專利名稱:超高真空窗口的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明涉及超高真空設(shè)備,特別是一種適用于超高真空系統(tǒng)的超高真空通光窗
背景技術(shù):
在磁光阱超高真空系統(tǒng)中,要求窗口具有較高的透過率,以獲得較高的冷卻功率, 因此要求超高真空窗口鍍增透膜。而市場上銷售的超高真空窗口通常不鍍膜,但是對成品窗口鍍膜工藝復(fù)雜、質(zhì)量難以達(dá)到要求且鍍膜成本高、靈活性不強。而將玻璃基片鍍好膜后用銦封制作的超高真空窗口,由于銦的熔點較低,使得裝有超高真空窗口的真空系統(tǒng)不能高溫烘烤,整個真空系統(tǒng)的真空度難以達(dá)到要求,且銦封窗口存在制作工藝復(fù)雜,成品率低,易損壞等原因。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是為特殊通光要求的超高真空系統(tǒng)提供一種超高真空窗口,該超高真空窗口制作簡單、快捷、方便、低成本、可操作性強、結(jié)構(gòu)比較靈活。本發(fā)明的技術(shù)解決方案如下
一種超高真空窗口,包括一個法蘭,其特征在于還包括一個圓筒和一塊圓形的窗口玻璃板,所述的圓筒的一端和所述的法蘭密封相連,該圓筒的另一端與所述的窗口玻璃板密封相連。所述的法蘭為具有金屬刀口和通孔內(nèi)臺階的法蘭。所述的圓筒采取金屬材料制作成一端具有周邊臺階的圓筒,所述的圓筒及其周邊臺階與所述的法蘭的內(nèi)部結(jié)構(gòu)相配合,該圓筒的另一端具有內(nèi)周沿臺階,供所述的窗口玻璃板安置封裝。所述的圓筒的內(nèi)壁具有內(nèi)螺紋,供所述的窗口玻璃板和卡環(huán)安裝。所述的圓形的窗口玻璃板鍍有通光波長的增透膜。所述的圓形的窗口玻璃板為平凸透鏡。本發(fā)明的技術(shù)效果
本發(fā)明超高真空窗口通過法蘭盤安裝于超高真空系統(tǒng)上,為超高真空系統(tǒng)提供一個高透射率的觀測、通光窗口。本發(fā)明超高真空窗口為超高真空系統(tǒng)可提供一個快捷、方便、低成本、制作簡單、 靈活的超高真空窗口。
圖1是本發(fā)明超高真空窗口的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是圖1超高真空窗口的剖視圖。
具體實施例方式下面結(jié)合實施例和附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步說明,但不應(yīng)以此限制本發(fā)明的保護范圍。先請參閱圖1、圖2,圖1是本發(fā)明超高真空窗口的結(jié)構(gòu)示意圖,圖2是圖1超高真空窗口的剖視圖,由圖可見,本發(fā)明超高真空窗口包括一個法蘭1,一個圓筒2和一塊圓形的窗口玻璃板3,所述的圓筒2的一端和所述的法蘭1密封相連,該圓筒2的另一端與所述的窗口玻璃板3密封相連。本實施例中法蘭1為具有金屬刀口和通孔內(nèi)臺階的法蘭。所述的圓筒2采取金屬材料制作成一端具有周邊臺階的圓筒,所述的圓筒2及其周邊臺階與所述的法蘭1的內(nèi)部結(jié)構(gòu)相配合,該圓筒2的另一端具有內(nèi)周沿臺階,供所述的窗口玻璃板3 安置封裝。所述的圓筒2的內(nèi)壁具有內(nèi)螺紋,供所述的窗口玻璃板3和卡環(huán)安裝,卡環(huán)用于固定成像透鏡組或其他零件,也可以依據(jù)特定的使用場合來增加或減小長度、或反向粘貼。所述的窗口玻璃板3上鍍通光激光的波長的增透膜。玻璃基板也可以依據(jù)需要做成平凸透鏡。以增加成像系統(tǒng)的視場角。
權(quán)利要求
1.一種超高真空窗口,包括一個法蘭(1 ),其特征在于還包括一個圓筒(2)和一塊圓形的窗口玻璃板(3),所述的圓筒(2)的一端和所述的法蘭(1)密封相連,該圓筒(2)的另一端與所述的窗口玻璃板(3)密封相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超高真空窗口,其特征在于所述的法蘭(1)為具有金屬刀口和通孔內(nèi)臺階的法蘭。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的超高真空窗口,其特征在于所述的圓筒(2)采取金屬材料制作成一端具有周邊臺階的圓筒,所述的圓筒(2)及其周邊臺階與所述的法蘭(1)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)相配合,該圓筒(2)的另一端具有內(nèi)周沿臺階,供所述的窗口玻璃板(3)安置封裝。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的超高真空窗口,其特征在于所述的圓筒(2)的內(nèi)壁具有內(nèi)螺紋,供所述的窗口玻璃板(3 )和卡環(huán)安裝。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項所述的超高真空窗口,其特征在于所述的圓形的窗口玻璃板(3)鍍有通光波長的增透膜。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項所述的超高真空窗口,其特征在于所述的圓形的窗口玻璃板(3)為平凸透鏡。
全文摘要
一種用于超高真空系統(tǒng)的超高真空窗口,由法蘭、圓筒和窗口玻璃板構(gòu)成,所述的圓筒的一端和所述的法蘭密封相連,該圓筒的另一端與所述的窗口玻璃板密封相連。本發(fā)明具有制作簡單、低成本、使用快捷、方便、可操作性強、結(jié)構(gòu)比較靈活的特點。
文檔編號G02B7/02GK102540381SQ20121004311
公開日2012年7月4日 申請日期2012年2月24日 優(yōu)先權(quán)日2012年2月24日
發(fā)明者劉洪力, 尹士奇, 徐震, 洪濤, 王育竹 申請人:中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所