正膠顯影液制備裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種正膠顯影液制備裝置，其特征在于它包括配制罐（1）、四甲基氫氧化銨儲(chǔ)罐（2）、聚乙二醇儲(chǔ)罐（3）、清水儲(chǔ)罐（4）、氫氧化鉀儲(chǔ)罐（5）、水洗槽（6）、氨氣罐（7）、過濾裝置（8）以及成品罐（9），所述配制罐（1）頂部的五個(gè)進(jìn)料口分別連接四甲基氫氧化銨儲(chǔ)罐（2）、聚乙二醇儲(chǔ)罐（3）、清水儲(chǔ)罐（4）、氫氧化鉀儲(chǔ)罐（5）以及水洗槽（6），水洗槽（6）連接氨氣罐（7），配制罐（1）底部的出料口通過過濾裝置（8）連接成品罐（9）。本實(shí)用新型正膠顯影液制備裝置在配制罐中可以通入聚乙二醇儲(chǔ)罐以及氫氧化鉀，使得生產(chǎn)出的正膠顯影液具有低表面張力，避免與二氧化碳反應(yīng)的優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】正月父顯彭液制備裝直

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種正膠顯影液制備裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]TMAH,即四甲基氫氧化銨可以作為光刻制程中的正膠顯影液。對(duì)于大尺寸的產(chǎn)品，需要先在堿洗槽中使用正膠顯影液對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行顯影，然后將產(chǎn)品取出，再用清水沖洗，產(chǎn)品取出后一般希望正膠顯影液盡可能少量的附著于產(chǎn)品表面便于后續(xù)的清水沖洗，因此需要正膠顯影液具有較低的表面張力。在產(chǎn)品取出堿洗槽后殘余在產(chǎn)品上的正膠顯影液后會(huì)暴露在空氣中，殘余在產(chǎn)品上的TMAH會(huì)與空氣中的二氧化碳發(fā)生反應(yīng)，在產(chǎn)品上形成斑點(diǎn)，后經(jīng)過清水沖洗也難以去除，影響產(chǎn)品質(zhì)量。因此尋求一種生產(chǎn)出的正膠顯影液具有低表面張力，避免與二氧化碳反應(yīng)的正膠顯影液制備裝置尤為重要。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的在于克服上述不足，提供一種生產(chǎn)出的正膠顯影液具有低表面張力，避免與二氧化碳反應(yīng)的正膠顯影液制備裝置。
[0004]本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:
[0005]一種正膠顯影液制備裝置，它包括配制罐、四甲基氫氧化銨儲(chǔ)罐、聚乙二醇儲(chǔ)罐、清水儲(chǔ)罐、氫氧化鉀儲(chǔ)罐、水洗槽、氨氣罐、過濾裝置以及成品罐，所述配制罐頂部的五個(gè)進(jìn)料口分別連接四甲基氫氧化銨儲(chǔ)罐、聚乙二醇儲(chǔ)罐、清水儲(chǔ)罐、氫氧化鉀儲(chǔ)罐以及水洗槽，水洗槽連接氨氣罐，配制罐底部的出料口通過過濾裝置連接成品罐，配制罐的頂部還通過管道連接有水封。
[0006]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是:
[0007]本實(shí)用新型正膠顯影液制備裝置在配制罐中可以通入聚乙二醇儲(chǔ)罐以及氫氧化鉀，使得生產(chǎn)出的正膠顯影液具有低表面張力，避免與二氧化碳反應(yīng)的優(yōu)點(diǎn)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]圖1為本實(shí)用新型正膠顯影液制備裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0009]其中:
[0010]配制罐1、四甲基氫氧化銨儲(chǔ)罐2、聚乙二醇儲(chǔ)罐3、清水儲(chǔ)罐4、氫氧化鉀儲(chǔ)罐5、水洗槽6、氨氣罐7、過濾裝置8、成品罐9。

【具體實(shí)施方式】
[0011]參見圖1，本實(shí)用新型涉及的一種正膠顯影液制備裝置，它包括配制罐1、四甲基氫氧化銨儲(chǔ)罐2、聚乙二醇儲(chǔ)罐3、清水儲(chǔ)罐4、氫氧化鉀儲(chǔ)罐5、水洗槽6、氨氣罐7、過濾裝置8以及成品罐9，所述配制罐1的頂部設(shè)置有五個(gè)進(jìn)料口，其中四甲基氫氧化銨儲(chǔ)罐2的出料口與配制罐1的第一個(gè)進(jìn)料口之間連接有第一管道，聚乙二醇儲(chǔ)罐3的出料口與配制罐1的第二個(gè)進(jìn)料口之間連接有第二管道，清水儲(chǔ)罐4的出料口與配制罐1的第三個(gè)進(jìn)料口之間連接有第三管道，氫氧化鉀儲(chǔ)罐5的出料口與配制罐1的第四個(gè)進(jìn)料口之間連接有第四管道，水洗槽6的出料口與配制罐1的第五個(gè)進(jìn)料口之間連接有第五管道，氨氣罐7的出料口與水洗槽6的進(jìn)料口之間連接有第六管道，配制罐1底部的出料口與過濾裝置8之間連接有第七管道，過濾裝置8與成品罐9之間連接有第八管道10。以上各根管道上根據(jù)需要設(shè)置輸送泵。配制罐1的頂部還通過管道連接有水封10。
[0012]制備原理:
[0013]將四甲基氫氧化銨儲(chǔ)罐內(nèi)的四甲基氫氧化銨輸送至配制罐中，由清水儲(chǔ)罐向配制罐通入清水對(duì)四甲基氫氧化銨進(jìn)行稀釋至2.4%，在配制罐中按照3:1:1的比例通入聚乙二醇、水洗后的氨氣以及氫氧化鉀，最終四甲基氫氧化銨的濃度為2.38%。其中通入的聚乙二醇為表面活性劑，可以使得正膠顯影液成品的表面張力由傳統(tǒng)的75?76mN/m降低至48?52mN/m，通入的氫氧化鉀為添加劑，使得正膠顯影液成品在空氣中先由氫氧化鉀于二氧化碳發(fā)生反應(yīng)，從而避免四甲基氫氧化銨與二氧化碳接觸發(fā)生反應(yīng)，避免形成斑點(diǎn)。
【權(quán)利要求】
1.一種正膠顯影液制備裝置，其特征在于它包括配制罐(I)、四甲基氫氧化銨儲(chǔ)罐(2)、聚乙二醇儲(chǔ)罐(3)、清水儲(chǔ)罐(4)、氫氧化鉀儲(chǔ)罐(5)、水洗槽(6)、氨氣罐(7)、過濾裝置(8)以及成品罐(9)，所述配制罐(I)頂部的五個(gè)進(jìn)料口分別連接四甲基氫氧化銨儲(chǔ)罐(2)、聚乙二醇儲(chǔ)罐(3 )、清水儲(chǔ)罐(4 )、氫氧化鉀儲(chǔ)罐(5 )以及水洗槽(6 )，水洗槽(6 )連接氨氣罐(7)，配制罐(I)底部的出料口通過過濾裝置(8)連接成品罐(9)，配制罐(I)的頂部還通過管道連接有水封(10)。
【文檔編號(hào)】G03F7/32GK204241835SQ201420620104
【公開日】2015年4月1日 申請(qǐng)日期:2014年10月25日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月25日
【發(fā)明者】殷潑清 申請(qǐng)人:江陰市化學(xué)試劑廠有限公司