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直寫式光刻機中傾斜式掃描數(shù)據(jù)的重組方法與流程

文檔序號:11544370閱讀:397來源:國知局
直寫式光刻機中傾斜式掃描數(shù)據(jù)的重組方法與流程

本發(fā)明涉及一種重組方法,尤其是一種直寫式光刻機中傾斜式掃描數(shù)據(jù)的重組方法,屬于直寫式光刻機傾斜式數(shù)據(jù)處理的技術(shù)領(lǐng)域。



背景技術(shù):

直寫式光刻機設(shè)備又稱影像直接轉(zhuǎn)移設(shè)備,在半導體及pcb生產(chǎn)領(lǐng)域是一個關(guān)鍵設(shè)備。與傳統(tǒng)半自動曝光設(shè)備相比,其利用圖形發(fā)生器取代傳統(tǒng)光刻機的掩模板,從而可以直接將計算機的圖形數(shù)據(jù)曝光到晶圓或pcb板上,節(jié)省制板時間和制作掩模板的費用。而為了進一步提高設(shè)備曝光分辨率及生產(chǎn)產(chǎn)能,在影像直接轉(zhuǎn)移的數(shù)據(jù)處理上,會采用傾斜式的數(shù)據(jù)處理方式。

由于采用傾斜式的數(shù)據(jù)處理方式,以及圖形發(fā)生器數(shù)字微鏡芯片(dmd)固有的排布結(jié)構(gòu),傾斜過后的數(shù)據(jù)不能直接做為dmd的輸入數(shù)據(jù),需要經(jīng)過變換重組,最終整理為呈現(xiàn)傾斜效果,并適合于dmd鏡片排布結(jié)構(gòu)的數(shù)據(jù)格式。

一般地,數(shù)據(jù)的變換重組會在fpga內(nèi)完成,通常采用額外添加ram,將整理好的數(shù)據(jù)暫存至ram,需要使用時進行讀出,但這樣會增加制造成本及硬件復雜性。或使用fpga內(nèi)部的邏輯資源進行數(shù)據(jù)變換重組,一般為非實時性的,會嚴重降低數(shù)據(jù)處理速度,進而不能很好的達到采用傾斜式掃描增加設(shè)備產(chǎn)能的目的。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足,提供一種直寫式光刻機中傾斜式掃描數(shù)據(jù)的重組方法,其能降低硬件制造成本,提高數(shù)據(jù)變換重組的速度,從而有效提高曝光分辨率以及生產(chǎn)產(chǎn)能。

按照本發(fā)明提供的技術(shù)方案,一種直寫式光刻機中傾斜式掃描數(shù)據(jù)的重組方法,所述方法包括如下步驟:

步驟1、對1920*1080p的數(shù)字微鏡芯片dmd,根據(jù)傾斜因子k,得到傾斜數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)總量為2048*k,其中,每個傾斜數(shù)據(jù)的位寬為256位,每個傾斜數(shù)據(jù)分成k組,每組數(shù)據(jù)為256/k位,k=2n,n=1,2,3,……,8;在fpga內(nèi)選取k個用于數(shù)據(jù)暫存的ram;

步驟2、將上述傾斜數(shù)據(jù)中前4*k個256位數(shù)據(jù)中的所有第一個(256/k)位數(shù)據(jù),組成待寫入數(shù)字微鏡芯片dmd中第一行前1024個鏡片中的第一行前1024位數(shù)據(jù);將上述傾斜數(shù)據(jù)中后4*k個256位數(shù)據(jù)中的所有第一個(256/k)位數(shù)數(shù)據(jù),組成待寫入數(shù)字微鏡芯片dmd中第一行后1024個鏡片中的第一行后1024位數(shù)據(jù);

將上述傾斜數(shù)據(jù)中前4*k個256位數(shù)據(jù)中的所有第二個(256/k)位數(shù)據(jù),組成待寫入數(shù)字微鏡芯片dmd中第二行前1024個鏡片中的第二行前1024位數(shù)據(jù),并將上述傾斜數(shù)據(jù)中后4*k個256位數(shù)據(jù)中的所有第二個(256/k)位數(shù)據(jù),組成待寫入數(shù)字微鏡芯片dmd中第二行后102個鏡片中的第二行后1024位數(shù)據(jù);

重復上述數(shù)據(jù)組成方式,直至將所有的傾斜數(shù)據(jù)與數(shù)字微鏡芯片dmd中k行鏡片的前1024個鏡片、后1024個鏡片一一對應(yīng);

步驟3、將上述數(shù)字微鏡芯片dmd中第一行的2048位數(shù)據(jù)中,劃分成64個256位數(shù)據(jù),并根據(jù)劃分的64個256位數(shù)據(jù)得到數(shù)字微鏡芯片dmd中第一行2048位數(shù)據(jù);其中,第一行的第一個256位數(shù)據(jù)由第一個256位數(shù)據(jù)至第(k/2)個256位數(shù)據(jù)中對應(yīng)的第一個(256/k)位數(shù)據(jù)、以及第(1+4k)個256位數(shù)據(jù)至第(k/2+4k)個256位數(shù)據(jù)對應(yīng)的第一個(256/k)位數(shù)據(jù)組成;

第一行的第二個256位數(shù)據(jù)由第(1+k/2)位數(shù)據(jù)至第(k)個256位數(shù)據(jù)中對應(yīng)的第一個(256/k)位數(shù)據(jù)、以及第(1+9k/2)個256位數(shù)據(jù)至第(5k)個256位數(shù)據(jù)對應(yīng)的第一個(256/k)位數(shù)據(jù)組成;

重復上述數(shù)據(jù)操作,直至得到數(shù)字微鏡芯片dmd中第一行所有的256位數(shù)據(jù),以及數(shù)字微鏡芯片dmd中第k行所有的256位數(shù)據(jù);

步驟4、對上述數(shù)字微鏡芯片dmd中k行所有的256位數(shù)據(jù)中,劃分得到前32個256位數(shù)據(jù)與后32位256數(shù)據(jù);其中,對數(shù)字微鏡芯片dmd第一行的前32個256位數(shù)據(jù),第一個256位數(shù)據(jù)中所包含的k個(256/k)位數(shù)據(jù)分別寫入k個ram的第一個地址區(qū)域,第二個256位數(shù)據(jù)中所包含的k個(256/k)位數(shù)據(jù)分別寫入k個ram的第二個地址區(qū)域,重復所述寫入操作,直至第32個256位數(shù)據(jù)中所包含的k個(256/k)位數(shù)據(jù)分別寫入k個ram的第三十二個地址區(qū)域;

對數(shù)字微鏡芯片dmd第一行的后32個256位數(shù)據(jù),第33個256位數(shù)據(jù)中所包含的k個(256/k)位數(shù)據(jù)分別寫入k個ram的第三十三個地址區(qū)域,第34個256位數(shù)據(jù)中所包含k個(256/k)位數(shù)據(jù)分別寫入k個ram的第三十四個地址區(qū)域,重復所述寫入操作,直至第64個256數(shù)據(jù)中所包含的k個(256/k)位數(shù)據(jù)分別寫入第六十四位地址區(qū)域;

第33個256位數(shù)據(jù)寫入k個ram中的數(shù)據(jù)順序與第一個256位數(shù)據(jù)寫入k個ram中的數(shù)據(jù)順序相差四組數(shù)據(jù);當(k/2)<32時,對前32個256位數(shù)據(jù)或后32個256位數(shù)據(jù),每間隔(k/2)個256位數(shù)據(jù)在k個ram中寫入順序相同,在(k/2)個256位數(shù)據(jù)中,相鄰寫入k個ram中的數(shù)據(jù)順序存在一組數(shù)據(jù)的錯位;

重復上述數(shù)據(jù)操作,直至將k行所有的256位數(shù)據(jù)均寫入k個ram中;

步驟5、根據(jù)上述數(shù)據(jù)寫入的方式,在一個時鐘下,同時讀取k個ram中存取的數(shù)據(jù),以得到數(shù)字微鏡芯片dmd中一行鏡片中每個鏡片所需寫入的256位數(shù)據(jù);重復上述數(shù)據(jù)寫入操作,直至將數(shù)字微鏡芯片dmd中k行鏡片寫滿。

在fpga內(nèi)同時開辟兩個ram塊,每個ram塊內(nèi)均包含k個ram,在對一個ram塊內(nèi)寫入數(shù)據(jù)時,對另一個ram塊進行讀數(shù)據(jù)。

本發(fā)明的優(yōu)點:根據(jù)傾斜因子,對傾斜數(shù)據(jù)進行變換重組,能降低硬件制造成本,提高數(shù)據(jù)變換重組的速度,從而有效提高曝光分辨率以及生產(chǎn)產(chǎn)能。

附圖說明

圖1為本發(fā)明以傾斜因子k=8時,256傾斜數(shù)據(jù)的示意圖。

圖2為本發(fā)明在傾斜因子k=8時,傾斜數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)總量示意圖。

圖3為本發(fā)明在傾斜因子k=8時,重組后寫入第一行鏡片的數(shù)據(jù)示意圖。

圖4為本發(fā)明在傾斜因子k=8時,重組后寫入第二行鏡片的數(shù)據(jù)示意圖。

圖5為本發(fā)明在傾斜因子k=8時,數(shù)據(jù)寫入ram內(nèi)的示意圖。

圖6為本發(fā)明在傾斜因子k=8時,數(shù)據(jù)從ram中讀取的示意圖。

圖7為本發(fā)明對數(shù)據(jù)的讀取采用乒乓操作的示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合具體附圖和實施例對本發(fā)明作進一步說明。

為了能降低硬件制造成本,提高數(shù)據(jù)變換重組的速度,從而有效提高曝光分辨率以及生產(chǎn)產(chǎn)能,本發(fā)明包括如下步驟:

步驟1、對1920*1080p的數(shù)字微鏡芯片dmd,根據(jù)傾斜因子k,得到傾斜數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)總量為2048*k,其中,每個傾斜數(shù)據(jù)的位寬為256位,每個傾斜數(shù)據(jù)分成k組,每組數(shù)據(jù)為256/k位,k=2n,n=1,2,3,……,8;在fpga內(nèi)選取k個用于數(shù)據(jù)暫存的ram;

具體地,傾斜因子k的數(shù)量與數(shù)字微鏡芯片dmd中鏡片的行數(shù)相一致,對于一個確定的數(shù)字微鏡芯片dmd,則傾斜因子k隨之確定。在傾斜因子k確定后,傾斜數(shù)據(jù)的數(shù)據(jù)總量隨之確定。傾斜數(shù)據(jù)的具體數(shù)值,與數(shù)字微鏡芯片dmd中待寫入的數(shù)據(jù)有關(guān),具體為本技術(shù)領(lǐng)域人員所熟知,此處不再贅述。,一般地,ram的數(shù)據(jù)位寬也為256/k。下述的具體數(shù)據(jù)重組變化過程也在fpga內(nèi)完成。

步驟2、將上述傾斜數(shù)據(jù)中前4*k個256位數(shù)據(jù)中的所有第一個(256/k)位數(shù)據(jù),組成待寫入數(shù)字微鏡芯片dmd中第一行前1024個鏡片中的第一行前1024位數(shù)據(jù);將上述傾斜數(shù)據(jù)中后4*k個256位數(shù)據(jù)中的所有第一個(256/k)位數(shù)數(shù)據(jù),組成待寫入數(shù)字微鏡芯片dmd中第一行后1024個鏡片中的第一行后1024位數(shù)據(jù);

將上述傾斜數(shù)據(jù)中前4*k個256位數(shù)據(jù)中的所有第二個(256/k)位數(shù)據(jù),組成待寫入數(shù)字微鏡芯片dmd中第二行前1024個鏡片中的第二行前1024位數(shù)據(jù),并將上述傾斜數(shù)據(jù)中后4*k個256位數(shù)據(jù)中的所有第二個(256/k)位數(shù)據(jù),組成待寫入數(shù)字微鏡芯片dmd中第二行后102個鏡片中的第二行后1024位數(shù)據(jù);

重復上述數(shù)據(jù)組成方式,直至將所有的傾斜數(shù)據(jù)與數(shù)字微鏡芯片dmd中k行鏡片的前1024個鏡片、后1024個鏡片一一對應(yīng);

步驟3、將上述數(shù)字微鏡芯片dmd中第一行的2048位數(shù)據(jù)中,劃分成64個256位數(shù)據(jù),并根據(jù)劃分的64個256位數(shù)據(jù)得到數(shù)字微鏡芯片dmd中第一行2048位數(shù)據(jù);其中,第一行的第一個256位數(shù)據(jù)由第一個256位數(shù)據(jù)至第(k/2)個256位數(shù)據(jù)中對應(yīng)的第一個(256/k)位數(shù)據(jù)、以及第(1+4k)個256位數(shù)據(jù)至第(k/2+4k)個256位數(shù)據(jù)對應(yīng)的第一個(256/k)位數(shù)據(jù)組成;

第一行的第二個256位數(shù)據(jù)由第(1+k/2)位數(shù)據(jù)至第(k)個256位數(shù)據(jù)中對應(yīng)的第一個(256/k)位數(shù)據(jù)、以及第(1+9k/2)個256位數(shù)據(jù)至第(5k)個256位數(shù)據(jù)對應(yīng)的第一個(256/k)位數(shù)據(jù)組成;

重復上述數(shù)據(jù)操作,直至得到數(shù)字微鏡芯片dmd中第一行所有的256位數(shù)據(jù),以及數(shù)字微鏡芯片dmd中第k行所有的256位數(shù)據(jù);

本發(fā)明實施例中,第一行的第一個256位數(shù)據(jù)由第一個256位數(shù)據(jù)至第(k/2)個256位數(shù)據(jù)中對應(yīng)的第一個(256/k)位數(shù)據(jù)、以及第(1+4k)個256位數(shù)據(jù)至第(k/2+4k)個256位數(shù)據(jù)對應(yīng)的第一個(256/k)位數(shù)據(jù)組成,具體是指,從第一個256位數(shù)據(jù)的第一個(256/k)位數(shù)據(jù)連續(xù)取至第(k/2)個256位數(shù)據(jù)對應(yīng)的第一個(256/k),同時,從第一(1+4k)個256位數(shù)據(jù)的第一個(256/k)數(shù)據(jù)連續(xù)取至第(k/2+4k)個256位數(shù)據(jù)對應(yīng)的第一個(256/k),從而得到第一行的第一個256位數(shù)據(jù),下述的數(shù)據(jù)操作方式類同,此處不再一一描述。

步驟4、對上述數(shù)字微鏡芯片dmd中k行所有的256位數(shù)據(jù)中,劃分得到前32個256位數(shù)據(jù)與后32位256數(shù)據(jù);其中,對數(shù)字微鏡芯片dmd第一行的前32個256位數(shù)據(jù),第一個256位數(shù)據(jù)中所包含的k個(256/k)位數(shù)據(jù)分別寫入k個ram的第一個地址區(qū)域,第二個256位數(shù)據(jù)中所包含的k個(256/k)位數(shù)據(jù)分別寫入k個ram的第二個地址區(qū)域,重復所述寫入操作,直至第32個256位數(shù)據(jù)中所包含的k個(256/k)位數(shù)據(jù)分別寫入k個ram的第三十二個地址區(qū)域;

對數(shù)字微鏡芯片dmd第一行的后32個256位數(shù)據(jù),第33個256位數(shù)據(jù)中所包含的k個(256/k)位數(shù)據(jù)分別寫入k個ram的第三十三個地址區(qū)域,第34個256位數(shù)據(jù)中所包含k個(256/k)位數(shù)據(jù)分別寫入k個ram的第三十四個地址區(qū)域,重復所述寫入操作,直至第64個256數(shù)據(jù)中所包含的k個(256/k)位數(shù)據(jù)分別寫入第六十四位地址區(qū)域;

第33個256位數(shù)據(jù)寫入k個ram中的數(shù)據(jù)順序與第一個256位數(shù)據(jù)寫入k個ram中的數(shù)據(jù)順序相差四組數(shù)據(jù);當(k/2)<32時,對前32個256位數(shù)據(jù)或后32個256位數(shù)據(jù),每間隔(k/2)個256位數(shù)據(jù)在k個ram中寫入順序相同,在(k/2)個256位數(shù)據(jù)中,相鄰寫入k個ram中的數(shù)據(jù)順序存在一組數(shù)據(jù)的錯位;

重復上述數(shù)據(jù)操作,直至將k行所有的256位數(shù)據(jù)均寫入k個ram中;

本發(fā)明實施例中,當(k/2)≥32時,由于與前32個256位數(shù)據(jù)、后32個256數(shù)據(jù)的關(guān)系,則不存在上述的數(shù)據(jù)順序存取關(guān)系。

步驟5、根據(jù)上述數(shù)據(jù)寫入的方式,在一個時鐘下,同時讀取k個ram中存取的數(shù)據(jù),以得到數(shù)字微鏡芯片dmd中一行鏡片中每個鏡片所需寫入的256位數(shù)據(jù);重復上述數(shù)據(jù)寫入操作,直至將數(shù)字微鏡芯片dmd中k行鏡片寫滿。

如圖7所示,在fpga內(nèi)同時開辟兩個ram塊,每個ram塊內(nèi)均包含k個ram,在對一個ram塊內(nèi)寫入數(shù)據(jù)時,對另一個ram塊進行讀數(shù)據(jù)。本發(fā)明實施例中,通過兩個ram的數(shù)據(jù)讀取操作,能夠進一步增加重組效率,降低重組時間。

如圖1~圖6所示,以傾斜因子k=8為例,對本發(fā)明的具體過程進行說明,具體地:

圖1為傾斜過后所輸出的256位數(shù)據(jù)格式,傾斜因子k=8時,輸出的數(shù)據(jù)會按照k=8分成8組,每組數(shù)據(jù)為32位。

如圖2所示,在當k=8時,傾斜數(shù)據(jù)總的數(shù)據(jù)量為2048*8=16384位,分為64個256位,每個256位都為圖1中所示的數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)形式,即所述傾斜數(shù)據(jù)的總數(shù)據(jù)量對應(yīng)數(shù)字微鏡芯片dmd的8行鏡片,每行鏡片需要2048位數(shù)據(jù)。

如圖3、圖4所示,傾斜數(shù)據(jù)寫入數(shù)字微鏡芯片dmd的規(guī)則為:傾斜數(shù)據(jù)的前32個256位數(shù)據(jù)中的所有第一個32位,組成1024位數(shù)據(jù),寫入數(shù)字微鏡芯片dmd的第一行鏡片的前1024個鏡片當中;傾斜數(shù)據(jù)的后32個256位數(shù)據(jù)中的所有第一個32位,組成1024位數(shù)據(jù),寫入數(shù)字微鏡芯片dmd的第一行鏡片的后1024個鏡片當中。

同理,傾斜數(shù)據(jù)的前32個256位數(shù)據(jù)中的所有第二個32位,組成1024位數(shù)據(jù),待寫入數(shù)字微鏡芯片dmd的第二行鏡片的前1024個鏡片當中;傾斜數(shù)據(jù)的后32個256位數(shù)據(jù)中的所有第二個32位,組成1024位數(shù)據(jù),待寫入數(shù)字微鏡芯片dmd的第二行鏡片的后1024個鏡片當中。以此類推,直至傾斜數(shù)據(jù)能寫滿所對應(yīng)的8行鏡片。

實際上數(shù)字微鏡芯片dmd的數(shù)據(jù)寫入通道寬度同樣為256位,重新變換重組的數(shù)據(jù),數(shù)字微鏡芯片dmd的第一行鏡片的第一個256位,需要取得上述得到數(shù)據(jù)中的第1個256位數(shù)據(jù)、第2個256位數(shù)據(jù)、第3個256位數(shù)據(jù)、第4個256位數(shù)據(jù)的第一個32位數(shù)據(jù)及第33個256位數(shù)據(jù)、第34個256位數(shù)據(jù)、第35個256位數(shù)據(jù)、第36個256位數(shù)據(jù)的第一個32位數(shù)據(jù)。同理,數(shù)字微鏡芯片dmd的第一行鏡片第二個256位,需要取得上述得到數(shù)據(jù)的第5個256位數(shù)據(jù)、第6個256位數(shù)據(jù)、第7個256位數(shù)據(jù)、第8個256位數(shù)據(jù)的第一個32位數(shù)據(jù)及第37個256位數(shù)據(jù)、第38個256位數(shù)據(jù)、第39個256位數(shù)據(jù)、第40個256位數(shù)據(jù)的第一個32位數(shù)據(jù)。以此類推,直至能將第一行鏡片寫滿。

對數(shù)字微鏡芯片dmd的第二行鏡片的第一個256位,需要取得上述得到數(shù)據(jù)的第1個256位數(shù)據(jù)、第2個256位數(shù)據(jù)、第3個256位數(shù)據(jù)、第4個256位數(shù)據(jù)的第二個32位數(shù)據(jù)及第33個256位數(shù)據(jù)、第34個256位數(shù)據(jù)、第35個256位數(shù)據(jù)、第36個256位數(shù)據(jù)的第二個32位數(shù)據(jù)。同理,第二行鏡片第二個256位,需要取得上述得到數(shù)據(jù)的第5個256位數(shù)據(jù)、第6個256位數(shù)據(jù)、第7個256位數(shù)據(jù)、第8個256位數(shù)據(jù)的第二個32位數(shù)據(jù)及第37個256位數(shù)據(jù)、第38個256位數(shù)據(jù)、第39個256位數(shù)據(jù)、第40個256位數(shù)據(jù)的第二個32位數(shù)據(jù)。以此類推,直至能將第二行鏡片寫滿。

根據(jù)上述數(shù)據(jù)操作,得到能寫滿第三行鏡片、第四行鏡片、第五行鏡片、第六行鏡片、第七行鏡片、第八行鏡片的傾斜重組數(shù)據(jù)。

如圖5所示,按照上述的數(shù)據(jù)重組變換過程,選取k=8個ram,每個ram的數(shù)據(jù)位寬為32位。重組變換后得到能寫滿所有鏡片的數(shù)據(jù)后,對第一行鏡片的數(shù)據(jù),在將數(shù)據(jù)寫入ram時,即第一個256位數(shù)據(jù)所分好組的8個32位數(shù)據(jù)分別寫入8個ram的第一個地址區(qū)域;第二個256位數(shù)據(jù)所分好組的8個32位數(shù)據(jù),按照圖示的規(guī)則,錯位一組數(shù)據(jù),然后分別寫入8個ram的第二個地址區(qū)域。按照此種規(guī)則,以圖示的方式,將前32個256位數(shù)據(jù)分別寫入8個ram的前32個地址區(qū)域。

對后32個256位數(shù)據(jù),從錯位4個32位分組數(shù)據(jù)開始,分別寫入8個ram中的第33個地址區(qū)域至第64個地址區(qū)域。對于其他行鏡片的寫入ram過程,可以參考上述說明,此處不再贅述。

如圖6所示,按照重組數(shù)據(jù)寫入ram的規(guī)則,在一個clk時鐘下,可同時從ram1的第一個地址區(qū)域、ram2的第二個地址區(qū)域、ram3的第三個地址區(qū)域、ram4的第四個地址區(qū)域、ram5的第三十三個地址區(qū)域、ram6的第三十四個地址區(qū)域、ram7的第三十五個地址區(qū)域、ram8的第三十六個地址區(qū)域讀出第1個256位、第2個256位數(shù)據(jù)、第3位256位數(shù)據(jù)、第4個256位數(shù)據(jù)的第一個32位數(shù)據(jù)及第33個256位數(shù)據(jù)、第34個256位數(shù)據(jù)、第35個256位數(shù)據(jù)、第36個256位數(shù)據(jù)的第一個32位數(shù)據(jù),重新組成第一個256位數(shù)據(jù)寫入第一行鏡片的第一個鏡片內(nèi)。

同理,可同時從ram1的第5個地址區(qū)域、ram2的第6個地址區(qū)域、ram3的第7個地址區(qū)域、ram4的第8個地址區(qū)域、ram5的第37個地址區(qū)域、ram6的第38個地址區(qū)域、ram7的第39個地址區(qū)域、ram8的第40個地址區(qū)域讀出第5個256位數(shù)據(jù)、第6個256位數(shù)據(jù)、第7個256位數(shù)據(jù)、第8個256位數(shù)據(jù)的第一個32位數(shù)據(jù)及第37個256位數(shù)據(jù)、第38個256位數(shù)據(jù)、第39個256位數(shù)據(jù)、第40個256位數(shù)據(jù)的第一個32位數(shù)據(jù),重新組成第二個256位數(shù)據(jù)以寫入第一行鏡片的第二個鏡片中。以此類推,直至將8行鏡片全部寫滿。

如圖5、圖6所示,按照上述數(shù)據(jù)寫入ram的方式以及從ram中讀取的方式,可達到最快的寫入與讀取速度,所有的256位數(shù)據(jù)的寫入及讀取操作,均可在一個clk時鐘下完成,不會因為數(shù)據(jù)的重組而增加時間。

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