專利名稱：涂布裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種將涂布液涂布在基板上的涂布裝置。
背景技術：
在液晶顯示器或等離子顯示器等平板顯示器中，使用涂布有抗蝕劑液的玻璃基板 (以下也稱之為涂布基板)。而且，所述涂布基板是通過使用將抗蝕劑均勻涂布在玻璃基板 上的涂布裝置而制成的。作為這樣的涂布裝置，下述專利文獻1公開了以下技術方案上述涂布裝置具有 基板保持盤，保持基板；涂布頭(涂布部)，配置在由基板保持盤保持的基板上方、且從下端 部的噴嘴流出抗蝕劑液；相對移動裝置，使涂布頭相對于基板保持盤相對水平地移動；其 中，使涂布頭相對于基板保持盤進行相對水平移動的同時，流出涂布液，從而在基板保持盤 的基板上涂布抗蝕劑液。另外，由于基板上表面與涂布頭的噴嘴之間，通常僅有數(shù)十ym 百數(shù)十μπι的間 隙，所以如果在基板上存在異物或者在基板保持盤上存在異物而基板浮起來，則存在涂布 頭的噴嘴與異物或基板發(fā)生碰撞而損傷噴嘴或基板的擔憂。因此，如圖6所示，專利文獻1的涂布裝置包括板狀部件(碰撞部)150，其按照在 相對于基板保持盤114進行相對移動的方向Xl的前方側上與異物P發(fā)生碰撞的方式進行 設置；振動傳感器151，檢測所述板狀部件150的振動；控制裝置，在振動由振動傳感器151 被檢測時，對涂布頭122的相對移動進行強制停止。而且，所述涂布裝置具有下述構成通 過使板狀部件150與基板112上的異物P發(fā)生碰撞，并由振動傳感器151檢測出因該碰撞 而產(chǎn)生的振動，根據(jù)該檢測信號強制停止涂布頭122在Xl方向上的移動，由此能夠預防涂 布頭122的噴嘴144與異物P發(fā)生碰撞的問題。專利文獻1 特許第3653688號公報在專利文獻1的涂布裝置中，從振動傳感器151檢測出振動到實際停止涂布頭122 的相對移動需要花費時間，因此必須以涂布頭122在該時間內(nèi)所移動的距離(停止距離) 長度來設置涂布頭122的噴嘴144與板狀部件150之間的間隔L。另一方面，伴隨著近幾年抗蝕劑液等的涂布性能的提高，相對于基板保持盤114 的涂布頭122的相對移動速度具有高速化的傾向。因此，也需要加長涂布頭122的停止距 離長度，由此需要進一步增加涂布頭122的噴嘴144與板狀部件150之間的間隔L。但是， 如果增加涂布頭122與板狀部件150之間的間隔L，則存在裝置大型化的問題。另外，還存 在下述問題在因與異物P發(fā)生碰撞以外的原因而涂布頭122以其重心位置為中心產(chǎn)生振 動時，距離涂布頭122的中心位置越遠，由該振動而產(chǎn)生的位移就越大，因此如果增加涂布 頭122與板狀部件150 (振動傳感器151)之間的間隔L，則對與異物P碰撞以外的振動容易 錯誤地進行檢測。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是為了解決上述問題而作出的，其目的為提供一種在異物檢測部檢測出異 物之后，即使在不增加噴嘴到異物等之間距離的情況下，也可以避免噴嘴與異物等之間的 碰撞，能夠抑制裝置大型化的涂布裝置。
(1)本發(fā)明的涂布裝置，其特征在于，包括保持臺，在水平面上保持基板；涂布 部，包括朝向所述保持臺上的所述基板流出涂布液的噴嘴；行走機構，使所述涂布部相對于 所述保持臺在水平方向上行走；升降機構，使所述涂布部在上下方向上升降；異物檢測部， 為了在所述基板上涂布，通過所述行走機構使所述涂布部行走時，檢測出位于所述噴嘴的 行走方向前方側的異物；退避控制部，當所述異物檢測部檢測出異物時，控制所述升降機構 以使所述涂布部朝向上方退避。本發(fā)明的涂布裝置，由于在通過異物檢測部檢測出異物時，升降機構通過退避控 制部被控制以使涂布部朝上方退避，因此即使不增加用來適應涂布部行走速度的高速化 等而從異物檢測部檢測出異物后噴嘴行走至異物的距離(從異物檢測部到噴嘴之間的距 離)，也能夠避免噴嘴與異物等之間的碰撞，從而能夠抑制裝置的大型化。(2)優(yōu)選的是，所述異物檢測部被設置在所述涂布部的噴嘴的行走方向前方側，且 包括碰撞部，在所述基板上或所述保持臺上有異物時，能夠與所述異物或者所述基板的表 面發(fā)生碰撞；碰撞檢測部，檢測出因與所述異物或者所述基板表面發(fā)生碰撞而引起的所述 碰撞部的高度變化。根據(jù)該構成，碰撞檢測部檢測出因與所述異物或者所述基板表面(以下，稱之為 異物)發(fā)生碰撞而引起的碰撞部的高度變化，因此與通過振動傳感器檢測出因該碰撞引起 的振動的情況相比，能夠減少誤檢測且提高檢測精度。即，通過振動傳感器檢測出碰撞部的 振動時，有時也對因碰撞部與異物等之間的碰撞以外的原因而發(fā)生振動進行誤檢測，例如， 當涂布動作開始時或結束時，也對因涂布部進行加速、減速而引起的、行走方向上的振動進 行誤檢測，但按照本發(fā)明所述的方式檢測出碰撞部的高度變化時，幾乎不會發(fā)生上述問題， 能夠正確地檢測出碰撞部與異物等之間的碰撞。(3)優(yōu)選的是，所述碰撞部與所述涂布部一體地設置，以使其能夠與所述涂布部一 起進行上下升降。另外，在涂布裝置包括下述構成時，即包括高度檢測部，檢測所述涂布部 的高度；升降控制部，根據(jù)該高度檢測部的檢測結果將所述涂布部的高度控制到規(guī)定高度 時，優(yōu)選的是，所述高度檢測部兼作所述碰撞檢測部。根據(jù)該構成，用于控制涂布部高度的高度檢測部，同時也用于因與異物等的碰撞 而引起的、碰撞部的高度變化的檢測，因此不需要另設傳感器用來檢測碰撞部的高度變化。 因此，能夠減少部件數(shù)量，且能夠抑制制造成本。(4)優(yōu)選的是，在所述碰撞部的行走方向前方側的下部，形成有以越靠所述行走方 向的前方側其高度越高的方式傾斜的傾斜面。根據(jù)該構成，若異物存在于基板等上，則呈傾 斜面的碰撞部下面與異物等發(fā)生碰撞，伴隨著這樣的碰撞含有向上成分的一種反作用力作 用于碰撞部。因此，碰撞部通過與異物等的碰撞高度易于發(fā)生變化，從而能夠進一步提高異 物的檢測精度。本發(fā)明的涂布裝置，在檢測出基板上或保持臺上的異物的情況下，使涂布部向上 方退避，因此不需要增加從異物檢測部檢測出異物后噴嘴行走至異物等的距離，就能夠抑制裝置的大型化。


圖1為表示本發(fā)明實施方式的涂布裝置的立體圖；圖2為對上述涂布裝置中涂布單元的單元支承部附近進行放大而表示的主視圖；圖3為上述涂布裝置中升降機構的概略圖；
圖4為表示上述涂布裝置中控制裝置的構成的框圖；圖5為表示本發(fā)明其它實施方式的涂布裝置的碰撞部的放大概略圖；圖6為表示現(xiàn)有技術的涂布裝置的涂布部的概略圖。附圖標記說明11涂布裝置12 基板13 基臺14載物臺(保持臺)15 涂布單元17 滑軌19 引導面20 空氣軸承22管頭部(涂布部)23 單元支承部24 升降機構25 行走機構26控制裝置28 導軌29 滑塊30伺服馬達31滾珠絲杠機構32升降控制部(退避控制部)33高度檢測部(異物檢測部)34 第一標尺35第一讀取部36 滑動支承部37線性馬達39行走控制部(停止控制部)40行走位置檢測部41第二標尺42第二讀取部44 噴嘴45碰撞部(異物檢測部)
45a傾斜面
具體實施例方式以下參照附圖對本發(fā)明的實施方式進行說明。圖1為表示本發(fā)明實施方式的涂布裝置11的立體圖；圖2為對上述涂布裝置11中涂布單元15的單元支承部23附近進行放大而表示的主視圖。如圖1和圖2所示，涂布 裝置11是在被供給的薄板狀基板12上涂布藥液或抗蝕劑等液狀物(以下，也可稱為涂布 液)的裝置。該涂布裝置11包括基臺13;載物臺(保持臺)14，用來載置基板12;涂布單 元15，以相對于所述載物臺14能夠朝特定方向移動的方式構成。另外，在以下說明中，以涂布單元15移動的方向作為X軸方向，以在水平面上與上述 方向相正交的方向作為Y軸方向，以與χ軸方向和Y軸方向均正交的上下方向作為ζ軸方向。在基臺13中載置有載物臺14，在該基臺14的Y軸方向兩側設置有滑軌17。并且， 在該滑軌17上載置有涂布單元15。該載物臺14為將搬入的基板12載置在其上表面上并對其進行保持的機構。在載 物臺14的表面形成有多個吸引孔(省略圖示)，且這些吸引孔與真空泵(省略圖示)相連 接。于是，如果使真空泵工作，則基板12通過負壓被吸引到載物臺14的表面上，從而被保 持在該表面上。另外，載物臺14中設置有使基板12進行升降動作的基板升降機構(省略 圖示)?；?7為引導涂布單元15的移動的機構，其沿X軸方向延伸而設置。滑軌17在 垂直于ζ軸方向和垂直于Y軸方向的方向上具有平坦且平滑的引導面19。該引導面19與 后述的涂布單元15的空氣軸承20相對而置。涂布單元15為用來朝向被載置在載物臺14的基板12涂布涂布液的機構，其包 括管頭部(涂布部)22，沿Y軸方向延伸，用來流出涂布液；單元支承部23，設置在所述管 頭部22的兩端部分。單元支承部23為使管頭部22在Z軸方向上升降且使其在X軸方向上行走的機構。 即，該單元支承部23包括升降機構24，使管頭部22在Z軸方向上升降；行走機構25，使管 頭部22在X軸方向上行走。另外，升降機構24和行走機構25的動作通過控制裝置26 (參 照圖4)而被控制。而且，控制裝置26由含有下述單元的計算機構成運算單元，其由CPU 構成；存儲單元，為用于存儲程序或數(shù)據(jù)的ROM、RAM、HDD等；輸入輸出接口等，其對外部信 號進行輸入輸出；其中，由運算單元來執(zhí)行被存儲在存儲單元的各種程序。如圖1和圖2所示，升降機構24包括沿Z軸方向延伸的導軌28以及與管頭部22 相連接的滑塊29?；瑝K29以沿著導軌28可自由滑動的方式安裝在該導軌28上。圖3是 升降機構24的概略圖，升降機構24包括伺服馬達30，作為傳動件；滾珠絲杠機構31，通過 該伺服馬達30而被驅(qū)動；在該滾珠絲杠機構31上連接有滑塊29或管頭部22。在控制裝 置26中，具有作為一個功能部的、對伺服馬達30進行驅(qū)動控制的升降控制部32 (同時參照 圖4)，升降控制部32按照下述方式構成通過控制該伺服馬達30而使管頭部22在Z軸方 向上進行升降，且能夠使管頭部22在任意位置上停止。另外，升降機構24包括對管頭部22在上下方向上的位移進行檢測的高度檢測部 33。該高度檢測部33由光學或磁性等的線性標尺構成，且包括第一標尺34，并列設置在管頭部22上；第一讀取部35，設置在與該第一標尺34相對而置的位置上，與管頭部22 — 起在上下方向上進行升降。并且，高度檢測部33按照由第一讀取部35讀取第一標尺34以 檢測出管頭部22的高度的方式構成。通過第一讀取部35而被檢測出的信號被輸入到控制 裝置26的升降控制部32，并根據(jù)該被輸入的信號，伺服馬達30通過升降控制部32而被控 制。如圖1和圖2所示，行走機構25為用來使管頭部22在X軸方向上行走的機構，且 包括滑動支承部36和線性馬達37。該滑動支承部36通過設置在其與滑軌17之間的空氣軸承20而被支承在滑軌17 上。并且，通過控制裝置26對線性馬達37的驅(qū)動控制，滑動支承部36在X軸方向上移動。 具體來講，在設置于滑動支承部36上的空氣軸承20上通過管路連接有壓縮機(省略圖 示)，且通過該壓縮機的動作，空氣從空氣軸承20被供給到引導面19。于是，通過空氣被供 給到空氣軸承20與引導面19之間，由此滑動支承部36從引導面19浮起，在該狀態(tài)下，滑 動支承部36通過驅(qū)動線性馬達37的方式而在X軸方向上移動。如圖4所示，控制裝置26包括作為一個功能部的、控制線性馬達37的行走控制部 39，該行走控制部39按照下述方式構成通過控制線性馬達37而使管頭部22在X軸方向 上行走，且能夠使管頭部22在任意位置上停止。另外，在滑動支承部36中，設置有對涂布單元15在X軸方向的位置進行檢測的行 走位置檢測部40。如圖1和圖2所示，該行走位置檢測部40包括第二標尺41，沿著引導 面19設置在滑軌17上；第二讀取部42，設置在與該第二標尺41相對而置的位置上；其中， 通過該第二讀取部42讀取第二標尺41，由此涂布單元15的行走位置被檢測出來。通過第 二讀取部42而被檢測出的信號被輸入到行走控制部39，該行走控制部39根據(jù)所輸入的信 號來控制線性馬達37。另外，行走控制部39具有根據(jù)所輸入的信號計算出涂布單元15的 行走速度的功能。圖1和圖2所示，管頭部22為朝向被保持在載物臺14上的基板12的上表面涂布 涂布液的機構。該管頭部22為具有沿Y軸方向延伸的形狀的柱狀部件，其在與載物臺14的 表面相對而置的一側上具有用來流出涂布液的噴嘴44。該噴嘴44朝向載物臺14的表面?zhèn)?突出，在該突出的部分上形成有朝Y軸方向延伸的狹縫，通過該狹縫而被供給到管頭部22 的涂布液被流出到基板12的表面上。通過行走控制部39控制線性馬達37，由此管頭部22從配置在載物臺14的X軸方 向的端部側的狀態(tài)沿箭頭XI方向行走，同時在基板12的表面上涂布涂布液。另外，在基板12的表面上涂布涂布液時，管頭部22的高度按照噴嘴44與基板12 表面之間的間隙為大約數(shù)十Pm 百數(shù)十ym之間的規(guī)定值的方式進行設定。具體來講， 在涂布涂布液期間，管頭部22的高度通過高度檢測部33 (參照圖3)而被實時檢測，該檢測 信號被輸入到控制裝置26的升降控制部32。于是，伺服馬達30通過升降控制部32而被反 饋控制，以使管頭部22被維持在規(guī)定的高度上。如圖3所示，管頭部22的下面設置有碰撞部45。該碰撞部45與管頭部22同樣 地朝向Y軸方向延伸、且其與該Y軸方向相正交的截面形狀以大致呈L字形狀的方式形成。 而且，碰撞部45位于管頭部22的行走方向XI的前方側，并配置在相對于噴嘴44處于同一 方向且距有規(guī)定間隔L的位置上。另外，碰撞部45按照一體固定在管頭部22上且能夠與管頭部22 —起進行上下升降和水平移動的方式構成。碰撞部45的下端位置設定在與噴嘴 44的前端高度大致相同或稍微低于該高度的位置上。涂布涂布液的期間，若在基板12上存在異物P，則沿箭頭XI方向行走的管頭部22 的碰撞部45與該異物P發(fā)生碰撞。另外，若在載物臺14上存在異物P，則被載置在該載物 臺上的基板12部分浮起，且碰撞部45與基板12的表面發(fā)生碰撞。并且，如果發(fā)生這些碰 撞，則管頭部22進行快速位移以使管頭部22朝向上方(Z軸方向)被抬起。該位移通過高 度檢測部33的第一讀取部35讀取第一標尺34的方式被檢測出，且該檢測信號被輸入到控 制裝置26。這樣，因碰撞部45與異物P等碰撞而引起的管頭部22的位移大于因管頭部22的 通常行走而產(chǎn)生的微小的上下移動，兩者能夠明顯區(qū)別開。因此，在控制裝置26中，在由第 一讀取部35檢測出的位移為規(guī)定的閾值以上的情況下，判斷出該位移是因與異物P等的碰 撞而產(chǎn)生的位移。另外，如圖4所示，控制裝置26的升降控制部32根據(jù)與異物P等的碰撞而產(chǎn)生的 位移檢測信號(碰撞信號)控制伺服馬達30，以使管頭部22上升。于是，通過該管頭部22 的上升，異物P與噴嘴44的碰撞被避免。另外，控制裝置26的行走控制部39根據(jù)被輸入的碰撞信號控制線性馬達37，以使 管頭部22的行走停止。于是，通過該管頭部22的停止，異物P與噴嘴44的碰撞也能夠被 避免。在此，碰撞部45和高度檢測部33構成對存在于基板12上或載物臺14的異物P 進行檢測的異物檢測部，控制裝置26的升降控制部32作為使管頭部22從異物P處向上方 退避的退避控制部而起作用，行走控制部39作為使管頭部22停止的停止控制部而起作用， 以使噴嘴44不與異物P發(fā)生碰撞。在本實施方式的涂布裝置11中，如果通過異物檢測部檢測出基板12上的異物P， 則不僅使管頭部22停止，而且使該管頭部12向上方退避，因此無需像以往一樣(參照圖6) 增加噴嘴44的前端和碰撞部45之間的間隔L，能夠抑制裝置的大型化。即，以往，只是單純地使管頭部22的行走停止，因此必須使噴嘴44和碰撞部45之 間的間隔L大于在檢測出異物P之后從線性馬達37開始停止動作到管頭部22真正停止的 時間內(nèi)管頭部22所移動的距離(停止距離)，管頭部22的行走速度越快，該停止距離就越 長，因此也需要增加間隔L的長度，但在本實施方式中，只要使管頭部22的上升高度略微高 于異物P的高度，就能夠避免與異物P之間的碰撞，而且該上升量與上述停止距離相比非常 小，因此無需像以往一樣增加噴嘴44與碰撞部45之間的間隔L。另外，若增加噴嘴44和碰撞部(第一讀取部35)之間的間隔L，則在以管頭部22 的重心位置為中心而發(fā)生振動時，第一讀取部35的位置中的振動(上下移動)會變大，因 此產(chǎn)生將其誤檢測為因與異物P碰撞而產(chǎn)生的高度變化的可能性，但在本實施方式中，由 于無需將噴嘴44和碰撞部45 (第一讀取部35)之間的間隔L增加到上述距離，因此難以產(chǎn) 生這樣的問題。 而且，在本實施方式中，通過使用控制管頭部22高度的高度檢測部33而檢測出碰 撞部45和異物P等之間的碰撞，因此無需另外設置用于檢測該碰撞的專用傳感器，通過削 減部件數(shù)量就能夠減少制造成本。
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圖5為表示本發(fā)明的其他實施方式的涂布裝置的碰撞部的放大概略圖。本實施方 式的碰撞部45的下部形成有以越靠行走方向XI的前方側其高度越高的方式傾斜的傾斜面 45a。具體來講，該傾斜面45通過下述方式形成對在碰撞部45中位于行走方向XI前方側 的角部以相同方向XI上的寬度a、高度b的方式進行倒角而形成。優(yōu)選的是，該寬度a和 高度b之間的關系為b<a，因此相對于水平面的傾斜面45a的傾斜角度0設定為0 < e < 45°。在本實施方式中，若存在于基板12上的異物P與碰撞部45的傾斜面45a發(fā)生碰 撞，則碰撞部45受到含有基于傾斜面45a的傾斜角度0的、向上成分的反作用力。因此， 在本實施方式中，通過與異物P之間的碰撞，容易使碰撞部45朝上方位移，根據(jù)該位移能夠 提高異物的檢測精度。另外，通過將傾斜面45a的傾斜角度0設定為0< 0 <45°而能 夠加大作用于碰撞部45的反作用力的向上成分，能夠使碰撞部45更易于朝上方位移。另 外，碰撞部45與異物P發(fā)生碰撞后，朝向行走方向XI行走，由此管頭部22容易沿著傾斜面 45a上升，能夠更可靠地避免異物P和噴嘴44之間的碰撞。本發(fā)明并不限定于上述實施例，而是能夠進行適當?shù)脑O計變更。例如，檢測碰撞部45的高度變化的碰撞檢測部也可以是對朝向伺服馬達30的供 給電流進行檢測的電流計。若碰撞部45通過與異物P等的碰撞而使管頭部22上升，則伺 服馬達30的轉(zhuǎn)矩發(fā)生變化而供給電流也發(fā)生變化。因此，若檢測出該供給電流值的變化， 則能夠檢測出碰撞部45與異物的碰撞。在上述實施方式中，碰撞部45由不同于管頭部22的部件來形成且被固定在管頭 部22上而與管頭部22呈一體化，但是也可以通過對管頭部22自身的加工而使碰撞部45 與其一體形成。另外，碰撞部45也可以是與管頭部22分開的、單獨地進行上下升降的結構。此時， 除了高度檢測部33以外，只要具有對碰撞部45的高度進行檢測的碰撞檢測部就可以。本發(fā)明的涂布裝置也可以具有除了高度檢測部33以外的傳感器以檢測出碰撞部 45和異物P之間的碰撞。例如，也可以是與以往(參照圖6)相同的方式構成設置對管頭 部22的振動進行檢測的振動傳感器，根據(jù)該振動傳感器的檢測信號使管頭部22進行上升 動作或者停止動作。但是，即使以在Z軸方向的檢測靈敏度最大的方式設置振動傳感器，對于如涂布 裝置這樣的在XYZ方向上具有驅(qū)動部的裝置來說，還是會檢測到檢測靈敏度最大的方向以 外的振動，因此有可能導致誤檢測，例如，涂布動作開始時或結束時，誤檢測出伴隨著管頭 部22的加速或減速而發(fā)生的振動。對于這一點，在上述實施方式中，在碰撞部45與異物P 等發(fā)生碰撞的情況下，由于通過高度檢測部33檢測出該碰撞部45的高度變化(Z軸方向的 位移)，因此涂布動作開始或結束時等，幾乎不會發(fā)生誤檢測。另外，作為其他傳感器，也可以使用利用了激光等的光學傳感器。在上述實施方式中，通過使涂布單元15在滑軌17上移動而使管頭部22相對于載 物臺14在X軸方向上行走，但也可以通過固定涂布單元15而使載物臺14在X軸方向上移 動的方式，使管頭部22相對于載物臺14在X軸方向上相對行走。
權利要求
一種涂布裝置，其特征在于，包括保持臺，在水平面上保持基板；涂布部，包括朝向所述保持臺上的所述基板流出涂布液的噴嘴；行走機構，使所述涂布部相對于所述保持臺在水平方向上行走；升降機構，使所述涂布部在上下方向上升降；異物檢測部，在為了在所述基板上涂布涂布液而通過所述行走機構使所述涂布部行走時，檢測出位于所述噴嘴的行走方向前方側的異物；退避控制部，當所述異物檢測部檢測出異物時，控制所述升降機構以使所述涂布部朝向上方退避。
2.如權利要求1所述的涂布裝置，其特征在于，所述異物檢測部設置在與所述涂布部 的噴嘴相比靠行走方向的前方側，且包括碰撞部，在所述基板上或所述保持臺上有異物 時，能夠與所述異物或者所述基板的表面發(fā)生碰撞；碰撞檢測部，檢測出因與所述異物或者 所述基板表面相碰撞而弓I起的所述碰撞部的高度變化。
3.如權利要求2所述的涂布裝置，其特征在于，所述碰撞部與所述涂布部設置成一體， 以使所述碰撞部能夠與所述涂布部一起升降，所述涂布裝置還包括高度檢測部，檢測所述涂布部的高度；升降控制部，根據(jù)所述高 度檢測部的檢測結果將所述涂布部的高度控制到規(guī)定高度，所述高度檢測部兼作所述碰撞檢測部。
4.如權利要求2或3所述的涂布裝置，其特征在于，在所述碰撞部的行走方向的前方側 的下部，形成有以越靠所述行走方向的前方側其高度越高的方式傾斜的傾斜面。
全文摘要
本發(fā)明提供一種涂布裝置，其中，無需增加在異物檢測部檢測出異物后噴嘴移動至異物的距離，從而能夠抑制裝置的的大型化。本發(fā)明的涂布裝置(11)通過行走機構(25)使管頭部(22)行走的同時，在載物臺(14)上的基板(12)上涂布從管頭部(22)的噴嘴(44)處流出的涂布液。而且，涂布裝置(11)包括異物檢測部(45，33)，對與噴嘴(44)相比位于靠行走方向前方側的異物P進行檢測；升降控制部(退避控制部)(32)，通過異物檢測部(45，33)而檢測出異物P時，控制升降機構(24)以使管頭部(22)朝向上方退避。
文檔編號G03F7/16GK101846884SQ20101012462
公開日2010年9月29日 申請日期2010年3月16日 優(yōu)先權日2009年3月26日
發(fā)明者中澤源伸, 堀內(nèi)展雄 申請人:東麗工程株式會社