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透射式金屬超材料光束偏振分布變換器件的制作方法

文檔序號:11772382閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種透射式金屬超材料光束偏振分布變換器件,包括:介質(zhì)襯底;金屬超材料層,設(shè)置于介質(zhì)襯底上;該金屬超材料層包括金屬顆粒周期性陣列;介質(zhì)包覆層,設(shè)置于金屬超材料層上;金屬顆粒周期性陣列中的每個金屬顆粒至少具有一對平行的光滑平面?zhèn)缺?,用以在垂直于光滑平面?zhèn)缺诜较虻南噜徑饘兕w粒之間形成法布里珀羅諧振腔;金屬超材料層包含具有一方位角的金屬顆粒周期性陣列,通過改變所述方位角調(diào)控入射光的偏振旋轉(zhuǎn)角度;或金屬超材料層包含具有不同方位角的多個金屬顆粒周期性陣列,通過改變多個金屬顆粒周期性陣列的空間排布方式變換入射光的空間偏振分布。該器件具有適應(yīng)波段寬、工作效率高、器件結(jié)構(gòu)簡單且易于制備的特點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員:韋欣;胡曉斌;宋國峰;李健
受保護(hù)的技術(shù)使用者:中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
技術(shù)研發(fā)日:2017.08.01
技術(shù)公布日:2017.10.20
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