1.一種對(duì)準(zhǔn)鏡筒，其特征在于，包括第一鏡筒和第二鏡筒；
所述第一鏡筒沿長(zhǎng)度方向設(shè)置有用于固設(shè)第一鏡片組的第一光路通道，所述第一光路通道貫穿所述第一鏡筒；
所述第二鏡筒沿長(zhǎng)度方向設(shè)置有用于固設(shè)第二鏡片組的第二光路通道，所述第二光路通道貫穿所述第二鏡筒；
所述第一鏡筒的第一端與所述第二鏡筒的第三端可拆卸連接，且所述第一鏡筒的長(zhǎng)度方向與所述第二鏡筒的長(zhǎng)度方向重合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)準(zhǔn)鏡筒，其特征在于，所述第二鏡筒靠近所述第三端的一側(cè)能夠套設(shè)入所述第一光路通道內(nèi)；
所述第二鏡筒與所述第一鏡筒通過螺接或者扣接連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的對(duì)準(zhǔn)鏡筒，其特征在于，所述第一鏡筒靠近所述第一端的一側(cè)具有錐形內(nèi)周面；
所述第二鏡筒靠近所述第三端的一側(cè)具有與所述錐形內(nèi)周面相匹配的錐形外周面。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的對(duì)準(zhǔn)鏡筒，其特征在于，所述錐形外周面延伸至所述第二鏡筒靠近所述第三端的一側(cè)的端部。
5.一種對(duì)準(zhǔn)鏡頭，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述的對(duì)準(zhǔn)鏡筒，還包括第一鏡片組和第二鏡片組。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的對(duì)準(zhǔn)鏡頭，其特征在于，所述第一鏡片組包括第一鏡片；所述第二鏡片組包括第二鏡片、第三鏡片和第四鏡片；
所述第一鏡片固設(shè)于所述第一光路通道內(nèi)；
沿所述第二光路通道的延伸方向，所述第二光路通道內(nèi)依次固設(shè)有所述第二鏡片、所述第三鏡片和所述第四鏡片；且所述第二鏡片位于所述第一鏡片與所述第三鏡片之間。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的對(duì)準(zhǔn)鏡頭，其特征在于，所述第一鏡片的中心點(diǎn)、所述第二鏡片的中心點(diǎn)、所述第三鏡片的中心點(diǎn)和所述第四鏡片的中心點(diǎn)均位于所述第一光路通道的中心線上。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的對(duì)準(zhǔn)鏡頭，其特征在于，所述第一鏡片通過第一壓圈固設(shè)于所述第一光路通道內(nèi)；所述第一壓圈位于所述第一鏡片遠(yuǎn)離所述第一端的一側(cè)；
所述第二鏡片與所述第三鏡片之間設(shè)置有隔圈，所述第二鏡片與所述第三鏡片通過第二壓圈固設(shè)于所述第二光路通道內(nèi)；所述第二壓圈位于所述第二鏡片靠近所述第三端的一側(cè)；
所述第四鏡片通過第三壓圈固設(shè)于所述第二光路通道內(nèi)；所述第三壓圈位于所述第四鏡片遠(yuǎn)離所述第三端的一側(cè)。
9.一種光刻機(jī)，其特征在于，包括如權(quán)利要求5-8任一項(xiàng)所述的對(duì)準(zhǔn)鏡頭。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的光刻機(jī)，其特征在于，所述第一鏡筒遠(yuǎn)離所述第一端的一側(cè)設(shè)置有用于連接環(huán)形光源的連接孔。