專利名稱：：狹縫式涂布機的清洗劑、用于制造顯示器的狹縫式涂布機和顯示器的制造方法
技術領域：
：本發(fā)明涉及狹縫式涂布機(slitcoater)的清洗劑、用于制造顯示器的狹縫式涂布機以及顯示器的制造方法。
背景技術：
：現(xiàn)今對例如液晶顯示器(IXD)設備、等離子體顯示板(PDP)設備和有機發(fā)光二極管(OLED)設備等平板顯示器的需求越來越大。通常，在制造這樣的平板顯示設備時，在基板上形成涂層。此涂層通過例如曝光和顯影得以圖案化。涂層可以使用旋轉式涂布或狹縫式涂布方法(slitcoating)來形成。借助狹縫式涂布方法，帶有細長噴嘴的狹縫式涂布機在基板上運動的同時經(jīng)由噴嘴將涂層液體噴到基板上。此外在必要的時候使用清洗劑來清洗狹縫式涂布機。例如在利用不同顏色的彩色光敏液體形成液晶顯示設備的彩色濾光片時，在用新的彩色光敏液體代替所述彩色光敏液體前需要清洗狹縫式涂布機。但是通常情況下狹縫式涂布機的噴嘴非常狹窄以至于狹縫式涂布機不能有效地得到清洗。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明提供一種能夠有效清洗狹縫式涂布機的狹縫式涂布機用清洗劑。本發(fā)明提供一種具有有效清洗能力的、用于制造顯示設備的狹縫式涂布機。本發(fā)明提供一種能夠有效清洗狹縫式涂布機的制造顯示設備的方法。根據(jù)本發(fā)明，提供一種用于狹縫式涂布機的清洗劑。該清洗劑包括約70約90襯％的丙二醇單甲醚；約5約20襯％的丙二醇單甲醚乙酸酯；及約5約20wt%的乙基(3-乙氧基)丙酸酯。例如，丙二醇單甲醚的含量為約75約85wt%，丙二醇單甲醚乙酸酯的含量為約7約13wt%，乙基(3-乙氧基)丙酸酯的含量為約7約13wt%。例如，清洗劑進一步包括約5約IOwt%的丙酮。根據(jù)本發(fā)明，提供一種用于狹縫式涂布機的清洗劑。該清洗劑包括約80約97襯％的丙二醇單甲醚乙酸酯；及約3約20襯％的丙酮。例如，丙二醇單甲醚乙酸酯的含量為約90約95wt%，丙酮的含量為約5約IOwt%。例如，清洗劑進一步包括約5約15wt%的丙二醇單甲醚。例如，清洗劑還可以進一步包括約5約15wt%的乙基(3-乙氧基)丙酸酯。根據(jù)本發(fā)明，提供一種用來制造顯示器的狹縫式涂布機。該狹縫式涂布機包括狹縫式噴嘴、向狹縫式噴嘴提供至少兩種不同顏色的彩色光敏液體的彩色光敏液體供應裝置，和向狹縫式噴嘴提供狹縫式涂布機用清洗劑的供應裝置。該清洗劑包括約70約90wt%的丙二醇單甲醚，約5約20wt%的丙二醇單甲醚乙酸酯和約5約20wt%的乙基(3-乙氧基)丙酸酯。例如，狹縫式涂布機用清洗劑包括約75約85wt%的丙二醇單甲醚，約7約13wt%的丙二醇單甲醚乙酸酯和約7約13wt%的乙基(3-乙氧基)丙酸酯。例如，狹縫式涂布機用清洗劑進一步包括約5約IOwt%的丙酮。根據(jù)本發(fā)明，提供一種用來制造顯示器的狹縫式涂布機。該狹縫式涂布機包括狹縫式噴嘴、向狹縫式噴嘴提供至少兩種不同顏色的彩色光敏液體的彩色光敏液體供應裝置，和向狹縫式噴嘴提供狹縫式涂布機清洗劑用清洗劑的清洗劑供應裝置。該清洗劑包括約80約97wt%的丙二醇單甲醚乙酸酯和約3約20襯％的丙酮。例如，狹縫式涂布機用清洗劑包括約90約95wt%的丙二醇單甲醚乙酸酯和約5約IOwt%的丙酮。例如，狹縫式涂布機用清洗劑進一步包括約5約15wt%的丙二醇單甲醚。例如，狹縫式涂布機的清洗劑進一步包括約5約15wt%的乙基(3-乙氧基)丙酸酯。根據(jù)本發(fā)明實施例，提供了一種制造顯示器的方法。該方法包括通過狹縫噴嘴將第一種彩色光敏液體涂覆在基板上以形成第一彩色光敏層；對該第一彩色光敏層進行圖案化以形成第一底部彩色濾光片(subcolorfilter)；向狹縫式噴嘴供應狹縫式涂布機用清洗劑以清洗狹縫式噴嘴。該清洗劑包括約7090wt%的丙二醇單甲醚，520wt%的丙二醇單甲醚乙酸酯和520wt%的乙基(3-乙氧基)丙酸酯。該方法進一步包括通過狹縫式噴嘴將第二種彩色光敏液體涂覆在第一底部彩色濾光片上以形成第二彩色光敏層。例如，狹縫式涂布機用清洗劑包括約75約85wt%的丙二醇單甲醚，約7約13wt%的丙二醇單甲醚乙酸酯和約7約13wt%的乙基(3-乙氧基)丙酸酯。例如，狹縫式涂布機用清洗劑進一步包括約5約IOwt%的丙酮。根據(jù)本發(fā)明實施例，提供了一種制造顯示器的方法。該方法包括通過狹縫式噴嘴將第一彩色光敏液體涂覆在基板上以形成第一彩色光敏層，對此第一彩色光敏層進行圖案化以形成第一底部彩色濾光片以及，向狹縫式噴嘴供給狹縫式涂布機清洗劑以清洗狹縫式噴嘴。該清洗劑包括約80約97wt%的丙二醇單甲醚乙酸酯和約3約20wt%的丙酮。該方法進一步包括通過狹縫式噴嘴將第二彩色光敏液體涂覆在第一底部彩色濾光片上以形成第二彩色光敏層。例如，狹縫式涂布機用清洗劑包括約90約95wt%的丙二醇單甲醚乙酸酯和約5約IOwt%的丙酮。例如，狹縫式涂布機用清洗劑進一步包括約5約15wt%的丙二醇單甲醚。例如，狹縫式涂布機用清洗劑進一步包括約5約15wt%的乙基(3-乙氧基)丙酸酯。從下面結合附圖的描述可以進一步詳細地理解本發(fā)明的實施方式，其中圖1示出了根據(jù)本發(fā)明示例性實施方式的狹縫式涂布機的方塊圖。圖2示出根據(jù)本發(fā)明示例性實施方式的狹縫式涂布機的狹縫式噴嘴的立體圖；圖3示出圖2沿III-III線的剖視圖；圖4示出圖2沿IV-IV線的剖視圖；圖5和圖6分別示出了根據(jù)本發(fā)明的測試結果；圖7示出了采用根據(jù)本發(fā)明示例性實施方式的狹縫式涂布機制造的顯示設備；圖8示出了根據(jù)本發(fā)明示例性實施方式制造顯示設備方法的流程圖；以及圖9A到9G分別示出了根據(jù)本發(fā)明示例性實施方式制造顯示器的方法。具體實施例方式下文中結合附圖對本發(fā)明的示例性實施方式進行描述。其中，相同的附圖標記表示相同的元件，并且根據(jù)需要避免重復描述。下面結合圖1對根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的狹縫式涂布機進行描述。如圖1所示，狹縫式涂布機1包括狹縫式噴嘴10，彩色光敏液體供應裝置20和清洗劑供應裝置30。狹縫式涂布機1還可以進一步包括使狹縫式噴嘴10在平面上運動的傳動器。狹縫式噴嘴10被供應以來自彩色光敏液體供應裝置20的彩色光敏液體，且該噴嘴將所供給的彩色光敏液體排放在基板上。這里將對狹縫式噴嘴10進行詳細描述。彩色光敏液體供應裝置20包括3個彩色光敏液體存儲罐21a，22a和23a和分別與彩色光敏液體存儲罐21a，22a和23a相連接的質(zhì)流控制器21b，22b和23b。彩色光敏液體存儲罐21a，22a和23a分別儲存不同顏色的彩色光敏液體，例如分別為藍色、綠色和紅色的光敏液體。清洗劑供應裝置30包括清洗劑存儲罐30a和與清洗劑存儲罐30a相連接的質(zhì)流控制器30b。彩色光敏液體供應裝置20和清洗劑供應裝置30分別向狹縫式噴嘴10供給彩色光敏液體和清洗劑。狹縫式噴嘴10將彩色光敏液體排放在基板上或使用清洗劑來清洗狹縫式噴嘴10內(nèi)部。在本發(fā)明的示例性實施方式中，清洗劑供應裝置30供應第一種清洗劑或第二種清洗劑。第一種清洗劑包括約5約20wt%的丙二醇單甲醚乙酸酯(PGMEA)，約70約90襯％的丙二醇單甲醚(PGME)和約5約20wt%的乙基(3-乙氧基)丙酸酯(EEP)。例如,第一種清洗劑可以包括約7約13wt%的PGMEA，約75約85wt%的PGME和約7約EEP。PGMEA在約25°C下的比重是約0.968，粘度為約1.3cps。在一個大氣壓下PGMEA的沸點大約為145146°C，閃點為約42°C。當PGMEA的含量低于約5襯％或高于約20wt%時，第一種清洗劑的溶解性受到影響。當EEP的含量低于約5襯％或高于約20襯％時，第一種清洗劑的溶解性也受到影響。由于EEP比PGMEA或PGMA價格更高，因此EEP的用量越多，第一種清洗劑的制造成本將會越高。第一種清洗劑還可以進一步包含約5約IOwt%的丙酮。第二種清洗劑包括約80約97wt%的PGMEA和約3約20wt%的丙酮。例如，第二種清洗劑可以包括約90約PGMEA和約5約IOwt%的丙酮。當丙酮的含量低于約3襯％時，清洗劑的清洗能力不是很有效。第二種清洗劑的清洗能力隨著丙酮含量的提高而增強。然而，當丙酮的含量高于約20襯％時，閃點降至大約-rc，從而有可能導致危險的工藝條件。表1給出了第二種清洗劑的閃點與丙酮含量之間的關系。除丙酮外第二種清洗劑的其余成分為PGMEA。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage6</column></row><table>第二種清洗劑還可以進一步包括約5約15wt%的PGMEA和/或約5約15wt%Weep。參照圖2到4，狹縫式噴嘴10是伸長的，分別被供應以來自彩色光敏液體供應裝置20和清洗劑供應裝置30的彩色光敏液體和清洗劑。狹縫式噴嘴10的寬度(w)可以根據(jù)待涂覆的基板尺寸而改變。比如狹縫式噴嘴的寬度(w)可以為大約8002000mm。狹縫式噴嘴10包括互相緊挨著的第一亞主體11和第二亞主體12。第一亞主體11比第二亞主體12更復雜。第一亞主體11包括噴射器13、空腔14和噴嘴部分15。噴射器13與彩色光敏液體供應裝置20和清洗劑供應裝置30相連接，從而被供應以分別來自上述裝置的彩色光敏液體和清洗劑。將噴射器13布置于狹縫式噴嘴10縱向方向的中心附近。空腔14與噴射器13相連接，延伸至噴射器13的相對側。相對于噴射器13，空腔14的兩側是對稱的。將供應至噴射器13的彩色光敏液體或清洗劑通過空腔14供應至噴嘴部分15?？涨?4與噴射器13間的距離越大，空腔14的位置越低?？涨?4的傾角，例如，懸角(hangerangle)θ，大約為1°。第一亞主體11和第二亞主體12面對面設置且它們之間存在小的縫隙(g)從而形成噴嘴部分15。噴嘴部分15與空腔14相連接，噴嘴部分15的縫隙(g)可為60140μm左右ο噴嘴部分15的噴口長度(L)根據(jù)空腔14的位置而改變。也就是說，空腔14位于頂部時，此時位于狹縫式噴嘴10中心的噴嘴部分15的噴口長度(L)最長，而空腔14位于底部時，此時位于狹縫式噴嘴10兩端的噴嘴部分15的噴口長度最短。下面，結合測試結果，描述第一種清洗劑和第二種清洗劑。測試是為了檢測在施用清洗劑時，基板上所形成的藍色濾光片隨時間被洗掉多少。例如，通過注射器將藍色光敏液體(YB-755，可從DongWoo精細化學品公司(R.0.K)獲得)滴在基板上并干燥基板以得到藍色濾光片。藍色光敏液體的固體物質(zhì)含量為12襯％左右，溶劑包含PGMEA和EEP(約64)的混合物。通過計量泵將清洗劑以約1.3mL/min的流量供應在藍色濾光片上。為了減小誤差，根據(jù)藍色濾光片的干燥狀態(tài)，同時將藍色光敏液體滴在相同基板的藍色濾光片上。圖5示出了比較例1到4的結果。圖6示出了實施例1到3的結果。參照圖5，在比較例1到3中，分別單獨使用PGMEA，PGME和EEP，經(jīng)過約50秒后保留少量的藍色濾光片。相反，在比較例4中，使用了約70wt%的PGMEA和約30wt%的丙酮，經(jīng)過大約30秒后，大部分藍色濾光片被清除。盡管比較例4顯示了有效的清洗能力，但具有不能接受的_7°C閃點。參照圖6，在實施例1中，采用約80wt%的PGME，約IOwt%的EEP和約IOwt%的PGMEA，約50秒后大部分藍色濾光片被清除。在實施例2中，采用約90wt%的PGMEA和約IOwt%的丙酮，約40秒后大部分藍色濾光片被清除。在實施例3中，采用90wt%的PGMEA和5襯％的丙酮清洗，約50秒后大部分藍色濾光片被清除。從測試結果，可以得到如下結論對于藍色濾光片，相對于比較例1到3，實施例1到3提供了改進的清洗能力。前面的結果對紅色和綠色濾光片也適用。下文，結合圖7，描述了使用根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的狹縫式涂布機制造的顯不設備。根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式制造的液晶顯示器(IXD)100包括薄膜晶體管基板110，彩色濾光片基板120和插入薄膜晶體管基板110和彩色濾光片基板120之間的液晶層130。薄膜晶體管基板110包括絕緣基板111，以及在絕緣基板111上形成的多個薄膜晶體管112。鈍化層113覆蓋在薄膜晶體管112上。鈍化層113的一部分被除去以形成接觸孔114，經(jīng)由該孔來曝光薄膜晶體管112。由透明導電材料制成的像素電極115經(jīng)由接觸孔114與薄膜晶體管112相連接。彩色濾光片基板120包括絕緣板121和在絕緣板121上形成的格柵狀的黑色基體122。例如，黑色基體122可以由含有黑色顏料的有機材料制成。形成與薄膜晶體管112和薄膜晶體管基板112的導線相應的黑色基體122。例如，彩色濾光片123在黑色基體122之間形成。彩色濾光片123由有機材料制成且包括3個不同顏色的亞層123a，123b和123c。最外層124和由例如透明導電材料制成的普通電極(commonelectrode)125形成在黑色基體122和彩色濾光片層123上。像素電極115和普通電極125產(chǎn)生的電場決定了布置在薄膜晶體管基板110和彩色濾光片基板120之間的液晶層130中的液晶的排列。借助液晶層130調(diào)節(jié)來自薄膜晶體管基板110下部的光的透射率。當光經(jīng)過彩色濾光片層123和附在彩色濾光片基板120外表面上的偏光片時，光就具有了顏色。在下文，結合圖8到圖9G，描述根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式的制備顯示器的方法。參照圖6，首先，按照操作S100，在絕緣基板121上形成格柵狀的黑色基體122，如圖9A和9B所示。然后，如圖9C和9D所示，按照操作S200，通過狹縫式涂布機1，在表面形成有黑色基體122的絕緣基板121上涂覆藍色光敏液體，以形成藍色光敏層126a。從彩色光敏液體存儲罐21a向狹縫式噴嘴10供應藍色光敏液體，在絕緣基板121上運動的同時，在絕緣基板121上涂覆藍色光敏層126a。接著，如圖9E所示，按照操作S300，對藍色的光敏層126a進行圖案化以形成藍色濾光片123a，同時，向狹縫式噴嘴10供應清洗劑。例如，藍色光敏層126a通過預烘焙、曝光、顯影、清洗和后烘焙形成藍色濾光片123a。預烘焙可以借助熱板進行約2約4分鐘，后烘焙可以在約200約230°C下進行約20約60分鐘。隨著藍色濾光片126a的圖案化工藝，從清洗劑供應裝置30向狹縫式噴嘴10供給清洗劑并清洗模腔14和噴嘴部分15。根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式，清洗劑包括第一種清洗劑或第二種清洗劑。當狹縫式噴嘴10中存留藍色光敏液體時，由于狹縫式噴嘴10內(nèi)藍色光敏液體中的溶劑蒸發(fā)會造成噴嘴部分15的阻塞，或可能會產(chǎn)生顆粒。清洗劑將藍色光敏液體從狹縫式噴嘴10中推出去從而清洗狹縫式噴嘴10，由此避免了噴嘴部分15被阻塞和產(chǎn)生顆粒。而且，清洗劑有效地清除了藍色光敏液體，從而避免了隨后供給的綠色光敏液體與藍色光敏液體混合。然后，如圖9F所示，按照S400操作在藍色的濾光片123a上形成綠色光敏層126b。在此過程中，從彩色光敏液體存儲罐21b向狹縫式噴嘴10供給綠色光敏液體，狹縫式噴嘴10在絕緣基板121上移動的同時，在絕緣基板121上涂覆綠色光敏層126b。根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式，清洗劑能夠有效清除光敏液體。由此，當將光敏液體更換為新的光敏液體時，減少了不同光敏液體混合的可能性。而后，對綠色光敏層126b進行圖案化以形成綠色濾光片123b。同樣的處理工藝適用于紅色濾光片123c，形成彩色濾光片123，如圖9G所示。下一步，在彩色濾光片123上形成外涂層124和透明電極層125而完成彩色濾光片基板120的制造。然后，將薄膜晶體管基板110固定在彩色濾光片基板120上。最后，如圖7所示，通過在薄膜晶體管基板Iio和彩色濾光片基板120之間注入液晶層130而形成液晶顯示設備100。根據(jù)本發(fā)明的示例性實施方式，清洗劑的用途不局限于制造彩色濾光片。當狹縫式涂布機中的兩種光敏液體的一種換成另一種的時候，可以使用該清洗劑。而且，在清洗及管理使用單一光敏液體的狹縫式涂布機時，也可以使用該清洗劑。由上面的描述顯然可知，本發(fā)明提供了一種能夠有效地清洗狹縫式涂布機的狹縫式涂布機用清洗劑。而且，本發(fā)明提供了一種具有高效清洗能力的、用于制造顯示器的狹縫式涂布機和使用此狹縫式涂布機制造顯示器的方法。盡管已經(jīng)描述了本發(fā)明的示例性實施方式，但需要進一步注意的是在不偏離權利要求書所限定的本發(fā)明的精神及范圍的情況下，本領域的普通技術人員能夠?qū)ζ渥龀龈鞣N變化。權利要求一種用于狹縫式涂布機的清洗劑，包括約80～約97wt％的丙二醇單甲醚乙酸酯和約3～約20wt％的丙酮。2.根據(jù)權利要求1所述的清洗劑，其中丙二醇單甲醚乙酸酯的含量為約90約95wt%，且丙酮含量為約5約IOwt%。3.根據(jù)權利要求1所述的清洗劑，進一步包括約5約15wt%的丙二醇單甲醚。4.根據(jù)權利要求1所述的清洗劑，進一步包括約5約15wt%的乙基(3-乙氧基)丙酸酯。5.一種用于制造顯示設備的狹縫式涂布機，包括狹縫式噴嘴；向狹縫式噴嘴提供至少兩種不同顏色的彩色光敏液體的彩色光敏液體供應裝置；及向狹縫式噴嘴提供狹縫式涂布機用清洗劑的清洗劑供應裝置，該清洗劑包括約80約97wt%的丙二醇單甲醚乙酸酯和約3約20襯％的丙酮。6.根據(jù)權利要求5所述的狹縫式涂布機，其中丙二醇單甲醚乙酸酯的含量為約90約95wt%，丙酮的含量為約5約IOwt%。7.根據(jù)權利要求5所述的狹縫式涂布機，其中狹縫式涂布機用清洗劑進一步包括約5約15wt%的丙二醇單甲醚。8.根據(jù)權利要求5所述的狹縫式涂布機，其中狹縫式涂布機用清洗劑進一步包括約5約15wt%的乙基(3-乙氧基)丙酸酯。9.一種制造顯示器的方法，包括通過狹縫噴嘴將第一種彩色光敏液體涂覆在基板上以形成第一彩色光敏層；對該第一彩色光敏層進行圖案化以形成第一底部彩色濾光片；向狹縫式噴嘴供應狹縫式涂布機用清洗劑以清洗狹縫噴嘴，該清洗劑包括約80約97wt%的丙二醇單甲醚乙酸酯和約3約20wt%的丙酮；以及通過狹縫噴嘴將第二種彩色光敏液體涂覆在第一底部彩色濾光片上以形成第二彩色光敏層。10.根據(jù)權利要求9所述的方法，其中丙二醇單甲醚乙酸酯的含量為約90約95wt%，丙酮的含量為約5約IOwt%。11.根據(jù)權利要求9所述的方法，其中狹縫式涂布機用清洗劑進一步包括約5約15wt%的丙二醇單甲醚。12.根據(jù)權利要求9所述的方法，其中狹縫式涂布機用清洗劑進一步包括約5約15wt%的乙基(3-乙氧基)丙酸酯。全文摘要公開了狹縫式涂布機的清洗劑，制造顯示器的狹縫式涂布機和顯示器的制造方法。狹縫式涂布機的清洗劑包含約70～約90wt％的丙二醇單甲醚、約5～約20wt％的丙二醇單甲醚乙酸酯和約5～約20wt％的乙基(3-乙氧基)丙酸酯。文檔編號G03F7/16GK101824370SQ20101017057公開日2010年9月8日申請日期2007年2月9日優(yōu)先權日2006年2月13日發(fā)明者沈怡燮,趙國來,金炳住申請人:三星電子株式會社