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引線框制造用曝光裝置的制作方法

文檔序號:12512274閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種引線框制造用曝光裝置,包括:主體(10),其設(shè)置于兩面涂覆有感光膜的銅板(1)的移送路徑的中間部;第一及第二掩模(21、22),其以接近所述銅板(1)兩面的方式設(shè)置于所述主體(10);照明單元(30),其通過所述第一及第二掩模(21、22)向所述銅板(1)的兩面照射光線,以使涂覆于所述銅板(1)的感光膜感光,

其特征在于,

所述第一及第二掩模(21、22)設(shè)置成沿上下方向延伸,

所述銅板(1)被配置成,其中間部經(jīng)過設(shè)置于所述主體(10)的導(dǎo)向輥(41、42、43、44)外周面,并穿過所述第一及第二掩模(21、22)之間的空間部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的引線框制造用曝光裝置,其特征在于,

還包括掩模支撐單元(50),其設(shè)置于所述主體(10)上,用于支撐所述第一及第二掩模(21、22);

所述掩模支撐單元(50)包括:

支撐框架(51),其設(shè)置于所述主體(10)上,用于固定所述第一掩模(21);

間隔調(diào)節(jié)單元(52),其設(shè)置于所述支撐框架(51),并連接于所述第二掩模(22),用于調(diào)節(jié)所述第二掩模(22)和第一掩模(21)的間隔;

間隔調(diào)節(jié)輥(53),其位于沿上下方向延伸的銅板(1)的前方或后方,借助于致動器(53a)而前進(jìn)后退,以調(diào)節(jié)所述銅板(1)的中間部和第一掩模(21)的間隔。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的引線框制造用曝光裝置,其特征在于,

還包括移送單元(60),其設(shè)置于所述主體(10)上,對穿過所述第一及第二掩模(21、22)之間的空間部的銅板(1)進(jìn)行牽拉,并向后方移送;

所述移送單元(60)包括:

導(dǎo)軌(61),其與所述銅板(1)的延伸方向平行地配置于穿過所述第一及第二掩模(21、22)之間的空間部的銅板(1)的路徑上;

夾持器(62),其以能夠沿前后方向滑動的方式結(jié)合于所述導(dǎo)軌(61),并選擇性地結(jié)合于穿過所述第一及第二掩模(21、22)之間的空間部的銅板(1);

前進(jìn)后退驅(qū)動單元(63),其連接于所述夾持器(62),使所述夾持器(62)沿導(dǎo)軌(61)前進(jìn)后退。

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