本發(fā)明涉及一種能夠防止因以玻璃材質(zhì)構(gòu)成的第一及第二掩模下垂而發(fā)生誤差的新結(jié)構(gòu)的引線框制造用曝光裝置。

背景技術(shù)：

一般而言，用于制作半導(dǎo)體封裝件的引線框經(jīng)過如下步驟制作：在成為引線框材料的銅板兩面附著或涂敷感光膜的涂敷步驟；利用曝光裝置在所述感光膜上使既定的圖案感光的感光步驟；對兩面感光的銅板進(jìn)行蝕刻的蝕刻步驟等。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

要解決的技術(shù)問題

本發(fā)明旨在解決所述問題，其目的在于提供一種能夠防止因以玻璃材質(zhì)構(gòu)成的第一及第二掩模下垂而發(fā)生誤差的新結(jié)構(gòu)的引線框制造用曝光裝置。

解決問題的手段

為了達(dá)成所述目的，本發(fā)明提供一種引線框制造用曝光裝置，包括：主體10，其設(shè)置于兩面涂覆有感光膜的銅板1的移送路徑的中間部；第一及第二掩模21、22，其以接近所述銅板1兩面的方式設(shè)置于所述主體10；照明單元30，其通過所述第一及第二掩模21、22向所述銅板1的兩面照射光線，以使所述銅板1涂敷的感光膜感光，其特征在于，所述第一及第二掩模21、22設(shè)置成沿上下方向延伸，所述銅板1的中間部經(jīng)過所述主體10具備的導(dǎo)向輥41、42、43、44外周面并穿過所述第一及第二掩模21、22之間的空間部。

根據(jù)本發(fā)明的另一特征，提供一種引線框制造用曝光裝置，其特征在于，還包括掩模支撐單元50，其設(shè)置于所述主體10上，用于支撐所述第一及第二掩模21、22；所述掩模支撐單元50包括：支撐框架51，其設(shè)置于所述主體10上，用于固定所述第一掩模21；間隔調(diào)節(jié)單元52，其設(shè)置于所述支撐框架51，并連接于所述第二掩模22，用于調(diào)節(jié)所述第二掩模22和第一掩模21的間隔；間隔調(diào)節(jié)輥53，其位于沿上下方向延伸的銅板1的前方或后方，借助于致動(dòng)器53a而前進(jìn)后退，以調(diào)節(jié)所述銅板1的中間部和第一掩模21的間隔。

根據(jù)本發(fā)明的又一特征，提供一種引線框制造用曝光裝置，其特征在于，還包括移送單元60，其設(shè)置于所述主體10上，對穿過所述第一及第二掩模21、22之間空間部的銅板1進(jìn)行牽拉，并向后方移送；所述移送單元60包括：導(dǎo)軌61，其與所述銅板1的延伸方向平行地配置于穿過所述第一及第二掩模21、22之間的空間部的銅板1的路徑上；夾持器62，其以能沿前后方向滑動(dòng)的方式結(jié)合于所述導(dǎo)軌61，并選擇性地結(jié)合于穿過所述第一及第二掩模21、22之間的空間部的銅板1；前進(jìn)后退驅(qū)動(dòng)單元63，其連接于所述夾持器62，使得所述夾持器62沿導(dǎo)軌61前進(jìn)后退。

發(fā)明的效果

就本發(fā)明的引線框制造用曝光裝置而言，所述第一及第二掩模21、22沿上下方向延伸設(shè)置，所述銅板1的中間部經(jīng)過配置于所述主體10的導(dǎo)向輥41、42、43、44的外周面并通過所述第一及第二掩模21、22之間的空間部。

因此，能夠防止由玻璃面板構(gòu)成的第一及第二掩模21、22因自重而向下側(cè)下垂，當(dāng)利用所述照明單元30照射光線而使銅板1的兩側(cè)面涂敷的感光膜感光時(shí)發(fā)生誤差，最終生產(chǎn)的引線框因而發(fā)生不良的現(xiàn)象。

附圖說明

圖1是圖示本發(fā)明的引線框制造用曝光裝置的側(cè)面構(gòu)成圖，

圖2是圖示本發(fā)明的引線框制造用曝光裝置的平面構(gòu)成圖，

圖3是圖示本發(fā)明的引線框制造用曝光裝置的主要部分的側(cè)面構(gòu)成圖，

圖4及圖5是圖示本發(fā)明的引線框制造用曝光裝置的掩模支撐單元的側(cè)面構(gòu)成圖，

圖6是用于說明本發(fā)明的引線框制造用曝光裝置的作用的參考圖。

最佳實(shí)施方式

下面根據(jù)附帶的示例圖，詳細(xì)說明本發(fā)明。

圖1至圖6圖示了本發(fā)明的引線框制造用曝光裝置，與以往相同的是具備：主體10，其設(shè)置于兩面涂覆有感光膜的銅板1的中間部；第一及第二掩模21、22，其接近所述銅板1中間部兩面地設(shè)置于所述主體10；照明單元30，其通過所述第一及第二掩模21、22向所述銅板1的兩面照射光線，使得所述銅板1涂敷的感光膜感光。

此時(shí)，如圖1及圖2所示，在所述主體10的前后方具備卷取兩面涂覆有感光膜的銅板1的開卷機(jī)2、卷取從所述開卷機(jī)2解開的銅板1的收卷機(jī)3，使在所述開卷機(jī)2開卷的銅板1穿過所述主體10后卷取于所述收卷機(jī)3。

而且，根據(jù)本發(fā)明，所述第一及第二掩模21、22沿上下方向延伸設(shè)置，所述銅板1配置成，其中間部經(jīng)過所述主體10設(shè)置的導(dǎo)向輥41、42、43、44的外周面并穿過所述第一及第二掩模21、22之間的空間部。

如果詳細(xì)對此進(jìn)行說明，所述導(dǎo)向輥41、42、43、44如圖3所示，由設(shè)置于所述主體10的前方上側(cè)的第一導(dǎo)向輥41、位于所述第一導(dǎo)向輥41的后方的第二導(dǎo)向輥42、位于所述第二導(dǎo)向輥42的下側(cè)的第三導(dǎo)向輥43、位于所述第三導(dǎo)向輥43的后方的第四導(dǎo)向輥44構(gòu)成，從所述開卷機(jī)2開卷的銅板1通過所述第一導(dǎo)向輥41而向所述第二導(dǎo)向輥42延伸，沿著所述第二導(dǎo)向輥42的外周面向下側(cè)延伸，向下側(cè)延伸的銅板1的下端部沿著所述第三導(dǎo)向輥43的外周面向后方延伸后，沿著所述第三導(dǎo)向輥43的外周面，供應(yīng)給所述收卷機(jī)3。

因此，在穿過所述第二導(dǎo)向輥42和所述第三導(dǎo)向輥43之間的銅板1的中間部，形成有豎直延伸的所述豎直部1a。

而且，在所述主體10中具備：掩模支撐單元50，其支撐所述第一及第二掩模21、22；移送單元60，其牽拉穿過所述第一及第二掩模21、22之間的銅板1并向后方移送。

所述掩模支撐單元50如圖4及圖5所示，包括：支撐框架51，其設(shè)置于所述主體10，用于固定所述第一掩模21；間隔調(diào)節(jié)單元52，其設(shè)置于所述支撐框架51，連接于所述第二掩模22，用于調(diào)節(jié)所述第二掩模22和第一掩模21的間隔；間隔調(diào)節(jié)輥53，其位于沿上下方向延伸的銅板1的前方或后方，借助于致動(dòng)器53a而前進(jìn)后退，調(diào)節(jié)所述銅板1的中間部和第一掩模21的間隔。

所述支撐框架51包圍所述銅板1的豎直部1a外周部。

所述第一掩模21以與所述銅板1的豎直部1a平行的方式豎直配置，并以接近所述銅板1的豎直部1a前方的方式固定于所述支撐框架51。

所述間隔調(diào)節(jié)單元52包括：支撐面板52a，其結(jié)合于所述第二掩模22的后方，支撐所述第二掩模22；導(dǎo)軌52b，其沿前后方向延伸地設(shè)置于所述支撐框架51；滑動(dòng)塊52c，其以能夠前進(jìn)后退的方式結(jié)合于所述導(dǎo)軌52b，結(jié)合于所述支撐面板52a的外周部；導(dǎo)螺桿52d，其沿前后方向延伸地設(shè)置，能旋轉(zhuǎn)地結(jié)合于所述導(dǎo)軌52b，中間部以螺紋方式結(jié)合于所述滑動(dòng)塊52c；驅(qū)動(dòng)電機(jī)52e，其連接于所述導(dǎo)螺桿52d。

此時(shí)，所述第二掩模22與所述銅板1的豎直部1a平行地豎直配置，固定于所述支撐面板52a以位于所述銅板1的豎直部1a后方。

而且，所述支撐面板52a由在中央部形成有貫通孔的四邊框形態(tài)構(gòu)成，使所述照明單元30照射的光線可以穿過所述支撐面板52a而照射于所述第二掩模22。

因此，如果使所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)52e正反旋轉(zhuǎn)，則所述支撐面板52a和第二掩模22前進(jìn)后退，如圖4所示，第一及第二掩模21、22的間隔縮小，或如圖5所示，第一及第二掩模21、22的間隔加大。

所述間隔調(diào)節(jié)輥53位于所述第一掩模21的上下側(cè)，借助于所述致動(dòng)器53a而前進(jìn)后退，把所述銅板1的豎直部1a中間部推向后方，以遠(yuǎn)離所述第一掩模21。

此時(shí)，所述致動(dòng)器53a使用氣缸，所述氣缸固定于所述支撐框架51，活塞桿向后方延伸并連接于所述間隔調(diào)節(jié)輥53。

所述移送單元60包括：導(dǎo)軌61，其與所述銅板1的延伸方向平行地配置于穿過所述第一及第二掩模21、22之間空間部的銅板1的路徑上；夾持器62，其能沿前后方向滑動(dòng)地結(jié)合于所述導(dǎo)軌61，選擇性地結(jié)合于穿過所述第一及第二掩模21、22之間的空間部的銅板1；前進(jìn)后退驅(qū)動(dòng)單元63，其連接于所述夾持器62，使得所述夾持器62沿導(dǎo)軌61前進(jìn)后退。

所述導(dǎo)軌61設(shè)置于主體10的下側(cè)，位于所述第三及第四導(dǎo)向輥43、44之間。

所述夾持器62可以選擇性地對經(jīng)過所述第三導(dǎo)向輥43外周面而向所述第四導(dǎo)向輥44側(cè)延伸的銅板1的中間部上下面進(jìn)行加壓、固定。

所述前進(jìn)后退驅(qū)動(dòng)單元63由沿前后方向延伸并可旋轉(zhuǎn)地結(jié)合于所述導(dǎo)軌61的導(dǎo)螺桿63a、連接于所述導(dǎo)螺桿63a的驅(qū)動(dòng)電機(jī)63b構(gòu)成。

因此，在利用所述夾持器62對所述銅板1的上下面加壓固定的狀態(tài)下，如果使所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)63b正向旋轉(zhuǎn)，則如圖6所示，夾持器62借助于所述導(dǎo)螺桿63a而前進(jìn)并牽拉所述銅板1，在解除所述夾持器62固定的狀態(tài)下，如果使所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)63b逆向旋轉(zhuǎn)，則所述夾持器62后退到原來位置，反復(fù)這種過程，可以使得所述銅板1每次既定間隔地被反復(fù)拉向前方。

此時(shí)，與銅板1被所述夾持器62的牽拉相應(yīng)，所述開卷機(jī)2開卷銅板1，與銅板1的牽拉相對應(yīng)，所述收卷機(jī)3使銅板1被牽拉，以便所述銅板1保持適當(dāng)?shù)膹椓Α?/p>

而且，所述照明單元30的燈單元31設(shè)置于所述第一及第二掩模21、22的側(cè)方向，所述照明單元30的反射板32設(shè)置于所述第一及第二掩模21、22的前后方，構(gòu)成得使所述燈單元31照射的光線被所述反射板32反射，通過所述第一及第二掩模21、22而照射于所述銅板1的前后面。

下面，對利用這種曝光裝置在銅板1的兩面使圖案感光的方法進(jìn)行說明。

首先，如圖3及圖4所示，在所述第一及第二掩模21、22相互接近的狀態(tài)下，如果利用所述照明單元30向所述第一及第二掩模21、22照射強(qiáng)光線，則光線穿過所述第一及第二掩模21、22之間的空間部，照射于所述銅板1的豎直部1a前后面，銅板1的前后面按照在所述第一及第二掩模21、22形成的圖案進(jìn)行感光。

而且，光線照射銅板1的前后面既定時(shí)間后，所述照明單元30關(guān)閉，照明單元30關(guān)閉后，如圖5所示，借助于所述掩模支撐單元50的間隔調(diào)節(jié)單元52，所述支撐面板52a和第二掩模22向后方后退，使得所述第一及第二掩模21、22的間隔加大。

而且，所述第二掩模22完全后退后，所述間隔調(diào)節(jié)輥53被所述致動(dòng)器53a推向后方，因此，所述銅板1的豎直部1a被推向后方，銅板1的豎直部1a和第一掩模21的間隔加大。

而且，如上所述，銅板1的豎直部1a和第一掩模21的間隔加大后，如圖6所示，所述移送單元60牽拉銅板1，在所述第一及第二掩模21、22之間感光的銅板1的中間部向所述收卷機(jī)3側(cè)移動(dòng)，從所述開卷機(jī)2開卷且兩側(cè)面未感光的新銅板1的中間部被供應(yīng)到所述第一及第二掩模21、22之間。

而且，新銅板1的中間部被供應(yīng)到所述第一及第二掩模21、22之間后，所述間隔調(diào)節(jié)輥53向前方后退，使得所述銅板1的豎直部1a接近第一掩模21，借助于所述間隔調(diào)節(jié)單元52，所述第二掩模22向銅板1側(cè)前進(jìn)，使得第二掩模22接近銅板1的后側(cè)面。

而且，開啟所述照明單元30，使銅板1的前后面感光，反復(fù)前述過程，從而可以使所述銅板1的兩面感光成既定圖案。

具有上述構(gòu)成的引線框制造用曝光裝置，所述第一及第二掩模21、22沿上下方向延伸設(shè)置，所述銅板1的中間部經(jīng)過所述主體10具備的導(dǎo)向輥41、42、43、44的外周面而穿過所述第一及第二掩模21、22之間的空間部。

因此，具有的優(yōu)點(diǎn)是，能夠防止由玻璃面板構(gòu)成的第一及第二掩模21、22因自重而向下側(cè)下垂，當(dāng)利用所述照明單元30照射光線而使銅板1的兩側(cè)面涂敷的感光膜感光時(shí)發(fā)生誤差，最終生產(chǎn)的引線框因而發(fā)生不良。

另外，所述主體10中設(shè)置有支撐所述第一及第二掩模21、22的掩模支撐單元50，所述掩模支撐單元50包括：支撐框架51，其設(shè)置于所述主體10，用于固定所述第一掩模21；間隔調(diào)節(jié)單元52，其設(shè)置于所述支撐框架51，連接于所述第二掩模22，調(diào)節(jié)所述第二掩模22和銅板1的間隔；間隔調(diào)節(jié)輥53，其位于沿上下方向延伸的銅板1的前方或后方，借助于致動(dòng)器而前進(jìn)后退，調(diào)節(jié)所述銅板1的中間部和第一掩模21的間隔。

因此，利用所述照明單元30使銅板1的前后面感光后，當(dāng)移動(dòng)所述銅板1，把未感光的新銅板1供應(yīng)到第一及第二掩模21、22之間時(shí)，使所述第一掩模21與銅板1及第二掩模22隔開，從而具有能夠防止因銅板1與所述第一及第二掩模21、22干擾而損傷或劃傷的優(yōu)點(diǎn)。

而且，所述主體10中設(shè)置有牽拉穿過所述第一及第二掩模21、22之間的銅板1并向后方移送的移送單元60，所述移送單元60包括：導(dǎo)軌61，其與所述銅板1的延伸方向平等地配置于穿過所述第一及第二掩模21、22之間空間部的銅板1的路徑上；夾持器62，其能沿前后方向滑動(dòng)地結(jié)合于所述導(dǎo)軌61，選擇性結(jié)合于穿過所述第一及第二掩模21、22之間的空間部的銅板1；前進(jìn)后退驅(qū)動(dòng)單元63，其連接于所述夾持器62，使得所述夾持器62沿著導(dǎo)軌61前進(jìn)后退。

因此，利用所述前進(jìn)后退驅(qū)動(dòng)單元63而使夾持器62前進(jìn)后退，從而具有能夠使所述銅板1按準(zhǔn)確的行程移動(dòng)的優(yōu)點(diǎn)。

特別是就如上所述構(gòu)成的引線框制造用曝光裝置而言，支撐第一及第二掩模21、22的掩模支撐單元50豎直安裝，因而與沿水平方向安裝的以往類型相比，重心偏向外部，在裝置對準(zhǔn)后，具有在機(jī)構(gòu)上穩(wěn)定的優(yōu)點(diǎn)。

而且，掩模水平配置的以往曝光裝置難以附著固定上部的第一及第二掩模21、22，在作業(yè)過程中存在因真空力低下而發(fā)生自然真空崩潰及掩模破損的可能性，但本發(fā)明的曝光裝置由于第一及第二掩模21、22豎直安裝，因此，不僅第一及第二掩模21、22容易附著，而且具有能夠消除因第一及第二掩模21、22自重導(dǎo)致的真空度低下的優(yōu)點(diǎn)。

另外，當(dāng)所述第一及第二掩模21、22沿水平方向配置時(shí)，即使在所述掩模支撐單元50也發(fā)生因自重導(dǎo)致的彎曲，因而會(huì)發(fā)生第一及第二掩模21、22的變形，但本發(fā)明的曝光裝置具有能夠解決這種問題的優(yōu)點(diǎn)。