本發(fā)明涉及半導(dǎo)體光刻機(jī)領(lǐng)域，特別涉及光刻機(jī)系統(tǒng)和運(yùn)動(dòng)臺(tái)直線電機(jī)定子自動(dòng)復(fù)位裝置和方法。

背景技術(shù)：

光刻是半導(dǎo)體制造過(guò)程中一道非常重要的工序，它是將一系列掩模版上的芯片圖形通過(guò)曝光依次轉(zhuǎn)移到硅片相應(yīng)層上的工藝過(guò)程，被認(rèn)為是大規(guī)模集成電路制造中的核心步驟。半導(dǎo)體制造中一系列復(fù)雜而耗時(shí)的光刻工藝主要由相應(yīng)的光刻機(jī)來(lái)完成。

請(qǐng)參照?qǐng)D1，光刻機(jī)主體部分中用于承載掩模版的掩模臺(tái)60和工作臺(tái)40、以及投影物鏡50共同放置在內(nèi)部框架30之上，并通過(guò)減振器20隔離來(lái)自地基10的振動(dòng)。光刻機(jī)中的工作臺(tái)40主要為承載硅片、并攜帶硅片在投影物鏡50下完成與掩模臺(tái)60相匹配的曝光運(yùn)動(dòng)。當(dāng)工作臺(tái)40和掩模臺(tái)60在整機(jī)內(nèi)部框架30之內(nèi)時(shí)，工作臺(tái)40需要相對(duì)于掩膜臺(tái)60作運(yùn)動(dòng)，則工作臺(tái)40的運(yùn)動(dòng)時(shí)對(duì)帶動(dòng)工作臺(tái)40運(yùn)動(dòng)的部件(一般由運(yùn)動(dòng)臺(tái)帶動(dòng)工作臺(tái)40移動(dòng)，運(yùn)動(dòng)臺(tái)由直線電機(jī)帶動(dòng))會(huì)產(chǎn)生運(yùn)動(dòng)反力，上述運(yùn)動(dòng)反力將直接作用于內(nèi)部框架30上，從而造成整個(gè)內(nèi)部框架30的振動(dòng)加劇，如果其振動(dòng)指標(biāo)超過(guò) 整個(gè)光刻機(jī)的性能約束將無(wú)法進(jìn)行正常的曝光工作。

現(xiàn)有技術(shù)提供了一種光刻機(jī)運(yùn)動(dòng)臺(tái)反運(yùn)動(dòng)力抵消裝置及應(yīng)用其的光刻機(jī)，光刻機(jī)運(yùn)動(dòng)臺(tái)反作用力抵消裝置包括反作用力框架、配重塊、阻尼元件以及彈性元件。配重塊設(shè)置于光刻機(jī)運(yùn)動(dòng)臺(tái)電機(jī)定子的一端，另一端連接于反作用力框架。彈性元件設(shè)置于電機(jī)定子的兩端。電機(jī)定子設(shè)置在滑塊上，滑塊設(shè)置在運(yùn)動(dòng)臺(tái)大理石之上的固定直線導(dǎo)軌上，滑塊帶動(dòng)電機(jī)定子沿固定直線導(dǎo)軌做直線運(yùn)動(dòng)。當(dāng)電機(jī)定子與滑塊、配重塊一起在電機(jī)驅(qū)動(dòng)反作用力作用下沿導(dǎo)軌做直線運(yùn)動(dòng)時(shí)，電機(jī)定子將會(huì)沿反作用力方向運(yùn)動(dòng)，其功能在配重塊與阻尼元件的作用下逐漸衰減。這種光刻機(jī)運(yùn)動(dòng)臺(tái)反作用力抵消裝置緩沖行程小，并可達(dá)到衰減運(yùn)動(dòng)臺(tái)反作用力的效果。但是上述光刻機(jī)結(jié)構(gòu)中直接將反作用力框架與基礎(chǔ)框架相連接，在運(yùn)動(dòng)臺(tái)和地基之間采用被動(dòng)式的阻尼器提供阻尼，由于阻尼器存在摩擦力，在采用彈性元件如彈簧使電機(jī)定子的復(fù)位過(guò)程中，運(yùn)動(dòng)臺(tái)無(wú)法準(zhǔn)確的回復(fù)行程原點(diǎn)。同時(shí)，由于彈簧的彈性系數(shù)等的偏差，導(dǎo)致兩側(cè)的彈簧出力情況也不一樣。在運(yùn)動(dòng)臺(tái)反復(fù)的往復(fù)運(yùn)動(dòng)中，導(dǎo)致電機(jī)的定子復(fù)位距離行程原點(diǎn)存在偏差，如果電機(jī)定子不定期進(jìn)行人工復(fù)位，將影響運(yùn)動(dòng)臺(tái)的行程，影響阻尼器和彈簧的性能。

因此有必要發(fā)明一種能夠使電機(jī)定子定期自動(dòng)復(fù)位至指定位置的裝置，無(wú)需進(jìn)行人工復(fù)位，即可使運(yùn)動(dòng)臺(tái)保持自動(dòng)運(yùn)行，節(jié)省時(shí)間，提高效率。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提出了一種運(yùn)動(dòng)臺(tái)電機(jī)定子自動(dòng)復(fù)位裝置，以及一種光刻機(jī)系統(tǒng)和運(yùn)動(dòng)臺(tái)直線電機(jī)定子自動(dòng)復(fù)位方法，其在電機(jī)定子上連接復(fù)位執(zhí)行元件，并在電機(jī)上安裝能夠檢測(cè)電機(jī)定子實(shí)時(shí)位置與位移的檢測(cè)裝置，當(dāng)電機(jī)定子未回復(fù)至指定位置時(shí)，由復(fù)位執(zhí)行元件將電機(jī)定子移動(dòng)至指定位置，無(wú)需定期進(jìn)行人工復(fù)位，即可使運(yùn)動(dòng)臺(tái)保持自動(dòng)運(yùn)行，省時(shí)省力。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種運(yùn)動(dòng)臺(tái)電機(jī)定子自動(dòng)復(fù)位裝置，包括

一復(fù)位到位傳感器，與電機(jī)定子的原始位置對(duì)應(yīng)，用于檢測(cè)所述電機(jī)定子的實(shí)時(shí)位置；

一位移檢測(cè)傳感裝置，固定于所述電機(jī)定子上，用于檢測(cè)所述電機(jī)定子相對(duì)于所述原始位置的位移；

一復(fù)位執(zhí)行元件，與所述電機(jī)定子連接，用于使所述電機(jī)定子復(fù)位至所述原始位置；

一控制系統(tǒng)，用于接收所述復(fù)位到位傳感器、所述位移檢測(cè)傳感裝置的檢測(cè)數(shù)據(jù)，并且根據(jù)所述檢測(cè)數(shù)據(jù)，對(duì)所述復(fù)位執(zhí)行元件發(fā)送信號(hào)，使所述復(fù)位執(zhí)行元件將所述電機(jī)定子復(fù)位至所述原始位置。

本發(fā)明還提供一種光刻機(jī)系統(tǒng)，從上至下包括

一照明系統(tǒng)，用于提供曝光光源；

一掩膜臺(tái)，用于放置掩膜版；

一內(nèi)部框架，內(nèi)部從上至下依次包括用于收集所述照明系統(tǒng)提供 的照明光的一投影物鏡和用于承載基板的一工作臺(tái)；

一減振器；

一地基，用于承載所述光刻機(jī)系統(tǒng)；

所述工作臺(tái)固定在運(yùn)動(dòng)臺(tái)上并由所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)帶動(dòng)作平面運(yùn)動(dòng)，所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)由若干個(gè)直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，所述直線電機(jī)上設(shè)置有如權(quán)利要求1所述的電機(jī)定子自動(dòng)復(fù)位裝置。

作為優(yōu)選，具有兩個(gè)所述直線電機(jī)，兩個(gè)所述直線電機(jī)長(zhǎng)度方向相互平行，以所述直線電機(jī)的長(zhǎng)度方向?yàn)閤向，在同一個(gè)平面上，以垂直于所述直線電機(jī)長(zhǎng)度方向的方向?yàn)閥向，兩個(gè)所述直線電機(jī)上設(shè)置有x向?qū)к?，兩個(gè)所述直線電機(jī)之間固定有y向?qū)к墸鲞\(yùn)動(dòng)臺(tái)由兩個(gè)運(yùn)動(dòng)臺(tái)板組成，每個(gè)所述直線電機(jī)的動(dòng)子固定一個(gè)所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)板，所述動(dòng)子帶動(dòng)所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)板在x向移動(dòng)。

作為優(yōu)選，還包括一反力外引框架，由若干個(gè)支撐架構(gòu)成，所述支撐架一端固定于所述地基上，另一端固定在所述直線電機(jī)上，將所述直線電機(jī)的振動(dòng)傳遞到所述地基。

作為優(yōu)選，還包括一解耦結(jié)構(gòu)，一端連接于所述復(fù)位執(zhí)行元件上，另一端通過(guò)連接板固定在所述支撐架上。

作為優(yōu)選，所述解耦結(jié)構(gòu)為疊層橡膠。

作為優(yōu)選，在所述支撐架與所述直線電機(jī)之間還安裝有力緩沖元件。

作為優(yōu)選，所述力緩沖元件為阻尼器。

作為優(yōu)選，所述力緩沖元件為彈簧。

作為優(yōu)選，所述復(fù)位執(zhí)行元件為驅(qū)動(dòng)電機(jī)。

作為優(yōu)選，所述復(fù)位到位傳感器為光電傳感器。

作為優(yōu)選，所述位移檢測(cè)傳感裝置為光柵尺。

本發(fā)明還提供一種運(yùn)動(dòng)臺(tái)電機(jī)定子自動(dòng)復(fù)位方法，當(dāng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)處于原始位置時(shí)，電機(jī)的定子的位置定義為原始位置，在所述定子的原始位置相對(duì)應(yīng)之處安裝復(fù)位到位傳感器，在所述定子上安裝位移檢測(cè)傳感裝置，所述定子連接由控制系統(tǒng)控制的復(fù)位執(zhí)行元件，當(dāng)電機(jī)的動(dòng)子帶動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)運(yùn)動(dòng)時(shí)，所述定子受到所述動(dòng)子的反作用力而發(fā)生位移，所述復(fù)位到位傳感器檢測(cè)所述定子的實(shí)時(shí)坐標(biāo)并發(fā)送給所述控制系統(tǒng)，所述位移檢測(cè)傳感裝置檢測(cè)所述定子相對(duì)于所述原始位置的位移并發(fā)送給所述控制系統(tǒng)，由控制系統(tǒng)根據(jù)接收到的數(shù)據(jù)計(jì)算所述定子回復(fù)至所述原始位置時(shí)所需要移動(dòng)的位移，并控制所述復(fù)位執(zhí)行元件移動(dòng)所述定子，使所述定子移動(dòng)至所述原始位置。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明提供一種運(yùn)動(dòng)臺(tái)電機(jī)定子自動(dòng)復(fù)位裝置，包括

一復(fù)位到位傳感器，與電機(jī)定子的零位位置對(duì)應(yīng)，用于檢測(cè)所述電機(jī)定子的實(shí)時(shí)位置；

一位移檢測(cè)傳感裝置，固定于所述電機(jī)定子上，用于檢測(cè)所述電機(jī)定子相對(duì)于所述零位位置的位移；

一復(fù)位執(zhí)行元件，與所述電機(jī)定子連接，用于使所述電機(jī)定子復(fù)位至所述零位位置；

一控制系統(tǒng)，用于接收所述復(fù)位到位傳感器、所述位移檢測(cè)傳感 裝置的檢測(cè)數(shù)據(jù)，并且根據(jù)所述檢測(cè)數(shù)據(jù)，對(duì)所述復(fù)位執(zhí)行元件發(fā)送信號(hào)，使所述復(fù)位執(zhí)行元件將所述電機(jī)定子復(fù)位至所述零位位置。

本發(fā)明還提供一種光刻機(jī)系統(tǒng)，從上至下包括

一照明系統(tǒng)，用于提供曝光光源；

一掩膜臺(tái)，用于放置掩膜版；

一內(nèi)部框架，內(nèi)部從上至下依次包括用于收集所述照明系統(tǒng)提供的照明光的一投影物鏡和用于成在基板的一工作臺(tái)；

一減振器；

一地基，用于承載所述光刻機(jī)系統(tǒng)；

所述工作臺(tái)固定在運(yùn)動(dòng)臺(tái)上并由所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)帶動(dòng)作平面運(yùn)動(dòng)，所述運(yùn)動(dòng)臺(tái)由若干個(gè)直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，所述直線電機(jī)上設(shè)置有如權(quán)利要求1所述的電機(jī)定子自動(dòng)復(fù)位裝置。

本發(fā)明還提供一種運(yùn)動(dòng)臺(tái)電機(jī)定子自動(dòng)復(fù)位方法，在與運(yùn)動(dòng)臺(tái)零位位置相對(duì)應(yīng)之處安裝復(fù)位到位傳感器，在所述電機(jī)的定子上安裝位移檢測(cè)傳感裝置，所述定子連接由控制系統(tǒng)控制的復(fù)位執(zhí)行元件，當(dāng)電機(jī)的動(dòng)子帶動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)運(yùn)動(dòng)時(shí)，所述定子受到所述動(dòng)子的反作用力而發(fā)生位移，所述復(fù)位到位傳感器檢測(cè)所述定子的實(shí)時(shí)坐標(biāo)并發(fā)送給所述控制系統(tǒng)，所述位移檢測(cè)傳感裝置檢測(cè)所述定子相對(duì)于所述零位位置的位移并發(fā)送給所述控制系統(tǒng)，由控制系統(tǒng)根據(jù)接收到的數(shù)據(jù)計(jì)算所述定子回復(fù)至所述零位位置時(shí)所需要移動(dòng)的位移，并控制所述復(fù)位執(zhí)行元件移動(dòng)所述定子，使所述定子移動(dòng)至所述零位位置。

本發(fā)明提供的運(yùn)動(dòng)臺(tái)電機(jī)定子自動(dòng)復(fù)位裝置和光刻機(jī)系統(tǒng)以及 運(yùn)動(dòng)臺(tái)電機(jī)定子自動(dòng)復(fù)位方法中，皆在電機(jī)定子上連接復(fù)位執(zhí)行元件，并在電機(jī)上安裝能夠檢測(cè)電機(jī)定子實(shí)時(shí)位置與位移的檢測(cè)裝置，當(dāng)電機(jī)定子未回復(fù)至指定位置時(shí)，由復(fù)位執(zhí)行元件將電機(jī)定子移動(dòng)至指定位置，無(wú)需定期進(jìn)行人工復(fù)位，即可實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)臺(tái)的自動(dòng)運(yùn)行，省時(shí)省力且提供了效率。

附圖說(shuō)明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中光刻機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明提供的運(yùn)動(dòng)臺(tái)結(jié)構(gòu)側(cè)視圖；

圖3為本發(fā)明提供的運(yùn)動(dòng)臺(tái)結(jié)構(gòu)俯視圖；

圖4為本發(fā)明提供的光刻機(jī)結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本發(fā)明提供的運(yùn)動(dòng)臺(tái)直線電機(jī)定子自動(dòng)復(fù)位方法流程圖。

現(xiàn)有技術(shù)圖示：10-地基、20-減振器、30-內(nèi)部框架、40-工件臺(tái)、50-投影物鏡、60-掩膜臺(tái)、70-照明系統(tǒng)；

本發(fā)明圖示：001-減振器、002-支撐架、003-大理石、004-運(yùn)動(dòng)臺(tái)、0041-運(yùn)動(dòng)臺(tái)板、005-阻尼器、006-彈簧、0071-連接板、0072-固定板、008-解耦結(jié)構(gòu)、009-復(fù)位執(zhí)行元件、010-直線電機(jī)、011-定子、012-動(dòng)子、013-光柵尺、014-復(fù)位到位傳感器；

100-地基、200-減振器、300-內(nèi)部框架、400-工件臺(tái)、500-投影物鏡、600-掩膜臺(tái)、700-照明系統(tǒng)、800-反力支架。

具體實(shí)施方式

為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式做詳細(xì)的說(shuō)明。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種電機(jī)定子自動(dòng)復(fù)位裝置，包括

一復(fù)位到位傳感器014，位于電機(jī)定子011的零位位置上，用于檢測(cè)所述電機(jī)定子011的實(shí)時(shí)位置；

一位移檢測(cè)傳感裝置013，固定于所述電機(jī)定子011上，用于檢測(cè)所述電機(jī)定子011相對(duì)于所述零位位置的位移；

一復(fù)位執(zhí)行元件009，與所述電機(jī)定子011連接，用于使所述電機(jī)定子011復(fù)位至所述零位位置；

一控制系統(tǒng)，用于接收所述復(fù)位到位傳感器014、所述位移檢測(cè)傳感裝置013的檢測(cè)數(shù)據(jù)，并且根據(jù)所述檢測(cè)數(shù)據(jù)，對(duì)所述復(fù)位執(zhí)行元件發(fā)送信號(hào)，使所述復(fù)位執(zhí)行元件將所述電機(jī)定子011復(fù)位至所述零位位置。

請(qǐng)參照?qǐng)D2至圖4，本發(fā)明提供的電機(jī)定子自動(dòng)復(fù)位裝置主要可運(yùn)用于光刻機(jī)系統(tǒng)上，該光刻機(jī)系統(tǒng)從上至下包括

一照明系統(tǒng)700，用于提供曝光光源；

一掩膜臺(tái)600，用于放置掩膜版(未圖示)；

一內(nèi)部框架300，內(nèi)部從上至下依次包括用于收集所述照明系統(tǒng)700提供的照明光的一投影物鏡500和用于承載基板(未圖示)的一工作臺(tái)400；

一減振器200；

一地基100，用于承載上述光刻機(jī)系統(tǒng)；

該光刻機(jī)系統(tǒng)的運(yùn)作過(guò)程為：由照明系統(tǒng)700提供照明光，照明光照射至掩膜臺(tái)600上的掩膜版上，照明光穿透掩膜版上的透光部分并依次通過(guò)投影物鏡500照射至工件臺(tái)400上的基板上，從而將掩膜版上的圖案通過(guò)光刻工藝印刷至基板上。

由于在一片基板被印刷完成后，需要工件臺(tái)400將基板移出，將該基板卸載，并上載新的基板至工件臺(tái)400上，工件臺(tái)400然后移動(dòng)至投影物鏡500下方，使新的基板接收曝光。

工件臺(tái)400由位于工件臺(tái)400下方的運(yùn)動(dòng)臺(tái)004帶動(dòng)，請(qǐng)參照?qǐng)D2-3，運(yùn)動(dòng)臺(tái)004主要由兩個(gè)位置相對(duì)的運(yùn)動(dòng)臺(tái)板0041組成，每個(gè)運(yùn)動(dòng)臺(tái)板0041皆放置于大理石003上，大理石平臺(tái)003具有方形臺(tái)面，沿方形臺(tái)面兩個(gè)相對(duì)的面各放置一個(gè)直線電機(jī)010，兩個(gè)直線電機(jī)010的長(zhǎng)度方向相互平行，設(shè)置該方向?yàn)閤向，在該平面上，與x向垂直的方向設(shè)定為y向，建立平面坐標(biāo)系。在每一個(gè)x向的直線電機(jī)010上具有定子011和動(dòng)子012，在電磁場(chǎng)的作用力下，動(dòng)子012相對(duì)于定子011作移動(dòng)，而動(dòng)子012與運(yùn)動(dòng)臺(tái)板0041連接，從而帶動(dòng)了運(yùn)動(dòng)臺(tái)板0041的移動(dòng)。

由于動(dòng)子012是由于相對(duì)于定子011的電磁力所作的運(yùn)動(dòng)，因此在動(dòng)子012受到電磁力的情況下，定子011也會(huì)受到相反的力而移動(dòng)。

在定子011上安裝復(fù)位執(zhí)行元件009，一般地，復(fù)位執(zhí)行元件009可以為驅(qū)動(dòng)電機(jī)，也可以為其它具有驅(qū)動(dòng)定子011移動(dòng)的裝置，其可通過(guò)連接板0071與定子011連接，并且?guī)?dòng)定子011移動(dòng)。

運(yùn)動(dòng)臺(tái)板0041的運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中，設(shè)置運(yùn)動(dòng)臺(tái)板0041初始位置即 為零位位置，或者可以根據(jù)曝光工藝要求，設(shè)定運(yùn)動(dòng)臺(tái)板0041的零位位置，當(dāng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)板0041位于該位置時(shí)，定子011的位置定義為原始位置。請(qǐng)參照?qǐng)D3，在大理石平臺(tái)003上，在與定子011原始位置對(duì)應(yīng)的部位上設(shè)置復(fù)位到位傳感器014，該復(fù)位到位傳感器014可以為光電傳感器等傳感元器件，其主要用于感應(yīng)定子011的實(shí)時(shí)位置，并發(fā)出包含有該實(shí)時(shí)位置數(shù)據(jù)的信號(hào)。

在大理石平臺(tái)003上，固定有光柵尺013，并將光柵尺013的讀數(shù)頭(未圖示)安裝在定子011上，將定子011的原始位置的坐標(biāo)輸入光柵尺013中，這樣當(dāng)定子011在移動(dòng)時(shí)，讀數(shù)頭跟隨定子011移動(dòng)，并將定子011的實(shí)時(shí)位置坐標(biāo)發(fā)送至光柵尺013上，光柵尺013計(jì)算出定子011相對(duì)于原始位置的位移，并發(fā)出包含有該位移數(shù)據(jù)的信號(hào)。

在光刻機(jī)系統(tǒng)中設(shè)置有能夠接收上述由光柵尺013和復(fù)位到位傳感器014發(fā)出的信號(hào)的控制系統(tǒng)，其還與復(fù)位執(zhí)行元件009連接，控制系統(tǒng)將上述信號(hào)接收后進(jìn)行計(jì)算處理，根據(jù)處理后得出的數(shù)據(jù)，控制復(fù)位執(zhí)行元件009，使其將定子011移動(dòng)至原始位置。

圖3中僅僅顯示出了帶動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)004在x向運(yùn)動(dòng)的直線電機(jī)010，在y向也安裝有能夠帶動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)004作y向運(yùn)動(dòng)的直線電機(jī)010，其帶動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)004運(yùn)動(dòng)的原理、以及電機(jī)上定子自動(dòng)復(fù)位裝置的原理與安裝與上述一致，故在此不作贅述。

請(qǐng)參照?qǐng)D2，復(fù)位執(zhí)行元件009一端與定子011連接，另一端則連接一解耦結(jié)構(gòu)008，該解耦結(jié)構(gòu)008為大阻尼零件，如疊層橡膠等， 當(dāng)復(fù)位執(zhí)行元件009在帶動(dòng)定子011移動(dòng)至原始位置時(shí)，由于定子011受到動(dòng)子012的反作用力，在復(fù)位執(zhí)行元件009需要克服該反作用力才能將定子011移動(dòng)至原始位置，因此復(fù)位執(zhí)行元件009在克服反作用力的同時(shí)必然產(chǎn)生振動(dòng)，則解耦結(jié)構(gòu)008的大阻尼特性能將該振動(dòng)吸收緩解。

較佳地，在工作臺(tái)400四周，設(shè)置反外引力框架800，反外引力框架800由四個(gè)位于大理石003四角的支撐架002組成，支撐架002一端固定在地基001上并向上延伸至與直線電機(jī)010的相同的高度。

較佳地，解耦結(jié)構(gòu)008通過(guò)固定板0072固定在反外引力框架800的支撐架002上，解耦結(jié)構(gòu)008將吸收緩解的復(fù)位執(zhí)行元件009的振動(dòng)通過(guò)支撐架002傳遞至地基100上。

較佳地，在支撐架002與定子011之間還可以安裝力緩沖元件用于緩沖定子011所受到的反作用力，并且將該反作用力通過(guò)支撐架002傳遞至地基100上，該力緩沖元件為彈簧006或者阻尼器005，或者可同時(shí)將兩者皆安裝在定子011與支撐架002之間，增強(qiáng)緩沖與傳遞振動(dòng)的效果。

本發(fā)明還提供一種運(yùn)動(dòng)臺(tái)直線電機(jī)定子自動(dòng)復(fù)位方法，如上述光刻機(jī)系統(tǒng)中運(yùn)動(dòng)臺(tái)結(jié)構(gòu)一致，即在大理石003上對(duì)應(yīng)定子011原始位置之處安裝復(fù)位到位傳感器014，在直線電機(jī)010的定子011上安裝位移檢測(cè)傳感裝置013，將所述定子011連接由控制系統(tǒng)控制的復(fù)位執(zhí)行元件009，當(dāng)直線電機(jī)的動(dòng)子012帶動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)板0041運(yùn)動(dòng)時(shí)，所述定子011受到所述動(dòng)子012的反作用力而發(fā)生位移。

請(qǐng)參照?qǐng)D5，使用上述結(jié)構(gòu)時(shí)，首先動(dòng)子012帶動(dòng)運(yùn)動(dòng)臺(tái)板0041在x向移動(dòng)，同時(shí)定子011受到與動(dòng)子012之間反作用力的影響產(chǎn)生了位移，在一套曝光流程完畢后，由復(fù)位到位傳感器014檢測(cè)定子011的實(shí)時(shí)坐標(biāo)并轉(zhuǎn)化成數(shù)據(jù)信號(hào)發(fā)送給控制系統(tǒng)；位移檢測(cè)傳感裝置013檢測(cè)定子011相對(duì)于原始位置的位移并轉(zhuǎn)化成數(shù)據(jù)信號(hào)發(fā)送給控制系統(tǒng)；由控制系統(tǒng)根據(jù)接收到的上述數(shù)據(jù)計(jì)算定子011回復(fù)至原始位置時(shí)所需要移動(dòng)的位移，并控制復(fù)位執(zhí)行元件009移動(dòng)定子011，使定子011移動(dòng)至原始位置。

較佳地，由于復(fù)位執(zhí)行元件009連接了解耦結(jié)構(gòu)008，且解耦結(jié)構(gòu)008與支撐架002連接，則在復(fù)位執(zhí)行元件009將定子011移動(dòng)至原始位置的過(guò)程中所受到的振動(dòng)由解耦結(jié)構(gòu)008吸收并緩解，同時(shí)傳遞至支撐架002并由支撐架002傳遞至地基100，從而減少了復(fù)位執(zhí)行元件009工作過(guò)程中的振動(dòng)對(duì)整個(gè)光刻機(jī)系統(tǒng)的影響。

本發(fā)明對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行了描述，但本發(fā)明不僅限于上述實(shí)施例。顯然本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包括這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。