本公開(kāi)大體上涉及疊對(duì)目標(biāo)且更特定來(lái)說(shuō)，涉及提供多個(gè)替代疊對(duì)測(cè)量的度量衡目標(biāo)。

背景技術(shù)：

1、疊對(duì)度量衡測(cè)量(例如，疊對(duì)測(cè)量)特性化樣本的不同層的相對(duì)配準(zhǔn)(或錯(cuò)位)?；趫D像的疊對(duì)技術(shù)通常基于經(jīng)成像疊對(duì)目標(biāo)特征的相對(duì)位置產(chǎn)生疊對(duì)測(cè)量。隨著經(jīng)制造特征的大小減小及特征密度增加，對(duì)特性化這些特征所需的疊對(duì)度量衡系統(tǒng)的需求增加。不同疊對(duì)度量衡技術(shù)可在準(zhǔn)確度、可重復(fù)性或處理能力之間提供不同折衷。因此，需要開(kāi)發(fā)用以解決上述缺陷的系統(tǒng)及方法。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、根據(jù)本公開(kāi)的一或多個(gè)說(shuō)明性實(shí)施例，公開(kāi)一種馬賽克疊對(duì)目標(biāo)。在一個(gè)說(shuō)明性實(shí)施例中，所述目標(biāo)包含跨樣本分布的兩個(gè)或更多個(gè)單元組，其中每一單元組包含一或多個(gè)單元，且其中每一單元組經(jīng)定向以具有相對(duì)于所述馬賽克疊對(duì)目標(biāo)的中心軸的鏡像對(duì)稱(chēng)性或相對(duì)于所述馬賽克疊對(duì)目標(biāo)的中心點(diǎn)的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)性中的至少一者。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述兩個(gè)或更多個(gè)單元組根據(jù)度量衡配方配置，使得根據(jù)所述度量衡配方產(chǎn)生的所述馬賽克疊對(duì)目標(biāo)的一或多個(gè)圖像包含適合于兩個(gè)或更多個(gè)疊對(duì)測(cè)量的度量衡數(shù)據(jù)，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)疊對(duì)測(cè)量中的特定者是基于與所述兩個(gè)或更多個(gè)單元組中的至少一者相關(guān)聯(lián)的所述一或多個(gè)圖像的部分。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述兩個(gè)或更多個(gè)疊對(duì)測(cè)量中的至少兩者啊所述樣本的共同性質(zhì)的替代測(cè)量，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)單元組中的至少兩者是根據(jù)所述度量衡配方配置以提供與所述替代測(cè)量相關(guān)聯(lián)的所述度量衡數(shù)據(jù)的替代部分。

2、根據(jù)本公開(kāi)的一或多個(gè)說(shuō)明性實(shí)施例，公開(kāi)一種疊對(duì)度量衡系統(tǒng)。在一個(gè)說(shuō)明性實(shí)施例中，所述系統(tǒng)包含照明源，所述照明源配置以產(chǎn)生一或多個(gè)照明光束。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述系統(tǒng)包含一或多個(gè)光學(xué)元件，所述一或多個(gè)光學(xué)元件經(jīng)配置以在實(shí)施度量衡配方時(shí)用所述一或多個(gè)照明光束照明樣本上的馬賽克疊對(duì)目標(biāo)。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述目標(biāo)包含跨樣本分布的兩個(gè)或更多個(gè)單元組，其中每一單元組包含一或多個(gè)單元，其中每一單元組經(jīng)定向以具有相對(duì)于所述馬賽克疊對(duì)目標(biāo)的中心軸的鏡像對(duì)稱(chēng)性或相對(duì)于所述馬賽克疊對(duì)目標(biāo)的中心點(diǎn)的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)性中的至少一者。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述兩個(gè)或更多個(gè)單元組是根據(jù)度量衡配方配置，使得根據(jù)所述度量衡配方產(chǎn)生的所述馬賽克疊對(duì)目標(biāo)的一或多個(gè)圖像包含適合于兩個(gè)或更多個(gè)疊對(duì)測(cè)量的度量衡數(shù)據(jù)，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)疊對(duì)測(cè)量中的特定者是基于與所述兩個(gè)或更多個(gè)單元組中的至少一者相關(guān)聯(lián)的所述一或多個(gè)圖像的部分。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述兩個(gè)或更多個(gè)疊對(duì)測(cè)量中的至少兩者是所述樣本的共同性質(zhì)的替代測(cè)量，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)單元組中的至少兩者是根據(jù)所述度量衡配方配置以提供與所述替代測(cè)量相關(guān)聯(lián)的所述度量衡數(shù)據(jù)的替代部分。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述系統(tǒng)包含一或多個(gè)檢測(cè)器，所述一或多個(gè)檢測(cè)器用以在實(shí)施所述度量衡配方時(shí)基于來(lái)自所述一或多個(gè)照明光束的所述照明產(chǎn)生所述馬賽克疊對(duì)目標(biāo)的所述一或多個(gè)圖像。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述系統(tǒng)包含控制器。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述控制器通過(guò)以下步驟實(shí)施所述度量衡配方：接收所述馬賽克疊對(duì)目標(biāo)的所述一或多個(gè)圖像；基于所述一或多個(gè)圖像產(chǎn)生所述樣本的至少兩個(gè)疊對(duì)測(cè)量。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述兩個(gè)或更多個(gè)疊對(duì)測(cè)量中的特定者是基于與所述兩個(gè)或更多個(gè)單元組中的至少一者相關(guān)聯(lián)的所述一或多個(gè)圖像的部分，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)疊對(duì)測(cè)量中的至少兩者是所述樣本的共同性質(zhì)的替代測(cè)量，且其中所述兩個(gè)或更多個(gè)單元組中的至少兩者是根據(jù)所述度量衡配方配置以提供與所述替代測(cè)量相關(guān)聯(lián)的所述度量衡數(shù)據(jù)的替代部分。

3、根據(jù)本公開(kāi)的一或多個(gè)說(shuō)明性實(shí)施例，公開(kāi)一種疊對(duì)度量衡方法。在一個(gè)說(shuō)明性實(shí)施例中，所述方法包含根據(jù)度量衡配方用一或多個(gè)照明光束照明樣本上的一或多個(gè)馬賽克疊對(duì)目標(biāo)，其中所述馬賽克疊對(duì)目標(biāo)中的每一者包含跨所述樣本分布的兩個(gè)或更多個(gè)單元組。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，每一單元組包含一或多個(gè)單元，其中每一單元組經(jīng)定向以具有相對(duì)于所述馬賽克疊對(duì)目標(biāo)的中心軸的鏡像對(duì)稱(chēng)性或相對(duì)于所述馬賽克疊對(duì)目標(biāo)的中心點(diǎn)的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)性中的至少一者，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)單元組是根據(jù)所述度量衡配方配置，使得根據(jù)所述度量衡配方產(chǎn)生的所述馬賽克疊對(duì)目標(biāo)的一或多個(gè)圖像包含適合于兩個(gè)或更多個(gè)疊對(duì)測(cè)量的度量衡數(shù)據(jù)，且其中所述兩個(gè)或更多個(gè)疊對(duì)測(cè)量中的特定者是基于與所述兩個(gè)或更多個(gè)單元組中的至少一者相關(guān)聯(lián)的所述一或多個(gè)圖像的部分。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述方法包含基于來(lái)自所述一或多個(gè)照明光束的所述照明產(chǎn)生所述馬賽克疊對(duì)目標(biāo)的所述一或多個(gè)圖像。在另一說(shuō)明性實(shí)施方案中，所述方法包含基于所述一或多個(gè)圖像產(chǎn)生所述樣本的至少兩個(gè)疊對(duì)測(cè)量，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)疊對(duì)測(cè)量中的特定者是基于與所述兩個(gè)或更多個(gè)單元組中的至少一者相關(guān)聯(lián)的所述一或多個(gè)圖像的部分，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)疊對(duì)測(cè)量中的至少兩者是所述樣本的共同性質(zhì)的替代測(cè)量，且其中所述兩個(gè)或更多個(gè)單元組中的至少兩者是根據(jù)所述度量衡配方配置以提供與所述替代測(cè)量相關(guān)聯(lián)的所述度量衡數(shù)據(jù)的替代部分。

4、根據(jù)本公開(kāi)的一或多個(gè)說(shuō)明性實(shí)施例，公開(kāi)一種用于設(shè)計(jì)馬賽克疊對(duì)目標(biāo)的方法。在一個(gè)說(shuō)明性實(shí)施例中，所述方法包含選擇用于與馬賽克疊對(duì)目標(biāo)一起產(chǎn)生的兩個(gè)或更多個(gè)疊對(duì)測(cè)量。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述方法包含設(shè)計(jì)所述馬賽克疊對(duì)目標(biāo)的兩個(gè)或更多個(gè)單元組。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述目標(biāo)包含跨樣本分布的兩個(gè)或更多個(gè)單元組，其中每一單元組包含一或多個(gè)單元，其中每一單元組經(jīng)定向以具有相對(duì)于所述馬賽克疊對(duì)目標(biāo)的中心軸的鏡像對(duì)稱(chēng)性或相對(duì)于所述馬賽克疊對(duì)目標(biāo)的中心點(diǎn)的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)性中的至少一者，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)單元組是根據(jù)度量衡配方配置，使得根據(jù)所述度量衡配方產(chǎn)生的所述馬賽克疊對(duì)目標(biāo)的一或多個(gè)圖像包含適合于所述兩個(gè)或更多個(gè)疊對(duì)測(cè)量的度量衡數(shù)據(jù)，且其中所述兩個(gè)或更多個(gè)疊對(duì)測(cè)量中的特定者是基于與所述兩個(gè)或更多個(gè)單元組中的至少一者相關(guān)聯(lián)的所述一或多個(gè)圖像的部分。在另一說(shuō)明性實(shí)施例中，所述兩個(gè)或更多個(gè)疊對(duì)測(cè)量中的至少兩者是所述樣本的共同性質(zhì)的替代測(cè)量，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)單元組中的至少兩者是根據(jù)所述度量衡配方配置以提供與所述替代測(cè)量相關(guān)聯(lián)的所述度量衡數(shù)據(jù)的替代部分。

5、應(yīng)理解，前文一般描述及以下詳細(xì)描述僅是示范性及解釋性且并不一定如所主張般限制本發(fā)明。并入說(shuō)明書(shū)中且構(gòu)成說(shuō)明書(shū)的部分的附圖說(shuō)明本發(fā)明的實(shí)施例且連同所述一般描述一起用于解釋本發(fā)明的原理。

技術(shù)特征：

1.一種馬賽克疊對(duì)目標(biāo)，其包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的馬賽克疊對(duì)目標(biāo)，其中所述樣本的所述共同性質(zhì)包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的馬賽克疊對(duì)目標(biāo)，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)測(cè)量包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的馬賽克疊對(duì)目標(biāo)，其中所述替代測(cè)量包括：

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的馬賽克疊對(duì)目標(biāo)，其中所述兩種或更多種不同疊對(duì)度量衡技術(shù)中的至少一者包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的馬賽克疊對(duì)目標(biāo)，其中所述兩種或更多種不同疊對(duì)度量衡技術(shù)中的至少一者包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的馬賽克疊對(duì)目標(biāo)，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)單元組中的至少一者包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的馬賽克疊對(duì)目標(biāo)，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)單元組中的至少一者包括：

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的馬賽克疊對(duì)目標(biāo)，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)單元組中的至少一者中的所述一或多個(gè)單元中的每一者是180度旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)的。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的馬賽克疊對(duì)目標(biāo)，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)單元組中的至少一者中的所述一或多個(gè)單元包含周期性特征。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的馬賽克疊對(duì)目標(biāo)，其中所述周期性特征沿著對(duì)應(yīng)于測(cè)量方向的單個(gè)方向是周期性的。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的馬賽克疊對(duì)目標(biāo)，其中所述周期性特征沿著對(duì)應(yīng)于兩個(gè)測(cè)量方向的兩個(gè)方向是周期性的。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的馬賽克疊對(duì)目標(biāo)，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)單元組中的至少一者中的所述一或多個(gè)單元包含所述樣本的兩個(gè)或更多個(gè)層上的重疊特征。

14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的馬賽克疊對(duì)目標(biāo)，其中所述重疊特征包括：

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的馬賽克疊對(duì)目標(biāo)，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)層上的所述周期性特征具有共同周期性。

16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的馬賽克疊對(duì)目標(biāo)，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)層上的所述周期性特征具有沿著特定方向的不同節(jié)距。

17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的馬賽克疊對(duì)目標(biāo)，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)層上的所述周期性特征具有沿著特定測(cè)量方向的不同節(jié)距。

18.根據(jù)權(quán)利要求14所述的馬賽克疊對(duì)目標(biāo)，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)層上的所述周期性特征具有沿著不同測(cè)量方向的不同節(jié)距。

19.一種疊對(duì)度量衡系統(tǒng)，其包括：

20.根據(jù)權(quán)利要求19所述的疊對(duì)度量衡系統(tǒng)，基于所述替代測(cè)量中的至少一些產(chǎn)生合成疊對(duì)測(cè)量。

21.根據(jù)權(quán)利要求19所述的疊對(duì)度量衡系統(tǒng)，其中所述一或多個(gè)照明光束包含單個(gè)照明光束。

22.根據(jù)權(quán)利要求21所述的疊對(duì)度量衡系統(tǒng)，其中所述一或多個(gè)光學(xué)元件經(jīng)配置以用所述單個(gè)照明光束以法向入射角照明所述馬賽克疊對(duì)目標(biāo)。

23.根據(jù)權(quán)利要求19所述的疊對(duì)度量衡系統(tǒng)，其中所述一或多個(gè)照明光束包含呈偶極配置的兩個(gè)照明光束，其中所述一或多個(gè)光學(xué)元件經(jīng)配置以用所述兩個(gè)照明光束以傾斜入射角照明所述馬賽克疊對(duì)目標(biāo)。

24.根據(jù)權(quán)利要求19所述的疊對(duì)度量衡系統(tǒng)，其中所述一或多個(gè)照明光束包含呈四極配置的四個(gè)照明光束，其中所述一或多個(gè)光學(xué)元件經(jīng)配置以用所述四個(gè)照明光束以傾斜入射角照明所述馬賽克疊對(duì)目標(biāo)。

25.根據(jù)權(quán)利要求19所述的疊對(duì)度量衡系統(tǒng)，其中所述樣本的所述共同性質(zhì)包括：

26.根據(jù)權(quán)利要求19所述的疊對(duì)度量衡系統(tǒng)，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)測(cè)量包括：

27.根據(jù)權(quán)利要求19所述的疊對(duì)度量衡系統(tǒng)，其中所述替代測(cè)量包括：

28.根據(jù)權(quán)利要求27所述的疊對(duì)度量衡系統(tǒng)，其中所述兩種或更多種不同疊對(duì)度量衡技術(shù)中的至少一者包括：

29.根據(jù)權(quán)利要求27所述的疊對(duì)度量衡系統(tǒng)，其中所述兩種或更多種不同疊對(duì)度量衡技術(shù)中的至少一者包括：

30.根據(jù)權(quán)利要求19所述的疊對(duì)度量衡系統(tǒng)，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)單元組中的至少一者包括：

31.根據(jù)權(quán)利要求19所述的疊對(duì)度量衡系統(tǒng)，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)單元組中的至少一者包括：

32.根據(jù)權(quán)利要求19所述的疊對(duì)度量衡系統(tǒng)，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)單元組中的至少一者中的所述一或多個(gè)單元中的每一者是180度旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)的。

33.根據(jù)權(quán)利要求19所述的疊對(duì)度量衡系統(tǒng)，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)單元組中的至少一者中的所述一或多個(gè)單元包含周期性特征。

34.根據(jù)權(quán)利要求33所述的疊對(duì)度量衡系統(tǒng)，其中所述周期性特征沿著對(duì)應(yīng)于測(cè)量方向的單個(gè)方向是周期性的。

35.根據(jù)權(quán)利要求33所述的疊對(duì)度量衡系統(tǒng)，其中所述周期性特征沿著對(duì)應(yīng)于兩個(gè)測(cè)量方向的兩個(gè)方向是周期性的。

36.根據(jù)權(quán)利要求19所述的疊對(duì)度量衡系統(tǒng)，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)單元組中的至少一者中的所述一或多個(gè)單元包含所述樣本的兩個(gè)或更多個(gè)層上的重疊特征。

37.根據(jù)權(quán)利要求36所述的疊對(duì)度量衡系統(tǒng)，其中所述重疊特征包括：

38.根據(jù)權(quán)利要求37所述的疊對(duì)度量衡系統(tǒng)，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)層上的所述周期性特征具有共同周期性。

39.根據(jù)權(quán)利要求37所述的疊對(duì)度量衡系統(tǒng)，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)層上的所述周期性特征具有沿著特定測(cè)量方向的不同節(jié)距。

40.根據(jù)權(quán)利要求37所述的疊對(duì)度量衡系統(tǒng)，其中所述兩個(gè)或更多個(gè)層上的所述周期性特征具有沿著不同測(cè)量方向的不同節(jié)距。

41.一種疊對(duì)度量衡方法，其包括：

42.一種用于設(shè)計(jì)馬賽克疊對(duì)目標(biāo)的方法，其包括：

43.根據(jù)權(quán)利要求42所述的方法，其中設(shè)計(jì)所述馬賽克疊對(duì)目標(biāo)的所述兩個(gè)或更多個(gè)單元組包括：

技術(shù)總結(jié)
一種馬賽克疊對(duì)目標(biāo)可包含跨樣本分布的兩個(gè)或更多個(gè)單元組，其中每一單元組包含一或多個(gè)單元，其中每一單元組經(jīng)定向以具有相對(duì)于所述馬賽克疊對(duì)目標(biāo)的中心軸的鏡像對(duì)稱(chēng)性或相對(duì)于所述馬賽克疊對(duì)目標(biāo)的中心點(diǎn)的旋轉(zhuǎn)對(duì)稱(chēng)性中的至少一者。所述單元組可根據(jù)度量衡配方配置，使得基于所述度量衡配方產(chǎn)生的所述馬賽克疊對(duì)目標(biāo)的圖像包含適合于兩個(gè)或更多個(gè)疊對(duì)測(cè)量的度量衡數(shù)據(jù)。所述疊對(duì)測(cè)量中的特定者可基于與所述單元組中的至少一者相關(guān)聯(lián)的所述圖像的部分。所述兩個(gè)或更多個(gè)疊對(duì)測(cè)量中的至少兩者可為所述樣本的共同性質(zhì)的替代測(cè)量。

技術(shù)研發(fā)人員：Y·弗萊
受保護(hù)的技術(shù)使用者：科磊股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/2