技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及抗蝕劑剝離液組合物，更詳細(xì)而言，涉及如下抗蝕劑剝離液組合物：通過包含下述化學(xué)式1的咪唑烷系化合物和極性有機(jī)溶劑，從而抗蝕劑剝離力顯著優(yōu)異，能夠使對于包含銅和鋁的金屬膜質(zhì)的腐蝕性最小化。上述化學(xué)式1中，R1和R2各自獨(dú)立地為碳原子數(shù)1～3的亞烷基。

技術(shù)研發(fā)人員：金正鉉;高京俊;崔漢永
受保護(hù)的技術(shù)使用者：東友精細(xì)化工有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.08.31
技術(shù)公布日：2017.09.01