一種掩膜版回推機(jī)構(gòu)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明涉及一種掩膜版回推機(jī)構(gòu)，包括旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和推動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)以及曲柄連桿機(jī)構(gòu)，所述曲柄連桿機(jī)構(gòu)與密封門(mén)連接，所述電機(jī)通過(guò)所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述曲柄連桿機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而驅(qū)動(dòng)連接在所述曲柄連桿機(jī)構(gòu)上的密封門(mén)運(yùn)動(dòng)；所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)固定于所述密封門(mén)上。本發(fā)明利用所述電機(jī)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)所述密封門(mén)的開(kāi)合，并利用固定于所述密封門(mén)上的推動(dòng)機(jī)構(gòu)推動(dòng)掩膜版，使其回復(fù)至初始位置，便于后續(xù)機(jī)械手的抓取動(dòng)作。
【專(zhuān)利說(shuō)明】一種掩膜版回推機(jī)構(gòu)

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及掩膜傳輸系統(tǒng)，尤其涉及一種掩膜版回推機(jī)構(gòu)。

【背景技術(shù)】
[0002] 掩模傳輸系統(tǒng)應(yīng)用于光刻機(jī)等眾多半導(dǎo)體設(shè)備中，作為這些設(shè)備對(duì)外的物料接 口，并進(jìn)行物料的預(yù)處理，這就需要掩模傳輸系統(tǒng)必須是可靠、高效，且自動(dòng)化程度很高的， 對(duì)于設(shè)備操作者而言，只需做最基本的動(dòng)作，其他均由掩模傳輸系統(tǒng)完成。如圖1所示，掩 膜版1放置于版庫(kù)中，所述版庫(kù)包括前板2、支架3以及底板4,在掩模傳輸過(guò)程中，由于振 動(dòng)、工位變化等意外情況的發(fā)生，可能會(huì)導(dǎo)致掩模版1在版庫(kù)中的位置發(fā)生變化，即，所述 掩膜版1在所述支架3上的位置發(fā)生偏移，導(dǎo)致掩膜版1的前端距離所述前板2的距離產(chǎn) 生偏差，此時(shí)，當(dāng)機(jī)械手從版庫(kù)中抓取掩膜版1時(shí)，將會(huì)對(duì)掩模版1造成損壞，無(wú)法保證掩模 版1的零破版率。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0003] 本發(fā)明提供一種掩膜版回推機(jī)構(gòu)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中掩膜版在版庫(kù)中的位置發(fā)生 偏移的問(wèn)題。
[0004] 為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供一種掩膜版回推機(jī)構(gòu)，包括旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和推動(dòng)機(jī) 構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)以及曲柄連桿機(jī)構(gòu)，所述曲柄連桿機(jī)構(gòu)與密封門(mén)連 接，所述電機(jī)通過(guò)所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述曲柄連桿機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而驅(qū)動(dòng)連接在所述曲柄連 桿機(jī)構(gòu)上的密封門(mén)運(yùn)動(dòng)；所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)固定于所述密封門(mén)上。
[0005] 較佳地，所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)包括推版、支架以及兩連桿，所述推版與支架的兩端分別通 過(guò)所述連桿活動(dòng)連接，所述支架固定于所述密封門(mén)上。
[0006] 較佳地，所述推版通過(guò)連接板和螺栓與所述連桿連接。
[0007] 較佳地，所述支架通過(guò)墊板和螺栓與所述密封門(mén)連接。
[0008] 較佳地，所述推版采用無(wú)色有機(jī)玻璃板。
[0009] 較佳地，所述連桿采用鋼絲。
[0010] 較佳地，所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括軸承，所述軸承通過(guò)鉸鏈銷(xiāo)固定于所述推版的底部。
[0011] 較佳地，所述軸承為聚酰脂成型軸承。
[0012] 較佳地，所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括上限位板、下限位板以及擋塊，所述上限位板和下限 位板分別固定于所述支架上，且所述上限位板和下限位板的位置分別與所述推版相對(duì)于所 述支架最高和最低的位置相對(duì)應(yīng)，所述擋塊固定于所述支架上，與所述下限位板的位置相 對(duì)應(yīng)。
[0013] 較佳地，所述下限位板上開(kāi)有腰型孔，所述下限位板通過(guò)所述腰型孔固定于所述 支架上。
[0014] 較佳地，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括同步帶和齒輪，所述電機(jī)通過(guò)所述同步帶帶動(dòng)所述齒 輪旋轉(zhuǎn)，所述齒輪驅(qū)動(dòng)所述曲柄連桿機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)；所述曲柄連桿機(jī)構(gòu)包括主動(dòng)曲柄、從動(dòng)曲柄 以及曲柄連桿，所述主動(dòng)曲柄與所述齒輪固定連接，所述主動(dòng)曲柄通過(guò)所述從動(dòng)曲柄帶動(dòng) 所述曲柄連桿運(yùn)動(dòng)，所述曲柄連桿與所述密封門(mén)固定連接。
[0015] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)：本發(fā)明提供的掩膜版回推機(jī)構(gòu)，包括旋轉(zhuǎn) 機(jī)構(gòu)和推動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括電機(jī)、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)以及曲柄連桿機(jī)構(gòu)，所述曲柄連桿機(jī)構(gòu) 與密封門(mén)連接，所述電機(jī)通過(guò)所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述曲柄連桿機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而驅(qū)動(dòng)連接在 所述曲柄連桿機(jī)構(gòu)上的密封門(mén)運(yùn)動(dòng)；所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)固定于所述密封門(mén)上。本發(fā)明利用所述 電機(jī)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)所述密封門(mén)的開(kāi)合，并利用固定于所述密封門(mén)上的推動(dòng)機(jī)構(gòu)推動(dòng)掩膜版， 使其回復(fù)至初始位置，便于后續(xù)機(jī)械手的抓取動(dòng)作。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0016] 圖1為掩膜版放置于版庫(kù)中的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0017] 圖2為本發(fā)明一【具體實(shí)施方式】的掩膜版回推機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018] 圖3為本發(fā)明一【具體實(shí)施方式】的推動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019] 圖4a?4d為本發(fā)明一【具體實(shí)施方式】的掩膜版回推機(jī)構(gòu)推動(dòng)掩膜版至初始位置的 動(dòng)作流程圖。
[0020] 圖1中：1_掩膜版、2-前板、3-支架、4-底板；
[0021] 圖2至4d中：100-旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、110-電機(jī)、120-同步帶、130-齒輪、140-曲柄連桿 機(jī)構(gòu)、141-主動(dòng)曲柄、142-從動(dòng)曲柄、143-曲柄連桿、200-推動(dòng)機(jī)構(gòu)、210-推版、220-支架、 230-連桿、240-連接板、250-墊板、260-軸承、270-鉸鏈銷(xiāo)、280a-上限位板、280b-下限位 板、290-擋塊、300-密封門(mén)、310-螺栓、400-版庫(kù)、410-前板、420-支架、430-底板、500-掩 膜版。

【具體實(shí)施方式】
[0022] 為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明 的【具體實(shí)施方式】做詳細(xì)的說(shuō)明。需說(shuō)明的是，本發(fā)明附圖均采用簡(jiǎn)化的形式且均使用非精 準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例的目的。
[0023] 本發(fā)明提供的掩膜版回推機(jī)構(gòu)，如圖2所示，并結(jié)合圖3以及圖4a至圖4d，包括 旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)1〇〇和推動(dòng)機(jī)構(gòu)200,所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)100包括電機(jī)110、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)以及曲柄連桿機(jī) 構(gòu)140,所述曲柄連桿機(jī)構(gòu)140與密封門(mén)300連接，所述電機(jī)110通過(guò)所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所 述曲柄連桿機(jī)構(gòu)140轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而驅(qū)動(dòng)連接在所述曲柄連桿機(jī)構(gòu)140上的密封門(mén)300運(yùn)動(dòng)；所 述推動(dòng)機(jī)構(gòu)200固定于所述密封門(mén)300上。本發(fā)明利用所述電機(jī)110的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)所述密封 門(mén)300的開(kāi)合，并利用固定于所述密封門(mén)300上的推動(dòng)機(jī)構(gòu)200推動(dòng)掩膜版500,使其回復(fù) 至初始位置，便于后續(xù)機(jī)械手的抓取動(dòng)作。
[0024] 較佳地，請(qǐng)繼續(xù)參考圖3,所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)200包括推版210、支架220以及兩連桿 230,所述推版210與支架220的兩端分別通過(guò)所述連桿230活動(dòng)連接，所述支架220固定 于所述密封門(mén)300上。所述推版210、支架220以及兩連桿230組成一個(gè)雙平行四桿結(jié)構(gòu)， 當(dāng)電機(jī)110帶動(dòng)所述密封門(mén)300開(kāi)合時(shí)，兩連桿230的角度隨支架220 (即密封門(mén)300)的 旋轉(zhuǎn)角度不同而變化，確保所述推版210保持與所述掩膜版500垂直，以同時(shí)推動(dòng)各掩膜版 500回復(fù)至初始位置。較佳地，所述推版210通過(guò)連接板240和螺栓與所述連桿230連接； 較佳地，所述支架220通過(guò)墊板250和螺栓與所述密封門(mén)300連接，方便安裝于拆卸，通用 性強(qiáng)。
[0025] 較佳地，請(qǐng)繼續(xù)參考圖3,所述推版210采用無(wú)色有機(jī)玻璃板，所述無(wú)色有機(jī)玻璃 板具有低密度、和掩模版500物理屬性接近、不會(huì)產(chǎn)生金屬碎屑、防靜電、低釋氣等特點(diǎn)，能 夠?qū)崿F(xiàn)輕載、推版210推動(dòng)過(guò)程中不會(huì)對(duì)掩模版500造成損壞，推版210在版庫(kù)400中不會(huì) 產(chǎn)生靜電和保證版庫(kù)400內(nèi)環(huán)境潔凈等眾多目的。
[0026] 較佳地，請(qǐng)繼續(xù)參考圖3,所述連桿230采用鋼絲，為了增加推版210推動(dòng)過(guò)程中連 桿230的彈性，同時(shí)保證連桿230的強(qiáng)度，本發(fā)明中所述連桿230選用高彈性高強(qiáng)度的65Mn 的細(xì)鋼絲。
[0027] 較佳地，請(qǐng)繼續(xù)參考圖3,所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)200還包括軸承260,所述軸承260通過(guò)鉸 鏈銷(xiāo)270固定于所述推版210的底部，具體地，所述軸承260為聚酰脂成型軸承，較佳地，當(dāng) 所述密封門(mén)300運(yùn)動(dòng)至所述版庫(kù)400附近時(shí)，所述軸承260與所述版庫(kù)400中的底板430 接觸，所述密封門(mén)300繼續(xù)運(yùn)動(dòng)時(shí)，由于底板430的限制作用，所述推版210只沿所述底板 430的方向做直線運(yùn)動(dòng)，且由于所述推版210、支架220以及兩連桿230組成的雙平行四桿 結(jié)構(gòu)，所述推版210以垂直于所述掩膜版500的方向靠近所述掩膜版500,進(jìn)而將所述掩膜 版500推至初始位置，解決了掩模傳輸過(guò)程中，掩模版500在版庫(kù)400中位置變化問(wèn)題和掩 模版500在掩模傳輸過(guò)程中的安全問(wèn)題。
[0028] 較佳地，請(qǐng)繼續(xù)參考圖3,所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)200還包括上限位板280a、下限位板280b 以及擋塊290,所述上限位板280a和下限位板280b分別固定于所述支架220上，且所述上 限位板280a和下限位板280b的位置分別與所述推版210相對(duì)于所述支架220最高和最低 的位置相對(duì)應(yīng)，所述擋塊290固定于所述支架220上，與所述下限位板280b的位置相對(duì)應(yīng)， 所述下限位板280b用于固定推版210的初始位置，擋塊290的作用是協(xié)助所述下限位板 280b限制整個(gè)推版210的初始位置；所述上限位板280a和下限位板280b是雙平行四桿結(jié) 構(gòu)的行程限制元件，用來(lái)限制推版210只在掩模版500所在一側(cè)運(yùn)動(dòng)。較佳地，所述下限位 板280b上開(kāi)有腰型孔（圖中未示出），所述下限位板280b通過(guò)所述腰型孔固定于所述支架 220上，用來(lái)調(diào)節(jié)所述下限位板280b的安裝位置，擴(kuò)大本發(fā)明的適用范圍。
[0029] 較佳地，請(qǐng)參考圖2,所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括同步帶120和齒輪130,所述電機(jī)110通過(guò) 所述同步帶120帶動(dòng)所述齒輪130旋轉(zhuǎn)，所述齒輪130驅(qū)動(dòng)所述曲柄連桿機(jī)構(gòu)140轉(zhuǎn)動(dòng)；所 述曲柄連桿機(jī)構(gòu)140包括主動(dòng)曲柄141、從動(dòng)曲柄142以及曲柄連桿143,所述主動(dòng)曲柄141 與所述齒輪130固定連接,所述主動(dòng)曲柄141通過(guò)所述從動(dòng)曲柄142帶動(dòng)所述曲柄連桿143 運(yùn)動(dòng)，所述曲柄連桿143與所述密封門(mén)300固定連接，具體地，所述同步帶120將所述電機(jī) 110的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)傳遞至所述齒輪130,所述齒輪130與所述主動(dòng)曲柄141同步運(yùn)動(dòng)，所述從 動(dòng)曲柄142跟隨所述主動(dòng)曲柄141運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)并限制所述曲柄連桿143的運(yùn)動(dòng)，最終帶 動(dòng)所述密封門(mén)300的運(yùn)動(dòng)。
[0030] 較佳地，請(qǐng)參考圖4a至4d所示，本發(fā)明的掩膜版回推機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)過(guò)程如下：
[0031] 密封門(mén)300隨曲柄連桿143 -起運(yùn)動(dòng)，直至所述軸承260與所述底板430接觸，所 述雙平行四桿結(jié)構(gòu)開(kāi)始運(yùn)動(dòng)，即：所述連桿230開(kāi)始轉(zhuǎn)動(dòng)，圖4a為推版210在底板430前進(jìn) 一段距離q時(shí)的狀態(tài)示意圖，此時(shí)由于底板430的限制，推版210在與底板430垂直的方 向上沒(méi)有運(yùn)動(dòng)，只在沿底板430的方向運(yùn)動(dòng)；
[0032] 隨著曲柄連桿143的進(jìn)一步運(yùn)動(dòng)，推版210向前推動(dòng)，圖4b為推版210與掩模版 500接觸時(shí)的狀態(tài)，此時(shí)軸承260中心與底板430右側(cè)的距離為c 2，掩模版500與外側(cè)的支 架420的距離為e2，與前板410的距離為d2，其中c 2 > Cl，4=4, e2=ei ;
[0033] 圖4c為推板210回推掩膜版500運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的狀態(tài)示意圖，此時(shí)軸承260中心與 底板430右側(cè)的距離為c 3，掩模版500與外側(cè)的支架420的距離為e3，與前板410的距離為 d3,其中 c3〉c2，d3〈 dg，e3〈 e2 ;
[0034] 圖4d為推版210推動(dòng)掩模版500至原來(lái)位置的示意圖，此時(shí)軸承260中心與底板 430右側(cè)的距離為c 4，掩模版500與外側(cè)的支架420的距離為e4，與前板410的距離為d4， 其中 c4 > c3, d4 < d3, e4 < e3,較佳地，e4 < 2. 5mm ;
[0035] 最終實(shí)現(xiàn)掩模版500在版庫(kù)400中達(dá)到原來(lái)位置的目的，并且保證位置精度在 2. 5mm以內(nèi)。
[0036] 綜上所述，本發(fā)明提供的掩膜版回推機(jī)構(gòu)，包括旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)100和推動(dòng)機(jī)構(gòu)200,所 述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)100包括電機(jī)110、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)以及曲柄連桿機(jī)構(gòu)140,所述曲柄連桿機(jī)構(gòu)140與 密封門(mén)300連接，所述電機(jī)110通過(guò)所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述曲柄連桿機(jī)構(gòu)140轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而驅(qū) 動(dòng)連接在所述曲柄連桿機(jī)構(gòu)140上的密封門(mén)300運(yùn)動(dòng)；所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)200固定于所述密封 門(mén)300上。本發(fā)明利用所述電機(jī)110的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)所述密封門(mén)300的開(kāi)合，并利用固定于所 述密封門(mén)300上的推動(dòng)機(jī)構(gòu)200推動(dòng)掩膜版500,使其回復(fù)至初始位置，便于后續(xù)機(jī)械手的 抓取動(dòng)作。
[0037] 顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神 和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之 內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包括這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1. 一種掩膜版回推機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和推動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括電 機(jī)、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)以及曲柄連桿機(jī)構(gòu)，所述曲柄連桿機(jī)構(gòu)與密封門(mén)連接，所述電機(jī)通過(guò)所述傳動(dòng) 機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述曲柄連桿機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而驅(qū)動(dòng)連接在所述曲柄連桿機(jī)構(gòu)上的密封門(mén)運(yùn)動(dòng)；所 述推動(dòng)機(jī)構(gòu)固定于所述密封門(mén)上。
2. 如權(quán)利要求1所述的掩膜版回推機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)包括推版、支架以 及兩連桿，所述推版與支架的兩端分別通過(guò)所述連桿活動(dòng)連接，所述支架固定于所述密封 門(mén)上。
3. 如權(quán)利要求2所述的掩膜版回推機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述推版通過(guò)連接板和螺栓與 所述連桿連接。
4. 如權(quán)利要求2所述的掩膜版回推機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述支架通過(guò)墊板和螺栓與所 述密封門(mén)連接。
5. 如權(quán)利要求2所述的掩膜版回推機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述推版采用無(wú)色有機(jī)玻璃板。
6. 如權(quán)利要求2所述的掩膜版回推機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述連桿采用鋼絲。
7. 如權(quán)利要求2所述的掩膜版回推機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括軸承，所述 軸承通過(guò)鉸鏈銷(xiāo)固定于所述推版的底部。
8. 如權(quán)利要求7所述的掩膜版回推機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述軸承為聚酰脂成型軸承。
9. 如權(quán)利要求2所述的掩膜版回推機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述推動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括上限位板、 下限位板以及擋塊，所述上限位板和下限位板分別固定于所述支架上，且所述上限位板和 下限位板的位置分別與所述推版相對(duì)于所述支架最高和最低的位置相對(duì)應(yīng)，所述擋塊固定 于所述支架上，與所述下限位板的位置相對(duì)應(yīng)。
10. 如權(quán)利要求9所述的掩膜版回推機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述下限位板上開(kāi)有腰型孔， 所述下限位板通過(guò)所述腰型孔固定于所述支架上。
11. 如權(quán)利要求1所述的掩膜版回推機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括同步帶和齒 輪，所述電機(jī)通過(guò)所述同步帶帶動(dòng)所述齒輪旋轉(zhuǎn)，所述齒輪驅(qū)動(dòng)所述曲柄連桿機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)；所 述曲柄連桿機(jī)構(gòu)包括主動(dòng)曲柄、從動(dòng)曲柄以及曲柄連桿，所述主動(dòng)曲柄與所述齒輪固定連 接，所述主動(dòng)曲柄通過(guò)所述從動(dòng)曲柄帶動(dòng)所述曲柄連桿運(yùn)動(dòng)，所述曲柄連桿與所述密封門(mén) 固定連接。
【文檔編號(hào)】G03F7/20GK104142612SQ201310168049
【公開(kāi)日】2014年11月12日 申請(qǐng)日期:2013年5月8日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月8日
【發(fā)明者】王剛, 胡松立, 姜曉玉 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司