欧美在线观看视频网站,亚洲熟妇色自偷自拍另类,啪啪伊人网,中文字幕第13亚洲另类,中文成人久久久久影院免费观看 ,精品人妻人人做人人爽,亚洲a视频

激光加工裝置及激光加工方法

文檔序號:9456946閱讀:704來源:國知局
激光加工裝置及激光加工方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明的一個(gè)方面涉及激光加工裝置及激光加工方法。
【背景技術(shù)】
[0002]作為現(xiàn)有的激光加工裝置,已知有通過將激光聚光在加工對象物從而沿著切斷預(yù)定線在加工對象物的內(nèi)部形成改質(zhì)區(qū)域的激光加工裝置(例如參照專利文獻(xiàn)I)。在這樣的激光加工裝置中,謀求通過將從激光光源朝加工對象物照射的激光通過空間光調(diào)制器調(diào)制從而將該激光聚光于加工對象物的多個(gè)位置。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2011-51011號公報(bào)

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明所要解決的課題
[0007]但是,在上述那樣的現(xiàn)有技術(shù)中,伴隨著近年來的日益的普及擴(kuò)大,期望提高加工品質(zhì),對于例如被切斷的加工對象物,提高切斷面的直進(jìn)性的要求、提高抗折強(qiáng)度的要求、及抑制激光入射面或其相反面的破壞的要求等增加。
[0008]本發(fā)明的一個(gè)方面是有鑒于上述實(shí)際情況而完成的發(fā)明,其課題在于,提供一種可以提高加工品質(zhì)的激光加工裝置及激光加工方法。
[0009]解決課題的技術(shù)手段
[0010]為了解決上述課題,本發(fā)明人等反復(fù)專心研究,其結(jié)果,發(fā)現(xiàn)了在加工對象物中將激光的聚光部分在激光入射方向上作為長條形狀(以下,稱為“縱長”),如果將縱長的改質(zhì)區(qū)域形成于加工對象物的話,則在加工對象物的內(nèi)部產(chǎn)生的龜裂(裂紋)的量減少,切斷面的直進(jìn)性及抗折強(qiáng)度提高,其結(jié)果,發(fā)現(xiàn)了能夠提高加工品質(zhì)的可能性。
[0011]但是,在此情況下,能量密度在該激光的聚光部分會(huì)下降,存在改質(zhì)區(qū)域本身未形成的擔(dān)憂、或加工時(shí)需要很多的能量的擔(dān)憂。關(guān)于該點(diǎn),本發(fā)明人等進(jìn)一步反復(fù)專心研究,發(fā)現(xiàn)了通過使用空間光調(diào)制器將激光適宜調(diào)制從而可以應(yīng)對這樣的擔(dān)憂,直至完成本發(fā)明。
[0012]S卩,本發(fā)明的一個(gè)方面所涉及的激光加工裝置,是通過將激光聚光于加工對象物從而沿著激光照射方向?qū)⒍嗔械母馁|(zhì)區(qū)域在加工對象物的內(nèi)部沿著切斷預(yù)定線形成的激光加工裝置,具備將激光射出的激光光源、對由激光光源射出的激光進(jìn)行調(diào)制的空間光調(diào)制器、及將通過空間光調(diào)制器調(diào)制后的激光聚光于加工對象物的聚光光學(xué)系統(tǒng),多列的改質(zhì)區(qū)域至少包含:位于激光入射面?zhèn)鹊娜肷涿鎮(zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域、位于激光入射面的相反面?zhèn)鹊南喾疵鎮(zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域、及位于入射面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域與相反面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域之間的中間改質(zhì)區(qū)域,空間光調(diào)制器,在形成中間改質(zhì)區(qū)域的情況下,通過將軸棱錐透鏡圖案(axicon lenspattern)作為調(diào)制圖案來顯示,從而以在沿著激光照射方向接近排列的多個(gè)位置形成聚光點(diǎn)的方式將激光聚光,并且在形成入射面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域及相反面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域的情況下,不將軸棱錐透鏡圖案作為調(diào)制圖案來顯示。
[0013]另外,所謂“軸棱錐透鏡圖案”,是指以實(shí)現(xiàn)軸棱錐透鏡的作用的方式被生成的調(diào)制圖案(以下相同)。
[0014]在該激光加工裝置中,在形成中間改質(zhì)區(qū)域的情況下,通過將軸棱錐透鏡圖案作為調(diào)制圖案顯示于空間光調(diào)制器,從而可以以在沿著激光照射方向接近排列的多個(gè)位置形成聚光點(diǎn)的方式將激光聚光。由此,近似地成為縱長的聚光部分在將其能量密度充分地維持的狀態(tài)下被形成,其結(jié)果,縱長的中間改質(zhì)區(qū)域被形成于加工對象物。根據(jù)這樣的中間改質(zhì)區(qū)域,與上述見解相同,能夠減少在加工對象物的內(nèi)部產(chǎn)生的龜裂的量,因此,能夠提高切斷面的直進(jìn)性及抗折強(qiáng)度。
[0015]另一方面,在形成入射面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域及相反面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域的情況下,因?yàn)椴粚⑤S棱錐透鏡圖案作為調(diào)制圖案顯示于空間光調(diào)制器,所以也可以抑制由入射面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域及相反面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域成為縱長而引起在激光入射面及其相反面容易產(chǎn)生破壞。因此,根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)方面,可以提尚加工品質(zhì)。
[0016]另外,為了實(shí)現(xiàn)上述作用效果,具體而言,激光加工裝置也可以是沿著切斷預(yù)定線在加工對象物的內(nèi)部形成多個(gè)改質(zhì)點(diǎn)(spot)并由多個(gè)改質(zhì)點(diǎn)(spot)形成改質(zhì)區(qū)域的激光加工裝置,空間光調(diào)制器,在形成中間改質(zhì)區(qū)域的情況下,在沿著激光照射方向接近排列的多個(gè)位置的各個(gè)上形成改質(zhì)光點(diǎn)(dot),多個(gè)改質(zhì)光點(diǎn)(dot)在激光照射方向上構(gòu)成長條形狀的改質(zhì)點(diǎn)(spot)。
[0017]另外,在空間光調(diào)制器的顯示部中,軸棱錐透鏡圖案也可以具有相對于入射的激光位于中心的圓區(qū)域、及被劃設(shè)在圓區(qū)域的周圍并與該圓區(qū)域同心的多個(gè)圓環(huán)區(qū)域,在圓區(qū)域及多個(gè)圓環(huán)區(qū)域中,設(shè)定成隨著從徑向外側(cè)朝內(nèi)側(cè)行進(jìn)明亮度逐漸變亮。
[0018]另外,本發(fā)明的一個(gè)方面所涉及的激光加工方法,是通過將從激光光源射出的激光通過空間光調(diào)制器調(diào)制并將由空間光調(diào)制器調(diào)制后的激光聚光于加工對象物,從而沿著激光照射方向?qū)⒍嗔械母馁|(zhì)區(qū)域在加工對象物的內(nèi)部沿著切斷預(yù)定線形成的激光加工方法,至少具備:形成位于激光入射面?zhèn)鹊娜肷涿鎮(zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域的工序、形成位于激光入射面的相反面?zhèn)鹊南喾疵鎮(zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域的工序、及形成位于入射面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域與相反面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域之間的中間改質(zhì)區(qū)域的工序,在形成中間改質(zhì)區(qū)域的工序中,通過將軸棱錐透鏡圖案作為調(diào)制圖案顯示于空間光調(diào)制器,從而以在沿著激光照射方向接近排列的多個(gè)位置形成聚光點(diǎn)的方式將激光聚光,在形成入射面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域的工序及形成相反面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域的工序中,不將軸棱錐透鏡圖案作為調(diào)制圖案顯示于空間光調(diào)制器。
[0019]在該激光加工方法中,在形成中間改質(zhì)區(qū)域的情況下,近似地成為縱長的聚光部分也在將其能量密度充分地維持的狀態(tài)下被形成,其結(jié)果,縱長的中間改質(zhì)區(qū)域被形成。另一方面,在形成入射面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域及相反面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域的情況下,可以抑制由入射面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域及相反面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域成為縱長而引起在激光入射面及其相反面容易產(chǎn)生破壞。因此,實(shí)現(xiàn)了可以提高加工品質(zhì)這樣的作用效果。
[0020]發(fā)明的效果
[0021 ] 根據(jù)本發(fā)明,可以提供能夠提高加工品質(zhì)的激光加工裝置及激光加工方法。
【附圖說明】
[0022]圖1是改質(zhì)區(qū)域的形成所使用的激光加工裝置的概略構(gòu)成圖。
[0023]圖2是成為改質(zhì)區(qū)域的形成的對象的加工對象物的平面圖。
[0024]圖3是沿著圖2的加工對象物的II1-1II線的剖面圖。
[0025]圖4是激光加工后的加工對象物的平面圖。
[0026]圖5是沿著圖4的加工對象物的V-V線的剖面圖。
[0027]圖6是沿著圖4的加工對象物的V1-VI線的剖面圖。
[0028]圖7是表示實(shí)施方式所涉及的實(shí)施的激光加工裝置的概略構(gòu)成圖。
[0029]圖8是反射型空間光調(diào)制器的部分剖面圖。
[0030]圖9是表示被顯示于反射型空間光調(diào)制器的液晶層的軸棱錐透鏡圖案的圖。
[0031]圖10是表示成為激光加工的對象的加工對象物的平面圖。
[0032]圖11是用于說明第I實(shí)施方式所涉及的激光加工方法的概略剖面圖。
[0033]圖12是表示通過第I實(shí)施方式所涉及的激光加工方法形成的改質(zhì)點(diǎn)的一個(gè)例子的照片圖。
[0034]圖13是用于說明第I實(shí)施方式所涉及的激光加工方法的效果的照片圖。
[0035]圖14是用于說明第I實(shí)施方式所涉及的激光加工方法的效果的其它的照片圖。
[0036]圖15是用于說明第2實(shí)施方式所涉及的激光加工方法的概略剖面圖。
[0037]圖16是表示圖15的后續(xù)的概略剖面圖。
[0038]圖17是用于說明在激光的聚光位置產(chǎn)生的像差的圖。
【具體實(shí)施方式】
[0039]以下,對于本發(fā)明的一個(gè)方面所涉及的實(shí)施方式,參照附圖,詳細(xì)地進(jìn)行說明。另夕卜,在以下的說明,對于同一或相當(dāng)要素附加同一符號,省略重復(fù)的說明。
[0040]在本實(shí)施方式所涉及的激光加工裝置及激光加工方法中,將激光聚光于加工對象物,將改質(zhì)區(qū)域沿著切斷預(yù)定線形成。在此,首先,對于改質(zhì)區(qū)域的形成,參照圖1?圖6,進(jìn)行說明。
[0041]如圖1所示,激光加工裝置100具備將激光L脈沖振蕩的激光光源101、以將激光L的光軸(光路)的方向改變90°的方式配置的分色鏡103、及用于將激光L聚光的聚光用透鏡105。另外,激光加工裝置100具備用于支撐照射由聚光用透鏡105聚光的激光L的加工對象物I的支撐臺107、用于使支撐臺107移動(dòng)的平臺111、為了調(diào)節(jié)激光L的輸出或脈沖寬度、脈沖波形等而控制激光光源101的激光光源控制部102、及控制平臺111的移動(dòng)的平臺控制部115。
[0042]在該激光加工裝置100中,從激光光源101射出的激光L,通過分色鏡103將其光軸的方向改變90°,通過聚光用透鏡105被聚光于被載置于支撐臺107上的加工對象物I的內(nèi)部。與此同時(shí),平臺111被移動(dòng),加工對象物I相對于激光L沿著切斷預(yù)定線5相對移動(dòng)。由此,沿著切斷預(yù)定線5的改質(zhì)區(qū)域被形成于加工對象物I。另外,在此,為了使激光L相對地移動(dòng)而將平臺111移動(dòng),但是,也可以使聚光用透鏡105移動(dòng),或者也可以將其雙方移動(dòng)。
[0043]作為加工對象物1,使用包含由半導(dǎo)體材料形成的半導(dǎo)體基板或由壓電材料形成的壓電基
當(dāng)前第1頁1 2 3 4 5 
網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
  • 還沒有人留言評論。精彩留言會(huì)獲得點(diǎn)贊!
1
禹城市| 呼玛县| 固阳县| 偃师市| 南丰县| 麦盖提县| 安陆市| 平乡县| 外汇| 呈贡县| 海宁市| 凤凰县| 宜兰市| 虹口区| 德州市| 麻城市| 民权县| 香河县| 郓城县| 井冈山市| 临猗县| 新闻| 信宜市| 忻城县| 德安县| 东乡族自治县| 南郑县| 温州市| 绥棱县| 林口县| 乐昌市| 泌阳县| 三原县| 贵阳市| 嘉义县| 郧西县| 建水县| 淮南市| 克东县| 湘阴县| 彭山县|