專利名稱：一種用于光刻設(shè)備的新型視覺(jué)系統(tǒng)的制作方法
一種用于光刻設(shè)備的新型視覺(jué)系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種用于光刻設(shè)備的新型視覺(jué)系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
用于大規(guī)模集成電路和FPD /TFT/0LED/TP大屏顯示行業(yè)的激光光刻設(shè)備。由激光光源、空間光調(diào)制器即SLM、光學(xué)系統(tǒng)、視覺(jué)系統(tǒng)、移動(dòng)平臺(tái)、控制電路、數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換軟件及服務(wù)器數(shù)據(jù)處理和傳輸系統(tǒng)組成。其中，視覺(jué)系統(tǒng)在基板的對(duì)準(zhǔn)、觀察調(diào)試及檢查測(cè)試等工作中發(fā)揮著重大作用。但是現(xiàn)有的視覺(jué)系統(tǒng)使用效果不好，對(duì)照明光的角度、光譜和色溫，對(duì)觀察物體的光譜特性、形狀和背景的選取均達(dá)不到要求。

發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明目的是克服了現(xiàn)有技術(shù)中的不足而提供一種對(duì)照明光的角度、光譜和色溫，對(duì)觀察物體的光譜特性、形狀和背景的選取了達(dá)到了最佳的對(duì)比和檢測(cè)效果，能更好的觀察和識(shí)別物體，提聞的基板的對(duì)準(zhǔn)精度的新型視覺(jué)系統(tǒng)。為了解決上述存在的技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用下列技術(shù)方案—種用于光刻設(shè)備的新型視覺(jué)系統(tǒng)，其特征在于包括有R、G、B三色LED光源和光傳感器，此外還設(shè)有將R、G、B三色LED光源折射到光傳感器上的分光鏡。如上所述的一種用于光刻設(shè)備的新型視覺(jué)系統(tǒng)，其特征在于所述的分光鏡為一個(gè)或多個(gè)分光棱鏡或分光反射鏡，所述R、G、B三色LED光源為單組或多組R、G、B三色LED光源，所述R、G、B三色LED光源發(fā)出的三色光經(jīng)物體反射后再經(jīng)過(guò)分光鏡折射后來(lái)到光傳感器上并形成可視圖像。如上所述的一種用于光刻設(shè)備的新型視覺(jué)系統(tǒng)，其特征在于所述的分光鏡有兩個(gè)，其分別為第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I和第二分光棱鏡或第二分光反射鏡2 ;所述的R、G、B三色LED光源有兩組，其分別為將第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I圍住的第一R、G、B三色LED光源3和將發(fā)射出的光垂直射向第二分光棱鏡或第二分光反射2的第二 R、G、B三色LED光源4 ;所述第二分光棱鏡或第二分光反射2折射出來(lái)的光由光傳感器5接收并形成可視圖像。如上所述的一種用于光刻設(shè)備的新型視覺(jué)系統(tǒng)，其特征在于所述第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I與第一 R、G、B三色LED光源3同軸；第二分光棱鏡或第二分光反射鏡2與第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I同軸。如上所述的一種用于光刻設(shè)備的新型視覺(jué)系統(tǒng)，其特征在于所述光傳感器5為CXD光傳感器。如上所述的一種用于光刻設(shè)備的新型視覺(jué)系統(tǒng)，其特征在于所述第一 R、G、B三色LED光源3由多個(gè)R、G、B三色LED光源組成，多個(gè)R、G、B三色LED光源圍成封閉圖形狀。如上所述的一種用于光刻設(shè)備的新型視覺(jué)系統(tǒng)，其特征在于所述多個(gè)R、G、B三色LED光源圍成環(huán)形的封閉圖形狀。如上所述的一種用于光刻設(shè)備的新型視覺(jué)系統(tǒng)，其特征在于所述第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I的光引擎6發(fā)身的激光通過(guò)率為97-98%，反射的激光為2-3%。如上所述的一種用于光刻設(shè)備的新型視覺(jué)系統(tǒng)，其特征在于所述第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I的由第一 R、G、B三色LED光源3發(fā)射的光的通過(guò)率為50%。如上所述的一種用于光刻設(shè)備的新型視覺(jué)系統(tǒng)，其特征在于所述第二 R、G、B三色LED光源4為單個(gè)R、G、B三色LED光源組成。本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)相比有如下優(yōu)點(diǎn)本發(fā)明能夠通過(guò)采用R、G、B三色LED光源，能夠改變照明光的角度、光譜和色溫，對(duì)觀察物體的光譜特性、形狀和背景的選取達(dá)到了最佳的對(duì)比和檢測(cè)效果，能更好的觀察和識(shí)別物體，提聞的基板的對(duì)準(zhǔn)精度。

圖I是本發(fā)明其中一種實(shí)施方式的示意圖。圖2是本發(fā)明另外一種實(shí)施方式的示意圖。圖3是分光曲線圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述如圖所不，一種用于光刻設(shè)備的新型視覺(jué)系統(tǒng)，包括有R、G、B三色LED光源和光傳感器，此外還設(shè)有將R、G、B三色LED光源折射到光傳感器上的分光鏡。具體來(lái)說(shuō)，所述的分光鏡為一個(gè)或多個(gè)分光棱鏡或分光反射鏡。所述R、G、B三色LED光源為單組或多組R、G、B三色LED光源。所述R、G、B三色LED光源發(fā)出的三色光經(jīng)物體反射后再經(jīng)過(guò)分光鏡折射后來(lái)到光傳感器上并形成可視圖像。當(dāng)分光鏡為一個(gè)時(shí)，所述R、G、B三色LED光源為單組的三色LED光源。當(dāng)分光鏡為多個(gè)時(shí)，所述R、G、B三色LED光源的組數(shù)與分光鏡的個(gè)數(shù)相同。單組R、G、B三色LED光源可以是單個(gè)三色LED光源組成，也可以是由多個(gè)三色LED光源組成。作為本實(shí)施例的優(yōu)選方式，所述分光鏡為兩個(gè)，其分別為第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I和第二分光棱鏡或第二分光反射鏡2。所述的R、G、B三色LED光源為兩組，其分別為將第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I圍住的第一 R、G、B三色LED光源3和將發(fā)射出的光垂直射向第二分光棱鏡或第二分光反射2的第二 R、G、B三色LED光源4。所述第二分光棱鏡或第二分光反射2折射出來(lái)的光由光傳感器5接收并形成可視圖像。在本實(shí)施例中，所述光傳感器5為CCD光傳感器。米用二個(gè)分光鏡時(shí),效果較佳。這樣，發(fā)射激光的光引擎6可放置在第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I的正上方，光引擎6發(fā)射的激光大部分穿過(guò)第一分光棱鏡或第一分光反射鏡1，還有小部分反射經(jīng)過(guò)第二分光棱鏡或第二分光反射2,從而到達(dá)光傳感器5。而需要對(duì)準(zhǔn)和光刻的物體7則放置在第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I正下方。作為本實(shí)施例的優(yōu)選方式，所述第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I與第一 R、G、B三色LED光源3同軸。第二分光棱鏡或第二分光反射鏡2與第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I同軸。作為本實(shí)施例的優(yōu)選方式，所述第一 R、G、B三色LED光源3由多個(gè)R、G、B三色LED光源組成，多個(gè)R、G、B三色LED光源圍成封閉圖形狀。更優(yōu)的，多個(gè)R、G、B三色LED光源圍成環(huán)形的或其它任意形狀的封閉圖形狀。第二 R、G、B三色LED光源4為單組R、G、B三色LED光源。作為本實(shí)施例的優(yōu)選方式，如圖3中所不，T為光的通過(guò)率，\為光波長(zhǎng),激光光刻的波長(zhǎng)在350150納米間，光引擎發(fā)射的激光經(jīng)過(guò)第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I照射到物體上后反射29^3%的激光，物體吸收了 979^98%的激光。其中被反射的激光經(jīng)過(guò)第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I后折射到另一同軸分光反射鏡或分光棱鏡再到CCD鏡頭形成圖像。一組環(huán)形或任意封閉圖形R、G、B三色組合的LED光源發(fā)射的光為可見(jiàn)光，波長(zhǎng)在450^650納米間，LED光源發(fā)出的光照射到物體上其圖形反射到分光反射鏡，經(jīng)分光反射鏡或分光棱鏡折射到另一同軸分光反射鏡或分光棱鏡，再照射到CCD鏡頭上被接收成像，該可見(jiàn)光的在第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I的通過(guò)率為50%。

綜上，第一 R、G、B三色LED光源3，由一排紅、綠、藍(lán)LED燈依次循環(huán)排列組成，作為該視覺(jué)系統(tǒng)的主要燈源，圓環(huán)中心與第一分光棱鏡或第一分光反射鏡同軸，其可調(diào)照明顏色及可調(diào)色溫環(huán)形燈360度照明，從側(cè)面的不同角度照射物體，根據(jù)不同物體的光譜特 性改善其對(duì)比度，以達(dá)到最佳照明效果。其工作原理為I、基板對(duì)準(zhǔn)第一 R、G、B三色LED光源3照射到物體7基板上，物體7反射的光經(jīng)過(guò)第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I和第二分光棱鏡或第二分光反射鏡2后照射到CCD光傳感器并接收成像。第二 R、G、B三色LED光源4分別經(jīng)過(guò)第二分光棱鏡或第二分光反射鏡2和第一分光棱鏡或第一分光反射鏡后照射到物體7上，物體7反射的光再經(jīng)過(guò)第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I和第二分光棱鏡或第二分光反射鏡2后照射到CCD光傳感器并接收成像，這樣側(cè)光束與同軸光束根據(jù)不同物體的光譜特性，改善對(duì)比度以達(dá)到最佳照射效果，C⑶光傳感器進(jìn)行圖像識(shí)別。CXD光傳感器包括一個(gè)鏡頭及傳感器。LED三色光源照射的圖形通過(guò)鏡頭能被傳感器識(shí)別，繼而在電腦上形成圖像，可清楚地找到物體7上的基點(diǎn)。2、光刻光引擎6發(fā)射的藍(lán)紫激光光源通過(guò)同軸的第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I進(jìn)行光刻，其中被反射的觀察光通過(guò)第一分光棱鏡或第一分光反射鏡I按一定的比例折射曝光波長(zhǎng)，被折射的曝光波長(zhǎng)再通過(guò)同軸的第二分光棱鏡或第二分光反射鏡2后被CCD光傳感器接受成像。光刻的同時(shí)，激光光源在鏡頭蝕刻的圖像也被傳感器識(shí)別并在電腦上顯示出來(lái)，觀察光刻圖形。
權(quán)利要求
1.一種用于光刻設(shè)備的新型視覺(jué)系統(tǒng)，其特征在于包括有R、G、B三色LED光源和光傳感器，此外還設(shè)有將R、G、B三色LED光源折射到光傳感器上的分光鏡。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種用于光刻設(shè)備的新型視覺(jué)系統(tǒng)，其特征在于所述的分光鏡為一個(gè)或多個(gè)分光棱鏡或分光反射鏡，所述R、G、B三色LED光源為單組或多組R、G、B三色LED光源，所述R、G、B三色LED光源發(fā)出的三色光經(jīng)物體反射后再經(jīng)過(guò)分光鏡折射后來(lái)到光傳感器上并形成可視圖像。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于光刻設(shè)備的新型視覺(jué)系統(tǒng)，其特征在于所述的分光鏡有兩個(gè)，其分別為第一分光棱鏡或第一分光反射鏡(I)和第二分光棱鏡或第二分光反射鏡(2);所述的R、G、B三色LED光源有兩組,其分別為將第一分光棱鏡或第一分光反射鏡(O圍住的第一 R、G、B三色LED光源(3)和將發(fā)射出的光垂直射向第二分光棱鏡或第二分光反射(2)的第二 R、G、B三色LED光源(4);所述第二分光棱鏡或第二分光反射(2)折射出來(lái)的光由光傳感器(5)接收并形成可視圖像。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種用于光刻設(shè)備的新型視覺(jué)系統(tǒng)，其特征在于所述第一分光棱鏡或第一分光反射鏡(I)與第一 R、G、B三色LED光源(3)同軸；第二分光棱鏡或第二分光反射鏡(2)與第一分光棱鏡或第一分光反射鏡(I)同軸。
5.根據(jù)權(quán)利要求I或2或3或4所述的一種用于光刻設(shè)備的新型視覺(jué)系統(tǒng)，其特征在于所述光傳感器(5)為CCD光傳感器。
6.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的一種用于光刻設(shè)備的新型視覺(jué)系統(tǒng)，其特征在于所述第一R、G、B三色LED光源(3)由多個(gè)R、G、B三色LED光源組成，多個(gè)R、G、B三色LED光源圍成封閉圖形狀。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種用于光刻設(shè)備的新型視覺(jué)系統(tǒng)，其特征在于所述多個(gè)R、G、B三色LED光源圍成環(huán)形的封閉圖形狀。
8.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的一種用于光刻設(shè)備的新型視覺(jué)系統(tǒng)，其特征在于所述第一分光棱鏡或第一分光反射鏡(I)的光引擎(6)發(fā)身的激光通過(guò)率為97-98%，反射的激光為 2-3%ο
9.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的一種用于光刻設(shè)備的新型視覺(jué)系統(tǒng)，其特征在于所述第一分光棱鏡或第一分光反射鏡(I)的由第一 R、G、B三色LED光源(3)發(fā)射的光的通過(guò)率為50%。
10.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的一種用于光刻設(shè)備的新型視覺(jué)系統(tǒng)，其特征在于所述第二R、G、B三色LED光源(4)為單個(gè)R、G、B三色LED光源組成。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于光刻設(shè)備的新型視覺(jué)系統(tǒng)，包括有R、G、B三色LED光源和光傳感器，此外還設(shè)有將R、G、B三色LED光源折射到光傳感器上的分光鏡，所述的分光鏡為一個(gè)或多個(gè)分光棱鏡或分光反射鏡，所述R、G、B三色LED光源為單組或多組R、G、B三色LED光源，所述R、G、B三色LED光源發(fā)出的三色光經(jīng)物體反射后再經(jīng)過(guò)分光鏡折射后來(lái)到光傳感器上并形成可視圖像。本發(fā)明提供了一種對(duì)照明光的角度、光譜和色溫，對(duì)觀察物體的光譜特性、形狀和背景的選取了達(dá)到了最佳的對(duì)比和檢測(cè)效果，能更好的觀察和識(shí)別物體，提高的基板的對(duì)準(zhǔn)精度的新型視覺(jué)系統(tǒng)。
文檔編號(hào)G03F7/20GK102722087SQ201210179959
公開(kāi)日2012年10月10日 申請(qǐng)日期2012年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月1日
發(fā)明者曲魯杰, 杜衛(wèi)沖, 梅文輝 申請(qǐng)人:中山新諾科技有限公司