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一種膜邊距測量方法及測量裝置與流程

文檔序號:12458426閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種膜邊距測量方法及測量裝置,涉及液晶顯示技術(shù)領(lǐng)域,可測量保護(hù)膜層的膜邊到基板邊緣的距離,甄別出膜邊距過大的基板。其中所述方法包括:制備包括襯底基板、測試圖形和保護(hù)膜層的待測基板;測試圖形外邊緣與襯底基板的邊緣對齊,保護(hù)膜層與測試圖形存在重合,或者邊緣與測試圖形內(nèi)邊緣對齊;沿測試路徑用測試光線掃描待測基板,接收被反射的測試光線,獲取各點(diǎn)對應(yīng)的光譜,測試路徑經(jīng)測試圖形,一個端點(diǎn)位于測試圖形所在的基板邊上;保護(hù)膜層對測試光線的吸收程度高于測試圖形對測試光線的吸收程度;確定出現(xiàn)吸收峰的光譜對應(yīng)的點(diǎn),該點(diǎn)到測試圖形所在的基板邊的垂直距離為膜邊距。上述測量方法用于甄別出膜邊距過大的基板。

技術(shù)研發(fā)人員:陳曦;袁劍峰;周賀
受保護(hù)的技術(shù)使用者:福州京東方光電科技有限公司;京東方科技集團(tuán)股份有限公司
文檔號碼:201611031891
技術(shù)研發(fā)日:2016.11.18
技術(shù)公布日:2017.05.31

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