專利名稱：聚硅氧烷組合物、聚硅氧烷組合物的制造方法、顯示元件的固化膜及其形成方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及適宜作為顯示元件的保護(hù)膜、層間絕緣膜等固化膜的形成材料的聚硅氧烷組合物、由該組合物形成的固化膜及該固化膜的形成方法。
背景技術(shù)：
作為液晶顯示元件等顯示元件，在其制造工序中，要利用溶劑、酸或堿溶液等進(jìn)行浸漬處理，另外通過濺射形成布線電極層時(shí)，元件表面會(huì)局部地曝露于高溫下。為了防止這種浸漬處理及高溫處理使顯示元件發(fā)生劣化或損傷，要在元件的表面設(shè)置對(duì)這些處理具有耐受性的保護(hù)膜。對(duì)于這種保護(hù)膜來說，要求具有以下性能相對(duì)所要形成該保護(hù)膜的基板或下層、 以及在保護(hù)膜上形成的層，貼緊性高、膜本身平滑且強(qiáng)韌、具有透明性、即使在高溫條件下也不變色從而能夠保持透明性、表面硬度充足、耐擦傷性優(yōu)異等。為了滿足這種所需特性，主要使用丙烯酸系樹脂作為用于形成保護(hù)膜的射線敏感性組合物的成分，并嘗試使用了耐熱性及透明性比丙烯酸系樹脂更優(yōu)異的聚硅氧烷系材料作為射線敏感性組合物的成分(專利文獻(xiàn)1 3)。但是，聚硅氧烷系材料與ITO (銦錫氧化物)透明導(dǎo)電膜的貼緊性不足，固化膜容易發(fā)生開裂(龜裂)，因此存在著作為保護(hù)膜不實(shí)用的不良情況。而且，在顯示元件中的鉬布線上貼緊性不足時(shí)，保護(hù)膜可能會(huì)以鉬布線上作為起始點(diǎn)，發(fā)生開裂及剝離。因此，還有待開發(fā)在耐熱性及透明性優(yōu)異的同時(shí)，對(duì)ITO透明導(dǎo)電膜及鉬布線的貼緊性得到改善的聚硅氧烷系射線敏感性組合物。另外，在銀行等的自動(dòng)取款機(jī)、自動(dòng)售貨機(jī)、便攜電話、便攜信息終端、數(shù)字音頻播放器等上面使用著被稱為觸摸面板、觸摸屏及觸摸畫面等通過按壓畫面上的顯示來操作設(shè)備的輸入裝置。由于觸摸屏通常是用手指等直接按壓，所以要具備保護(hù)膜。該保護(hù)膜需要具有對(duì)觸摸屏元件的布線的貼緊性、以及作為保護(hù)膜的耐擦傷性等表面高度。另一方面，在顯示元件等中，層間絕緣膜一般是為了使配置成層狀的布線之間絕緣而設(shè)置的。該顯示元件的層間絕緣膜需要形成布線用接觸孔的圖案。作為液晶顯示元件的層間絕緣膜形成用材料，已開發(fā)了成本上有利的負(fù)型射線敏感性組合物(專利文獻(xiàn)4)。 但是，作為這種負(fù)型射線敏感性組合物，難以形成具有實(shí)用水平的孔徑的接觸孔。因此，目前從形成接觸孔的優(yōu)越性方面考慮，為了形成顯示元件的層間絕緣膜，正在大范圍地使用正型射線敏感性組合物(專利文獻(xiàn)5)。這樣，在顯示元件等的制造中，根據(jù)其目的及工序而使用多種射線敏感性組合物。 最近，出于削減成本的考慮，正在嘗試射線敏感性組合物的種類統(tǒng)一化，期待著用一種射線敏感性組合物形成保護(hù)膜及層間絕緣膜。具體來說，就是強(qiáng)烈地希望開發(fā)出在簡(jiǎn)便地形成透明性、耐熱性、貼緊性、耐開裂性、敏感度、折射率、表面硬度及耐擦傷性上優(yōu)異的保護(hù)膜及層間絕緣膜的同時(shí)，顯示出可以形成能用于實(shí)用的接觸孔的分辨性，作為觸摸屏用保護(hù)膜具有充足的貼緊性、耐擦傷性的聚硅氧烷系負(fù)型射線敏感性組合物。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1專利文獻(xiàn)2專利文獻(xiàn)3專利文獻(xiàn)4專利文獻(xiàn)5
日本特開2000-001648號(hào)公報(bào)日本特開2006-178436號(hào)公報(bào)日本特開2008-248239號(hào)公報(bào)日本特開2000-162769號(hào)公報(bào)日本特開2001-；354822號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是基于以上情況做出的，其目的是提供可以形成上述所需特性得到高水平且兼顧平衡的保護(hù)膜及層間絕緣膜等固化膜的聚硅氧烷組合物及其制造方法。另外，本發(fā)明的另一目的是提供由該聚硅氧烷組合物形成的保護(hù)膜、層間絕緣膜等固化膜、以及其形成方法。為了解決上述問題，本發(fā)明首先提供一種聚硅氧烷組合物，其中含有以下成分 [A] [D][A]由(al)具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的硅烷化合物和(a2)不具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的硅烷化合物進(jìn)行共水解縮合而得到的具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的聚硅氧烷，該聚硅氧烷中的(al)具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的硅烷化合物的比例超過15摩爾[B]不具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的聚硅氧烷；[C]自由基聚合引發(fā)劑；及[D]溶劑。另外，本發(fā)明的第二方面是提供上述聚硅氧烷組合物的制造方法，該方法是至少混合以下成分[A] [D][A]由(al)具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的硅烷化合物和(^)不具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的硅烷化合物進(jìn)行共水解縮合而得到的具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的聚硅氧烷，該聚硅氧烷中的(al)具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的硅烷化合物的比例超過15摩爾[B]不具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的聚硅氧烷；[C]自由基聚合引發(fā)劑、及[D]溶劑。本發(fā)明的第三方面是進(jìn)一步提供由上述聚硅氧烷組合物形成的顯示元件的固化膜。另外，本發(fā)明的第四方面是進(jìn)一步提供顯示元件的固化膜的形成方法，其中包含以下工序(1) ⑷(1)在基板上形成上述聚硅氧烷組合物的涂膜的工序；(2)對(duì)由工序(1)形成的涂膜的至少一部分照射射線的工序；(3)使通過工序(2)照射了射線的涂膜顯影的工序；及(4)對(duì)通過工序( 顯影的涂膜進(jìn)行加熱的工序。還有，本發(fā)明的第五方面是進(jìn)一步提供通過上述方法形成的顯示元件的固化膜， 例如，可用作顯示元件的觸摸屏用保護(hù)膜。
本發(fā)明的聚硅氧烷組合物在透明性、耐熱性、耐熱透明性、耐開裂性、表面硬度及耐擦傷性等一般所需特性上得到了高水平且兼顧平衡，而且對(duì)ITO透明導(dǎo)電膜的貼緊性得到了改善，因此容易形成具有微細(xì)而精巧的圖案的保護(hù)膜及層間絕緣膜等固化膜。因此，這樣形成的固化膜(保護(hù)膜或?qū)娱g絕緣膜)可適宜用作顯示元件用，特別是可用作觸摸屏顯示元件的保護(hù)膜。另外，本發(fā)明的聚硅氧烷組合物可以表現(xiàn)出能夠形成接觸孔程度的充足分辨性。
具體實(shí)施例方式聚硅氧烷組合物本發(fā)明的聚硅氧烷組合物含有[A]成分、[B]成分、[C]成分及[D]成分作為必需成分。以下對(duì)各種成分進(jìn)行詳細(xì)說明。[A]成分[A]成分是由(al)具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的硅烷化合物(以下也稱為(al) 化合物)和(a》不具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的硅烷化合物(以下也稱為(^)化合物) 進(jìn)行共水解縮合而得到的具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的聚硅氧烷，該聚硅氧烷中的(al) 化合物的比例超過15摩爾％。作為(al)化合物，優(yōu)選為下述式(1)或下述式( 所示的水解性硅烷化合物。
權(quán)利要求
1.聚硅氧烷組合物，其中含有以下成分[A] [D][A]由(al)具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的硅烷化合物和(^)不具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的硅烷化合物進(jìn)行共水解縮合而得到的具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的聚硅氧烷，該聚硅氧烷中的(al)具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的硅烷化合物的比例超過15摩爾％ ；[B]不具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的聚硅氧烷；[C]自由基聚合引發(fā)劑；及[D]溶劑。
2.權(quán)利要求1中記載的聚硅氧烷組合物，在構(gòu)成上述[A]成分及[B]成分的全部結(jié)構(gòu)單元中所占的具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元的含有比例為1 20摩爾％。
3.權(quán)利要求1或2中記載的聚硅氧烷組合物，還含有不包含于前述[A]成分的[E]乙烯性不飽和化合物。
4.權(quán)利要求1或2中記載的聚硅氧烷組合物，還含有[F]選自有機(jī)微粒和無機(jī)微粒構(gòu)成的群組中的至少一種。
5.權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)記載的聚硅氧烷組合物的制造方法，該方法是至少混合以下成分[A] [D][A]由(al)具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的硅烷化合物和(^)不具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的硅烷化合物進(jìn)行共水解縮合而得到的具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的聚硅氧烷，該聚硅氧烷中的(al)具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的硅烷化合物的比例超過15摩爾％ ；[B]不具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的聚硅氧烷；[C]自由基聚合引發(fā)劑；及[D]溶劑。
6.由權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)記載的聚硅氧烷組合物形成的顯示元件的固化膜。
7.顯示元件的固化膜的形成方法，其中包含以下工序(1) (1)在基板上形成權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)記載的聚硅氧烷組合物的涂膜的工序；(2)對(duì)由工序(1)形成的涂膜的至少一部分照射射線的工序；(3)使通過工序(2)照射了射線的涂膜顯影的工序；及(4)對(duì)通過工序( 顯影的涂膜進(jìn)行加熱的工序。
8.通過權(quán)利要求7記載的方法形成的顯示元件的固化膜。
9.權(quán)利要求8中記載的顯示元件的固化膜，其為觸摸屏用保護(hù)膜。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種聚硅氧烷組合物、聚硅氧烷組合物的制造方法、顯示元件的固化膜及其形成方法。本發(fā)明提供可以使保護(hù)膜及層間絕緣膜等顯示元件的固化膜所需特性得到高水平且兼顧平衡的聚硅氧烷組合物。該聚硅氧烷組合物含有以下成分[A]～[D][A]由(a1)具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的硅烷化合物和(a2)不具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的硅烷化合物進(jìn)行共水解縮合而得到的具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的聚硅氧烷，該聚硅氧烷中的(a1)具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的硅烷化合物的比例超過15摩爾％、[B]不具有自由基聚合性有機(jī)基團(tuán)的聚硅氧烷、[C]自由基聚合引發(fā)劑、及[D]溶劑。
文檔編號(hào)G02F1/133GK102419515SQ201110282258
公開日2012年4月18日 申請(qǐng)日期2011年9月16日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月17日
發(fā)明者上田二朗, 奧田務(wù), 本田晃久, 鈴木康伸 申請(qǐng)人:Jsr株式會(huì)社