技術(shù)編號(hào):12780021
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及光刻技術(shù)領(lǐng)域,尤其是涉及一種對(duì)準(zhǔn)鏡筒、對(duì)準(zhǔn)鏡頭及光刻機(jī)。背景技術(shù)光刻技術(shù)是用于在基底表面上印刷具有特征的構(gòu)圖的技術(shù)。這樣的基底可包括用于制造半導(dǎo)體器件、多種集成電路、平面顯示器(例如液晶顯示器)、電路板、生物芯片、微機(jī)械電子芯片、光電子線路芯片等的芯片。在直寫(xiě)式光刻機(jī)的光刻系統(tǒng)中,特征圖形由空間光調(diào)制器微鏡陣列產(chǎn)生,這些微鏡可以獨(dú)立尋址單獨(dú)受控以不同的傾斜方向反射照射的光束,以產(chǎn)生空間光強(qiáng)調(diào)制,最后將特征圖形通過(guò)相應(yīng)成像光路投影到PCB板上,為下一步進(jìn)行刻蝕或者離子注入工序做好準(zhǔn)備...
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