本實(shí)用新型涉及光刻技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種對(duì)準(zhǔn)鏡筒、對(duì)準(zhǔn)鏡頭及光刻機(jī)。

背景技術(shù)：

光刻技術(shù)是用于在基底表面上印刷具有特征的構(gòu)圖的技術(shù)。這樣的基底可包括用于制造半導(dǎo)體器件、多種集成電路、平面顯示器(例如液晶顯示器)、電路板、生物芯片、微機(jī)械電子芯片、光電子線路芯片等的芯片。在直寫(xiě)式光刻機(jī)的光刻系統(tǒng)中，特征圖形由空間光調(diào)制器微鏡陣列產(chǎn)生，這些微鏡可以獨(dú)立尋址單獨(dú)受控以不同的傾斜方向反射照射的光束，以產(chǎn)生空間光強(qiáng)調(diào)制，最后將特征圖形通過(guò)相應(yīng)成像光路投影到PCB板上，為下一步進(jìn)行刻蝕或者離子注入工序做好準(zhǔn)備。

目前，直寫(xiě)式光刻機(jī)設(shè)備的對(duì)準(zhǔn)鏡筒一般采用傳統(tǒng)的圓筒狀結(jié)構(gòu)將光學(xué)系統(tǒng)光路組件包裹起來(lái)，這包括四組直徑不同的鏡片，一個(gè)光闌及相應(yīng)的隔圈、壓圈等部件。這種結(jié)構(gòu)因?yàn)殓R片的直徑均較小，且光路上要求鏡片間距較大等原因造成對(duì)準(zhǔn)鏡筒筒體細(xì)長(zhǎng)，給機(jī)械加工和后期光學(xué)鏡片的裝配帶來(lái)了很大難度。

因此，本申請(qǐng)針對(duì)上述問(wèn)題提供一種新的對(duì)準(zhǔn)鏡筒、對(duì)準(zhǔn)鏡頭及光刻機(jī)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的第一目的在于提供一種對(duì)準(zhǔn)鏡筒，以解決現(xiàn)有的對(duì)準(zhǔn)鏡筒存在的筒體細(xì)長(zhǎng)，給機(jī)械加工和后期光學(xué)鏡片的裝配帶來(lái)了很大難度的技術(shù)問(wèn)題。

本實(shí)用新型的第二目的在于提供一種對(duì)準(zhǔn)鏡頭，以解決現(xiàn)有的對(duì)準(zhǔn)鏡頭的對(duì)準(zhǔn)鏡筒存在的筒體細(xì)長(zhǎng)，給機(jī)械加工和后期光學(xué)鏡片的裝配帶來(lái)了很大難度的技術(shù)問(wèn)題。

本實(shí)用新型的第三目的在于提供一種光刻機(jī)，以解決現(xiàn)有的光刻機(jī)的對(duì)準(zhǔn)鏡筒存在的筒體細(xì)長(zhǎng)，給機(jī)械加工和后期光學(xué)鏡片的裝配帶來(lái)了很大難度的技術(shù)問(wèn)題。

基于上述第一目的，本實(shí)用新型提供一種對(duì)準(zhǔn)鏡筒，包括第一鏡筒和第二鏡筒；

所述第一鏡筒沿長(zhǎng)度方向設(shè)置有用于固設(shè)第一鏡片組的第一光路通道，所述第一光路通道貫穿所述第一鏡筒；

所述第二鏡筒沿長(zhǎng)度方向設(shè)置有用于固設(shè)第二鏡片組的第二光路通道，所述第二光路通道貫穿所述第二鏡筒；

所述第一鏡筒的第一端與所述第二鏡筒的第三端可拆卸連接，且所述第一鏡筒的長(zhǎng)度方向與所述第二鏡筒的長(zhǎng)度方向重合。

進(jìn)一步地，本實(shí)用新型所述第二鏡筒靠近所述第三端的一側(cè)能夠套設(shè)入所述第一光路通道內(nèi)；

所述第二鏡筒與所述第一鏡筒通過(guò)螺接或者扣接連接。

進(jìn)一步地，本實(shí)用新型所述第一鏡筒靠近所述第一端的一側(cè)具有錐形內(nèi)周面；

所述第二鏡筒靠近所述第三端的一側(cè)具有與所述錐形內(nèi)周面相匹配的錐形外周面。

進(jìn)一步地，本實(shí)用新型所述錐形外周面延伸至所述第二鏡筒靠近所述第三端的一側(cè)的端部。

基于上述第二目的，本實(shí)用新型提供一種對(duì)準(zhǔn)鏡頭，包括上述的對(duì)準(zhǔn)鏡筒，還包括第一鏡片組和第二鏡片組。

進(jìn)一步地，本實(shí)用新型所述第一鏡片組包括第一鏡片；所述第二鏡片組包括第二鏡片、第三鏡片和第四鏡片；

所述第一鏡片固設(shè)于所述第一光路通道內(nèi)；

沿所述第二光路通道的延伸方向，所述第二光路通道內(nèi)依次固設(shè)有所述第二鏡片、所述第三鏡片和所述第四鏡片；且所述第二鏡片位于所述第一鏡片與所述第三鏡片之間。

進(jìn)一步地，本實(shí)用新型所述第一鏡片的中心點(diǎn)、所述第二鏡片的中心點(diǎn)、所述第三鏡片的中心點(diǎn)和所述第四鏡片的中心點(diǎn)均位于所述第一光路通道的中心線上。

進(jìn)一步地，本實(shí)用新型所述第一鏡片通過(guò)第一壓圈固設(shè)于所述第一光路通道內(nèi)；所述第一壓圈位于所述第一鏡片遠(yuǎn)離所述第一端的一側(cè)；

所述第二鏡片與所述第三鏡片之間設(shè)置有隔圈，所述第二鏡片與所述第三鏡片通過(guò)第二壓圈固設(shè)于所述第二光路通道內(nèi)；所述第二壓圈位于所述第二鏡片靠近所述第三端的一側(cè)；

所述第四鏡片通過(guò)第三壓圈固設(shè)于所述第二光路通道內(nèi)；所述第三壓圈位于所述第四鏡片遠(yuǎn)離所述第三端的一側(cè)。

基于上述第三目的，本實(shí)用新型提供一種光刻機(jī)，包括上述的對(duì)準(zhǔn)鏡頭。

進(jìn)一步地，本實(shí)用新型所述第一鏡筒遠(yuǎn)離所述第一端的一側(cè)設(shè)置有用于連接環(huán)形光源的連接孔。

綜上所述，本實(shí)用新型提供的對(duì)準(zhǔn)鏡筒，包括第一鏡筒和第二鏡筒；第一鏡筒內(nèi)固設(shè)有第一鏡片組，第二鏡筒內(nèi)固設(shè)有第二鏡片組；使用時(shí)，先將第一鏡片組安裝在第一鏡筒內(nèi)，再將第二鏡片組安裝在第二鏡筒內(nèi)，之后將第一鏡筒的第一端與第二鏡筒的第三端連接，使得第一鏡筒的長(zhǎng)度方向與第二鏡筒的長(zhǎng)度方向重合，完成了對(duì)準(zhǔn)鏡筒的組裝。由于光路上要求鏡片間距較大等原因造成對(duì)準(zhǔn)鏡筒的筒體細(xì)長(zhǎng)，因此本實(shí)用新型將對(duì)準(zhǔn)鏡筒的筒體沿長(zhǎng)度方向分成兩段：第一鏡筒和第二鏡筒，第一鏡筒和第二鏡筒組裝后的長(zhǎng)度等于現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)準(zhǔn)鏡筒的筒體的長(zhǎng)度，因而第一鏡筒和第二鏡筒的長(zhǎng)度均小于現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)準(zhǔn)鏡筒的筒體的長(zhǎng)度，使得機(jī)械加工更簡(jiǎn)單、方便，從而也提高了加工精度；另一方面，由于第一鏡筒和第二鏡筒的長(zhǎng)度均小于現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)準(zhǔn)鏡筒的筒體的長(zhǎng)度，因而后期光學(xué)鏡片裝配進(jìn)第一鏡筒和第二鏡筒也變得更容易、方便，也提高了鏡片的裝配精度。解決了現(xiàn)有的對(duì)準(zhǔn)鏡筒存在的筒體細(xì)長(zhǎng)，給機(jī)械加工和后期光學(xué)鏡片的裝配帶來(lái)了很大難度的技術(shù)問(wèn)題。

本實(shí)用新型提供的對(duì)準(zhǔn)鏡頭，包括上述的對(duì)準(zhǔn)鏡筒，解決了現(xiàn)有的對(duì)準(zhǔn)鏡頭的對(duì)準(zhǔn)鏡筒存在的筒體細(xì)長(zhǎng)，給機(jī)械加工和后期光學(xué)鏡片的裝配帶來(lái)了很大難度的技術(shù)問(wèn)題。

本實(shí)用新型提供的光刻機(jī)，包括上述的對(duì)準(zhǔn)鏡頭，解決了現(xiàn)有的光刻機(jī)的對(duì)準(zhǔn)鏡筒存在的筒體細(xì)長(zhǎng)，給機(jī)械加工和后期光學(xué)鏡片的裝配帶來(lái)了很大難度的技術(shù)問(wèn)題。

附圖說(shuō)明

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，應(yīng)當(dāng)理解，以下附圖僅示出了本實(shí)用新型的某些實(shí)施例，因此不應(yīng)被看作是對(duì)范圍的限定，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他相關(guān)的附圖。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的對(duì)準(zhǔn)鏡筒的立體結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的對(duì)準(zhǔn)鏡筒的主視圖；

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的對(duì)準(zhǔn)鏡筒的第一結(jié)構(gòu)的剖視圖；

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的對(duì)準(zhǔn)鏡筒的第二結(jié)構(gòu)的剖視圖；

圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的對(duì)準(zhǔn)鏡筒的第三結(jié)構(gòu)的剖視圖。

圖標(biāo)：1-第一鏡筒；11-第一端；2-第二鏡筒；21-第三端；3-第一光路通道；4-第二光路通道；51-第一鏡片；52-第二鏡片；53-第三鏡片；54-第四鏡片；61-第一壓圈；62-第二壓圈；63-第三壓圈；7-連接孔。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

在本實(shí)用新型的描述中，需要說(shuō)明的是，術(shù)語(yǔ)“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”、“第三”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。

在本實(shí)用新型的描述中，需要說(shuō)明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過(guò)中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本實(shí)用新型中的具體含義。

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的對(duì)準(zhǔn)鏡筒的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的對(duì)準(zhǔn)鏡筒的主視圖；圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的對(duì)準(zhǔn)鏡筒的第一結(jié)構(gòu)的剖視圖；圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的對(duì)準(zhǔn)鏡筒的第二結(jié)構(gòu)的剖視圖；圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的對(duì)準(zhǔn)鏡筒的第三結(jié)構(gòu)的剖視圖。

實(shí)施例一

參見(jiàn)圖1-圖5所示，本實(shí)施例提供一種對(duì)準(zhǔn)鏡筒，包括第一鏡筒1和第二鏡筒2；

所述第一鏡筒1沿長(zhǎng)度方向設(shè)置有用于固設(shè)第一鏡片組的第一光路通道3，所述第一光路通道3貫穿所述第一鏡筒1；

所述第二鏡筒2沿長(zhǎng)度方向設(shè)置有用于固設(shè)第二鏡片組的第二光路通道4，所述第二光路通道4貫穿所述第二鏡筒2；

所述第一鏡筒1的第一端11與所述第二鏡筒2的第三端21可拆卸連接，例如可以通過(guò)螺接或者扣接連接，且所述第一鏡筒1的長(zhǎng)度方向與所述第二鏡筒2的長(zhǎng)度方向重合。

需要說(shuō)明的是，第一鏡筒1沿長(zhǎng)度方向具有兩端：第一端11和第二端，第二鏡筒2沿長(zhǎng)度方向具有兩端：第三端21和第四端。

綜上所述，本實(shí)用新型提供的對(duì)準(zhǔn)鏡筒，包括第一鏡筒1和第二鏡筒2；第一鏡筒1內(nèi)固設(shè)有第一鏡片組，第二鏡筒2內(nèi)固設(shè)有第二鏡片組；使用時(shí)，先將第一鏡片組安裝在第一鏡筒1內(nèi)，再將第二鏡片組安裝在第二鏡筒2內(nèi)，之后將第一鏡筒1的第一端11與第二鏡筒2的第三端21連接，使得第一鏡筒1的長(zhǎng)度方向與第二鏡筒2的長(zhǎng)度方向重合，完成了對(duì)準(zhǔn)鏡筒的組裝。由于光路上要求鏡片間距較大等原因造成對(duì)準(zhǔn)鏡筒的筒體細(xì)長(zhǎng)，因此本實(shí)用新型將對(duì)準(zhǔn)鏡筒的筒體沿長(zhǎng)度方向分成兩段：第一鏡筒1和第二鏡筒2，第一鏡筒1和第二鏡筒2組裝后的長(zhǎng)度等于現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)準(zhǔn)鏡筒的筒體的長(zhǎng)度，因而第一鏡筒1和第二鏡筒2的長(zhǎng)度均小于現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)準(zhǔn)鏡筒的筒體的長(zhǎng)度，使得機(jī)械加工更簡(jiǎn)單、方便，從而也提高了加工精度；另一方面，由于第一鏡筒1和第二鏡筒2的長(zhǎng)度均小于現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)準(zhǔn)鏡筒的筒體的長(zhǎng)度，因而后期光學(xué)鏡片裝配進(jìn)第一鏡筒1和第二鏡筒2也變得更容易、方便，也提高了鏡片的裝配精度。解決了現(xiàn)有的對(duì)準(zhǔn)鏡筒存在的筒體細(xì)長(zhǎng)，給機(jī)械加工和后期光學(xué)鏡片的裝配帶來(lái)了很大難度的技術(shù)問(wèn)題。

優(yōu)選地，參見(jiàn)圖3所示，本實(shí)施例所述第二鏡筒2靠近所述第三端21的一側(cè)能夠套設(shè)入所述第一光路通道3內(nèi)；

所述第二鏡筒2與所述第一鏡筒1通過(guò)螺接或者扣接連接。

也就是說(shuō)，第一鏡筒1與第二鏡筒2先套接，再螺接或者扣接：先將第二鏡筒2靠近第三端21的一側(cè)套設(shè)入第一光路通道3內(nèi)，實(shí)現(xiàn)了將第一鏡筒1與第二鏡筒2的定位，然后再螺接或者扣接連接，使得第一鏡筒1與第二鏡筒2的連接更精準(zhǔn)，保證了第一光路通道3與第二光路通道4的中心線的同軸度。

可選地，參見(jiàn)圖4和圖5所示，本實(shí)施例所述的第一鏡筒1靠近所述第一端11的一側(cè)具有錐形內(nèi)周面；

所述第二鏡筒2靠近所述第三端21的一側(cè)具有與所述錐形內(nèi)周面相匹配的錐形外周面。

如圖5所示，第一鏡筒1靠近第一端11的一側(cè)設(shè)置有錐形內(nèi)周面，且錐形內(nèi)周面延伸至第一鏡筒1靠近第一端11的一側(cè)的端部，第二鏡筒2靠近第三端21的一側(cè)按照?qǐng)D5中從上到下的方向，依次包括連接部、錐面部和直軸部，其中錐面部使得第二鏡筒2沿從上到下的方向的軸徑變小。連接部用于將第一鏡筒1和第二鏡筒2可拆卸連接，例如，連接部上開(kāi)設(shè)有第一孔，第二鏡筒2上對(duì)應(yīng)的開(kāi)設(shè)有第二孔，第一孔和第二孔通過(guò)螺栓連接；錐面部能夠和第一鏡筒1的錐形內(nèi)周面相配合，直軸部能夠套設(shè)入第一光路通道3內(nèi)。

綜上所述，將第一鏡筒1和第二鏡筒2連接時(shí)，先將直軸部套設(shè)入第一光路通道3內(nèi)，由于第一鏡筒1的端部設(shè)置有錐形內(nèi)周面，使得直軸部在插入第一光路通道3時(shí)不會(huì)與第一鏡筒1發(fā)生磕碰，防止造成損壞以及降低第一鏡筒1與第二鏡筒2連接的精度；然后錐面部在錐形內(nèi)周面的導(dǎo)向作用下，沿錐形內(nèi)周面順滑而入，既能引導(dǎo)第二鏡筒2與第一鏡筒1的連接，又能防止連接的過(guò)程中相互發(fā)生碰撞。

優(yōu)選地，參見(jiàn)圖4所示，本實(shí)施例所述錐形外周面延伸至所述第二鏡筒2靠近所述第三端21的一側(cè)的端部。使得第一鏡筒1和第二鏡筒2在開(kāi)始連接時(shí)，即第二鏡筒2插入第一光路通道3之始至末，都能對(duì)第二鏡筒2的插入方向起到引導(dǎo)作用，使得裝配更精準(zhǔn)。

實(shí)施例二

實(shí)施例二提供了一種對(duì)準(zhǔn)鏡頭，所述對(duì)準(zhǔn)鏡頭包括實(shí)施例一所述的對(duì)準(zhǔn)鏡筒，實(shí)施例一所公開(kāi)的對(duì)準(zhǔn)鏡筒的技術(shù)特征也適用于該實(shí)施例，實(shí)施例一已公開(kāi)的對(duì)準(zhǔn)鏡筒的技術(shù)特征不再重復(fù)描述。下面結(jié)合附圖對(duì)所述對(duì)準(zhǔn)鏡頭的實(shí)施方式進(jìn)行進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。

為節(jié)約篇幅，該實(shí)施例的改進(jìn)特征同樣體現(xiàn)在圖1-圖5中，因此，結(jié)合圖1-圖5對(duì)該實(shí)施例的方案進(jìn)行說(shuō)明。

參見(jiàn)圖1-圖5所示，本實(shí)施例提供一種對(duì)準(zhǔn)鏡頭，包括上述的對(duì)準(zhǔn)鏡筒，還包括第一鏡片組和第二鏡片組。第一鏡片組設(shè)置在第一鏡筒1內(nèi)，第二鏡片組設(shè)置在第二鏡筒2內(nèi)。解決了現(xiàn)有的對(duì)準(zhǔn)鏡頭的對(duì)準(zhǔn)鏡筒存在的筒體細(xì)長(zhǎng)，給機(jī)械加工和后期光學(xué)鏡片的裝配帶來(lái)了很大難度的技術(shù)問(wèn)題。

優(yōu)選地，參見(jiàn)圖3-圖5所示，所述第一鏡片組包括第一鏡片51；所述第二鏡片組包括第二鏡片52、第三鏡片53和第四鏡片54；

所述第一鏡片51固設(shè)于所述第一光路通道3內(nèi)，所述第一鏡片51的厚度方向沿所述第一光路通道3的延伸方向設(shè)置；

沿所述第二光路通道4的延伸方向，所述第二光路通道4內(nèi)依次固設(shè)有所述第二鏡片52、所述第三鏡片53和所述第四鏡片54，且所述第二鏡片52位于所述第一鏡片51與所述第三鏡片53之間，第二鏡片52、第三鏡片53和第四鏡片54厚度方向均沿第二光路通道4的延伸方向。

需要說(shuō)明的是，第一鏡片51的中心點(diǎn)與第二鏡片52的中心點(diǎn)之間的距離為預(yù)設(shè)的第一距離；第二鏡片52的中心點(diǎn)與第三鏡片53的中心點(diǎn)之間的距離為預(yù)設(shè)的第二距離；第三鏡片53的中心點(diǎn)與第四鏡片54的中心點(diǎn)之間的距離為預(yù)設(shè)的第三距離，以使得本實(shí)施例所述的對(duì)準(zhǔn)鏡頭能夠達(dá)到正常使用的標(biāo)準(zhǔn)。

另外，由于光路上要求第二距離和第三距離均小于第一距離，因此僅僅將第一鏡片51設(shè)置于第一鏡筒1內(nèi)，第二鏡片52、第三鏡片53和第四鏡片54均設(shè)置在第二鏡筒2內(nèi)，且第一鏡片51設(shè)置于第一鏡筒1內(nèi)遠(yuǎn)離第一端11的一側(cè)，以減小第一鏡筒1的長(zhǎng)度，從而便于第一鏡片51、第二鏡片52、第三鏡片53和第四鏡片54的安裝，也使得第一鏡筒1與第二鏡筒2連接之后的鏡筒筒體的長(zhǎng)度也不會(huì)太長(zhǎng)，從而便于使用。

優(yōu)選地，本實(shí)施例所述第一鏡片51的中心點(diǎn)、所述第二鏡片52的中心點(diǎn)、所述第三鏡片53的中心點(diǎn)和所述第四鏡片54的中心點(diǎn)均位于所述第一光路通道3的中心線上，從而使得本實(shí)施例所述的對(duì)準(zhǔn)鏡頭的對(duì)準(zhǔn)效果最好。

可選地，參見(jiàn)圖3-圖5所示，本實(shí)施例所述第一鏡片51通過(guò)第一壓圈61固設(shè)于所述第一光路通道3內(nèi)；所述第一壓圈61位于所述第一鏡片51遠(yuǎn)離所述第一端11的一側(cè)；使得第一鏡片51方便安裝，從而提高裝配精度，也能夠減小第一鏡筒1的長(zhǎng)度。

所述第二鏡片52與所述第三鏡片53之間設(shè)置有隔圈，以保證第二鏡片52與第三鏡片53之間的軸向距離，所述第二鏡片52與所述第三鏡片53通過(guò)第二壓圈62固設(shè)于所述第二光路通道4內(nèi)；所述第二壓圈62位于所述第二鏡片52靠近所述第三端21的一側(cè)；優(yōu)選地，第二鏡片52設(shè)置于第二鏡筒2靠近第三端21的一側(cè)，使得第二鏡片52和第三鏡片53方便安裝，從而提高裝配精度，也能夠減小第二鏡筒2的長(zhǎng)度。

所述第四鏡片54通過(guò)第三壓圈63固設(shè)于所述第二光路通道4內(nèi)；所述第三壓圈63位于所述第四鏡片54遠(yuǎn)離所述第三端21的一側(cè)，使得第四鏡片54方便安裝，從而提高裝配精度，也能夠減小第二鏡筒2的長(zhǎng)度。

需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例所述的第一鏡片51、第二鏡片52、第三鏡片53和第四鏡片54的裝配也可使用滾邊法或者膠粘法。

可選地，所述第二光路通道4包括相連接的第一通道段和第二通道段，所述第一通道段靠近所述第三端21，所述第二通道段靠近所述第四端，且所述第一通道段的內(nèi)徑小于所述第二通道段的內(nèi)徑；

所述第一通道段靠近所述第二通道段的一側(cè)靠接有光闌，所述第三鏡片53靠接在所述光闌遠(yuǎn)離所述第二通道段的一側(cè)，所述第二鏡片52和所述第三鏡片53設(shè)置于所述第一通道段內(nèi)，且所述第二鏡片52位于所述第三鏡片53遠(yuǎn)離所述第二通道段的一側(cè)。光闌是光具組件中光學(xué)元件的邊緣、框架或特別設(shè)置的帶孔屏障，設(shè)置在在鏡頭中來(lái)限制光束。

綜上所述，能夠使得本實(shí)施例所述的對(duì)準(zhǔn)鏡頭能夠達(dá)到使用的標(biāo)準(zhǔn)，保證正常工作。

實(shí)施例三

實(shí)施例三提供了一種光刻機(jī)，所述光刻機(jī)包括實(shí)施例二所述的對(duì)準(zhǔn)鏡頭，實(shí)施例二所公開(kāi)的對(duì)準(zhǔn)鏡頭的技術(shù)特征也適用于該實(shí)施例，實(shí)施例二已公開(kāi)的對(duì)準(zhǔn)鏡頭的技術(shù)特征不再重復(fù)描述。下面結(jié)合附圖對(duì)所述光刻機(jī)的實(shí)施方式進(jìn)行進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。

為節(jié)約篇幅，該實(shí)施例的改進(jìn)特征同樣體現(xiàn)在圖1-圖5中，因此，結(jié)合圖1-圖5對(duì)該實(shí)施例的方案進(jìn)行說(shuō)明。

參見(jiàn)圖1-圖5所示，本實(shí)施例提供一種光刻機(jī)，包括上述的對(duì)準(zhǔn)鏡頭，解決了現(xiàn)有的光刻機(jī)的對(duì)準(zhǔn)鏡筒存在的筒體細(xì)長(zhǎng)，給機(jī)械加工和后期光學(xué)鏡片的裝配帶來(lái)了很大難度的技術(shù)問(wèn)題。

優(yōu)選地，所述第一鏡筒1遠(yuǎn)離所述第一端的一側(cè)設(shè)置有用于連接環(huán)形光源的連接孔7。

最后應(yīng)說(shuō)明的是：以上各實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡管參照前述各實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分或者全部技術(shù)特征進(jìn)行等同替換；而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù)方案的范圍。