33被夾緊在驅動輥32A和夾緊輥32B之間。通過旋轉驅動輥32A，環(huán)帶33和柔性印刷線路板材料28被傳送而無滑動產生。
在驅動電機34處輸出的并在減速機構36處減速的預定旋轉速度的旋轉驅動力通過帶傳送機構被傳送給驅動輥32A。以此方式，夾緊驅動輥對32以預定掃描速度傳送柔性印刷線路板材料28。
布置在裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26處的夾緊輥對30被構造為，兩個輥旋轉并同時通過環(huán)帶33接觸彼此。因此，由于柔性印刷線路板材料28通過夾在夾緊輥對30的夾緊輥之間的環(huán)帶33被保持在夾緊狀態(tài)并由于夾緊輥對30旋轉，環(huán)帶33和柔性印刷線路板材料28被給送。
例如如圖6中所示，作為圓形通孔的用于吸引的大量孔33A被形成在環(huán)形帶33中，從而均勻地分布。
吸引箱35設置在裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26處。吸引箱35構成吸引裝置，并鄰近環(huán)帶33的上伸展部分的相反側，其中所述環(huán)帶33的上伸展部分沿著傳遞路徑被布置以便柔性印刷線路板材料28被放置在所述上伸展部分上。
吸引箱35被布置在包括至少對齊被執(zhí)行的區(qū)域和曝光區(qū)域的預定范圍上，所述兩個區(qū)域是在稍后將說明的對齊單元46和曝光頭單元48正下方的位置。
構成吸引裝置的吸引箱35形成為沒有蓋的矩形箱形狀。由于吸引箱35緊鄰環(huán)帶33的上伸展部分的相反側被布置，由環(huán)還33和吸引箱35包圍的用于吸引的半封閉空間被形成。
在吸引裝置處，從鼓風機(blower)37拉出的吸引管(未顯示)的末端部分被連接到吸引箱35。構成吸引裝置的鼓風機37吸入由環(huán)帶33和吸引箱35包圍的半封閉空間內的空氣，并從用于環(huán)帶33的吸引的孔33A吸入空氣。由于此操作，可執(zhí)行將柔性印刷線路板材料28吸到環(huán)帶33的表面的操作。
在以此方式構成的裝置有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26中，由于鼓風機37被驅動并吸入由環(huán)帶33和吸引箱35所包圍的半封閉空間內的空氣所產生的從用于環(huán)帶33的吸引的各孔33A吸引的負壓，柔性印刷線路板材料28的已被從夾緊輥對30傳送到曝光處理部分12的傳送路徑上的部分被吸引到環(huán)帶33。在此狀態(tài)下，柔性印刷線路板材料28與環(huán)帶33整體地被傳送，并從夾緊驅動輥對32傳送出。
在柔性印刷線路板材料28以此方式從夾緊輥對30傳送到夾緊驅動輥對32的同時，柔性印刷線路板材料28被吸引到環(huán)帶33上的狀態(tài)被維持，并且柔性印刷線路板材料28在給定的傳送方向上被連續(xù)地傳送。因此，在裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26處，柔性印刷線路板材料28被放置在環(huán)帶33上，并且曝光處理可被執(zhí)行并且同時環(huán)帶33被連續(xù)地驅動。因此，連續(xù)執(zhí)行曝光處理的操作始終是可以的。這產生曝光處理的生產能力的增加。
此外，在裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26處，使柔性印刷線路板材料28隨著具有高平面度的環(huán)帶33運行，同時緊密地接觸環(huán)帶。因此，曝光頭單元48的焦距可以保持恒定，其中所述曝光頭單元48的激光使柔性印刷線路板材料28曝光。
特別是在環(huán)帶33被構造為金屬帶而不是纖維帶的情況下，如果環(huán)帶33被構造為當大張力被施加到所述環(huán)帶33上時，所述環(huán)帶33能夠獲得更高的平面度，那么吸引在環(huán)帶33上的柔性印刷板材料28的平面度也被增加。因此，曝光頭單元48的焦距被更高精度地保持為恒定。
根據這樣的結構，所述結構使柔性印刷線路板材料28隨著環(huán)帶33運行并使在設定連續(xù)平坦表面的傳送路徑上的柔性印刷線路板材料28連續(xù)地曝光，當執(zhí)行例如所謂的平面曝光處理時，其中在所述平面曝光處理中二維圖案被二維空間調制元件(DMD)照射，即使曝光區(qū)域在給送柔性印刷線路板松材料28的方向上具有其寬度，柔性印刷線路板材料28的平面度是高的。因此，可使焦距在曝光區(qū)域內在襯底給送方向上不變化，并獲得良好的圖形。
此外，在裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26的傳送路徑上，由于柔性印刷線路板材料28被吸引到環(huán)帶33上，可確保良好的平面度。因此，沒有傳送方向上拉動的張力被施加到柔性印刷線路板材料28自身上，可防止柔性印刷線路板材料28由于張力而伸長/收縮變形。因此，在以此方式構成的裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26中，可以防止在柔性印刷線路板材料28在由于張力而被彈性地拉伸/收縮變形的狀態(tài)下經受曝光處理、之后所施加的張力被釋放并且柔性印刷線路板材料28返回到其原始形狀時，被曝光的圖形變得偏移(所謂曝光位置偏移)。
在該繪圖裝置中，鼓風機37的排出空氣經過精密空氣調節(jié)器39，以便灰塵從空氣中被移除，并且其后，排出空氣在潔凈室內循環(huán)，其中繪圖裝置設置在所述潔凈室內。為此，一端連接到鼓風機37的空氣出口的排氣管41的另一端連接到精密空氣調節(jié)器39的空氣入口側。
由于這樣的結構，鼓風機37從吸引箱35吸入從而將柔性印刷線路板材料28吸引到環(huán)帶33上的空氣經過排氣管41并在精密空氣調節(jié)器39中再生。雖然未圖示說明，精密空氣調節(jié)器39利用所謂的HEPA過濾器凈化從鼓風機37給送的空氣或從繪圖裝置的外殼的內部吸入的空氣，并使空氣在潔凈室內循環(huán)。
當從鼓風機37給送的大量空氣被排出到潔凈室的外部時，用于提供新鮮、潔凈空氣到潔凈室中的空氣調節(jié)能力必須是巨大的，并且成本增加。然而，利用上述結構，可防止這種問題，并且還可防止在鼓風機37的排出空氣如進入潔凈室一樣被排出的情況下，來自鼓風機37的灰塵污染潔凈室。
此外，在裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26的傳送路徑上，導輥38被布置在夾緊輥對30的上游側，而導輥40被布置在夾緊驅動輥對32的下游側。
如圖2中所示，作為校準部件的校準度盤(calibration scale)42被布置在裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26處的夾緊輥對30的外側、在用于使柔性印刷線路板材料28曝光的傳送路徑的傳送方向上游側處的延伸線上的預定位置處，(即，在與形成在柔性印刷線路板材料28上的攝影校準標記M的平面相同的平面上，在用于裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26內的用于曝光的傳送路徑上)其中所述柔性印刷線路板材料28設定在裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26內。
此外，光束位置檢測裝置44和曝光表面功率測量裝置45被布置在夾緊驅動輥對32的外側，其中所述夾緊驅動輥對32在裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26處，所述光束位置檢測裝置44和曝光表面功率測量裝置45在用于使柔性印刷線路板材料28曝光的傳送路徑的傳送方向下游側處的延長線上的預定位置處(即，在與用于裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26內的用于曝光的傳送路徑上的曝光區(qū)域的曝光的平面相同的平面上)，其中所述柔性印刷線路板材料28設定在裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26中。
即，在繪圖裝置中，作為校準部分的校準單元46的照相機部分52相對于裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26移動。照相機部分52被設定在用于使柔性印刷線路板材料28曝光的傳送路徑上的執(zhí)行校準的區(qū)域的位置處，其中所述柔性印刷線路板材料28設定在裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26處。照相機部分52被設定在作為校準部件的校準度盤42的位置處，其中所述校準度盤42設置在裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26處。
請注意，在繪圖裝置中，相對移動以任意形式實現都滿足要求，只要使用相對移動機構，所述相對移動機構可執(zhí)行相對移動，以便照相機部分52和在用于曝光的傳送路徑上執(zhí)行校準的區(qū)域彼此對應，并且照相機部分52和作為校準部件的校準度盤42彼此對應。例如，如圖1到圖5所示，以下結構是可以的，在所述結構中照相機部分52被固定而裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26被作為相對移動機構的直線移動機構30移動。或者，可以被使用如下結構裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26被固定，以便執(zhí)行對齊的區(qū)域的位置和校準度盤42的位置是不可移動的，并且相對移動機構(未顯示)可以使照相機部分52在對齊標記M攝影位置和校準度盤42攝影位置之間移動。
另外，在繪圖裝置中，可以使用任意類型的相對移動機構并且此外，可以通過任意類型的形式實現相對移動，這樣都可滿足要求，只要相對運動是可以的，以便光束位置檢測裝置44和曝光頭單元48的各個頭組件54彼此對應，以便各個的頭組件54和曝光表面功率測量裝置45彼此對應。例如，如圖1到圖5中所示，以下結構是可以的，在所述結構中曝光頭單元48的各個頭組件54是固定的，并且光束位置檢測裝置44被移動到曝光位置處，并且裝備有曝光表面功率測量裝置45的掃描用傳送部分26被移動到曝光位置?；蛘撸梢允褂靡韵陆Y構裝備有光束位置檢測裝置44和曝光表面功率測量裝置45的掃描用傳送部分26是固定的并不可移動的，并且曝光頭單元48的各個頭組件54被移動。
即，在繪圖裝置中，用作移動襯底傳送部分22的相對移動機構的直線移動機構20構成這樣的裝置，所述裝置將校準度盤42、光束位置檢測裝置44和曝光表面功率測量裝置45分別移動到預定位置。
如圖1和圖2中所示，在曝光處理部分12處，在襯底傳送部分22上方，作為對齊部分的對齊單元46布置在傳送方向上游側，并且用作繪圖單元的曝光頭單元48布置在傳送方向下游側。
雖然未圖示說明，通過安裝基部50到諸如繪圖裝置的外殼等的固定結構上，作為對齊部分的對齊單元46被設定。一對平行軌道(未顯示)被設置在基部50上。多個(本實施例中為四個)照相機部分52通過被滾珠螺桿(ball screw)機構移動的照相機底座安裝到軌道部分上，以便照相機部分52可以移動，從而使透鏡部分的光軸與柔性印刷線路板材料28的橫向方向上的需要位置相匹配。
雖然未圖示說明，在每一個照相機部分52，透鏡部分設置在照相機主體的底部表面，并且環(huán)狀閃光源(LED閃光源)安裝到透鏡部分的突起的末端部分。在照相機部分52，來自閃光源的光照射到柔性印刷線路板材料28上，柔性印刷線路板材料28反射的光通過透鏡部分在照相機主體處被獲取，并且柔性印刷線路板材料28的端部或標記M(如圖8中所示)等被檢測。
雖然未圖示說明，用作繪圖單元的并如圖1和圖2中所示被布置在曝光處理部分12處的曝光頭單元48，被設定為安裝在支架上，所述支架直立地豎立在正被傳送的柔性印刷線路板材料28的橫向兩端部分的外側處。
用作繪圖單元的曝光頭單元48被構造為激光曝光裝置。多個頭組件54被布置為m行和n列的大致矩陣形式(在本實施例中，為兩行和四列，總數為八個)。多個頭組件54的行被布置為沿柔性印刷線路板材料28的橫向方向(該方向垂直于傳送方向，并與垂直于作為柔性印刷線路板材料28的傳送方向的掃描方向的方向相同)延伸。
如圖1中所示，光源單元56被布置在繪圖裝置主體內。雖然未圖示說明，光源單元56容納多個激光(半導體激光)光源。從各個激光光源發(fā)出的光束被光學纖維分別地導入對應的頭組件54中。
每一頭組件54被構造為，在導入其中的光束被作為空間光調制器的數字微鏡裝置(DMD)(未顯示)調制之后，光束被自動聚焦機構聚焦到柔性印刷線路板材料28上并照亮二維圖案(即，頭組件54執(zhí)行所謂的平面曝光處理)。
每一頭組件54的數字微鏡裝置(DMD)根據控制單元58的圖像處理部分處的圖形數據以點為單位被控制，并在柔性印刷線路板材料28上曝光點圖案。
用作繪圖單元的曝光頭單元48通過以下方式執(zhí)行曝光處理在以均勻速度傳送柔性印刷線路板材料28的同時，在預定時間將從各個頭組件54輻射的多個光束照射到柔性印刷線路板材料28上。在曝光的時候，各個頭組件54在焦點已被自動對焦機構調整之后執(zhí)行曝光。因此，即使此時柔性印刷線路板材料28的高度位置存在變化，合適的曝光處理可以被執(zhí)行。
雖然未圖示說明，在曝光頭單元48處，被頭組件54之一曝光的曝光區(qū)域是矩形區(qū)域，所述矩形區(qū)域以預定的傾斜角度相對于掃描方向傾斜并且其短邊沿掃描方向延伸。帶狀曝光區(qū)域由每一頭組件54形成在在掃描方向上被傳送的柔性印刷線路板材料28上。
在所述曝光區(qū)域以預定傾斜角度相對于掃描方向傾斜的狀態(tài)下，曝光頭單元48執(zhí)行曝光。因此，由于被曝光的二維布置的點圖案相對于掃描方向傾斜，在掃描方向上排列的各個點經過在與掃描方向交叉的方向上排列的點之間，以便點之間的真實間距變窄，并且因此，可實現更高的分辨率。
另外，在繪圖裝置中，當在曝光頭單元48和正傳送的柔性印刷線路板材料28之間的相對位置關系產生偏離時，照相機部分52對設置在柔性印刷線路板材料28上的標記M等照相，并檢測柔性印刷線路板材料28和曝光頭單元48的位置的偏置量，并校正曝光頭單元48的曝光處理，以便可以在柔性印刷線路板材料28上執(zhí)行適當的曝光處理。
如圖1和圖2所示，為了使繪圖裝置在傳送設定在曝光處理部分12處的傳送路徑上的柔性印刷線路板材料28的同時連續(xù)執(zhí)行曝光處理，連接到曝光處理部分12的傳送路徑的上游側上的未曝光記錄介質提供部分14被設置，并且連接到曝光處理部分12的傳送路徑的下游側的曝光后記錄介質收集部分16被設置。
未曝光記錄介質提供部分14由供帶盤(supply reel)60和間隔帶卷起盤(spacer tape take-up reel)62構成，其中未曝光的細長的柔性印刷線路板材料28以卷的形式卷繞在所述供帶盤60上，而所述間隔帶卷起盤62被安裝在驅動單元64上。
未曝光記錄介質提供部分14被構造為，通過作為張力設定裝置的張力調節(jié)輥(dancer roller)機構，將從供帶盤60拉出的柔性印刷線路板材料28傳送到曝光處理部分12的記錄介質傳送路徑的入口，以使柔性印刷線路板材料28被傳送，并同時沿著環(huán)帶33被設定并平坦地緊密地配合到環(huán)帶33。
雖然未圖示說明，用于調整傳送速度差異的第一張力調節(jié)輥機構可以被設置在供帶盤60和曝光處理部分12的記錄介質傳送路徑的入口之間，并且作為張力設定裝置的第二張力調節(jié)輥機構可以通過清潔輥被布置。
張力調節(jié)輥機構例如布置并構造以旋轉張力調節(jié)輥68，所述張力調節(jié)輥68在使柔性印刷線路板材料28在未曝光記錄介質提供部分14的出口側輥66和曝光處理部分12的入口導輥38之間松弛為U形形狀的部分處。請注意，張力調節(jié)輥機構可以由所謂的空氣浮輥(air dancer)構成，所述空氣浮輥被構造為利用空氣吸住柔性印刷線路板材料28。此外，作為張力設定裝置的第二張力調節(jié)輥機構被構造為施加所需的相對弱的張力，從而使柔性印刷線路板材料28平坦地緊密地接觸環(huán)帶33。
由于驅動單元64旋轉和驅動供帶盤60，以此方式構造的未曝光記錄介質提供部分14拉出柔性印刷線路板材料28，并通過張力調節(jié)輥機構，在曝光處理部分12的環(huán)帶33和夾緊輥對30之間傳送所述柔性印刷線路板材料28，并連續(xù)地提供柔性印刷線路板材料28以便它在傳送路徑上的環(huán)帶33上不滑動。
在供帶盤60處，間隔帶(spacer tape)61被夾在并卷在卷繞的柔性印刷線路板材料28的層之間，以便層彼此不直接接觸。因此，在未曝光記錄介質提供部分14處，間隔帶卷起盤62被驅動單元64旋轉并驅動，以便與正傳送出的柔性印刷線路板材料28一起伸出的間隔帶61被卷起到間隔帶卷起盤62上。
曝光記錄介質收集部分16被構造為，卷起盤70和間隔帶提供盤72被安裝在驅動單元74上，其中所述卷起盤70卷起曝光的、細長的柔性印刷線路板材料28。
在曝光記錄介質收集部分16處，從曝光處理部分12傳送出的曝光后的柔性印刷線路板材料28通過用作張力設定裝置的張力調節(jié)輥機構被卷起到卷起盤70上，并被連接到曝光處理部分12的記錄介質傳送路徑的出口。
張力調節(jié)輥機構例如布置并構造為旋轉張力調節(jié)輥68，所述張力調節(jié)輥68在使柔性印刷線路板材料28在布置在曝光處理部分12的出口導輥40的傳送方向下游側處的支持輥76和曝光記錄介質收集部分16的入口側輥78之間松弛為U形形狀的部分處。
在曝光記錄介質收集部分16處，夾緊輥對80被設定在入口側輥78和卷起盤70之間。由于曝光柔性印刷線路板材料28被拉從而被卷起盤70卷起而起作用的張力在夾緊輥對80處被吸收，并且張力不被傳遞到布置在曝光記錄介質收集部分16的傳送路徑上游側的張力調節(jié)輥機構。
以此方式構造的曝光記錄介質收集部分16被構造為，由于驅動單元74旋轉和驅動卷起盤70，通過張力調節(jié)輥機構從曝光處理部分12給送出的柔性印刷線路板材料28被連續(xù)地卷起并收集。
在曝光記錄介質收集部分16處，在將柔性印刷線路板材料28卷起到卷起盤70上的時候，間隔帶61被夾緊并卷繞在卷繞表面之間，以便卷繞在供帶盤60上的柔性印刷線路板材料28的層彼此不直接接觸。因而，在曝光記錄介質收集部分16處，間隔帶提供盤72被驅動單元74旋轉，從而從間隔帶提供盤72拉出間隔帶61，以便間隔帶61可以被卷繞并同時沿著被傳送入的柔性印刷線路板材料28延伸。
如圖1和圖2中所示，在上述結構的繪圖裝置中，帶傳送機構被設置在夾緊驅動輥對32和曝光處理部分12的用于曝光的傳送路徑的夾緊輥對30之間。
在曝光處理部分12的用于曝光的傳送路徑處，曝光處理由曝光頭單元48執(zhí)行，同時在該帶式傳送機構的環(huán)帶33上傳送的柔性印刷線路板材料28的部分在主運行方向(主掃描方向)上以預定速度被夾緊驅動輥對32的旋轉驅動力傳送，并整體地處于以下狀態(tài)中由于鼓風機37被驅動并且環(huán)帶33和吸引箱35包圍的半封閉空間內正被吸引以及被從環(huán)帶33的用于吸引的孔33A吸引的空氣的作用，所述柔性印刷線路板材料28被吸在環(huán)帶33的表面上。
當曝光處理在曝光處理部分12處被執(zhí)行時，柔性印刷線路板材料28被環(huán)帶33在對應于對齊單元46下方的位置處以及在對應于曝光頭單元48下方的位置處平坦地支撐在用于曝光的傳送路徑上。請注意，在曝光處理部分12的用于曝光的傳送路徑上伸展的柔性印刷線路板材料28，利用由于布置在傳送方向上游側的張力調節(jié)輥機構和布置在傳送方向下游側的張力調節(jié)輥機構所產生的預定張力的作用，被穩(wěn)固地保持在環(huán)帶33上而沒有滑動。
因此，曝光處理部分12可利用曝光頭單元48的各個頭組件54，在平坦地保持在環(huán)帶33處的柔性印刷線路板材料28的表面上，以二維圖案正確地執(zhí)行曝光處理。
此外，在曝光處理部分12處，曝光處理可以由曝光頭單元48在柔性印刷線路板材料28上連接地執(zhí)行，其中所述柔性印刷線路板材料28正以均勻的速度在主運行方向上被傳送。因此，可消除在曝光頭單元48正下方往復地操作柔性印刷線路板材料28的操作，并可通過迅速地執(zhí)行曝光處理并以流水線的方式提高操作效率。
此外，在繪圖裝置中，根據識別柔性印刷線路板材料28的對齊單元46所獲得的標記M或端部的位置數據，控制單元58確定曝光頭單元48的曝光處理時的曝光起始位置，以及與柔性印刷線路板材料28的橫向方向上的點的移位位置有關的校正系數。然后，根據該校正系數，控制單元58執(zhí)行控制從而通過曝光頭單元48的各個頭組件54校正諸如二維繪圖圖案或者圖形記錄起始時間等因數，并從而執(zhí)行曝光處理，以便在柔性印刷線路板材料28上曝光的圖形的位置被校正至合適位置。
在繪圖裝置的曝光處理部分12處，作為在對齊單元46正下方的柔性印刷線路板材料28的檢測對象的部分，以及作為在曝光頭單元48正下方的柔性印刷線路板材料28的檢測對象的部分，兩者都接收相同的張力并在主運行方向(主掃描方向)上以相同的速度被傳送。因此，由于對齊單元46的檢測結果可在曝光頭單元48處無誤差地利用，因此可進一步提高曝光處理的精度。
接下來，將解釋在繪圖裝置中所使用的對齊單元46的校準過程。在繪圖裝置中，校準由對齊單元46執(zhí)行，從而正確地調整柔性印刷線路板材料28和曝光頭單元48之間的相對位置關系。
在繪圖裝置的對齊過程中，當柔性印刷線路板材料28的尺寸數據在輸入部分(未顯示)被輸入時，根據所輸入的尺寸數據，對齊單元46的照相機部分52的位置被移動并被調整，從而適應柔性印刷線路板材料28的橫向方向位置。
在繪圖裝置中，正在主掃描方向上移動的柔性印刷線路板材料28的縱向方向上的預定范圍被各個照相機部分52照相，柔性印刷線路板材料28上的用于曝光位置檢測的預先形成的標記M被檢測，標記M被與各個照相機部分52的參考位置相比較，并產生用于曝光的校正數據。根據該校正數據通過使用例如脈沖計數器(未顯示)，通過力求柔性印刷線路板材料28的曝光起始位置到達曝光頭單元48的曝光光束照射位置的時間，執(zhí)行曝光處理操作。
此外，在繪圖裝置中，為了力求合適的對齊，用于對齊的照相機部分52的位置校準被執(zhí)行。在該用于對齊的照相機部分52的位置校準中，通過使用校準度盤42執(zhí)行位置校準。
為此，在繪圖裝置中，直線移動機構20被驅動，以便整個襯底傳送部分22((此處設置有移動臺21，用于襯底厚度調整的Z臺24，夾緊輥對30，和夾緊驅動輥對32)和用于掃描的傳送部分26(在所述傳送部分26處設置有校準度盤42))從圖2中所示的曝光等待位置朝圖2中右方移動，并被設定在圖3中所示的用于對齊照相機校準位置處。
即，在繪圖裝置中，裝備有校準度盤42的掃描用的并且布置在襯底傳送部分22處的傳送部分26被直線移動機構20移動，其中所述直線移動機構20移動襯底傳送部分22，以便校準度盤42與照相機部分52重合。
在圖3中所示的用于對齊照相機校準的位置處，各個照相機部分52和與其相對應的校準度盤42處于彼此相對的狀態(tài)。在此狀態(tài)下，根據被指明的對齊標記M的橫向位置信息，用于對齊的照相機部分52在襯底的橫向方向上被移動。
繪圖裝置被構造為，校準度盤42被布置為比柔性印刷線路板材料28的傳送路徑更接近照相機部分52。因此，用于對齊的照相機部分52的位置校準可以在以下狀態(tài)下被執(zhí)行柔性印刷線路板材料28已被傳送到裝置有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26的傳送路徑上。即，在繪圖裝置中，用于對齊的照相機部分52的位置校準可以被執(zhí)行，而不用從裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26的傳送路徑移除柔性印刷線路板材料28。
在繪圖裝置中，校準度盤42被用于對齊的照相機部分52照相，校準度盤42和照相機部分52之間的位置關系從校準度盤42的圖案被照相的位置處被校準。
請注意，在繪圖裝置中，在對齊照相機校準操作被完成之后，直線移動機構20被驅動，并且整個襯底傳送部分22從圖3中所示的用于對齊照相機校準的位置返回到圖2中所示的曝光等待位置。
接下來，將解釋繪圖裝置中所使用的校準裝置，校準裝置涉及各個頭組件54的曝光位置以及曝光區(qū)域內的功率分布。
在繪圖裝置中，首先，為了測量各個頭組件54的光束位置，裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26從圖2中所示的曝光等待位置朝附圖中左側移動到圖4中所示的光束位置檢測位置，在所述光束位置檢測位置處各個頭組件54和與其相對應的光束位置檢測裝置44彼此相對。
在繪圖裝置中，以與上述移動校準度盤42到照相機部分52時相同的方式，光束位置檢測裝置44被移動襯底傳送部分22的直線移動機構20移動以與各個頭組件54重合，其中所述光束位置檢測裝置44被設定在用于掃描的傳送部分26處，所述傳送部分26裝備有用于襯底傳送部分22的檢測的單元。
然后，各個頭組件54的光束位置被光束位置檢測裝置44所測量，并且頭組件54的曝光位置被校準。
接下來，在繪圖裝置中，為了測量每一頭組件54的曝光區(qū)域內功率分布，裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26從圖4中所示的光束位置檢測位置朝附圖中左側移動到曝光表面功率校準位置，在所述曝光表面功率校準位置處頭組件54和與其相對應的曝光表面功率測量裝置45彼此相對。
請注意，在繪圖裝置中，以與上述在移動校準度盤42到照相機部分52時相同的方式，曝光表面功率測量裝置45被移動襯底傳送部分22的直線移動機構20移動，從而與各個頭組件54重合，其中所述曝光表面功率測量裝置45被設定在裝備有用于襯底傳送部分22的檢測的單元的掃描用傳送部分26處。
然后，各個頭組件54的曝光區(qū)域內的功率分布由對應的曝光表面功率測量裝置45所測量，并且所有曝光區(qū)域中的功率被校準，并且合適的二維圖案的繪圖被執(zhí)行。
繪圖裝置被構造為，光束位置檢測裝置44和曝光表面功率測量裝置45被布置為比柔性印刷線路板材料28的傳送路徑更接近曝光頭單元48。因此，即使在柔性印刷線路板材料28已被傳送到裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26的傳送路徑上的狀態(tài)下，柔性印刷線路板材料28不介于各個頭組件54和光束位置檢測裝置44或者曝光表面功率測量裝置45之間。因此，各個頭組件54的曝光位置的校準，和在各個頭組件54的所有曝光區(qū)域處的功率校準可以被執(zhí)行。即，在繪圖裝置中，各個頭組件54的曝光位置的校準，和各個頭組件54的所有曝光區(qū)域處的功率校準可以被執(zhí)行，而不用從裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26的傳送路徑移除柔性印刷線路板材料28。
此外，在繪圖裝置中，在校準各個頭組件54的曝光位置的操作以及校準所有曝光區(qū)域處的功率的操作被完成之后，直線移動機構20被驅動，并且整個襯底傳送部分22從圖5中所示的曝光表面功率校準位置返回到圖2中所示的曝光等待位置。
在繪圖裝置中，在執(zhí)行如上所述的對齊照相機校準操作或者校準曝光位置的操作或者校準所有曝光區(qū)域處的功率的操作的時候，在裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26的傳送路徑上的柔性印刷線路板材料28被限制而不移動。因此，在繪圖裝置中，在當裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26被移動時，吸引裝置的鼓風機37被驅動，被吸引箱35包圍的半封閉空間內的空氣被吸引，并且空氣從被制動的環(huán)帶33的用于吸引的孔33A被吸入。由于該操作，柔性印刷線路板材料28被設定在以下狀態(tài)中所述柔性印刷線路板材料28被吸引在靜止的環(huán)還33的表面上，并且柔性印刷線路板28以不移動狀態(tài)保持在裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26的傳送路徑上?；蛘撸L圖裝置可以被構造為，在當裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26被移動時，在裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26的傳送方向上游側處的夾緊輥對30被制動，夾緊在夾緊輥對30之間的柔性印刷線路板材料28被限制，在裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26的傳送方向下游側處的夾緊驅動輥對32被制動，并且夾緊在夾緊輥對30之間的柔性印刷線路板材料28被限制。
接下來，將說明當柔性印刷線路板材料28包括具有不同對齊標記位置的多種類型時，繪圖裝置中的處理操作，其中所述柔性印刷線路板材料28是串聯連接的并以卷形式卷繞在供帶盤60上的細長、帶狀、柔性記錄介質。
當一柔性印刷線路板材料28包括以此方式具有不同對齊標記位置的多種類型時，繪圖裝置通過使用如上所述的校準度盤42執(zhí)行用于對齊的照相機部分52的位置校準，從而使各個照相機部分53對應于形成在柔性印刷線路板材料28上的不同對齊標記M位置，位置校準每一次在起始另一種類型的繪圖處理之前的階段執(zhí)行，在所述另一種類型中形成在柔性印刷線路板材料28上的對齊標記的位置在不同位置處。
即，在繪圖裝置中，即使在由于柔性印刷線路板材料28處于曝光處理卷繞在供帶盤60上的柔性印刷線路板材料28的一卷中時柔性印刷線路板材料28不能從裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26的傳送路徑移除的情況下，校準度盤42可以被移動到用于對齊的照相機部分52的圖形拾取位置。因此，即使在一柔性印刷線路板材料28包括多種類型而所述多種類型對于每一不同類型而言對齊標記M位置是不同的這一情況下，用于對齊的照相機部分52的位置校準被執(zhí)行，照相機部分52的參考位置的數據被校準，對齊被高精度地調整，而曝光處理可以在各個頭組件54處被執(zhí)行。
在繪圖裝置中，光束位置檢測裝置44或者曝光表面功率測量裝置45可以被移動到各個頭組件54的曝光區(qū)域，而不從裝備有用于檢測的單元的掃描用傳送部分26的傳送路徑移除柔性印刷線路板材料28。因此，即使在一柔性印刷線路板材料28中包括對齊標記M位置不同的多種類型的情況下，合適的光束位置校準和曝光表面功率校準被執(zhí)行，并且曝光處理可在每一頭組件54處被執(zhí)行。
此外，通過使用移動校準度盤的機構，曝光光束位置測量裝置可以相對于曝光頭被移動。因此即使在曝光一卷中也可執(zhí)行光束位置的校準。
接下來，將說明如上所述構造的繪圖裝置的工作和操作。
在繪圖裝置中，在曝光處理被開始之前，用于校準對齊照相機部分52的上述過程、和各個頭組件54的曝光區(qū)域內的曝光位置和功率分布的校準被執(zhí)行。請注意，用于校準對齊照相機部分52的過程，和用于校準各個頭組件54的曝光區(qū)域內的曝光位置和功率分布的過程可以在任意時間被執(zhí)行。
接下來，在繪圖裝置中，作為將被執(zhí)行曝光處理的對象的柔性印刷線路板材料28，被設定在傳送路徑上，所述傳送路徑從未曝光介質提供部分14經過曝光處理部分12并到達曝光記錄介質收集部分16。為此，作為記錄介質的柔性印刷線路板材料28從供帶盤60取出，沿在曝光處理部分12處的傳送路徑通過，并且所述柔性印刷線路板材料28的前端被固定到卷起盤70上。
其后，在繪圖裝置中，供帶盤60被旋轉直到檢測到以下狀態(tài)在設定在傳送路徑上的柔性印刷線路板材料28的、在供帶盤60側的出口側輥66和在曝光處理部分12側的入口引導輥38之間的部分處，松弛已變成預定量(松弛的最上限值)，其中預定量是該部分是最松弛的狀態(tài)，并且張力調節(jié)輥68被設定在松弛部分處。其后，當檢測到松弛已變成松弛量的下限值(柔性印刷線路板材料28處于最少松弛狀態(tài))時，調整被執(zhí)行從而旋轉和驅動供帶盤60，直到檢測到松弛已變成松弛量的上限值。
接下來，在繪圖裝置中，夾緊驅動輥對32被旋轉和被驅動直到檢測到以下狀態(tài)在曝光處理部分12的傳送路徑出口側保持輥76和曝光記錄介質收集部分16的入口側輥78之間的部分處，松弛已變成預定量(松弛的最下限值)，其中預定量為該部分是最小松弛的狀態(tài)，并且張力調節(jié)輥68被設定在松弛部分處。其后，當檢測到松弛已變?yōu)樗沙诹康纳舷拗?柔性印刷線路板材料28最松弛的狀態(tài))時，調整被執(zhí)行從而旋轉和驅動卷起盤70直到檢測到松弛已變?yōu)樗沙诹康南孪拗怠?br> 接下來，在繪圖裝置中，夾緊驅動輥對32被旋轉和驅動，同時柔性印刷線路板材料28被傳送，柔性印刷線路板材料28的表面以預定間隔被對齊照相機部分52照相。當設置在柔性印刷線路板材料28上的曝光起始位置的標記M被照相(檢測到)時，夾緊驅動輥對32被停止并被設定在等待狀態(tài)中。
隨后，在繪圖裝置中，夾緊驅動輥對32被旋轉，并且當柔性印刷線路板材料28已經被傳送預定量時，對齊照相機部分52對在先前工作過程中設置在柔性印刷線路板材料28上的單位曝光區(qū)域L的對齊標記M照相，并測量單位曝光區(qū)域L的標記M的位置。單位曝光區(qū)域L的標記M的位置測量優(yōu)選地在圖8中所示的柔性印刷線路板材料28的給送方向上、在曝光區(qū)域L內的兩個或多個位置處進行(在單位曝光區(qū)域L的周邊處的四個或多個位置)。然而，在襯底不能被伸長/收縮變形的情況下，兩個位置就滿足需要(在單位曝光區(qū)域L的頂部和底部或者在左側和右側)。
接下來，當單位曝光區(qū)域L的標記M的位置的測量被完成時，控制單元58從單位曝光區(qū)域L的標記M的位置的測量值執(zhí)行曝光數據的變形處理，以便將被曝光的圖形符合伸長/收縮變形的狀態(tài)。請注意，此時，控制單元58可執(zhí)行還包括圖形記錄位置校正(曝光起始時間校正)的處理。
在控制單元58執(zhí)行曝光數據的變形處理的同時，控制單元58執(zhí)行用于連續(xù)地給送柔性印刷線路板松材料28的控制，并執(zhí)行接下來的單位曝光區(qū)域L的對齊標記M的位置的測量。
接下來，當控制單元58完成曝光數據的變形處理并且單位曝光區(qū)域L的前端被給送到曝光頭單元48的位置時，通過在柔性印刷線路板松材料28之上的各個頭組件54，控制單元58開始曝光。當該單位曝光區(qū)域L的后端(trailing end)到達曝光頭單元48之后的預定位置時，控制單元58停止單位曝光區(qū)域L的曝光。
在當柔性印刷線路板材料28的單位曝光區(qū)域L經過所曝光頭單元48曝光的曝光區(qū)域時，該曝光處理被執(zhí)行。曝光處理通過以下步驟執(zhí)行各個頭組件54根據在控制單元58處經過變形處理的曝光數據，將激光照射到DMD上，激光沿著由光學系統(tǒng)設定的光學路徑經過，并鏡像或反射到柔性印刷線路板材料28上，其中所述激光在DMD的微鏡處于接通狀態(tài)時被反射。
繪圖裝置連續(xù)地執(zhí)行上述曝光處理，并且當單位曝光區(qū)域L已經被曝光預先指定的次數時，停止夾緊驅動輥對32并結束曝光處理。
如上所述，在繪圖裝置中，柔性印刷線路板材料28延伸從而位于帶式傳送機構的環(huán)帶33上并沿著環(huán)帶33延伸，其中所述帶式傳送機構橫跨在夾緊輥對30和夾緊驅動輥對32之間。由于夾緊驅動輥對32以均勻速度被旋轉，柔性印刷線路板材料28與環(huán)帶33整體地連續(xù)地被給送。然后，利用頭組件54，在通過環(huán)帶33橫跨在夾緊輥對30和夾緊驅動輥對32之間的柔性印刷線路板材料28的伸展部分上，連續(xù)地執(zhí)行激光曝光并繪制圖形。因此，與用于對齊調整的處理在行進行程的記錄介質上執(zhí)行而曝光調整在返回行程上執(zhí)行的結構相比較，繪圖裝置始終可連續(xù)地執(zhí)行曝光處理，并且因此可提高生產能力。
接下來，將參照圖6描述為上述繪圖裝置中的曝光處理部分12的傳送路徑上的環(huán)帶33提供引導的結構實例。
在圖6中所示的曝光處理部分12中，用作下支撐裝置的旋轉接觸輥84被布置在對應于環(huán)帶33正下方的位置處，所述位置對應于傳送路徑上頭組件54執(zhí)行的整個曝光處理區(qū)域。
旋轉接觸輥84旋轉，同時接觸環(huán)帶33的底部表面，并引導環(huán)帶33從而被從下方支撐。如圖6中所示，旋轉接觸輥84被布置在傳送方向上游側和下游側，從而夾著由頭組件54曝光的各個曝光處理區(qū)域，并且旋轉接觸輥84被布置在傳送方向上游側和下游側從而夾著由照相機部分52照相的照相區(qū)域。利用以此方式布置旋轉接觸輥84，當空氣從吸引箱35被吸引時，可限制環(huán)帶33被移動從而被拉向吸引箱35側。
此處，圖6中所示的曝光處理部分12可被構造為，代替旋轉接觸輥84，其中形成有大量吸孔的吸引臺的平坦表面滑動地接觸和引導環(huán)帶33的相反側，雖然此結構未顯示。在這種結構的情況下，由于用于環(huán)帶33的吸引的孔33A的吸住作用，柔性印刷線路板材料28被吸引到環(huán)帶33的表面上，其中所述孔33A與形成在吸引臺中的用于吸引的大量孔連通。
請注意，在圖6所示的結構中，獨立的吸引箱35分別地用于與曝光處理區(qū)域和照相區(qū)域相對應的部分。
通過以此方式設置旋轉接觸輥84，在傳送路徑上被環(huán)帶33支撐和傳送的柔性印刷線路板材料28經受由各個頭組件54執(zhí)行的曝光處理，同時被旋轉接觸輥84從環(huán)帶33的相反側間接地支撐并被引導以便其平面狀態(tài)被維持。在這種結構的情況下，在曝光處理的時候，以更高的精度維持平面度，并且可防止柔性印刷線路板材料28的平坦的表面由于外部擾動而變化。因此，能夠以更穩(wěn)定的質量執(zhí)行曝光處理。
此外，當兩個旋轉接觸輥84被布置在曝光位置附近、環(huán)帶33的相反表面處并且這些旋轉接觸輥84之間的區(qū)域被吸引箱35吸引時，由于吸引產生的環(huán)帶33的陷入可以被保持為少量的，柔性印刷線路板材料28被保持為平面，并獲得良好的曝光表面。另外，通過在對齊位置附近、在環(huán)帶33處利用相似結構，也可合適地執(zhí)行對齊處理。
雖然未圖示說明，除設置旋轉接觸輥84之外，其中所述旋轉接觸輥84被布置為下支撐裝置，可以使用一種結構，其中在照相機部分52正下方的位置處和在曝光頭單元48正下方的位置處，一個或多個引導輥旋轉地接觸環(huán)帶33的相反側處的任意位置，并平坦地傳送柔性印刷線路板材料28，同時引導柔性印刷線路板材料28從而保持其平面狀態(tài)。
此外，在根據本實施例的繪圖裝置中，即使用于將柔性印刷線路板材料28吸引到環(huán)帶33上的結構(即，吸引箱35，形成在環(huán)帶33中的用于吸引的孔33A，鼓風機37等)被省去，并且曝光被執(zhí)行，同時在使柔性印刷線路板材料28沿環(huán)還33的表面延伸的狀態(tài)下驅動環(huán)帶33，由于柔性印刷線路板材料28沿高平面度的環(huán)帶33延伸，因此頭組件54的焦距保持恒定。
另外，在根據本實施例的繪圖裝置中，即使作為張力設定裝置的張力調節(jié)輥機構被省去，如果柔性印刷線路板材料28被吸引到環(huán)帶33的表面上并被傳送，那么即使張力未被施加到柔性印刷線路板28上，也可確保良好的平面度。在該結構的情況下，由于張力未通過張力設定裝置被施加到柔性印刷線路板28上，可以使由于柔性印刷線路板材料28的伸展和收縮引起的曝光位置偏離是小的，并且可簡化用于其校正的處理。
請注意，在本實施例中，DMD被用作用在曝光頭單元48的頭組件54處的空間光調制器(spatial light modulator)，其中所述曝光頭單元48被構造為激光曝光裝置，并且點圖案通過打開和關閉DMD產生，同時照射時間的時間段是不變的。然而，根據打開時間比例(運行(duty))控制的脈寬調制(pulse width modulation)可以被執(zhí)行。此外，點圖案可以通過多次照射而產生，同時每一次照射時間段都是極短的時間段。
另外，在本實施例中，說明了具有作為空間光調制器的DMD的頭組件54。然而，除這種反射型空間光調制器之外，例如，MEMS(微型機電系統(tǒng)，Micro Electro Mechanical System)型空間光調制器(SLM)，或者MEMS型之外的諸如透射型空間光調制器(LCD)的空間光調制器，根據電光效應調制透射光線的光學元件(PLZT元件)，諸如液晶光線快門(FLC)的液晶快門陣列等可以被使用以代替DMD。另外，可以使用一種結構，在所述結構中多個光柵光線閥(grating light valve，GLV)以二維形式被排列。在使用反射型空間光調制器(GLV)和透射型空間光調制器(LCD)的結構中，燈(lamp)等可以被用作光源，而非上述激光。
此外，可以使用以下光源作為本實施例中的光源具有多個多元激光光源(multiplex laser light source)的纖維陣列光源；一種纖維陣列光源，所述光源中排列有具有單個光學纖維的纖維光源，所述光源發(fā)射激光，并且使激光從具有一個發(fā)光點的單一半導體激光器入射；和一種光源，其中多個發(fā)光點被二維地排列(例如，LD陣列，有機EL陣列等)。
在繪圖裝置中，除輻射二維圖案和執(zhí)行曝光處理的頭組件之外，例如，可使用激光曝光裝置，所述激光曝光裝置使用直線地執(zhí)行曝光處理的多角鏡(polygon mirror)等。
在繪圖裝置中可使用通過曝光信息被直接記錄的光子模式(photon-mode)的感光材料，或者可以使用利用通過曝光產生的熱量記錄信息的熱量模式的感光材料。在使用光子模式的感光材料的情況下，GaN半導體激光器、波長轉換固態(tài)激光器等被用作激光器裝置。此外，在使用熱量模式的感光材料的情況下，AlGaAs半導體激光器(紅外線激光器)或者固態(tài)激光器被用作激光器裝置。
此外，在上述實施例中，在夾緊輥對30和夾緊驅動輥對32之間伸展的柔性印刷線路板材料28由于張力調節(jié)輥機構而以不變張力被伸展，其中張力調節(jié)輥機構用作張力設定裝置并布置在夾緊輥對30的傳送方向上游側，而另一張力調節(jié)輥機構用作張力設定裝置并被布置在夾緊驅動輥對32的傳送方向下游側處。然而，此處所使用的張力設定裝置可以被構造為，通過以不同速度旋轉和驅動一夾緊輥對和另一夾緊輥對而施加不變張力，或者被構造為，通過以預定制動力使一夾緊輥對制動并利用另一夾緊驅動輥對傳送從而施加不變的張力。
請注意，除用作細長、帶狀、柔性記錄介質的柔性印刷線路板材料28的繪圖處理之外，繪圖裝置可以被構造為一種執(zhí)行用于顯示器的襯底的繪圖處理的裝置。
此外，本發(fā)明并不限于以上說明，并且可當然地設想不背離本發(fā)明的主旨的范圍內的各種任意結構。
在本發(fā)明的對齊可以被校準的繪圖裝置中，校準部件可以被安裝到掃描用傳送部分上，以便表面與掃描用傳送部分的傳送路徑的大致延伸平面重合。
根據這樣的結構，除本發(fā)明的上述第二方面的操作和效果之外，在與檢測在掃描用傳送部分的傳送路徑上的細長、柔性記錄介質的條件相同的條件下，對齊部分可以檢測校準部件。因此，諸如焦點調整等麻煩的過程可以被排除。
在本發(fā)明的對齊可以被校準的繪圖裝置中，相對移動機構可以被構造為整體地移動掃描用傳送部分和安裝到其上的校準部件。
在本發(fā)明的對齊可以被校準的繪圖裝置中，當相對移動機構移動掃描用傳送部分時，限制機構可以用于限制在掃描用傳送部分的傳送路徑上的細長、柔性記錄介質。
在本發(fā)明的對齊可以被校準的繪圖裝置中，對齊部分可以被構造為，照相機部分被安裝到基部上從而能夠在細長的、柔性記錄介質的橫向方向上移動。
在本發(fā)明的對齊可以被校準的繪圖裝置中，對齊部分可以被構造以通過被控制單元自動控制從而操作。
在本發(fā)明的對齊可以被校準的繪圖裝置中，繪圖單元可以由激光曝光裝置構成。
在本發(fā)明的對齊可以被校準的繪圖裝置中，繪圖單元可以被構造從而利用空間光調制器調制光束并執(zhí)行二維圖案的曝光處理。
在本發(fā)明的對齊可以被校準的繪圖裝置中，光束位置檢測裝置和曝光表面功率測量裝置可以被安裝到掃描用傳送部分上，以便表面與掃描用傳送部分的傳送路徑的大致延伸平面重合。
根據這樣的結構，除本發(fā)明的上述第二方面的操作和效果之外，通過使用光束位置檢測裝置和曝光表面功率測量裝置，在與在掃描用傳送部分的傳送路徑上的細長、柔性記錄介質上由繪圖單元執(zhí)行繪圖的那些條件相同的條件下，執(zhí)行曝光處理的繪圖裝置的曝光位置的校準和所有曝光區(qū)域處的功率校準都可被執(zhí)行。
在本發(fā)明的對齊可以被校準的繪圖裝置中，繪圖單元可以被構造為通過被控制單元自動地控制而操作。
在本發(fā)明的校準對齊部分的方法中，通過整體地移動校準部件和構成傳送路徑的傳送部分，可以執(zhí)行相對移動。
在本發(fā)明的校準對齊部分的方法中，通過使校準部件的表面的位置在對齊時與柔性記錄介質的位置重合，可執(zhí)行相對移動。
在本發(fā)明的校準對齊部分的方法中，在柔性記錄介質被限制在傳送路徑上的狀態(tài)下，相對移動可以被執(zhí)行。
根據校準對齊部分的上述方法，即使當細長、柔性記錄介質在傳送路徑上時，通過使用校準部件，可以校準對齊部分的位置。
在本發(fā)明的傳送裝置中，校準部件可以被布置以便，表面與執(zhí)行對齊的區(qū)域處的傳送路徑的大致延伸平面(substantially extended plane)相重合。
本發(fā)明的傳送裝置可以被構造為，校準部件被安裝到傳送部分上，并且相對移動機構被構造以整體地移動校準部件和傳送部分。
在本發(fā)明的傳送裝置中，當相對移動機構移動傳送部分時，限制裝置可以用于限制傳送部分處的柔性記錄介質。
根據這樣的結構，即使當細長、柔性記錄介質在傳送路徑上時，通過使用校準部件可校準對齊部分的位置。
根據本發(fā)明的校準對齊部分的方法，可以校準對齊的繪圖裝置，和傳送裝置，具有的效果是形成為單一細長體并包括具有不同設置對齊標記位置的多種類型的柔性記錄介質，通過高精度地執(zhí)行對齊調整而連續(xù)地接受繪圖處理，同時對具有不同設置對齊標記的位置的每一類型通過使用校準度盤校準對齊部分的位置。
權利要求
1.一種校準對齊部分的方法，包括以下步驟在通過對齊部分調整對齊并且，包括多種類型的對齊標記位置的一細長、柔性記錄介質被傳送的同時執(zhí)行繪圖的情況下，當柔性記錄介質上的對齊標記位置變?yōu)椴煌恢脮r，限制繪圖單元的傳送路徑上的柔性記錄介質；相對地移動校準部件和對齊部分，從而使校準部件和對齊部分彼此相對應；并且通過使用校準部件，校準對齊部分的參考位置的數據。
2.一種繪圖裝置，進一步包括對齊部分，所述對齊部分被布置從而執(zhí)行對柔性記錄介質的對齊的檢測，并且所述對齊部分被設定在傳送路徑上；校準部件，所述校準部件被布置在比傳送路徑更接近對齊部分的位置處；和機構，所述機構相對地移動對齊部分和校準部件，以便對齊部分被設定在檢測校準部件的狀態(tài)。
3.根據權利要求
2所述的可以校準對齊的繪圖裝置，其中所述校準部件被安裝到掃描用傳送部分上，以便表面與掃描用傳送部分的傳送路徑的大致延伸平面相重合。
4.根據權利要求
2所述的可以校準對齊的繪圖裝置，其中所述相對移動機構被構造從而整體地移動掃描用傳送部分和安裝到其上的校準部件。
5.根據權利要求
4所述的可以校準對齊的繪圖裝置，其中限制機構被設置以用于，當所述相對移動機構移動掃描用傳送部分時，限制在掃描用傳送部分的傳送路徑上的細長、柔性記錄介質。
6.根據權利要求
2所述的可以校準對齊的繪圖裝置，其中所述對齊部分被構造為，照相機部分被安裝到基部上從而能夠在細長、柔性的記錄介質的橫向方向上移動。
7.根據權利要求
2所述的可以校準對齊的繪圖裝置，其中所述對齊部分被構造為通過被控制單元自動控制而操作。
8.根據權利要求
2所述的可以校準對齊的繪圖裝置，其中所述繪圖單元由激光曝光裝置構成。
9.根據權利要求
2所述的可以校準對齊的繪圖裝置，其中所述繪圖單元被構造為利用空間光調制器調制光束并執(zhí)行二維圖案的曝光處理。
10.根據權利要求
8所述的可以校準對齊的繪圖裝置，其中光束位置檢測裝置和曝光表面功率測量裝置被安裝到掃描用傳送部分上，以便表面與掃描用傳送部分的傳送路徑的大致延伸平面相重合。
11.根據權利要求
2所述的可以校準對齊的繪圖裝置，其中所述繪圖單元被構造以利用控制單元自動控制而操作。
12.一種校準細長、柔性記錄介質的傳送裝置中的對齊部分的方法，所述方法包括以下步驟在柔性記錄介質被設定在傳送路徑處的狀態(tài)下，相對地移動對齊部分和校準部件，所述校準部件被布置在比傳送路徑更接近對齊部分的位置處，并且使對齊部分和校準部件的位置彼此相對；并且通過使用校準部件，執(zhí)行對齊部分的位置校準。
13.根據權利要求
12所述的校準對齊部分的方法，其中通過整體地移動校準部件和構成傳送路徑的傳送部分，所述相對移動被執(zhí)行。
14.根據權利要求
13所述的校準對齊部分的方法，其中通過使校準部件的表面的位置在對齊時與柔性記錄介質的位置相重合，所述相對移動被執(zhí)行。
15.根據權利要求
13所述的校準對齊部分的方法，其中所述相對移動在柔性記錄介質被限制在傳送路徑上的狀態(tài)下被執(zhí)行。
16.一種細長、柔性記錄介質的傳送裝置，所述傳送裝置包括傳送部分，所述傳送部分在給定傳送方向上傳送柔性記錄介質；對齊部分，所述對齊部分被布置以能夠在執(zhí)行對齊并且設定在傳送路徑上的區(qū)域的位置處執(zhí)行檢測，其中柔性記錄介質被傳送部分沿著所述傳送路徑傳送；校準部件，所述校準部件被布置在比傳送路徑更接近對齊部分的位置處；和相對移動機構，所述相對移動機構相對地移動對齊部分和校準部件，以便對齊部分被設定在檢測校準部件的狀態(tài)中。
17.根據權利要求
16所述的傳送裝置，其中所述校準部件被布置，以便表面與對齊被執(zhí)行的區(qū)域處的傳送路徑的大致延伸平面相重合。
18.根據權利要求
16所述的傳送裝置，其中所述校準部件被安裝到所述傳送部分上，并且所述相對移動機構被構造以整體地移動校準部件和傳送部分。
19.根據權利要求
18所述的傳送裝置，其中限制機構被設置以用于，在相對移動機構移動傳送部分時，限制在傳送部分處的柔性記錄介質。
專利摘要
一種對齊部分校準系統(tǒng)，所述系統(tǒng)使用在處理細長、柔性記錄介質的裝置中，所述系統(tǒng)具有對齊部分，校準部件和相對移動機構。對齊部分被布置從而在當繪圖單元執(zhí)行繪圖并同時柔性記錄介質在給定傳送方向上在給送路徑上被傳送時，能夠在執(zhí)行對齊并且被設定在傳送路徑上的區(qū)域的位置處執(zhí)行檢測，其中傳送路徑設定在掃描用傳送部分處。校準部件被布置在比傳送路徑更接近對齊部分的位置處。相對移動機構相對地移動對齊部分和校準部分，以便對齊部分被設定在檢測校準部件的狀態(tài)中。
文檔編號H05K3/00GK1993652SQ200580026561
公開日2007年7月4日 申請日期2005年9月29日
發(fā)明者福井隆史 申請人:富士膠片株式會社導出引文BiBTeX, EndNote, RefMan