本發(fā)明涉及tft-lcd技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種tft-lcd顯示用顯影液。
背景技術(shù)：
一般在液晶顯示器、印刷電路板和集成電路等制備工藝中，為獲得精細(xì)圖形，常用光刻膠等放射線敏感組成物以涂布方式在基材上形成薄膜，經(jīng)過曝光后，以堿性顯影液顯像，去除不要的涂膜部分，以獲取良好的圖形。
在這些平板印刷工序中，通過曝光把畫有電路圖案的掩膜轉(zhuǎn)移到晶片上的光刻膠上，接著使上述光刻膠的曝光面與顯影液接觸，對于正性，曝光的部分溶解于顯影液，而對于負(fù)性，未曝光區(qū)溶解于顯影液。
顯影工藝的第一個目的是未曝光的正性抗蝕劑膜應(yīng)受顯影劑腐蝕程度最小。實際的顯影總是對未曝光的抗蝕劑有某種程度的腐蝕，但由于曝光區(qū)和未曝光區(qū)的溶解度不同，使得抗蝕劑工藝可行。實際上，選擇范圍更大的顯影劑也花更長時間以完全顯影圖像。這樣，選擇顯影劑時，就必須綜合考慮不同的溶解度和產(chǎn)能。應(yīng)選擇一顯影劑其產(chǎn)能滿足要求且不引起過分的抗蝕劑變薄。另外，顯影劑也應(yīng)有足夠的容度以使工藝能在生長環(huán)境中維持。
進(jìn)行顯影有三種主要方法：浸入、噴淋和攪動顯影。
然而根據(jù)已知顯影液的技術(shù)，感光性抗蝕劑在涂膜并預(yù)烤、曝光后，雖可用堿性顯影液來溶解除去未曝光而不要的涂膜部份，但在顯影時容易產(chǎn)生未顯影部位粒子或未溶解物的殘存，因此顯影后比較難以形成精細(xì)的圖像，從而無法滿足市場的需求。
技術(shù)實現(xiàn)要素：
本發(fā)明旨在提供了一種tft-lcd顯示用顯影液。
本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：
一種tft-lcd顯示用顯影液，所述顯影液由以下重量份數(shù)的組分構(gòu)成：堿性化合物22-26份、非離子表面活性劑7-14份、滲透劑9-15份和去離子水42-54份。
所述堿性化合物為無機堿性化合物或有機堿性化合物；其中，無機堿性化合物為：堿金屬的氫氧化物、碳酸氫鹽、碳酸鹽中的一種或幾種；有機堿性化合物為：單甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、單乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基銨、單乙醇二甲基胺中的一種或幾種。
所述非離子表面活性劑選自椰子油脂肪酸單乙醇酰胺、椰子油脂肪酸二乙醇酰胺、蓖麻油聚氧乙烯醚和蓖麻油聚氧乙烯醚中的至少一種。
所述滲透劑為聚氧乙烯醚類滲透劑中的聚氧乙烷和高級脂肪醇的縮合物或磷酸酯。
所述去離子水是經(jīng)過離子交換樹脂過濾的水，其電阻至少是18mω。
所述所述去離子水中，總金屬離子濃度不大于4000納克/l，優(yōu)選不大于500納克/l，更優(yōu)選不大于50納克/l。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明的顯影液克服了現(xiàn)有顯影液在使用時不能同時兼顧顯影性、消泡性、分散穩(wěn)定性及操作溫度范圍窄的缺點，該顯影液無需添加消泡劑，具有顯影性能好、無殘渣、操作溫度范圍寬、環(huán)境污染少等特點，在感光性樹脂的顯影制備工藝中，具有非常重要和廣泛的應(yīng)用；同時本發(fā)明的顯影液具有顯像性良好，避免殘渣生成，具有低毒性、不具易燃性、以及管理容易、廢液處理簡便及成本低廉等優(yōu)點。
具體實施方式
下面將結(jié)合本發(fā)明實施例，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
實施例1一種tft-lcd顯示用顯影液，所述顯影液由以下重量份數(shù)的組分構(gòu)成：堿性化合物22份、非離子表面活性劑7份、滲透劑9份和去離子水42份。
所述堿性化合物為無機堿性化合物或有機堿性化合物；其中，無機堿性化合物為：堿金屬的氫氧化物、碳酸氫鹽、碳酸鹽中的一種或幾種；有機堿性化合物為：單甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、單乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基銨、單乙醇二甲基胺中的一種或幾種。
所述非離子表面活性劑選自椰子油脂肪酸單乙醇酰胺、椰子油脂肪酸二乙醇酰胺、蓖麻油聚氧乙烯醚和蓖麻油聚氧乙烯醚中的至少一種。
所述滲透劑為聚氧乙烯醚類滲透劑中的聚氧乙烷和高級脂肪醇的縮合物或磷酸酯。
所述去離子水是經(jīng)過離子交換樹脂過濾的水，其電阻至少是18mω。
所述去離子水中，總金屬離子濃度不大于4000納克/l，優(yōu)選不大于500納克/l，更優(yōu)選不大于50納克/l。
實施例2一種tft-lcd顯示用顯影液，所述顯影液由以下重量份數(shù)的組分構(gòu)成：堿性化合物26份、非離子表面活性劑14份、滲透劑15份和去離子水54份。
所述堿性化合物為無機堿性化合物或有機堿性化合物；其中，無機堿性化合物為：堿金屬的氫氧化物、碳酸氫鹽、碳酸鹽中的一種或幾種；有機堿性化合物為：單甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、單乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基銨、單乙醇二甲基胺中的一種或幾種。
所述非離子表面活性劑選自椰子油脂肪酸單乙醇酰胺、椰子油脂肪酸二乙醇酰胺、蓖麻油聚氧乙烯醚和蓖麻油聚氧乙烯醚中的至少一種。
所述滲透劑為聚氧乙烯醚類滲透劑中的聚氧乙烷和高級脂肪醇的縮合物或磷酸酯。
所述去離子水是經(jīng)過離子交換樹脂過濾的水，其電阻至少是18mω。
所述去離子水中，總金屬離子濃度不大于4000納克/l，優(yōu)選不大于500納克/l，更優(yōu)選不大于50納克/l。
實施例3一種tft-lcd顯示用顯影液，所述顯影液由以下重量份數(shù)的組分構(gòu)成：堿性化合物24份、非離子表面活性劑11份、滲透劑12份和去離子水48份。
所述堿性化合物為無機堿性化合物或有機堿性化合物；其中，無機堿性化合物為：堿金屬的氫氧化物、碳酸氫鹽、碳酸鹽中的一種或幾種；有機堿性化合物為：單甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、單乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、單乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、氫氧化四甲基銨、氫氧化四乙基銨、單乙醇二甲基胺中的一種或幾種。
所述非離子表面活性劑選自椰子油脂肪酸單乙醇酰胺、椰子油脂肪酸二乙醇酰胺、蓖麻油聚氧乙烯醚和蓖麻油聚氧乙烯醚中的至少一種。
所述滲透劑為聚氧乙烯醚類滲透劑中的聚氧乙烷和高級脂肪醇的縮合物或磷酸酯。
所述去離子水是經(jīng)過離子交換樹脂過濾的水，其電阻至少是18mω。
所述去離子水中，總金屬離子濃度不大于4000納克/l，優(yōu)選不大于500納克/l，更優(yōu)選不大于50納克/l。
對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言，顯然本發(fā)明不限于所述示范性實施例的細(xì)節(jié)，而且在不背離本發(fā)明的精神或基本特征的情況下，能夠以其他的具體形式實現(xiàn)本發(fā)明。因此，無論從哪一點來看，均應(yīng)將實施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求而不是所述說明限定，因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本發(fā)明內(nèi)。此外，應(yīng)當(dāng)理解，雖然本說明書按照實施方式加以描述，但并非每個實施方式僅包含一個獨立的技術(shù)方案，說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說明書作為一個整體，各實施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合，形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實施方式。