一種激光光斑形狀調(diào)整裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種激光光斑形狀調(diào)整裝置，包括鏡架、擴(kuò)束輸入鏡、擴(kuò)束輸出鏡、光闌、平頂型衍射光學(xué)元件和聚焦鏡，所述擴(kuò)束輸入鏡和所述聚焦鏡分別設(shè)置于所述鏡架的兩端，所述擴(kuò)束輸出鏡、所述光闌和所述擴(kuò)散性衍射光學(xué)元件依次設(shè)置于所述鏡架內(nèi)。本實(shí)用新型通過將本身為高斯光束的激光束變?yōu)槠巾敼夤馐?，平頂光光束有特殊形狀、光?qiáng)均勻、光斑邊界清晰的特點(diǎn)。
【專利說明】一種激光光斑形狀調(diào)整裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種調(diào)整裝置，尤其涉及一種激光光斑形狀調(diào)整裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]衍射光學(xué)元件(DOE:Diffractive Optical Elements),是基于光波的衍射理論，利用計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)，并通過半導(dǎo)體芯片制造工藝，在基片上(或傳統(tǒng)光學(xué)器件表面)刻蝕產(chǎn)生臺(tái)階型或連續(xù)浮雕結(jié)構(gòu)，形成同軸再現(xiàn)、且具有極高衍射效率的一類光學(xué)元件，而現(xiàn)階段的衍射光學(xué)元件不能夠進(jìn)行激光光斑形狀調(diào)整，給科學(xué)實(shí)驗(yàn)帶來了不便。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的就在于為了解決上述問題而提供一種激光光斑形狀調(diào)整裝置。
[0004]本實(shí)用新型通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)上述目的:
[0005]本實(shí)用新型包括鏡架、擴(kuò)束輸入鏡、擴(kuò)束輸出鏡、光闌、平頂型衍射光學(xué)元件和聚焦鏡，所述擴(kuò)束輸入鏡和所述聚焦鏡分別設(shè)置于所述鏡架的兩端，所述擴(kuò)束輸出鏡、所述光闌和所述擴(kuò)散性衍射光學(xué)元件依次設(shè)置于所述鏡架內(nèi)。
[0006]本實(shí)用新型的有益效果在于:
[0007]本實(shí)用新型通過將本身為高斯光束的激光束變?yōu)槠巾敼夤馐?，平頂光光束有特殊形狀、光?qiáng)均勻、光斑邊界清晰的特點(diǎn)。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0008]圖1是本實(shí)用新型所述一種激光光斑形狀調(diào)整裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0009]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明:
[0010]如圖1所示:本實(shí)用新型包括鏡架2、擴(kuò)束輸入鏡1、擴(kuò)束輸出鏡3、光闌4、平頂型衍射光學(xué)兀件5和聚焦鏡6,擴(kuò)束輸入鏡1和聚焦鏡6分別設(shè)置于鏡架2的兩端，擴(kuò)束輸出鏡3、光闌4和擴(kuò)散性衍射光學(xué)元件5依次設(shè)置于鏡架2內(nèi)。
[0011]本實(shí)用新型的工作原理如下:
[0012]本實(shí)用新型包括一組擴(kuò)束鏡，一個(gè)光闌，一個(gè)平頂型衍射光學(xué)元件，一個(gè)聚焦鏡組成，其中擴(kuò)束透鏡包括擴(kuò)束輸入鏡、擴(kuò)束輸出鏡。擴(kuò)束鏡的作用是擴(kuò)束和準(zhǔn)直，光闌的作用是獲得面積合適的光斑，平頂型衍射光學(xué)元件的作用是獲得均勻的光強(qiáng)分布，聚焦鏡的作用是通過聚焦獲得目標(biāo)光斑大小。
[0013]首先根據(jù)入射激光的波長，要求的工作距離和光斑形狀等參數(shù)，通過衍射光學(xué)設(shè)計(jì)出相應(yīng)的全息結(jié)構(gòu)，然后利用光刻和刻蝕的方法將其轉(zhuǎn)移和制作在石英基材表面上，得到平頂型衍射光學(xué)元件。
[0014]工作時(shí)，一束激光通過擴(kuò)束鏡，經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直的激光通過光闌形成面積合適的光斑，再通過平頂型衍射光學(xué)元件后形成目標(biāo)形狀的光斑，最后通過聚焦鏡將光束聚焦成目標(biāo)面積的光斑。
[0015]本領(lǐng)域技術(shù)人員不脫離本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)和精神，可以有多種變形方案實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型，以上所述僅為本實(shí)用新型較佳可行的實(shí)施例而已，并非因此局限本實(shí)用新型的權(quán)利范圍，凡運(yùn)用本實(shí)用新型說明書及附圖內(nèi)容所作的等效結(jié)構(gòu)變化，均包含于本實(shí)用新型的權(quán)利范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種激光光斑形狀調(diào)整裝置，其特征在于:包括鏡架、擴(kuò)束輸入鏡、擴(kuò)束輸出鏡、光闌、平頂型衍射光學(xué)元件和聚焦鏡，所述擴(kuò)束輸入鏡和所述聚焦鏡分別設(shè)置于所述鏡架的兩端，所述擴(kuò)束輸出鏡、所述光闌和所述平頂型衍射光學(xué)元件依次設(shè)置于所述鏡架內(nèi)。
【文檔編號(hào)】G02B27/09GK204154995SQ201420618502
【公開日】2015年2月11日 申請日期:2014年10月24日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月24日
【發(fā)明者】馬衍強(qiáng) 申請人:北京潤和微光科技有限公司