專利名稱：顯影液的噴灑裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及生產(chǎn)制造領(lǐng)域，特別是指一種顯影液的噴灑裝置。
背景技術(shù)：
現(xiàn)有技術(shù)中，制作TFT (Thin Film Transistor,薄膜晶體管)液晶顯示面板時,在ARRAY(陣列)流程中有三個部分即薄膜、光刻和刻蝕。在光刻エ藝中，需要在玻璃基板上涂覆ー層光刻膠，然后再進(jìn)行曝光和顯影，再經(jīng)過刻蝕，形成最終的圖案。進(jìn)行顯影的方式較多，有浸泡式、持續(xù)噴灑式和噴灑振蕩式等等。浸泡式可以防 止顯影液濺射，但是顯影速度慢，エ藝制程復(fù)雜，并且浪費(fèi)顯影液。噴灑式是通過滑輪帶動待噴灑顯影液的玻璃基板在噴灑顯影液的噴頭下面移動，從而使得玻璃基板上噴灑有顯影液。但是，噴頭噴出的顯影液并不均勻，容易引起圖形缺陷的問題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種顯影液的噴灑裝置，能夠均勻地在玻璃基板上噴灑顯影液。為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的實(shí)施例提供技術(shù)方案如下一種顯影液的噴灑裝置，包括密閉的盒體，所述盒體的底壁的第一端設(shè)置有一液體出口，所述液體出口的寬度與待噴灑顯影液的玻璃基板的寬度一致；噴頭，設(shè)置在所述盒體的內(nèi)壁上，所述噴頭連接有顯影液容器，用于向所述盒體內(nèi)噴灑顯影液，所述噴頭噴出的顯影液經(jīng)由所述液體出口排出。所述液體出ロ呈一直線，并且所述液體出口與水平面平行。所述的顯影液的噴灑裝置，還包括吹風(fēng)ロ，設(shè)置在所述盒體的內(nèi)壁上，所述吹風(fēng)ロ連接有出風(fēng)裝置，用于向所述噴頭噴出的顯影液吹風(fēng)；所述吹風(fēng)ロ的風(fēng)向與所述噴頭的流向之間的角度在5度-175度之間。所述吹風(fēng)ロ設(shè)置在所述盒體的頂壁的內(nèi)表面上，所述噴頭設(shè)置在所述盒體的第一側(cè)壁的內(nèi)表面上，所述盒體的第一側(cè)壁與所述底壁的第一端相対。所述噴頭設(shè)置在所述盒體的頂壁的內(nèi)表面上，所述吹風(fēng)ロ設(shè)置在所述盒體的第一側(cè)壁的內(nèi)表面上，所述盒體的第一側(cè)壁與所述底壁的第一端相対。所述噴頭設(shè)置在所述盒體的頂壁的內(nèi)表面上，所述吹風(fēng)ロ設(shè)置在所述盒體的第二側(cè)壁的內(nèi)表面上，所述盒體的第二側(cè)壁與所述底壁的第一端相連接。所述盒體的底壁與水平面的傾斜角度在5度-45度之間，所述底壁的設(shè)置有液體出ロ的第一端低于所述底壁的未設(shè)置液體出ロ的第二端。所述盒體的底壁設(shè)置有液體出口的第一端連接有緩沖導(dǎo)板。所述緩沖導(dǎo)板的傾斜角度和所述盒體的底壁的傾斜角度一致。所述顯影液的噴灑裝置比所述玻璃基板高O. 5CM-2CM。[0019]本實(shí)用新型的實(shí)施例具有以下有益效果上述方案中，顯影液的噴灑裝置包括密閉的盒體，所述盒體的底壁的第一端設(shè)置有一液體出口，所述液體出口的寬度與待噴灑顯影液的玻璃基板的寬度一致；噴頭，設(shè)置在所述盒體的內(nèi)壁上，所述噴頭連接有顯影液容器，用于噴灑顯影液，所述噴頭噴出的顯影液經(jīng)由所述液體出口排出。當(dāng)需要在玻璃基板上噴灑顯影液時，使用滑輪帶動玻璃基板通過噴灑裝置下方；噴頭連接顯影液容器，向盒體內(nèi)噴灑顯影液；顯影液在密閉的盒體內(nèi)，通過所述液體出ロ流出；液體出ロ的寬度與待噴灑顯影液的玻璃基板的寬度一致，使得顯影液均勻地流到玻璃基板上。

圖I為本實(shí)用新型的顯影液的噴灑裝置的一實(shí)施例的示意圖；圖2為本實(shí)用新型的顯影液的噴灑裝置的另ー實(shí)施例的示意圖；圖3為本實(shí)用新型的顯影液的噴灑裝置的另ー實(shí)施例的示意圖。
具體實(shí)施方式
為使本實(shí)用新型的實(shí)施例要解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖及具體實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)描述。圖I為本實(shí)用新型的顯影液的噴灑裝置的一實(shí)施例的示意圖；圖2為本實(shí)用新型的顯影液的噴灑裝置的另ー實(shí)施例的示意圖；圖3為本實(shí)用新型的顯影液的噴灑裝置的另一實(shí)施例的示意圖。以下結(jié)合圖1、2、3，描述本實(shí)用新型的顯影液的噴灑裝置。如圖1、2、3所示，本實(shí)用新型的顯影液的噴灑裝置，包括密閉的盒體10，所述盒體10的底壁11的第一端111設(shè)置有一液體出ロ 90，所述液體出ロ 90的寬度與待噴灑顯影液的玻璃基板30的寬度一致；噴頭40，設(shè)置在所述盒體10的內(nèi)壁上，所述噴頭40連接有顯影液容器(圖中未示)，用于向所述盒體10內(nèi)噴灑顯影液，所述噴頭40噴出的顯影液經(jīng)由所述液體出ロ排出。當(dāng)需要往玻璃基板30上噴灑顯影液吋，使用滑輪80帶動玻璃基板30通過噴灑裝置下方。噴頭40連接顯影液容器，向盒體10內(nèi)噴灑顯影液；顯影液在密閉的盒體10內(nèi)，通過所述液體出ロ 90流出；液體出ロ 90的寬度與待噴灑顯影液的玻璃基板的寬度一致，使得顯影液均勻地流到玻璃基板上，并且，流出的顯影液能夠完全覆蓋玻璃基板30的表面。進(jìn)ー步，所述的顯影液的噴灑裝置，還包括吹風(fēng)ロ 20，設(shè)置在所述盒體10的內(nèi)壁上，所述吹風(fēng)ロ 20連接有出風(fēng)裝置，用于向所述噴頭40噴出的顯影液吹風(fēng)；所述吹風(fēng)ロ 20的風(fēng)向與所述噴頭40的流向之間的角度在5度-175度之間。吹風(fēng)ロ 20吹出的風(fēng)對噴頭噴灑出的顯影液進(jìn)行吹拂，使得顯影液更均勻。本實(shí)用新型中，吹風(fēng)ロ 20和噴頭40的位置可以靈活設(shè)置。例如,如圖I所示,所述吹風(fēng)ロ 20設(shè)置在所述盒體10的頂壁51的內(nèi)表面上,所述噴頭40設(shè)置在所述盒體10的第一側(cè)壁52的內(nèi)表面上，所述盒體的第一側(cè)壁52與所述底壁11的第一端111相対。例如，如圖2所示，所述噴頭40設(shè)置在所述盒體10的頂壁51的內(nèi)表面上，所述吹風(fēng)ロ 20設(shè)置在所述盒體10的第一側(cè)壁52的內(nèi)表面上，所述盒體10的第一側(cè)壁52與所述底壁11的第一端111相對。例如，如圖3所示，所述噴頭40設(shè)置在所述盒體10的頂壁51的內(nèi)表面上，所述吹風(fēng)ロ 20設(shè)置在所述盒體10的第二側(cè)壁53的內(nèi)表面上，所述盒體10的第二側(cè)壁53與所述底壁11的第一端111相連接。所述顯影液的噴灑裝置可以比所述玻璃基板30高O. 5CM-2CM，使得顯影液流向玻璃基板時，流速比較緩和。為了對顯影液的流速進(jìn)行緩沖，所述盒體10的底壁11與水平面的傾斜角度為5度-45度之間，所述底壁11的設(shè)置有液體出ロ的第一端111低于所述底壁的未設(shè)置液體出ロ的第二端112。 所述盒體10的底壁11設(shè)置有液體出ロ的第一端111連接有緩沖導(dǎo)板60，緩沖導(dǎo)板60將顯影液導(dǎo)向玻璃基板30。優(yōu)選的，所述緩沖導(dǎo)板60的傾斜角度和所述盒體的底壁的傾斜角度一致。所述液體出ロ 90呈一直線，并且所述液體出ロ與所述水平面平行，這樣，從所述液體出ロ 90流出的顯影液噴灑到玻璃基板30時，對玻璃基板30的作用カー致，使得噴灑更均勻。本實(shí)用新型的顯影液的噴灑裝置能夠使顯影液均勻地噴灑在玻璃基板上；并且，相比于現(xiàn)有技術(shù)中直接用噴頭進(jìn)行噴灑的方式，本實(shí)用新型的顯影液的噴灑裝置可以防止由于顯影液濺射導(dǎo)致的圖形缺陷，從而提高生產(chǎn)的良品率，降低生產(chǎn)成本。以上所述是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型所述原理的前提下，還可以作出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種顯影液的噴灑裝置，其特征在于，包括 密閉的盒體，所述盒體的底壁的第一端設(shè)置有一液體出口，所述液體出口的寬度與待噴灑顯影液的玻璃基板的寬度一致； 噴頭，設(shè)置在所述盒體的內(nèi)壁上，所述噴頭連接有顯影液容器，用于向所述盒體內(nèi)噴灑顯影液，所述噴頭噴出的顯影液經(jīng)由所述液體出口排出。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的顯影液的噴灑裝置，其特征在于，其特征在于，所述液體出ロ呈一直線，并且所述液體出口與水平面平行。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的顯影液的噴灑裝置，其特征在于，還包括 吹風(fēng)ロ，設(shè)置在所述盒體的內(nèi)壁上，所述吹風(fēng)ロ連接有出風(fēng)裝置，用于向所述噴頭噴出的顯影液吹風(fēng)；所述吹風(fēng)ロ的風(fēng)向與所述噴頭的流向之間的角度在5度-175度之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的顯影液的噴灑裝置，其特征在于，所述吹風(fēng)ロ設(shè)置在所述盒體的頂壁的內(nèi)表面上，所述噴頭設(shè)置在所述盒體的第一側(cè)壁的內(nèi)表面上，所述盒體的第一側(cè)壁與所述底壁的第一端相対。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的顯影液的噴灑裝置，其特征在于，所述噴頭設(shè)置在所述盒體的頂壁的內(nèi)表面上，所述吹風(fēng)ロ設(shè)置在所述盒體的第一側(cè)壁的內(nèi)表面上，所述盒體的第一側(cè)壁與所述底壁的第一端相対。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的顯影液的噴灑裝置，其特征在于，所述噴頭設(shè)置在所述盒體的頂壁的內(nèi)表面上，所述吹風(fēng)ロ設(shè)置在所述盒體的第二側(cè)壁的內(nèi)表面上，所述盒體的第二側(cè)壁與所述底壁的第一端相連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的顯影液的噴灑裝置，其特征在干， 所述盒體的底壁與水平面的傾斜角度在5度-45度之間，所述底壁的設(shè)置有液體出ロ的第一端低于所述底壁的未設(shè)置液體出口的第二端。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的顯影液的噴灑裝置，其特征在于，所述盒體的底壁設(shè)置有液體出ロ的第一端連接有緩沖導(dǎo)板。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的顯影液的噴灑裝置，其特征在干，所述緩沖導(dǎo)板的傾斜角度和所述盒體的底壁的傾斜角度一致。
10.根據(jù)權(quán)利要求I所述的顯影液的噴灑裝置，其特征在于，所述顯影液的噴灑裝置比所述玻璃基板高O. 5CM-2CM。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種顯影液的噴灑裝置，為解決現(xiàn)有技術(shù)中在玻璃基板上噴灑顯影液不均勻的技術(shù)問題而設(shè)計。所述的顯影液的噴灑裝置，包括密閉的盒體，所述盒體的底壁的第一端設(shè)置有一液體出口，所述液體出口的寬度與待噴灑顯影液的玻璃基板的寬度一致；噴頭，設(shè)置在所述盒體的內(nèi)壁上，所述噴頭連接有顯影液容器，用于向所述盒體內(nèi)噴灑顯影液，所述噴頭噴出的顯影液經(jīng)由所述液體出口排出。本實(shí)用新型能夠在玻璃基板上均勻地噴灑顯影液。
文檔編號G03F7/30GK202486499SQ20112054113
公開日2012年10月10日 申請日期2011年12月21日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月21日
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