式中，如上所述，在形成背面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域T1及表面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域73的情況下，沒有將軸棱錐透鏡圖案Ax作為調(diào)制圖案顯示在反射型空間光調(diào)制器203，在此，沒有調(diào)制圖案。因此，可以抑制背面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域T1及表面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域7 3成為縱長且在背面21及表面3容易產(chǎn)生破壞(打痕等)。
[0110]S卩，在本實施方式中，在形成多列的改質(zhì)區(qū)域7并將厚物的加工對象物I進行激光加工的情況下，在接近表面2及背面21的區(qū)域，不實施所謂同時多點細長加工(改質(zhì)點Sx的形成)，一邊提高加工對象物I的分割能力且抑制表面3及背面21的破壞發(fā)生，一邊在中央?yún)^(qū)域，實施所謂同時多點細長加工，從而可以提高芯片的直進性及抗折強度。因此，可以一邊維持加工對象物I的分割能力一邊提高加工品質(zhì)。
[0111]以上，說明了本發(fā)明的一個方面所涉及的實施方式，但是，本發(fā)明并不限于上述實施方式，在不變更各權利要求所記載的主旨的范圍內(nèi)也可以變形，或者應用于其他方面。
[0112]例如，在上述第2實施方式中，將改質(zhì)區(qū)域7廣7 3按該順序形成，但是，并不限定于此，形成于加工對象物I的多列的改質(zhì)區(qū)域7的形成順序是順序不同的。另外，在上述第2實施方式中，也存在將在加工對象物I的內(nèi)部厚度方向的位置彼此不同的改質(zhì)區(qū)域7形成4列以上的情況。例如，可以將背面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域7派成多列，也可以將中間改質(zhì)區(qū)域7 2形成多列，也可以將表面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域73形成多列。
[0113]另外，在上述實施方式中，將“激光入射面”作為表面3，將“激光入射面的相反面”作為背面21，但是，在背面21作為“激光入射面”的情況下，表面3作為“激光入射面的相反面”。另外，在上述實施方式中，也可以將到達表面3及背面21的至少一方的龜裂從改質(zhì)區(qū)域7產(chǎn)生。另外，本發(fā)明的一個方面也可以作為通過上述激光加工裝置或者方法制造的芯片來掌握。
[0114]圖17是用于說明在激光的聚光位置產(chǎn)生的像差的圖。在激光L是平面波(平面的波面(相位))時，幾何學上聚束在I點。另一方面，通常，平面波的激光L由于各種各樣的影響而使波面變化，具有在加工對象物I內(nèi)被聚光的激光L不聚束于I點、即像差自然地發(fā)生的情況。像差例如包含賽德爾像差(散光像差、慧型像差、球面像差，像面彎曲及扭曲(失真)像差)，另外，包含縱向(沿著光軸方向的方向)的像差即縱像差、及與縱向交叉的方向的像差即橫像差。
[0115]例如如圖17所示，在激光L通過聚光光學系統(tǒng)204(參照圖11)等而被聚光在加工對象物I的情況下，如果在聚光過程中被入射至加工對象物I的話，則不同的入射角的光線通過折射(斯涅爾的法則)而聚束在不同的位置的球面像差會自然地發(fā)生。即，如圖所示，由于激光L被聚光在加工對象物1，在該聚光位置像差自然發(fā)生，沿著光軸方向的像差的范圍(該激光L的強度成為加工閾值以上的范圍)作為基準像差范圍H而存在。
[0116]在此，通過相對于包含由于這樣的激光L的聚光而產(chǎn)生的球面像差等的像差(以下，稱為“聚光產(chǎn)生像差”)加上新的像差，從而可發(fā)現(xiàn)可以控制加工品質(zhì)。加上新的像差的方法如上述實施方式那樣，可以列舉使用反射型空間光調(diào)制器203等的空間光調(diào)制器作為賦予像差的像差賦予部，通過該空間光調(diào)制器將激光L進行相位調(diào)制。所謂相位調(diào)制，是將激光L所具有的波面(相位)調(diào)制為任意形狀。
[0117]作為相位調(diào)制的例子，例如可以列舉實現(xiàn)軸棱錐透鏡的作用的相位調(diào)制、實現(xiàn)衍射格子的作用的相位調(diào)制、使規(guī)定的球面像差產(chǎn)生的相位調(diào)制等。該相位調(diào)制的例子分別例如通過相對于反射型空間光調(diào)制器203，將軸棱錐透鏡圖案、衍射格子圖案、規(guī)定的球面像差圖案分別作為調(diào)制圖案來顯示，從而可以實施。順便說一下，作為加上新的像差的方法，也有使用給予像差的透鏡的情況、或在聚光過程將介質(zhì)插入的情況，在這些的情況下，該透鏡及該介質(zhì)分別構成像差賦予部。
[0118]因此，在上述實施方式中在激光L的聚光位置，有時不僅包含由軸棱錐透鏡圖案Ax所產(chǎn)生的相位調(diào)制賦予的像差，而且包含聚光產(chǎn)生像差。另外，在形成背面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域T1及表面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域7 3時即使在沒有顯示于反射型空間光調(diào)制器203的液晶層216的調(diào)制圖案時，在激光L的聚光位置，也具有包含聚光產(chǎn)生像差的情況。另外，相對于由軸棱錐透鏡圖案Ax所產(chǎn)生的相位調(diào)制，也可以加上其它的相位調(diào)制(也可以將其它的圖案的顯示加到液晶層216) ο
[0119]產(chǎn)業(yè)上的可利用性
[0120]根據(jù)本發(fā)明，可以提供能夠提高加工品質(zhì)的激光加工裝置及激光加工方法。
[0121]符號的說明
[0122]I…加工對象物、5、5a、5b...切斷預定線、7...改質(zhì)區(qū)域、T1…背面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域(相反面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域)、72…中間改質(zhì)區(qū)域、73…表面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域(入射面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域)、100、300…激光加工裝置、101、202…激光光源、203…反射型空間光調(diào)制器(空間光調(diào)制器)、204...聚光光學系統(tǒng)、216…液晶層(顯不部)、al…圓區(qū)域、a2…圓環(huán)區(qū)域、Ax…軸棱錐透鏡圖案、d…改質(zhì)光點(dot)、Sx…改質(zhì)點(spot)、L...激光。
【主權項】
1.一種激光加工裝置，其特征在于， 是通過將激光聚光于加工對象物從而沿著激光照射方向?qū)⒍嗔械母馁|(zhì)區(qū)域在所述加工對象物的內(nèi)部沿著切斷預定線形成的激光加工裝置， 具備: 將所述激光射出的激光光源； 對由所述激光光源射出的所述激光進行調(diào)制的空間光調(diào)制器；及 將通過所述空間光調(diào)制器調(diào)制后的所述激光聚光于所述加工對象物的聚光光學系統(tǒng)， 多列的所述改質(zhì)區(qū)域至少包含: 位于激光入射面?zhèn)鹊娜肷涿鎮(zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域； 位于所述激光入射面的相反面?zhèn)鹊南喾疵鎮(zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域；及 位于所述入射面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域與所述相反面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域之間的中間改質(zhì)區(qū)域， 所述空間光調(diào)制器， 在形成所述中間改質(zhì)區(qū)域的情況下，通過將軸棱錐透鏡圖案作為調(diào)制圖案來顯示，從而以在沿著激光照射方向接近排列的多個位置形成聚光點的方式將所述激光聚光，并且在形成所述入射面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域及所述相反面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域的情況下，不將所述軸棱錐透鏡圖案作為調(diào)制圖案來顯示。2.如權利要求1所述的激光加工裝置，其特征在于， 所述激光加工裝置是沿著所述切斷預定線在所述加工對象物的內(nèi)部形成多個改質(zhì)點，并由多個所述改質(zhì)點形成所述改質(zhì)區(qū)域的激光加工裝置， 所述空間光調(diào)制器在形成所述中間改質(zhì)區(qū)域的情況下，在沿著所述激光照射方向接近排列的所述多個位置的各個上形成改質(zhì)光點， 多個所述改質(zhì)光點在所述激光照射方向上構成長條形狀的所述改質(zhì)點。3.如權利要求1或2所述的激光加工裝置，其特征在于， 在所述空間光調(diào)制器的顯示部中， 所述軸棱錐透鏡圖案具有相對于入射的所述激光位于中心的圓區(qū)域、及被劃設于所述圓區(qū)域的周圍并與該圓區(qū)域同心的多個圓環(huán)區(qū)域， 在所述圓區(qū)域及多個所述圓環(huán)區(qū)域中，設定成隨著從徑向外側朝內(nèi)側行進明亮度逐漸變亮。4.一種激光加工方法，其特征在于， 是將從激光光源射出的所述激光通過空間光調(diào)制器調(diào)制并將由所述空間光調(diào)制器調(diào)制后的所述激光聚光于加工對象物，從而沿著激光照射方向?qū)⒍嗔械母馁|(zhì)區(qū)域在所述加工對象物的內(nèi)部沿著切斷預定線形成的激光加工方法， 所述激光加工方法至少具備: 形成位于激光入射面?zhèn)鹊娜肷涿鎮(zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域的工序； 形成位于所述激光入射面的相反面?zhèn)鹊南喾疵鎮(zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域的工序；及 形成位于所述入射面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域與所述相反面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域之間的中間改質(zhì)區(qū)域的工序， 在形成所述中間改質(zhì)區(qū)域的工序中，通過將軸棱錐透鏡圖案作為調(diào)制圖案顯示于所述空間光調(diào)制器，從而以在沿著激光照射方向接近排列的多個位置形成聚光點的方式將所述激光聚光， 在形成所述入射面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域的工序及形成所述相反面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域的工序中，不將軸棱錐透鏡圖案作為調(diào)制圖案顯示于所述空間光調(diào)制器。
【專利摘要】激光加工裝置具備將激光(L)射出的激光光源(202)、調(diào)制由激光光源(202)射出的激光(L)的空間光調(diào)制器(203)、及將通過空間光調(diào)制器(203)調(diào)制后的激光聚光在加工對象物(1)的聚光光學系統(tǒng)(204)，多列的改質(zhì)區(qū)域(7)至少包含：位于激光入射面?zhèn)鹊娜肷涿鎮(zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域、位于激光入射面的相反面?zhèn)鹊南喾疵鎮(zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域、及位于入射面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域與相反面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域之間的中間改質(zhì)區(qū)域?？臻g光調(diào)制器(203)在形成中間改質(zhì)區(qū)域的情況下，通過將軸棱錐透鏡圖案作為調(diào)制圖案顯示，從而以在沿著激光照射方向接近排列的多個位置形成聚光點的方式使激光聚光，并且在形成入射面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域及相反面?zhèn)雀馁|(zhì)區(qū)域的情況下，不將軸棱錐透鏡圖案作為調(diào)制圖案顯示，由此提高加工品質(zhì)。
【IPC分類】B23K26/53, B23K26/064, H01L21/301, B28D5/00, B23K26/40, C03B33/09
【公開號】CN105209219
【申請?zhí)枴緾N201480019047
【發(fā)明人】河口大祐, 廣瀬翼, 荒木佳祐
【申請人】浜松光子學株式會社
【公開日】2015年12月30日
【申請日】2014年3月13日
【公告號】DE112014001653T5, US20160045979, WO2014156687A1