專利名稱：涂布裝置和涂布方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及涂布裝置。詳細(xì)地講，涉及在使多個(gè)涂料噴嘴與作為涂布對象的基板 在彼此相對且接近的狀態(tài)下相對移動(dòng)(掃描)的同時(shí)，在規(guī)定位置從多個(gè)涂料噴嘴排出規(guī) 定量的涂料的裝置，特別適合應(yīng)用于濾色器制造裝置。
背景技術(shù)：
彩色液晶顯示器由濾色器、TFT陣列基板等構(gòu)成。其中，濾色器是作為彩色液晶 顯示器的顏色形成中樞的部件，其是將由格子狀的黑矩陣框起來的各像素分為R(紅色)、 G(綠色)、B (藍(lán)色)三種顏色，并將它們規(guī)則地形成在玻璃基板上而成的。這種濾色器通 常通過如下方式來制造1)在玻璃基板上，形成黑色的光致抗蝕材料的涂布膜，之后，通過 光刻法將黑色涂布膜加工成格子狀(格子狀黑矩陣的形成)；2)暫且在整個(gè)表面形成R的 涂布膜，之后，通過光刻法，僅在格子間的R像素中保留R涂布膜(R像素的形成)；3)針對 G、B，也是通過與R同樣的方法，暫且在整個(gè)表面形成B、G各自的涂布膜，之后，僅在B、G像 素中保留B、G涂布膜(B、G像素的形成)。在上述基于光刻法的R、G、B像素形成中，需要針 對R、G、B，進(jìn)行在整個(gè)表面上形成涂布膜、曝光、顯影等多個(gè)工序。近年來，為了簡化上述工序，在工業(yè)上，已經(jīng)在使用如下方法僅在由黑矩陣格子 形成的像素部中，通過涂料噴頭直接供給R、G、B的各涂布液，從而形成R、G、B的顏色像素。 基于該涂料噴頭的R、G、B像素形成方法不需要曝光、顯影等工序，而是僅僅使用了形成彩 色像素所需的量的涂布液，所以，能夠大幅降低濾色器制造的成本(例如參照專利文獻(xiàn)1、 2、3)。作為使用了涂料噴頭的濾色器制造裝置的代表例，有這樣的裝置，該裝置具備具 有多個(gè)涂料噴嘴的涂料噴頭；保持基板的保持臺(tái)；以及使涂料噴頭與保持臺(tái)相對移動(dòng)的移 動(dòng)單元。該裝置在使多個(gè)涂料噴嘴與基板在彼此相對且接近的狀態(tài)下沿水平方向X相對移 動(dòng)(掃描)的同時(shí)，在規(guī)定定時(shí)從多個(gè)涂料噴嘴排出規(guī)定量的涂料，由此，在基板上形成濾色器。濾色器的像素尺寸一般為100微米左右這樣小，因此，在上述濾色器制造裝置中， 需要提高涂料噴頭的分辨率。并且，為了提高生產(chǎn)效率，希望盡量縮短涂布所需的時(shí)間。因此，例如如圖19所示，通過在掃描方向X上直列地配置多個(gè)(圖中為2個(gè))涂 料噴頭510來構(gòu)成噴頭模塊520，由此提高了分辨率。并且，通過在與掃描方向X垂直的方 向Y上并列地配置多個(gè)涂料噴頭510，減少了涂料噴頭510的掃描次數(shù)。由此，縮短了對基 板K上的所有被涂布部位進(jìn)行涂布所需的涂布時(shí)間。如圖19所示，現(xiàn)有的濾色器制造裝置將噴頭模塊520配置成鋸齒狀。其原因如下。 即，噴頭模塊520的筐體52A的寬度比涂料噴嘴540的排列寬度W大，所以，在筐體52A的 端部512與噴嘴組的端部511之間存在間隔T。因此，當(dāng)在多個(gè)噴頭模塊520沿Y軸方向配 置成一列的狀態(tài)下，當(dāng)沿X軸方向進(jìn)行掃描時(shí)，由于間隔T的存在，產(chǎn)生了涂料噴嘴540完 全未通過的噴嘴未通過區(qū)域。噴嘴未通過區(qū)域的寬度為間隔T的2倍的寬度。因此，將噴頭模塊520配置成以鋸齒狀，不會(huì)產(chǎn)生噴嘴未通過區(qū)域(參照專利文獻(xiàn)4的圖2)。專利文獻(xiàn)1 日本特開2006-209140號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 日本特開2002-273868號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)3 日本特許第3925525號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)4 日本特愿2006-134514號(hào)但是，在現(xiàn)有的濾色器制造裝置中，由于將噴頭模塊520配置成鋸齒狀，因此，噴 頭單元500整體變大，不僅掃描行程增大，而且濾色器制造裝置整體大型化，從而設(shè)置該濾 色器制造裝置的無塵室也大型化，所以，存在設(shè)備費(fèi)用高昂的問題。并且，由于噴頭表面的 防水加工的劣化等，涂料噴頭510的壽命有限，所以需要定期更換，然而，在更換時(shí)，要求噴 頭模塊520的極其準(zhǔn)確的定位，存在更換作業(yè)需要很長時(shí)間的問題。并且，噴頭模塊中的涂料噴嘴無法制作成完全一致，因此，每個(gè)噴頭或每個(gè)噴嘴的 涂料排出量不一致。當(dāng)使用這種噴頭模塊在X軸方向上進(jìn)行掃描和涂布時(shí)，噴頭模塊在涂 布寬度內(nèi)的涂料排出不均勻很明顯。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明正是鑒于這種問題而完成的，其目的在于，提供能夠?qū)崿F(xiàn)裝置的小型化且 便于維護(hù)的涂布裝置，并且，提供能夠改善在噴頭模塊的涂布寬度內(nèi)產(chǎn)生的涂布不均勻的 涂布方法和裝置。本發(fā)明的第1方面提供一種涂布方法，在該涂布方法中，配置有噴頭模塊的涂料 排出部通過重復(fù)執(zhí)行如下動(dòng)作，來對由多個(gè)像素構(gòu)成的待涂布涂料的涂布對象物的規(guī)定區(qū) 域進(jìn)行涂布，所述噴頭模塊由多個(gè)形成有多個(gè)噴嘴的噴頭組合而成，且具有涂布寬度Wm，所 述動(dòng)作是所述涂料排出部在所述涂布對象物的上方，一邊在與作為所述噴頭模塊的配置 方向的Y軸方向垂直的X軸方向上移動(dòng)，一邊從所述噴嘴排出涂料，進(jìn)行涂布，接著，所述 涂料排出部停止所述涂料的排出，沿所述Y軸方向進(jìn)行移動(dòng)，其中，該涂布方法具有以下工 序掃描涂布工序，所述涂料排出部在沿所述X軸方向移動(dòng)的同時(shí)，對規(guī)定像素涂布涂料; 以及掃描移動(dòng)工序，該掃描移動(dòng)工序包含這樣的移動(dòng)在該移動(dòng)中，所述涂料排出部沿所述 Y軸方向移動(dòng)的移動(dòng)量y比所述噴頭模塊的涂布寬度Wm小。在本方面中，噴頭模塊在Y軸方向上進(jìn)行比涂布寬度Wm短的距離的移動(dòng)，所以，能 夠在由噴頭模塊的端部涂布的部分中，設(shè)置重疊部，在該重疊部中，噴頭模塊再次通過噴頭 模塊所一度通過的場所。該重疊部的形成能夠使由噴頭模塊端部涂布的區(qū)域的干燥環(huán)境接 近于由噴頭模塊中央部涂布的區(qū)域的干燥環(huán)境，能夠降低涂布不均勻。本發(fā)明的第2方面提供第1方面所述的涂布方法，其中，所述涂料排出部在所述Y 軸方向上，以規(guī)定間距P配置排出一種顏色的涂料的噴頭模塊，并且，以相對于所述排出一 種顏色的涂料的噴頭模塊，沿所述X軸方向排列且在所述Y軸方向上錯(cuò)開所述涂布寬度Wm 以下的距離的方式，在所述Y軸方向上，以所述規(guī)定間距P，配置排出與上述一種顏色不同 顏色的涂料的噴頭模塊。在本方面中，排出不同涂料的噴頭模塊彼此被配置成鋸齒狀，所以，對于由某個(gè)顏 色的噴頭模塊的端部分涂布的像素，在其周邊存在由其他顏色涂布的像素，所以，其干燥環(huán) 境與噴頭模塊的中間差異不太，能夠降低涂布不均勻。
本發(fā)明的第3方面提供第1或第2方面的涂布方法，其中，所述涂料排出部在所述 Y軸方向上，以規(guī)定間距P配置所述噴頭模塊，在所述掃描移動(dòng)工序中，所述移動(dòng)量y始終為 恒定的距離。在本方面中，尤其對于在Y軸方向上以間距P直線地配置相同顏色的噴頭模塊的 涂料排出部，能夠?qū)婎^模塊之間的間隔部分進(jìn)行涂布。因此，即使不將噴頭模塊配置成鋸 齒狀，也能夠消除噴頭模塊的未通過部位，能夠使涂料排出部小型化。并且，在噴頭模塊之間的間距為P這樣的條件下，如果y < Wm、且移動(dòng)量y始終恒 定，則能夠通過{Int(P/y)+l}次的涂布動(dòng)作對全部的區(qū)域P進(jìn)行涂布。其中，Int是僅提 取P/S的整數(shù)部的函數(shù)。本發(fā)明的第4方面提供第1或第2方面的涂布方法，其中，所述涂料排出部在所述 Y軸方向上，以規(guī)定間距P配置多個(gè)所述噴頭模塊，在所述掃描移動(dòng)工序中，進(jìn)行這樣的移 動(dòng)對于每個(gè)所述掃描涂布工序，所述移動(dòng)距離y不同。在本方面中，重疊部的寬度可以根據(jù)場所不同而變化，或者，只要最終形成了重疊 部，則可以在Y軸方向上進(jìn)行移動(dòng)距離y以外的距離的移動(dòng)。因此，能夠從容易干燥的場所 起優(yōu)先進(jìn)行涂布。并且，在每次沿Y軸方向的移動(dòng)中，移動(dòng)距離y可以與y相差略微距離。本發(fā)明的第5方面提供第4方面的涂布方法，其中，在所述掃描移動(dòng)工序中，對所 述規(guī)定間距P的寬度的區(qū)域進(jìn)行涂布時(shí)的第k次的移動(dòng)距離yk比第k+Ι次的移動(dòng)距離yk+1 小，最后的移動(dòng)距離yt比所述涂布寬度Wm小。在本方面中，至少包含有一次比涂布寬度Wm小的Y軸方向的移動(dòng)，所以，能夠可靠 地形成重疊部。其中，采用這樣的涂布方法隨著涂布的進(jìn)行，Y軸方向的移動(dòng)減小。本發(fā)明的第6方面提供第4方面的涂布方法，其中，在所述掃描移動(dòng)工序中，進(jìn)行 這樣的移動(dòng)設(shè)通過所述掃描涂布工序?qū)λ鲆?guī)定間距P之間進(jìn)行涂布的次數(shù)為S、所述Y 軸方向上的一個(gè)方向?yàn)檎颉⒘硪粋€(gè)方向?yàn)樨?fù)向，則滿足k彡(S-I)的關(guān)系的第k次的移動(dòng) 距離由(-Dk-1KS-IOPVS來表示，其中，上述S是通過對根據(jù)所述最后的移動(dòng)距離yt和所 述規(guī)定間距P求出的P/yt的整數(shù)部加1來確定的。在本方面中，涂料排出部在以從外側(cè)朝向中間的螺旋狀移動(dòng)的同時(shí)，進(jìn)行涂布，所 以，對于由噴頭模塊的端部涂布的區(qū)域，通過噴頭模塊在2次以內(nèi)的掃描移動(dòng)對相鄰區(qū)域 進(jìn)行了涂布。因此，由噴頭模塊的端部涂布的區(qū)域與由中央部涂布的區(qū)域相比，干燥環(huán)境的 差異小，能夠降低涂布不均勻。本發(fā)明的第7方面提供第4方面的涂布方法，其中，在所述掃描移動(dòng)工序中，對所 述規(guī)定間距P的寬度的區(qū)域進(jìn)行涂布時(shí)的第k次的移動(dòng)距離yk比第k+Ι次的移動(dòng)距離yk+1 大，最初的移動(dòng)距離Is比所述涂布寬度Wm小。在本方面中，至少包含一次比涂布寬度Wm小的Y軸方向的移動(dòng)，所以，能夠可靠地 形成重疊部。其中，采用這樣的涂布方法隨著涂布的進(jìn)行，Y軸方向的移動(dòng)增大。本發(fā)明的第8方面提供第7方面的涂布方法，其中，在所述掃描移動(dòng)工序中，進(jìn)行 這樣的移動(dòng)設(shè)通過所述掃描涂布工序?qū)λ鲆?guī)定間距P之間進(jìn)行涂布的次數(shù)為S、所述Y 軸方向上的一個(gè)方向?yàn)檎?、另一個(gè)方向?yàn)樨?fù)向，則滿足k彡(S-I)的關(guān)系的第k次的移動(dòng) 距離由(-Dk-1GiPVS來表示，其中，上述S是通過對根據(jù)所述最后的移動(dòng)距離yt和所述規(guī) 定間距P求出的P/yt的整數(shù)部加1來確定的。
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在本方面中，涂料排出部在以從中間朝向外側(cè)的螺旋狀移動(dòng)的同時(shí)，進(jìn)行涂布，所 以，對于由噴頭模塊的端部涂布的區(qū)域，通過噴頭模塊在2次以內(nèi)的掃描移動(dòng)對相鄰區(qū)域 進(jìn)行了涂布。因此，由噴頭模塊的端部涂布的區(qū)域與由中央部涂布的區(qū)域相比，干燥環(huán)境的 差異小，能夠降低涂布不均勻。本發(fā)明的第9方面提供第1 第8方面的涂布方法，其中，該涂布方法還具有這樣 的工序在所述涂布對象物的特定區(qū)域中，針對屬于所述噴頭模塊的涂布寬度的一部分重 復(fù)通過的重疊部的像素，隨機(jī)選擇在第1次的所述掃描涂布工序中所要涂布的像素和在第 2次以后的所述掃描涂布工序中所要涂布的像素，所述掃描涂布工序包含對通過所述選擇 工序選擇的所述像素進(jìn)行涂布的工序。在本方面中，對于噴頭模塊多次通過的重疊部，隨機(jī)選擇在最初通過時(shí)所要涂布 的像素和在第2次以后通過時(shí)所要涂布的像素，進(jìn)行涂布，所以，干燥時(shí)的涂布不均勻被隨 機(jī)地分散開，涂布不均勻不明顯。本發(fā)明的第10方面提供第1 第9方面的涂布方法，其中，所述進(jìn)行隨機(jī)選擇的 工序是這樣的工序沿所述X軸方向，將所述重疊部分割為多個(gè)分割區(qū)域，針對每個(gè)所述分 割區(qū)域，以預(yù)定的比例確定在第1次中所要涂布的像素的個(gè)數(shù)以及在第2次以后所要涂布 的像素的個(gè)數(shù)，針對每個(gè)所述分割區(qū)域，隨機(jī)選擇所述個(gè)數(shù)的像素。根據(jù)本方面，在對重疊部進(jìn)行分割后，隨機(jī)選擇第1次所要涂布的像素和第2次以 后所要涂布的像素，所以，隨機(jī)選擇的區(qū)域逐漸發(fā)生變化，涂布不均勻更加不明顯。本發(fā)明的第11方面提供一種涂布裝置，其中，該涂布裝置具有保持涂布對象物 的工作臺(tái)；涂料排出部，其配置有噴頭模塊，該噴頭模塊由多個(gè)形成有多個(gè)噴嘴的噴頭組合 而成，且具有涂布寬度Wm ；驅(qū)動(dòng)單元，其使所述涂料排出部沿所述工作臺(tái)上的X軸方向和 與所述X軸方向垂直的Y軸方向移動(dòng)；位置檢測單元，其檢測所述涂料排出部的位置信息； 以及控制部，其與所述涂料排出部、所述驅(qū)動(dòng)單元以及所述位置檢測單元連接，該控制部具 有使所述涂料排出部沿所述X軸方向移動(dòng)的X軸方向移動(dòng)指示；使所述涂料排出部沿所 述Y軸方向移動(dòng)的Y軸方向移動(dòng)指示；從所述噴嘴排出涂料的排出指示；以及排出預(yù)定信 息，其示出所述涂料排出部的X坐標(biāo)、Y坐標(biāo)及所述排出指示之間的關(guān)系以及輸出所述Y軸 方向移動(dòng)指示的定時(shí)，所述Y軸方向移動(dòng)指示包含移動(dòng)量y比所述涂布寬度Wm小的移動(dòng)指示。另外，本發(fā)明的第12方面提供第11方面的涂布裝置，其中，所述涂料排出部在所 述Y軸方向上，以規(guī)定間距P配置有排出一種顏色的涂料的所述噴頭模塊，并且，以相對于 所述排出一種顏色的涂料的噴頭模塊，沿所述X軸方向排列且在所述Y軸方向上錯(cuò)開所述 涂布寬度Wm以下的距離的方式，在所述Y軸方向上，以所述規(guī)定間距P，配置有排出與上述 一種顏色不同顏色的涂料的噴頭模塊。另外，本發(fā)明的第13方面提供第11或第12方面的涂布裝置，其中，所述涂料排出 部在所述Y軸方向上，以規(guī)定間距P配置了所述噴頭模塊，所述Y軸方向移動(dòng)指示是這樣的 移動(dòng)指示針對所述涂料排出部在所述X軸方向上的每次移動(dòng)，所述移動(dòng)距離y均相同。另外，本發(fā)明的第14方面提供第11或第12方面的涂布裝置，其中，所述涂料排出 部在所述Y軸方向上，以規(guī)定間距P配置了所述噴頭模塊，所述Y軸方向移動(dòng)指示是這樣的 移動(dòng)指示針對所述涂料排出部在所述X軸方向上的每次移動(dòng)，所述移動(dòng)距離y均不同。
另外，本發(fā)明的第15方面提供第14方面的涂布裝置，其中，所述Y軸方向移動(dòng)指 示是這樣的移動(dòng)指示在對所述規(guī)定間距P的寬度的區(qū)域進(jìn)行涂布時(shí)的第k次的移動(dòng)距離 Yk比第k+Ι次的移動(dòng)距離yk+1小，最后的移動(dòng)距離yt比所述涂布寬度Wm小。
另外，本發(fā)明的第16方面提供第15方面的涂布裝置，其中，所述Y軸方向移動(dòng)指 示是這樣的移動(dòng)指示設(shè)對所述規(guī)定間距P之間進(jìn)行涂布的次數(shù)為S、所述Y軸方向上的一 個(gè)方向?yàn)檎?、另一個(gè)方向?yàn)樨?fù)向，則滿Mk< (S-I)的關(guān)系的所述涂料排出部的第k次在 所述Y軸方向上的移動(dòng)距離為(-1)H {(s-k)P}/S，其中，上述S是通過對根據(jù)所述最后的移 動(dòng)距離yt和所述規(guī)定間距P求出的p/yt的整數(shù)部加1來確定的。另外，本發(fā)明的第17方面提供第14方面的涂布裝置，其中，所述Y軸方向移動(dòng)指 示是這樣的移動(dòng)指示在對所述規(guī)定間距P的寬度的區(qū)域進(jìn)行涂布時(shí)的第k次的移動(dòng)距離 Yk比第k+Ι次的移動(dòng)距離yk+1大，最初的移動(dòng)距離ys比所述涂布寬度Wm小。另外，本發(fā)明的第18方面提供第17方面的涂布裝置，其中，所述Y軸方向移動(dòng)指 示是這樣的移動(dòng)指示設(shè)對所述規(guī)定間距P之間進(jìn)行涂布的次數(shù)為S、所述Y軸方向上的一 個(gè)方向?yàn)檎?、另一個(gè)方向?yàn)樨?fù)向，則滿Mk< (S-I)的關(guān)系的所述涂料排出部的第k次在 所述Y軸方向上的移動(dòng)距離為(-Dk-HkPVS,其中，上述s是通過對根據(jù)所述最初的移動(dòng)距 離Is和所述規(guī)定間距P求出的P/ys的整數(shù)部加1來確定的。另外，本發(fā)明的第19方面提供第11 第18方面的涂布裝置，其中，所述排出預(yù)定 信息中的所述涂料排出部的X坐標(biāo)、Y坐標(biāo)以及所述排出指示之間的關(guān)系是對應(yīng)于如下狀 態(tài)的關(guān)系在所述狀態(tài)中，在屬于所述涂布對象物的特定區(qū)域的像素中，隨機(jī)選擇了在第1 次中所要涂布的像素和在第2次以后所要涂布的像素。另外，本發(fā)明的第20方面提供第11 第19方面的涂布裝置，其中，所述排出預(yù)定 信息中的所述涂料排出部的X坐標(biāo)與所述排出指示之間的關(guān)系是對應(yīng)于如下狀態(tài)的關(guān)系 在所述狀態(tài)中，沿所述Y軸方向，將所述涂布對象物的特定區(qū)域分割為多個(gè)分割區(qū)域，針對 每個(gè)所述分割區(qū)域，以預(yù)定的比例確定了要在第1次中涂布的像素的個(gè)數(shù)和要在第2次以 后涂布的像素的個(gè)數(shù)，針對每個(gè)所述分割區(qū)域，隨機(jī)選擇了所述個(gè)數(shù)的所述像素。根據(jù)本發(fā)明，提供了 一種能夠?qū)崿F(xiàn)裝置的小型化且便于維護(hù)的涂布裝置。并且，能夠提供可進(jìn)行在噴頭模塊寬度內(nèi)不存在涂布不均勻和干燥不均勻的涂布 的方法和裝置。


圖1是示出本發(fā)明的濾色器制造裝置的立體圖。圖2是示出本發(fā)明的濾色器制造裝置的要部的平面圖。圖3是涂料排出部的平面概略圖。圖4是噴頭單元(head block)的平面概略圖。圖5是作為濾色器的形成對象的玻璃基板的平面圖。圖6是示出本發(fā)明的濾色器制造裝置的動(dòng)作概要的流程圖。圖7是詳細(xì)示出圖6的涂布動(dòng)作的流程圖。圖8是用于說明涂布時(shí)的掃描動(dòng)作的圖。圖9是用于更詳細(xì)地說明涂布時(shí)的掃描動(dòng)作的圖。
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圖10是將噴頭模塊配置成鋸齒狀的涂料排出部的平面圖。圖11是說明圖10的涂料排出部在每次進(jìn)行X軸方向的掃描涂布時(shí)沿Y軸方向移 動(dòng)P/S的量的狀態(tài)的圖。圖12是示出通過將噴頭模塊配置成鋸齒狀，從而在由噴頭模塊的端部涂布的像 素周圍，存在進(jìn)行了涂布的像素的狀態(tài)的圖。圖13是不同顏色的噴頭模塊的涂布區(qū)域重合的涂料排出部的平面圖。圖14是說明通過圖13的涂料排出部進(jìn)行涂布時(shí)產(chǎn)生的重疊部的圖。圖15是示出使涂料排出部從外向內(nèi)呈螺旋狀移動(dòng)而進(jìn)行涂布的狀態(tài)的圖。圖16是示出使涂料排出部從內(nèi)向外呈螺旋狀移動(dòng)而進(jìn)行涂布的狀態(tài)的圖。圖17是示出隨機(jī)選擇重疊部的像素來進(jìn)行涂布的狀態(tài)的圖。圖18是示出將重疊部分割為多個(gè)區(qū)域、再隨機(jī)選擇像素來進(jìn)行涂布的狀態(tài)的圖。圖19是現(xiàn)有的噴頭單元的平面概略圖。標(biāo)號(hào)說明1 濾色器制造裝置(涂布裝置)；2 機(jī)臺(tái)；3 吸附臺(tái)；4 涂布架(gantry) ；5 涂料 排出部；6 照相機(jī)架；7 對準(zhǔn)照相機(jī)；8 掃描照相機(jī)；9 基板輸送機(jī)器人；10 控制裝置； 31 載置面；32 真空吸附孔；33 升降銷(lift pin)孔；34 升降銷；41 支柱部；42 水平 框部；43 第1直線電動(dòng)機(jī)；44 伺服電動(dòng)機(jī)機(jī)構(gòu)；45 第2直線電動(dòng)機(jī)；50R、50G、50B 噴頭 單元；51 涂料噴頭；52 噴頭模塊；54 涂料噴嘴；55 噴嘴組；62 水平框部；63 第4直線 電動(dòng)機(jī)；64 第3直線電動(dòng)機(jī)；91 電動(dòng)機(jī)；92 臂；93 可動(dòng)支承臺(tái)；45 第2直線電動(dòng)機(jī)(噴 頭單元移動(dòng)部件)；50 噴頭單元；51 涂料噴頭；52 噴頭模塊；54 涂料噴嘴；70R、70G、 70B 噴頭模塊；77、78 噴頭模塊的涂布區(qū)域；79 區(qū)域77的端部的像素；80、81 區(qū)域78的 端部的像素；85 不同顏色的噴頭模塊之間的涂布區(qū)域重合的部分；88 重復(fù)涂布區(qū)域；97 關(guān)注的噴頭模塊；98 噴頭模塊97的左側(cè)相鄰的噴頭模塊；103 106 涂料排出部的位置； 110 113 涂料排出部的移動(dòng)；120 123 涂布的區(qū)域；133 136 涂料排出部的位置； 140 143 涂料排出部的移動(dòng)；150 153 涂布的像素；160、161 同時(shí)涂布的區(qū)域；162 重疊部；170、171 同時(shí)涂布的區(qū)域；172 176 重疊部；200 涂布區(qū)域；201 重疊部；gs 像素(被涂布部位)；K:玻璃基板(基板)；X軸方向(掃描方向)；Y軸方向(掃描垂直方 向)°
具體實(shí)施例方式下面，參照附圖來說明本發(fā)明的實(shí)施方式。圖1是示出本發(fā)明的濾色器制造裝置 的立體圖，圖2是示出本發(fā)明的濾色器制造裝置的要部的平面圖，圖3是涂料排出部的平面 概略圖，圖4是噴頭單元的平面概略圖。在這些各圖中，設(shè)正交坐標(biāo)系的3個(gè)軸為X、Y、Z、 XY平面為水平面、Z軸方向?yàn)殂U直方向、繞鉛直軸的旋轉(zhuǎn)方向?yàn)棣确较?。并且，設(shè)圖丄中 χ方向的紙面近前側(cè)為上游、χ方向的紙面里側(cè)為下游。即，在圖1中，A方向?yàn)樯嫌?，B方 向?yàn)橄掠?。而且，將從上游朝下游的?dòng)作設(shè)為前進(jìn)動(dòng)作，將從下游朝上游的動(dòng)作設(shè)為返回動(dòng) 作。并且，將前進(jìn)動(dòng)作或返回動(dòng)作稱為掃描動(dòng)作。如圖1所示，本發(fā)明的濾色器制造裝置(后面也稱為“涂布裝置”)1具有機(jī)臺(tái)2、 吸附工作臺(tái)3、涂布架4、涂料排出部5、照相機(jī)架6、對準(zhǔn)照相機(jī)7、掃描照相機(jī)8、基板輸送機(jī)器人9、以及控制裝置10等。機(jī)臺(tái)2作為可動(dòng)地支撐濾色器制造裝置1的主結(jié)構(gòu)部(例如吸附工作臺(tái)3、涂布架 4、照相機(jī)架6等)的臺(tái)座發(fā)揮功能，主要由石料構(gòu)成。采用石料是為了將隨溫度變化的變 形抑制為最小限度。如圖2所示，吸附工作臺(tái)3具有載置面31，該載置面31以可確保充分的平面度的 方式載置作為彩色涂料的涂布對象的玻璃基板K，該吸附工作臺(tái)3與機(jī)臺(tái)2同樣，由石料構(gòu) 成。在該載置面31上，貫穿地設(shè)有多個(gè)真空吸附孔32和多個(gè)升降銷孔33。真空吸附孔32 經(jīng)由配管和三通閥與吸引泵連接。用于支承玻璃基板K的升降銷34可相對于升降銷孔33， 突出或縮入。可通過未圖示的工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元，在θ方向上，對吸附工作臺(tái)3進(jìn)行旋 轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。另外，吸附工作臺(tái)還可簡稱為“工作臺(tái)”。涂布架4為能夠跨越吸附工作臺(tái)3的尺寸的門形，該涂布架4具有至少隔開吸附 工作臺(tái)3的寬度間隔而直立地設(shè)置的2個(gè)支柱部41 ；以及架設(shè)于2個(gè)支柱部41之間的水 平框部42。而且，該涂布架4在跨越吸附工作臺(tái)3的狀態(tài)下，以可通過一對第1直線電動(dòng) 機(jī)43在X軸方向上移動(dòng)的方式，支承在機(jī)臺(tái)2上。一對第1直線電動(dòng)機(jī)43以沿X軸相互 平行的方式，安裝在基臺(tái)2的Y軸方向上的兩側(cè)。上述水平框部42可通過分別設(shè)置在2個(gè)支柱部41上的伺服電動(dòng)機(jī)機(jī)構(gòu)44，沿Z 軸方向進(jìn)行升降。伺服電動(dòng)機(jī)機(jī)構(gòu)44例如可由沿著Z軸方向設(shè)置的直線電動(dòng)機(jī)構(gòu)成?；?者，也可以由以下部分等構(gòu)成沿Z軸方向配設(shè)的滾珠絲杠軸；繞滾珠絲杠軸的軸線對該滾 珠絲杠軸進(jìn)行正反旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)伺服電動(dòng)機(jī)；以及與滾珠絲杠軸螺合，并通過滾珠絲杠 軸的旋轉(zhuǎn)而在Z軸方向上進(jìn)行進(jìn)退移動(dòng)的滾珠螺母。在水平框部42上，以可通過第2直線 電動(dòng)機(jī)45在Y軸方向上移動(dòng)的方式，設(shè)有涂料排出部5。第2直線電動(dòng)機(jī)45沿著水平框部 42的長度方向(Y軸方向)而安裝在水平框部42上。如圖3所示，涂料排出部5構(gòu)成為按照用于涂布紅色涂料的噴頭單元50R、用于 涂布綠色涂料的噴頭單元50G、以及用于涂布藍(lán)色涂料的噴頭單元50Β的順序，沿X軸方向， 直列地排列設(shè)置上述噴頭單元50R、上述噴頭單元50G以及上述噴頭單元50Β。另外，關(guān)于這 些噴頭單元的標(biāo)號(hào)，在需要按照每種顏色進(jìn)行區(qū)分的情況下，在“50”的末尾附加“R”、“G”、 “B”，而在不需要區(qū)分的情況下，簡記為“50”。如圖4所示，紅色涂料的噴頭單元50R具有沿Y軸方向配置的Q個(gè)噴頭模塊52。 各噴頭模塊52分別具有沿X軸方向配置的M段(在本圖中為M = 5)的涂料噴頭51。各涂料噴頭51分別具有噴嘴組55。噴嘴組55由在Y軸方向上等間隔地排列的N 個(gè)(在本圖中為N= 10)涂料噴嘴54構(gòu)成，其排列寬度為W。因此，涂料噴頭51的涂布寬 度為W。N個(gè)涂料噴嘴54可排出相同的顏色。例如，從與紅色涂料的噴頭單元50R對應(yīng)的 涂料噴嘴54全部排出紅色涂料。同樣，從與綠色涂料的噴頭單元50G對應(yīng)的涂料噴嘴54 全部排出綠色涂料，從與藍(lán)色涂料的噴頭單元50B對應(yīng)的涂料噴嘴54全部排出藍(lán)色涂料。 另外，涂料噴嘴可簡稱為噴嘴，涂料噴頭可簡稱為噴頭。另外，在配置了多段涂料噴頭的噴頭模塊中，存在全部噴嘴均不使用的情況、以及 略微錯(cuò)開地配置涂料噴頭的情況。即，噴頭模塊的涂布寬度，不一定與涂料噴頭51的涂布 寬度一致。因此，將噴頭模塊的涂布寬度設(shè)為Wm。另外，在本實(shí)施方式中，涂布寬度W與涂 布寬度Wm相同。
并且，涂料噴嘴形成在涂料噴頭上的預(yù)定位置處，涂料噴頭以規(guī)定的精度進(jìn)行排 列而形成噴料模塊。而且，涂料噴頭彼此也以規(guī)定的精度組成噴料單元，噴料單元以規(guī)定的 精度組成涂料排出部5。因此，只要在涂料排出部的可動(dòng)范圍內(nèi)，確定涂料排出部的位置，即 可以規(guī)定的精度確定全部涂料噴嘴的位置。噴頭模塊52的配置滿足以下條件。即，對于在Y軸方向上彼此相鄰的噴頭模塊 52，設(shè)噴嘴組55之間的間距為P。當(dāng)如下地定義S、W和P時(shí)，S、W和P滿足下式所示的關(guān)系。(S/2) · W < P < S · WS 涂料噴頭51對玻璃基板K上的全部像素gs涂布涂料所需的掃描次數(shù)(2以上 的整數(shù))W 噴料模塊的涂布寬度P 噴頭模塊52在Y軸方向上的排列間距另外，S也可以稱為是對間距P之間進(jìn)行涂布的次數(shù)。噴頭單元50G和噴頭單元50B也為與上述噴頭單元50R相同的結(jié)構(gòu)。當(dāng)設(shè)玻璃 基板K的寬度為GW、搭載在噴頭單元50上的兩端的涂料噴嘴54的距離為L時(shí)，以使L > Gff-(P-W)的關(guān)系成立的方式，確定噴頭模塊52的配置數(shù)量Q。照相機(jī)架6與涂布架4同樣，為能夠跨越吸附工作臺(tái)3的尺寸的門形，該照相機(jī)架 6具有至少隔開吸附工作臺(tái)3的寬度間隔而直立地設(shè)置的2個(gè)支柱部61 ；以及架設(shè)在2個(gè) 支柱部61之間的水平框部62。而且，該照相機(jī)架6在跨越吸附工作臺(tái)3的狀態(tài)下，以可通 過一對第1直線電動(dòng)機(jī)43沿X軸方向移動(dòng)的方式，支承在機(jī)臺(tái)2上。在上述水平框部62上，以可通過第3直線電動(dòng)機(jī)64在Y軸方向上移動(dòng)的方式，設(shè) 有2臺(tái)對準(zhǔn)照相機(jī)7。并且，以可通過第4直線電動(dòng)機(jī)63在Y軸方向上移動(dòng)的方式，設(shè)有 1臺(tái)掃描照相機(jī)8。對準(zhǔn)照相機(jī)7和掃描照相機(jī)8均構(gòu)成為搭載有CXD (Charge Coupled Device)，且能夠?qū)z像得到的圖像數(shù)據(jù)發(fā)送到控制裝置10。各照相機(jī)7、8的攝像方向朝 下，以便能夠分別對吸附保持在吸附工作臺(tái)3上的玻璃基板K進(jìn)行攝像?；遢斔蜋C(jī)器人9具有電動(dòng)機(jī)91、臂92以及可動(dòng)支承臺(tái)93?？蓜?dòng)支承臺(tái)93呈可 載置玻璃基板K的叉狀，其構(gòu)成為在電動(dòng)機(jī)91的驅(qū)動(dòng)下，通過臂92，在Χ、Υ、Ζ、θ這各個(gè) 方向上移動(dòng)自如?？刂蒲b置10由以下部分等構(gòu)成觸摸面板等輸入輸出裝置、以存儲(chǔ)器芯片或微處 理器等為主體的適當(dāng)?shù)挠布?、安裝了用于使該硬件工作的計(jì)算機(jī)程序的硬盤裝置、以及與 濾色器制造裝置1中的各驅(qū)動(dòng)裝置等結(jié)構(gòu)部進(jìn)行數(shù)據(jù)通信的適當(dāng)?shù)慕涌陔娐返?。該控制裝 置10使濾色器制造裝置1進(jìn)行一系列的動(dòng)作。更具體而言，控制裝置10能夠分別向第1直線電動(dòng)機(jī)43、第2直線電動(dòng)機(jī)45、伺 服電動(dòng)機(jī)機(jī)構(gòu)44等驅(qū)動(dòng)單元以及涂料排出部5發(fā)送移動(dòng)指示。該移動(dòng)指示至少包含沿X 軸方向移動(dòng)的X軸方向移動(dòng)指示以及沿Y軸方向移動(dòng)的Y軸移動(dòng)指示。并且，能夠從各個(gè)要素接收與當(dāng)前位置有關(guān)的信息。這里，與位置有關(guān)的信息(后 面也稱為“位置信息”)可以是在涂料排出部5的可動(dòng)范圍內(nèi)定義的坐標(biāo)。此外，也可以另 外配置位置傳感器等，從該位置傳感器取得與位置有關(guān)的信息。將這樣的檢測與涂料排出 部5的位置有關(guān)的信息的要素統(tǒng)稱為位置檢測單元。
并且，控制裝置10至少可以內(nèi)置用于預(yù)先規(guī)定涂布工序的程序，并能夠根據(jù)該程 序，對上述驅(qū)動(dòng)單元和涂料排出部5進(jìn)行控制。上述程序沒有特別限定，只要至少記載有如 下指示即可，所述指示是當(dāng)輸入了涂料排出部5的位置信息時(shí)，針對全部涂料噴嘴，指示 是否排出涂料。另外，將指示噴嘴進(jìn)行排出的指示稱為排出指示?？刂蒲b置10按照該程序，根據(jù)涂料排出部5的位置信息，確定從哪個(gè)噴嘴排出涂 料或是不排出涂料，然后進(jìn)行執(zhí)行。即，這種程序可以稱為排出預(yù)定信息，其給出了位置信 息(X坐標(biāo)、Y坐標(biāo))與排出指示之間的關(guān)系以及輸出Y軸方向移動(dòng)指示的定時(shí)。排出預(yù)定 信息被記錄在控制裝置10擁有的存儲(chǔ)器中。接著，參照圖5 圖9，說明如上構(gòu)成的濾色器制造裝置1的動(dòng)作。圖5是作為濾 色器形成對象的玻璃基板的平面圖，圖6是示出本發(fā)明的濾色器制造裝置的動(dòng)作概要的流 程圖，圖7是詳細(xì)示出圖6的涂布動(dòng)作的流程圖，圖8是用于說明涂布時(shí)的掃描動(dòng)作的圖， 圖9是用于更詳細(xì)地說明涂布時(shí)的掃描動(dòng)作的圖。另外，控制部10從第1直線電動(dòng)機(jī)43 等要素取得位置信息等，通過預(yù)定的流程進(jìn)行判斷，向各要素送出指示，由此來實(shí)現(xiàn)上述這 些流程。如圖5所示，在作為濾色器形成對象的玻璃基板K的表面上，預(yù)先形成有作為彩色 涂料的涂布分區(qū)的黑矩陣BM和對準(zhǔn)標(biāo)志Ml。圖中的“R”、“G”、“B”表示與紅、綠、藍(lán)各個(gè)目 標(biāo)色對應(yīng)的像素。并且，濾色器制造裝置1處于如下這樣的初始狀態(tài)。即，吸附工作臺(tái)3處 于未吸附狀態(tài)，涂布架4位于最上游位置，涂料排出部5處于未排出狀態(tài)，照相機(jī)架6位于 最下游位置。在基板輸送機(jī)器人9的可動(dòng)支承臺(tái)93上載置著玻璃基板K。[送入玻璃基板(步驟Si)]首先，基板輸送機(jī)器人9對可動(dòng)支承臺(tái)93進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，使玻璃基板K到達(dá)吸附 工作臺(tái)3的正上方。接著，使升降銷34從升降銷孔33中突出，上升到作為玻璃基板接受位 置的最上方位置。接著，基板輸送機(jī)器人9使可動(dòng)支承臺(tái)93逐漸下降，將玻璃基板K載置 到升降銷34的頂端部上。在將玻璃基板K載置到升降銷34上之后，基板輸送機(jī)器人9使 可動(dòng)支承臺(tái)93退避。接著，吸附工作臺(tái)3使支承著玻璃基板K的升降銷34下降。當(dāng)玻璃 基板K下降而到達(dá)載置面31時(shí)，吸附工作臺(tái)3使真空吸附孔32中產(chǎn)生真空壓力，通過真空 吸附將玻璃基板K保持在載置面31上。[玻璃基板的定位(步驟S2)]首先，第1直線電動(dòng)機(jī)43對照相機(jī)架6進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，使對準(zhǔn)照相機(jī)7到達(dá)對準(zhǔn) 標(biāo)志Ml的上方。接著，對準(zhǔn)照相機(jī)7拍攝對準(zhǔn)標(biāo)志M1，并將得到的圖像數(shù)據(jù)發(fā)送到控制裝 置10。在控制裝置10中，通過對送來的圖像數(shù)據(jù)實(shí)施適當(dāng)?shù)膱D像處理，來計(jì)算玻璃基板K 相對于規(guī)定位置的偏移量。然后，根據(jù)該偏移量對工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)單元進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，由此 來進(jìn)行玻璃基板K的定位。通過該定位，能夠確定涂料排出部的坐標(biāo)與所要涂布的像素gs的位置的對應(yīng)關(guān) 系。即，只要知道涂料排出部5的位置坐標(biāo)，即可確定位于該位置的所有涂料噴嘴能對哪個(gè) 像素gs進(jìn)行涂布。[涂布前的準(zhǔn)備(步驟S3)]首先，第1直線電動(dòng)機(jī)43對涂布架4進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制，使涂料排出部5到達(dá)玻璃基 板K的上游側(cè)的涂布開始位置。接著，以使涂料噴嘴54的排出口與玻璃基板K的表面之間
13的間隙為0. 5mm 1. Omm左右的微小距離的方式，通過伺服電動(dòng)機(jī)機(jī)構(gòu)44使涂料排出部5 下降。[涂料的涂布(步驟S4)][第1次前進(jìn)動(dòng)作中的涂布]第1直線電動(dòng)機(jī)43使涂布架4進(jìn)行前進(jìn)動(dòng)作。由此，如圖8的箭頭Xl所示，在涂 料噴嘴54的排出口與玻璃基板K的表面之間隔著微小距離而彼此相對的接近狀態(tài)下，涂料 涂布部5進(jìn)行前進(jìn)動(dòng)作?？刂撇?0向涂料排出部5送出指令，以便對作為涂布目標(biāo)的像素 gs排出目標(biāo)顏色的涂料。更具體而言，根據(jù)涂料排出部的位置坐標(biāo)，向能夠?qū)ψ鳛橥坎寄繕?biāo) 的像素gs涂布涂料的涂料噴嘴發(fā)送涂布涂料的指令。由此，正處于前進(jìn)動(dòng)作中的涂料排出 部5在規(guī)定位置處排出規(guī)定量的涂料。將這樣地在沿X軸方向移動(dòng)的同時(shí)進(jìn)行涂布的工序 稱為掃描涂布工序。然后，對玻璃基板K的黑矩陣BM中的各像素gs涂布目標(biāo)顏色的涂料 液(參照圖7的步驟S42、S43)。另外，在步驟S42中，“像素上方”表示像素的ζ軸方向的 上方。當(dāng)涂料排出部5到達(dá)玻璃基板K的下游側(cè)的涂布結(jié)束位置時(shí)(步驟S44 “是”)， 第1直線電動(dòng)機(jī)43停止涂布架4的前進(jìn)動(dòng)作。由此，涂料涂布部5停止(參照圖8的單點(diǎn) 劃線)。如圖8的箭頭Yl所示，第2直線電動(dòng)機(jī)45使涂料排出部5在Y軸方向上移動(dòng)規(guī)定 距離(參照圖8的雙點(diǎn)劃線)。具體而言，該移動(dòng)距離y為P/S(參照步驟S45)。該P(yáng)/S的 移動(dòng)距離y比噴頭模塊的涂布寬度W小。并且，在每次進(jìn)行X軸方向的移動(dòng)時(shí)，均移動(dòng)相同 的距離P/S。另外，這些動(dòng)作是根據(jù)控制部10的指示來進(jìn)行的。將該在Y軸方向上的移動(dòng) 稱為掃描移動(dòng)工序。[第1次返回動(dòng)作中的涂布]第1直線電動(dòng)機(jī)43使涂布架4進(jìn)行返回動(dòng)作(步驟S41)。由此，如圖8的箭頭 X2所示，涂料排出部5進(jìn)行返回動(dòng)作。控制部10向涂料排出部5送出指令，以便對作為涂 布目標(biāo)的像素gs排出目標(biāo)顏色的涂料。由此，正處于返回動(dòng)作中的涂料排出部5在規(guī)定位 置處排出規(guī)定量的涂料，通過這種方式，對玻璃基板K的黑矩陣BM中的各像素gs涂布目標(biāo) 顏色的涂料液(參照圖7的步驟S42、S43)。當(dāng)涂料排出部5到達(dá)玻璃基板K的上游側(cè)的涂布結(jié)束位置時(shí)(步驟S44 “是”)， 第1直線電動(dòng)機(jī)43使涂布架4停止向返回動(dòng)作方向行進(jìn)。由此，涂料涂布部5停止。如圖 8的箭頭Y2所示，第2直線電動(dòng)機(jī)45使涂料排出部5在Y軸方向上移動(dòng)規(guī)定距離。該距離 量與上述前進(jìn)動(dòng)作停止后的移動(dòng)同樣為P/S (參照步驟S45)。[第2次前進(jìn)動(dòng)作中的涂布]與第1次前進(jìn)動(dòng)作中的涂布動(dòng)作同樣，如圖8的箭頭X3所示，使涂料涂布部5在 進(jìn)行前進(jìn)動(dòng)作的同時(shí)進(jìn)行涂布。[第2次返回動(dòng)作中的涂布]如圖8的箭頭Y3所示，使涂料排出部5在Y軸方向上移動(dòng)規(guī)定距離，之后，與第1 次返回動(dòng)作中的涂布動(dòng)作同樣，如圖8的箭頭X4所示，使涂料涂布部5在進(jìn)行返回動(dòng)作的 同時(shí)進(jìn)行涂布。如上所述，通過進(jìn)行第1次前進(jìn)動(dòng)作(參照圖9的箭頭XI)、第1次返回動(dòng)作(參 照圖9的箭頭X2)、第2次前進(jìn)動(dòng)作(參照圖9的箭頭X3)以及第2次返回動(dòng)作(參照圖9的箭頭X4)這合計(jì)4次的掃描，來對玻璃基板K上的全部像素gs涂布目標(biāo)顏色的涂料。另外，在上述各涂布動(dòng)作中，伴隨涂料的涂布動(dòng)作，通過照相機(jī)架6和第3直線電 動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)，掃描照相機(jī)8在沿X軸、Y軸各方向移動(dòng)的同時(shí)，對所涂布的液滴進(jìn)行攝像，并 將圖像數(shù)據(jù)發(fā)送到控制裝置10?？刂蒲b置10根據(jù)送來的圖像數(shù)據(jù)，通過適當(dāng)?shù)膱D像處理， 對涂料的命中狀態(tài)進(jìn)行評價(jià)。在不良部位顯著的情況下，可以在后序工序中將該玻璃基板 K作為不合格品而排除。[涂布后的處理(步驟S5)]首先，伺服電動(dòng)機(jī)機(jī)構(gòu)44通過驅(qū)動(dòng)水平框部42上升，來使涂料排出部5上升。由 此，使涂料噴嘴54的排出口與玻璃基板K的表面分離。接著，第1直線電動(dòng)機(jī)44控制涂布 架4進(jìn)行返回動(dòng)作，使涂料排出部5向吸附工作臺(tái)3的上游端退避。[送出基板(步驟S6)]吸附工作臺(tái)3使真空吸附孔32中產(chǎn)生的真空壓力恢復(fù)為大氣壓。由此，升降銷34 從升降銷孔33中突出，在支承著玻璃基板K的狀態(tài)下，上升到最上方位置。基板輸送機(jī)器 人9通過可動(dòng)支承臺(tái)93接受已完成涂料涂布的玻璃基板K，將其移交到下一個(gè)工序，例如減 壓干燥工序。如以上說明的那樣，本發(fā)明的濾色器制造裝置1是通過如下方式對玻璃基板K上 的全部像素gs涂布目標(biāo)顏色的涂料。即，通過第1直線電動(dòng)機(jī)43的驅(qū)動(dòng)，使噴頭單元50 相對于玻璃基板K，在X軸方向上進(jìn)行相對移動(dòng)。在該相對移動(dòng)的期間，涂料噴頭51根據(jù)玻 璃基板K與涂料噴嘴54之間的規(guī)定的位置關(guān)系，向玻璃基板K上的與目標(biāo)顏色對應(yīng)的像素 gs排出目標(biāo)顏色的規(guī)定量的涂料。當(dāng)X軸方向上的相對移動(dòng)結(jié)束時(shí)，通過第2直線電動(dòng)機(jī) 45的驅(qū)動(dòng)，使噴頭單元50與玻璃基板K在Y軸方向上相對移動(dòng)規(guī)定量P/S。在進(jìn)行了 Y軸 方向上的相對移動(dòng)之后，再次進(jìn)行X軸方向上的相對移動(dòng)，與上述同樣，從涂料噴頭51向玻 璃基板K排出涂料。此后，重復(fù)S次這一系列的動(dòng)作。根據(jù)濾色器制造裝置1，單色的噴頭單元50是通過在Y軸方向上，以規(guī)定的排列間 距P配置一列噴頭模塊52而構(gòu)成的。并且，第2直線電動(dòng)機(jī)45構(gòu)成為，每當(dāng)噴頭單元50 在X軸方向上的1次掃描結(jié)束時(shí)，使噴頭單元50沿Y軸方向移動(dòng)規(guī)定量P/S。通過根據(jù)噴 頭模塊52的掃描次數(shù)S和噴頭模塊52的排列間距P來設(shè)定移動(dòng)量，從而能夠針對玻璃基 板K上的全部像素gs排出涂料。因此，無需將噴頭模塊52配置成鋸齒狀，即可消除噴嘴未 通過區(qū)域，與將噴頭模塊52配置成鋸齒狀的現(xiàn)有技術(shù)相比，能夠使涂布裝置小型化。并且，由于將噴頭模塊52的排列間距P設(shè)定為(S/2) .ff<P<S.ff的范圍，因 此，噴頭模塊52在Y軸方向上的移動(dòng)量P/S比W小。由此，涂料噴頭51中的涂料噴嘴54的 一部分在每次掃描時(shí)均通過玻璃基板K的相同區(qū)域，因此，只要噴頭模塊52的安裝位置的 誤差處于通過所述相同區(qū)域的寬度范圍以內(nèi)，就不會(huì)產(chǎn)生涂料噴頭51中的涂料噴嘴54完 全未通過的區(qū)域(噴嘴未通過區(qū)域)，噴頭模塊52的安裝調(diào)整容易。這樣，根據(jù)濾色器制造裝置1，能夠?qū)崿F(xiàn)裝置的小型化和維護(hù)的容易化。另外，在噴頭模塊的涂布寬度上的兩端，涂料的排出量本身不均勻。為了消除這種 不均勻，需要針對噴頭模塊的涂布寬度上的端部部分的涂布進(jìn)行設(shè)計(jì)。作為其前提，重點(diǎn)在 于，涂料噴頭51中的涂料噴嘴54的一部分在每次掃描時(shí)均要通過玻璃基板K的相同區(qū)域。 因此，將噴頭模塊這樣地多次重復(fù)通過的涂布對象物上的區(qū)域稱為重復(fù)涂布區(qū)域，將重復(fù)
15通過的情況稱為重疊(overlap)。并且，將重復(fù)涂布區(qū)域中相同顏色的噴頭模塊重疊的部分 稱為重疊部。關(guān)于噴頭模塊的涂布寬度上的端部部分的涂布方法，包含其他實(shí)施方式在內(nèi)， 將從后述的實(shí)施方式5起進(jìn)行說明。另外，從Y軸方向上的移動(dòng)距離y( = P/S)的角度來看，排列間距P的(S/2) -W < P < S · W的關(guān)系可以變形為W/2 < y( = P/S) < W。這也可以這樣理解將Y軸方向的 移動(dòng)距離y設(shè)定在W/2 < y < W的范圍內(nèi)，并且在每次掃描移動(dòng)時(shí)為相同的移動(dòng)量y，為了 對間距P的范圍的區(qū)域中的全部像素進(jìn)行涂布，需要{Int(P/y)+l}次的涂布次數(shù)S。另外， 這里，“Int”是指僅提取(P/S)的整數(shù)部的函數(shù)。(實(shí)施方式2)在實(shí)施方式1中，是通過相鄰地配置用于涂布紅色涂料、綠色涂料、藍(lán)色涂料的噴 頭模塊來形成噴頭單元，并沿X軸方向直列地并列設(shè)置這些噴頭單元，所以，實(shí)現(xiàn)了涂料排 出部的小型化。但是，在實(shí)施方式1中，由于是沿X軸方向直列地并列設(shè)置這些噴頭單元，因此，在 最初的前進(jìn)動(dòng)作時(shí)，對于由噴頭模塊的涂布寬度Wm上的兩端部涂布的像素，是在與未涂布 涂料的像素相鄰的狀況下，進(jìn)行干燥。另一方面，對于由噴頭模塊的涂布寬度上的中央部涂 布的像素，是在周圍存在已進(jìn)行涂布的像素的狀況下，進(jìn)行干燥。這樣，對于涂布的像素來 說，當(dāng)干燥時(shí)的周圍條件不同時(shí)，干燥程度會(huì)產(chǎn)生差異，這種差異將被識(shí)別為涂布不均勻。因此，在本實(shí)施方式中，通過將噴頭模塊配置成鋸齒狀，來避免該問題。本實(shí)施方 式的涂布裝置1與實(shí)施方式1相同，所以省略說明。并且，涂布流程也與實(shí)施方式1的圖7 相同。圖10是本發(fā)明的涂料排出部5的平面概略圖。在本實(shí)施方式中，將顏色不同的噴 頭模塊配置成鋸齒狀。排出紅色涂料的噴頭模塊70R與排出綠色涂料的噴頭模塊70G被配 置成，各自的涂布寬度Wm上的端部彼此一致。并且，排出綠色涂料的噴頭模塊70G與排出 藍(lán)色涂料的噴頭模塊70B也被配置成，各自的涂布寬度Wm上的端部彼此一致。另外，各個(gè) 噴頭模塊由5個(gè)涂料噴頭51構(gòu)成。因此，排出相同顏色的涂料的噴頭模塊彼此之間的間距P等于3Wm。這樣地配置噴 頭模塊的涂料排出部5與實(shí)施方式1同樣，在以Y軸方向的移動(dòng)量始終為P/S的方式移動(dòng) 的同時(shí)，進(jìn)行涂布。另外，S是涂料噴頭51對玻璃基板K上的全部像素gs涂布涂料所需的 掃描次數(shù)(2以上的整數(shù))。圖11是示意性示出噴頭模塊的動(dòng)作的圖。為了進(jìn)行說明，設(shè)涂料排出部5具有2 組由70R、70G、70B這3個(gè)噴頭模塊構(gòu)成的組，并用箭頭表示各個(gè)噴頭模塊。各個(gè)噴頭模塊 的涂布寬度為Wm。并且，在本實(shí)施方式中，噴頭模塊的配置間隔P表示相同顏色的噴頭模塊 之間的配置間隔。除了將噴頭模塊配置成鋸齒狀以外，與實(shí)施方式1相同，所以，圖11基本上與圖9 相同。但是，在本實(shí)施例中，由于將噴頭模塊配置成鋸齒狀，所以，在由某個(gè)噴頭模塊的涂布 寬度上的端部涂布的像素的周圍，存在相鄰顏色的涂料。圖12(a)是示出該狀況的圖。如圖5所示，所要涂布的像素沿著每列以R、G、B的 順序排列，各像素gs之間被黑矩陣BM隔開。這里，單點(diǎn)劃線所示的區(qū)域77是排出紅色涂 料的噴頭模塊所涂布的像素的區(qū)域。并且，雙點(diǎn)劃線所示的區(qū)域78是排出綠色涂料的噴頭模塊所涂布的像素的區(qū)域。為了進(jìn)行比較，圖12(b)示出了如實(shí)施方式1那樣，沿X軸方向直列地排列不同顏 色的噴頭模塊時(shí)最初的掃描涂布的情況。由于R、G、B的噴頭模塊直列地排列，所以，在區(qū)域 77中，對R、G、B的全部像素進(jìn)行了涂布，但是，與相鄰的噴頭模塊之間的區(qū)域78則完全未 被涂布。參照這些涂布狀態(tài)，例如，像素79是紅色的屬于區(qū)域77中最右端的像素。當(dāng)直列 地排列噴頭時(shí)，像素79的右端存在完全未被涂布的像素(區(qū)域78的像素)，與區(qū)域77中間 的干燥狀態(tài)不同。而在將不同顏色的噴頭模塊配置成鋸齒狀時(shí)，其附近存在涂布綠色的像 素80和81，與區(qū)域77中間的像素相比，干燥環(huán)境的差異不大。這里，干燥環(huán)境是決定所涂布的涂料的干燥速度的主要原因，尤其是在這里，由于 周圍存在涂料，因此可以認(rèn)為，包含是否存在進(jìn)行干燥的溶劑蒸汽的因素。在涂布了涂料的 像素周圍存在使溶劑蒸發(fā)的像素的情況下，與不存在使溶劑蒸發(fā)的像素的情況相比，可認(rèn) 為干燥進(jìn)行得更加緩慢。因此，如果干燥環(huán)境的差異小，則因干燥環(huán)境的差異導(dǎo)致的涂布不 均勻變小。而且，也可以重疊地配置不同顏色的噴頭模塊的涂布區(qū)域。圖13示出了此時(shí)的涂 料排出部5的平面概略圖。R、G、B的噴頭模塊被配置成，涂布區(qū)域重疊了標(biāo)號(hào)85所示的寬 度的量。圖14示出了由該涂料排出部進(jìn)行涂布時(shí)最初的前進(jìn)動(dòng)作中的涂布圖案。噴頭模 塊的涂布區(qū)域中的兩端部發(fā)生重疊，所以，由紅色(R)的噴頭模塊涂布的區(qū)域77與由綠色 (G)的噴頭模塊涂布的區(qū)域78，在一部分的區(qū)域88中發(fā)生了重疊。這就是已經(jīng)說明過的重 復(fù)涂布區(qū)域。噴頭模塊的涂布區(qū)域的端部的周圍存在進(jìn)行了涂布的像素，因此，與噴頭模塊中 間相比，干燥狀態(tài)變化不大，能夠減低涂布不均勻。例如，與圖12(a)的情況相比，在區(qū)域77 的端部的像素79的周圍，存在更多進(jìn)行了涂布的像素。而且，這些像素是與像素79同時(shí)期 涂布的，所以，干燥環(huán)境接近于噴頭模塊的中央部的干燥環(huán)境。即，能夠抑制涂布不均勻。(實(shí)施方式3)下面，對本實(shí)施方式的涂布方法進(jìn)行說明。再次參照圖11，在實(shí)施方式2中，在涂 布相同顏色的區(qū)域中，涂料排出部5在每次沿X軸方向進(jìn)行前進(jìn)動(dòng)作和返回動(dòng)作時(shí)，均沿Y 軸方向，向一個(gè)方向移動(dòng)P/S，于此同時(shí)，對全部涂布區(qū)域進(jìn)行涂布。但是，在涂料排出部5 移動(dòng)的方向上，對于在位于最后方的涂布區(qū)域端部處所涂布的像素，在相鄰的噴頭模塊移 動(dòng)來之前，在該像素的周圍不存在進(jìn)行了涂布的像素。其中，S是涂料噴頭51對玻璃基板K 上的全部像素gs涂布涂料所需的掃描次數(shù)(2以上的整數(shù))。具體而言，在圖11中，對于由涂布R(紅色)涂料的噴頭模塊的標(biāo)號(hào)100的部分涂 布了 R涂料的像素，雖然在其前后涂布了 G和B的涂料，但是，在相鄰的涂布R涂料的噴頭 模塊移動(dòng)來的標(biāo)號(hào)101的定時(shí)之前，左側(cè)不存在R涂料。即，該部分的干燥狀態(tài)與其他區(qū)域 的像素不同。這是因?yàn)?，涂料排出?僅向一個(gè)方向移動(dòng)來對全部涂布區(qū)域進(jìn)行涂布。因此，在本實(shí)施方式中，涂料排出部5向兩個(gè)方向移動(dòng)。在本實(shí)施方式中，涂布裝 置1與實(shí)施方式1相同。并且，涂料排出部5的結(jié)構(gòu)與實(shí)施方式2相同。S卩，在本實(shí)施方式 中，不同顏色的噴頭模塊處于被配置成鋸齒狀的狀態(tài)。如果配置成鋸齒狀，則在不同顏色的 噴頭模塊之間，涂布區(qū)域可以重疊。當(dāng)然，在不同顏色的噴頭模塊彼此未被配置成鋸齒狀的
17情況下，也能夠應(yīng)用本實(shí)施方式。圖15示出了本實(shí)施方式的噴頭模塊的軌跡和涂布區(qū)域的概念圖。參照圖15(a)， 標(biāo)號(hào)5表示涂料排出部5。噴料模塊的3個(gè)顏色被配置成鋸齒狀(70R、70G、70B)。為了便 于說明，用黑色四邊形表示排出紅色涂料的噴墨模塊70R。在涂料排出部5的下方，用標(biāo)號(hào)200表示涂布區(qū)域的概念圖。如圖5所示，涂布對 象物的最小單位由R、G、B這3個(gè)顏色形成。在圖15的涂布區(qū)域中，僅示出了兩個(gè)單位。在 涂料排出部5的左側(cè)，示出了涂料排出部5的移動(dòng)軌跡的概念。并且，用標(biāo)號(hào)97表示所關(guān)注的噴料模塊。噴頭模塊97是排出紅色涂料的涂料噴 頭模塊。用標(biāo)號(hào)98表示噴頭模塊97的左側(cè)相鄰的噴頭模塊。最初，將涂料排出部5設(shè)定為初始位置103。然后，在最初的前進(jìn)動(dòng)作110中涂布 涂料。一邊進(jìn)行涂布一邊移動(dòng)，當(dāng)?shù)竭_(dá)前進(jìn)路徑的最終端104時(shí)，在涂布區(qū)域200中，僅僅 是存在涂料噴頭模塊的部分處于涂布了各種顏色的涂料的狀態(tài)。涂料噴頭模塊97涂布了 區(qū)域120。接著，參照圖15(b)。涂料排出部5從最終端104向Y軸方向的右側(cè)移動(dòng)3P/S。在 涂料排出部5中，以使涂料噴頭模塊98到達(dá)之前由涂料噴頭模塊97涂布的區(qū)域120左端 的方式，使該涂料噴頭模塊98從Y軸方向的左側(cè)向右側(cè)進(jìn)行移動(dòng)。然后，一邊進(jìn)行返回動(dòng) 作111 一邊涂布涂料。通過該返回動(dòng)作111對區(qū)域121進(jìn)行涂布。該區(qū)域121與在前進(jìn)動(dòng)作110中涂布 的區(qū)域120部分重疊。該重復(fù)涂布區(qū)域201是相同顏色的重復(fù)涂布區(qū)域，如已經(jīng)說明的，其
是重疊部。接著，參照圖15(c)。前進(jìn)到X軸方向的涂布最終端105的涂料排出部5向Y軸方 向的左側(cè)移動(dòng)2P/S。在涂料排出部5中，以使涂料噴頭模塊97到達(dá)之前由該涂料噴頭模塊 97涂布的區(qū)域120的右端的方式，使該涂料噴頭模塊97從Y軸方向的右側(cè)返回。然后，進(jìn) 行第2次前進(jìn)動(dòng)作112中的涂布。從區(qū)域120對其進(jìn)行觀察，是在區(qū)域120的右端產(chǎn)生重 疊部的情況下進(jìn)行涂布122。接著，參照圖15(d)。前進(jìn)到前進(jìn)動(dòng)作112的最終端106的涂料排出部5向右移動(dòng) P/S。在涂料排出部5中，以使涂料噴頭模塊97到達(dá)之前由該涂料噴頭模塊97涂布的區(qū)域 122的右端的方式，使該涂料噴頭模塊97從Y軸方向的左側(cè)向右側(cè)移動(dòng)。然后，進(jìn)行返回動(dòng) 作113中的涂布。由此，對區(qū)域123進(jìn)行涂布。通過這種方式，對位于相同顏色的噴頭模塊 之間的距離P之間的全部像素進(jìn)行了涂布。即，對于在最初的前進(jìn)動(dòng)作110時(shí)所涂布的區(qū)域的任意一端，通過在其被涂布之 后的2次以內(nèi)的掃描動(dòng)作，重疊地進(jìn)行了涂布。因此，在周圍不存在進(jìn)行了涂布的像素的狀 態(tài)下被長時(shí)間擱置的像素，不再存在，所以，能夠抑制干燥不均勻。另外，在上述說明中，示出了將相同顏色的噴頭模塊間隔設(shè)為P、將掃描次數(shù)S設(shè) 為4次即可涂布全部區(qū)域的情況，但是，不需要限定為4次。只要移動(dòng)量比噴頭模塊的涂布 寬度Wm小，則也可以進(jìn)行4次以上的掃描。但是，生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間(takt time)相應(yīng)地增加。另外，在本實(shí)施方式中，Y軸方向的移動(dòng)距離為P/S的整數(shù)倍，不過，也可以在重疊 部的寬度范圍內(nèi)，有所增減。即，在本實(shí)施方式中，進(jìn)行這樣的涂布第k次涂布后在Y軸方 向上的移動(dòng)距離yk比第k+Ι次涂布后在Y軸方向上的移動(dòng)距離yk+1小。另外，在本實(shí)施方式中，在對噴頭模塊間隔P之間的所有部分進(jìn)行涂布時(shí)，最后的Y軸方向的移動(dòng)距離yt比 噴頭模塊的涂布寬度Wm小。換言之，能夠根據(jù)最后在Y軸方向上的移動(dòng)距離yt和噴頭模 塊間隔P，通過{Int(P/yt)+l}來求出涂布次數(shù)S。并且，在本實(shí)施方式的情況下，不會(huì)失去一般性，S卩在將Y軸方向中的某一方表 示為正、將相反方向表示為負(fù)時(shí)，第k次的掃描動(dòng)作后在Y軸方向上移動(dòng)的距離可表示為 (-Dk-1KS-IOP}/S?；蛘?，也可以表示為(-I)k{(s-k)p}/s。其中k彡(S-I)。隨著掃描次 數(shù)k的增加，分子變小，所以，涂料排出部進(jìn)行從外側(cè)朝向內(nèi)側(cè)的螺旋狀的掃描動(dòng)作。并且， 相對于實(shí)施方式2中始終進(jìn)行P/S的等距離移動(dòng)，在本實(shí)施方式中，對于Y軸方向的移動(dòng) (掃描移動(dòng))中的每個(gè)工序，移動(dòng)距離均不同。另外，控制裝置10根據(jù)作為記錄在控制裝置10中的程序的排出預(yù)定信息，向驅(qū)動(dòng) 部和涂料排出部輸出指示，由此來實(shí)施本實(shí)施方式的涂料排出部5的動(dòng)作。(實(shí)施方式4)在實(shí)施方式3中，涂料排出部5是猶如從外側(cè)向內(nèi)側(cè)描繪出螺旋形的方式，一邊進(jìn) 行前進(jìn)動(dòng)作和返回動(dòng)作，一邊進(jìn)行涂布。因此，沿著與其相反的軌跡，也能得到相同的效果。圖16示出了本實(shí)施方式的噴頭模塊的軌跡和涂布區(qū)域的概念圖。另外，圖中表現(xiàn) 的情況與圖15相同。最初將涂料排出部5設(shè)定為初始位置133。接著，在最初的前進(jìn)動(dòng)作140中涂布涂 料。一邊進(jìn)行涂布一邊移動(dòng)，當(dāng)?shù)竭_(dá)前進(jìn)路徑的最終端134時(shí)，在涂布區(qū)域200中，只有存 在涂料噴頭模塊的部分處于涂布了各種顏色的涂料的狀態(tài)。涂料噴頭模塊97涂布了區(qū)域 150。接著，參照圖16(b)。涂料排出部5從最終端134向Y軸方向的右側(cè)移動(dòng)P/S。在 涂料排出部5中，以使涂料噴頭模塊97到達(dá)之前由該涂料噴頭模塊97涂布的區(qū)域150的 右端的方式，使該涂料噴頭模塊97向Y軸方向的右側(cè)移動(dòng)。然后，一邊進(jìn)行返回動(dòng)作141， 一邊涂布涂料。通過該返回動(dòng)作141對區(qū)域151進(jìn)行涂布。該區(qū)域151與在前進(jìn)動(dòng)作140中涂布 的區(qū)域150部分重疊。如在實(shí)施方式3中說明的，該重復(fù)涂布區(qū)域201為重疊部。接著，參照圖16(c)。前進(jìn)到X軸方向的涂布最終端135的涂料排出部5向Y軸方 向的左側(cè)移動(dòng)2P/S的量。在涂料排出部5中，以使涂料噴頭模塊97到達(dá)之前由該涂料噴 頭模塊97涂布的區(qū)域150的左端的方式，使涂料噴頭模塊97從Y軸方向的右側(cè)返回。然 后，進(jìn)行第2次前進(jìn)動(dòng)作142中的涂布。從區(qū)域150對其進(jìn)行觀察，在區(qū)域150的左端產(chǎn)生 了重疊部的情況下進(jìn)行涂布142。接著，參照圖16(d)。前進(jìn)到前進(jìn)動(dòng)作142的最終端136的涂料排出部5向右移動(dòng) 3P/S的量。在涂料排出部5中，以使涂料噴頭模塊97到達(dá)之前由該涂料噴頭模塊97涂布 的區(qū)域151的右端的方式，使該涂料噴頭模塊97從Y軸方向的左側(cè)向右側(cè)移動(dòng)。然后，進(jìn) 行返回動(dòng)作143中的涂布。由此，對區(qū)域153進(jìn)行涂布。通過這種方式，對位于相同顏色的 噴頭模塊之間的距離P的區(qū)間中的全部像素進(jìn)行了涂布。S卩，對于通過最初的前進(jìn)動(dòng)作140涂布的區(qū)域150的任意一端，通過在其被涂布之 后的2次以內(nèi)的涂料排出部的掃描動(dòng)作，進(jìn)行重疊涂布。因此，在周圍不存在進(jìn)行了涂布的 像素的狀態(tài)下被長期擱置的像素，不再存在，所以，能夠抑制干燥不均勻。
另外，在上述說明中，示出了將相同顏色的噴頭模塊間隔設(shè)為P、將掃描次數(shù)S設(shè) 為4次即可涂布全部區(qū)域的情況，但是，不需要限定為4次。只要移動(dòng)量比噴頭模塊的涂布 寬度Wm小，則也可以進(jìn)行4次以上的掃描。但是，生產(chǎn)節(jié)拍時(shí)間(takt time)相應(yīng)地增加。另外，在本實(shí)施方式中，Y軸方向的移動(dòng)距離為P/S的整數(shù)倍，不過，也可以在重疊 部的寬度范圍內(nèi)，有所增減。即，在本實(shí)施方式中，進(jìn)行這樣的涂布第k次涂布后在Y軸方 向上的移動(dòng)距離yk比第k+Ι次涂布后在Y軸方向上的移動(dòng)距離yk+1大。另外，在本實(shí)施方 式中，對噴頭模塊間隔P之間的所有部分進(jìn)行涂布時(shí)，最初的Y軸方向的移動(dòng)距離Is比噴頭 模塊的涂布寬度Wm小。換言之，在該情況下，能夠根據(jù)最初在Y軸方向上的移動(dòng)距離ys和 噴頭模塊間隔P，通過{Int(P/ys)+l}來求出涂布次數(shù)S。并且，在本實(shí)施方式的情況下，不會(huì)失去一般性，S卩在將Y軸方向中的某一方表 示為正、將相反方向表示為負(fù)時(shí)，第k次的掃描動(dòng)作后在Y軸方向上移動(dòng)的距離可表示為 (-ι)Ηα·ρ)Λ?；蛘?，也可以表示為(-l)k(k.P)/S0其中k彡(S-I) 0隨著掃描次數(shù)k 的增加，分子變小，所以，涂料排出部進(jìn)行從外側(cè)朝向內(nèi)側(cè)的螺旋狀的掃描動(dòng)作。并且，相對 于實(shí)施方式2中始終進(jìn)行P/S的等距離移動(dòng)，在本實(shí)施方式中，對于Y軸方向的移動(dòng)(掃描 移動(dòng))中的每個(gè)工序，移動(dòng)距離均不同。另外，控制裝置10根據(jù)作為記錄在控制裝置10中的程序的排出預(yù)定信息，向驅(qū)動(dòng) 部和涂料排出部輸出指示，由此來實(shí)施本實(shí)施方式的涂料排出部5的動(dòng)作。(實(shí)施方式5)在本實(shí)施方式中，對重疊區(qū)域的處理進(jìn)行說明。在實(shí)施方式1 4中，對于由噴 頭模塊的端部涂布的像素區(qū)域，相同的噴頭模塊或其他的噴頭模塊會(huì)再次通過上述圖像區(qū) 域。對于由該噴頭模塊的端部實(shí)施的涂布，由于形成的涂料噴嘴的不均勻、噴頭模塊的中央 部與端部在排出量上的差異、以及涂布的像素的干燥狀態(tài)的差異等原因，容易產(chǎn)生涂布不 均勻。為了使這種涂布不均勻不明顯，有效方法是，盡量分散涂布不均勻的出現(xiàn)部位。因 此，在該重疊部分中，分散進(jìn)行對像素的涂布，利用第2次以后的涂料排出部通過中的涂 布，來完成對該區(qū)域的像素的涂布。在本實(shí)施方式中，提供基于這種思路的重疊部分的涂布 方法。因此，實(shí)施方式1 4中的任一方式均可應(yīng)用本實(shí)施方式的重疊部分的涂布方法。圖17示出了重疊部分的示意圖。涂布對象物是被黑矩陣BM隔開的像素gs。為 了便于說明，僅示出了一個(gè)顏色的像素。在搭載于噴頭模塊中的涂料噴頭上，形成有多個(gè)噴 嘴。而且，在涂布一個(gè)像素時(shí)，通過從噴頭模塊中的多個(gè)噴嘴排出的涂料，進(jìn)行涂布。該多 個(gè)噴嘴可以是一個(gè)涂料噴頭中的噴嘴，也可以是多個(gè)涂料噴頭中的噴嘴。而且，可對噴頭模塊中的噴嘴分別進(jìn)行0N/0FF控制，來控制是排出涂料還是不進(jìn) 行涂布。即，能夠針對某個(gè)特定像素，實(shí)施涂布或不進(jìn)行涂布。因此，在本實(shí)施方式中，對于 重疊部分，隨機(jī)選擇在涂料排出部的第1次通過中所要涂布的像素，進(jìn)行涂布，對于剩余的 像素，在涂料排出部的第2次通過中，進(jìn)行涂布。參照圖17，區(qū)域160是通過第1次涂布對其中的全部像素進(jìn)行涂布的部分。區(qū)域 161是通過第2次涂布對其中的全部像素進(jìn)行涂布的部分。區(qū)域162是重疊區(qū)域。這里， 橫線的像素是第1次涂布的像素，涂滿灰色的像素是第2次涂布的像素。這里，為了進(jìn)行說 明，用3個(gè)像素來表示重疊部。
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關(guān)于是對重疊部162中的哪個(gè)像素進(jìn)行第1次涂布或第2次涂布，可以是使用了 隨機(jī)數(shù)或偽隨機(jī)數(shù)的任意的確定方法，沒有特別限定。另外，這里，偽隨機(jī)數(shù)是指根據(jù)函數(shù) 產(chǎn)生的隨機(jī)數(shù)。例如，可通過隨機(jī)地確定是進(jìn)行第1次涂布或進(jìn)行第2次涂布，來實(shí)現(xiàn)屬于 重疊部分的全部像素。另外，還可以使用控制部10以外的計(jì)算機(jī)來決定是第1次涂布還是 第2次涂布，并將其反映在控制部10所執(zhí)行的程序中。另外，雖然也可以在進(jìn)行涂布的同時(shí)，確定重疊部中的涂布像素，不過，優(yōu)選的是， 預(yù)先確定出重疊部中的涂布像素并反映在程序(排出預(yù)定信息)中。另外，對于重疊部， 也可以使用隨機(jī)決定了第1次所要涂布的像素的排出預(yù)定信息，對多個(gè)涂布對象物進(jìn)行涂 布。并且，也可以針對每個(gè)涂布對象物，重新確定每個(gè)重疊部第1次所要涂布的像素。這里，對于重疊部，是預(yù)先隨機(jī)地確定第1次所要涂布的像素，并將其反映在控制 部10執(zhí)行的程序(排出預(yù)定信息)中。即，控制部10在取得涂料排出部5的位置信息時(shí)， 根據(jù)排出預(yù)定信息，向各個(gè)噴嘴發(fā)送涂料的排出指示。換言之，在記錄于控制部10的存儲(chǔ)器內(nèi)的排出預(yù)定信息中，與隨機(jī)地選擇了第1 次所要涂布的像素和第2次以后所要涂布的像素的狀態(tài)對應(yīng)地，記錄有涂料排出部5的位 置信息與排出指示之間的關(guān)系。通過這種方式，本實(shí)施方式也能夠按照圖4的涂布流程對涂布對象面的整個(gè)面進(jìn) 行涂布。但是，在圖4的流程中，在Y軸方向上的移動(dòng)不僅可以采用實(shí)施方式1的方法，還 可以采用實(shí)施方式2 4中的任意一種方法。具體而言，在實(shí)施方式1和2的情況下，使涂 料排出部在Y軸方上每次移動(dòng)P/S的量，而在實(shí)施方式3中，是使其在Y軸方向上按照3P/ S、-2P/S、P/S的順序移動(dòng)。此外，在實(shí)施方式4中，是使涂料排出部在Y軸方向上按照P/ S、-2P/S、3P/S的順序移動(dòng)。如上所述，針對重疊部分的像素，預(yù)先確定是通過第幾次的掃描來進(jìn)行涂布，由此 使涂布分散地進(jìn)行，所以，能夠抑制涂布不均勻的產(chǎn)生。另外，在本實(shí)施方式中，是以噴頭模 塊通過重疊部分2次為例進(jìn)行了說明，不過，根據(jù)噴頭模塊的涂布寬度和在Y軸方向上的移 動(dòng)量的不同，也存在噴頭模塊通過2次以上的情況。該情況下，也是預(yù)先確定是通過第幾次 的掃描來進(jìn)行涂布，從而也能夠抑制涂布不均勻的產(chǎn)生。(實(shí)施方式6)在本實(shí)施方式中，示出了重疊部分的涂布方法的其他方法。圖18示出了本發(fā)明的 涂布方法中的重疊部分。區(qū)域170是通過第1次涂布對其中的全部像素進(jìn)行涂布的部分。 區(qū)域171是通過第2次的涂布對其中的全部像素進(jìn)行涂布的部分。區(qū)域172 176的部分 是重疊區(qū)域。這里，橫線的像素是第1次所要涂布的像素，涂滿灰色的像素是第2次所要涂 布的像素。在本實(shí)施方式的方法中，將重疊部分割為多個(gè)區(qū)域，確定是以各個(gè)區(qū)域中的全部 像素?cái)?shù)量的哪種比例，來進(jìn)行第1次的涂布。在圖18中，將重疊部均等地分割為5個(gè)區(qū)域， 在各個(gè)區(qū)域中，將第1次所要涂布的像素的個(gè)數(shù)的比例分別設(shè)定為90%、70%、50%、30%、 10%。在圖18中，在各個(gè)區(qū)域中觀察到10個(gè)要進(jìn)行涂布的像素。因此，在區(qū)域172中，對9 個(gè)像素進(jìn)行第1次的掃描涂布。即，橫線的像素有9個(gè)。剩余的一個(gè)通過第2次的掃描涂 布動(dòng)作來進(jìn)行涂布，所以，是涂滿灰色的像素。同樣，對于區(qū)域173，在第1次掃描涂布動(dòng)作時(shí)涂布7個(gè)像素，對于區(qū)域174中，在
21第1次掃描涂布動(dòng)作時(shí)涂布5個(gè)像素，對于區(qū)域175，在第1次掃描涂布動(dòng)作時(shí)涂布3個(gè)像 素，對于區(qū)域176，在第1次掃描涂布動(dòng)作時(shí)涂布1個(gè)像素。接著，隨機(jī)地選擇在各區(qū)域中對 哪個(gè)像素進(jìn)行第1次的涂布。隨機(jī)選擇方法本身沒有特別限定。例如，如果設(shè)對重疊部進(jìn)行分割后的像素的列為m列、沿X軸方向有η行，則在 該分割區(qū)域中，存在mXn個(gè)像素。例如，當(dāng)?shù)?次所要涂布的像素?cái)?shù)量為90%時(shí)，涂布 0.9XmXn個(gè)像素。按照從左上朝向右下的順序，對這些像素進(jìn)行編號(hào)，以隨機(jī)數(shù)的形式依 次產(chǎn)生mXn個(gè)整數(shù)。然后，依次選擇0. 9XmXn個(gè)與產(chǎn)生的整數(shù)對應(yīng)的像素，由此，能夠?qū)?隨機(jī)選擇的90%的像素作為第1次涂布的像素。對于其他區(qū)域，也可以通過同樣的步驟來確定第1次涂布的像素，剩余的像素為 第2次涂布的像素。像這樣，通過將重疊部分割為多個(gè)區(qū)域，并在分割出的各個(gè)區(qū)域中改變 涂布比例，從而能夠使重疊部分的不均更加不明顯。另外，關(guān)于重疊部的區(qū)域的分割方式以及在第1次涂布中對各個(gè)區(qū)域中的多少像 素進(jìn)行涂布，沒有特別限制。這是因?yàn)?，它們是根?jù)涂布對象物所要求的規(guī)格而變化的。另外，在記錄于控制裝置10的存儲(chǔ)器內(nèi)的排出預(yù)定信息中，與如下這樣的狀態(tài)對 應(yīng)地，記錄有涂料排出部的位置信息與排出指示之間的關(guān)系，在所述狀態(tài)中沿所述Y軸方 向，將涂布對象物的特定區(qū)域分割為多個(gè)分割區(qū)域，針對每個(gè)分割區(qū)域，根據(jù)預(yù)先確定的比 例來確定在第1次涂布和第2次以后的涂布中進(jìn)行涂布的像素的個(gè)數(shù)，針對每個(gè)分割區(qū)域， 隨機(jī)選擇了所述個(gè)數(shù)的所述像素。以上，對本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說明，但是，以上公開的實(shí)施方式只不過是例 示，本發(fā)明的范圍不限于這些實(shí)施方式。本發(fā)明的范圍由權(quán)利要求書的記載給出，而且，旨 在包含與權(quán)利要求書等同的含義的范圍以及其范圍內(nèi)的全部變更。實(shí)施例1作為本發(fā)明的實(shí)施方式1的實(shí)施例，設(shè)W = 25. 4 (mm)N= 360(個(gè))M=5(級(jí))5 = 4(次)，則由每一英寸范圍內(nèi)的噴嘴數(shù)量表示的分辨率為W(mm) XΝ/25. 4ΧΜ = 1800 (dpi)，間距P的范圍如下50. 8 (mm) < P < 101. 6 (mm)。
2權(quán)利要求
一種涂布方法，在該涂布方法中，配置有噴頭模塊的涂料排出部通過重復(fù)執(zhí)行如下動(dòng)作，來對由多個(gè)像素構(gòu)成的待涂布涂料的涂布對象物的規(guī)定區(qū)域進(jìn)行涂布，所述噴頭模塊由多個(gè)形成有多個(gè)噴嘴的噴頭組合而成，且具有涂布寬度Wm，所述動(dòng)作是所述涂料排出部在所述涂布對象物的上方，一邊在與作為所述噴頭模塊的配置方向的Y軸方向垂直的X軸方向上移動(dòng)，一邊從所述噴嘴排出涂料，進(jìn)行涂布，接著，所述涂料排出部停止所述涂料的排出，沿所述Y軸方向進(jìn)行移動(dòng)，其中，該涂布方法具有以下工序掃描涂布工序，所述涂料排出部在沿所述X軸方向移動(dòng)的同時(shí)，對規(guī)定像素涂布涂料；以及掃描移動(dòng)工序，該掃描移動(dòng)工序包含這樣的移動(dòng)在該移動(dòng)中，所述涂料排出部沿所述Y軸方向移動(dòng)的移動(dòng)量y比所述噴頭模塊的涂布寬度Wm小。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布方法，其中，所述涂料排出部在所述Y軸方向上，以規(guī)定間距P配置排出一種顏色的涂料的噴頭模塊，并且，以相對于所述排出一種顏色的涂料的噴頭模塊，沿所述X軸方向排列且在所述Y 軸方向上錯(cuò)開所述涂布寬度Wm以下的距離的方式，在所述Y軸方向上，以所述規(guī)定間距P， 配置排出與上述一種顏色不同顏色的涂料的噴頭模塊。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的涂布方法，其中，所述涂料排出部在所述Y軸方向上，以規(guī)定間距P配置所述噴頭模塊， 在所述掃描移動(dòng)工序中，所述移動(dòng)量y始終為恒定的距離。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的涂布方法，其中，所述涂料排出部在所述Y軸方向上，以規(guī)定間距P配置多個(gè)所述噴頭模塊， 在所述掃描移動(dòng)工序中，進(jìn)行這樣的移動(dòng)對于每個(gè)所述掃描涂布工序，所述移動(dòng)距離 y不同。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的涂布方法，其中，在所述掃描移動(dòng)工序中，對所述規(guī)定間距P的寬度的區(qū)域進(jìn)行涂布時(shí)的第k次的移動(dòng) 距離yk比第k+Ι次的移動(dòng)距離yk+1小，最后的移動(dòng)距離yt比所述涂布寬度Wm小。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的涂布方法，其中， 在所述掃描移動(dòng)工序中，進(jìn)行這樣的移動(dòng)設(shè)通過所述掃描涂布工序?qū)λ鲆?guī)定間距P之間進(jìn)行涂布的次數(shù)為S、所述Y軸方向 上的一個(gè)方向?yàn)檎?、另一個(gè)方向?yàn)樨?fù)向，則滿足k彡(S-I)的關(guān)系的第k次的移動(dòng)距離由 (-Dk-1KS-IOPVS來表示，其中，上述S是通過對根據(jù)所述最后的移動(dòng)距離yt和所述規(guī)定 間距P求出的P/yt的整數(shù)部加1來確定的。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的涂布方法，其中，在所述掃描移動(dòng)工序中，對所述規(guī)定間距P的寬度的區(qū)域進(jìn)行涂布時(shí)的第k次的移動(dòng) 距離yk比第k+Ι次的移動(dòng)距離yk+1大，最初的移動(dòng)距離ys比所述涂布寬度Wm小。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的涂布方法，其中， 在所述掃描移動(dòng)工序中，進(jìn)行這樣的移動(dòng)設(shè)通過所述掃描涂布工序?qū)λ鲆?guī)定間距P之間進(jìn)行涂布的次數(shù)為S、所述Y軸方向上的一個(gè)方向?yàn)檎?、另一個(gè)方向?yàn)樨?fù)向，則滿足k彡(S-I)的關(guān)系的第k次的移動(dòng)距離由 (-Dk-1GiPVS來表示，其中，上述S是通過對根據(jù)所述最后的移動(dòng)距離yt和所述規(guī)定間距 P求出的P/yt的整數(shù)部加1來確定的。
9.根據(jù)權(quán)利要求1 8中任一項(xiàng)所述的涂布方法，其中，該涂布方法還具有這樣的工序在所述涂布對象物的特定區(qū)域中，針對屬于所述噴頭 模塊的涂布寬度的一部分重復(fù)通過的重疊部的像素，隨機(jī)選擇在第1次的所述掃描涂布工 序中所要涂布的像素和在第2次以后的所述掃描涂布工序中所要涂布的像素， 所述掃描涂布工序包含對通過所述選擇工序選擇的所述像素進(jìn)行涂布的工序。
10.根據(jù)權(quán)利要求1 9中任一項(xiàng)所述的涂布方法，其中， 所述進(jìn)行隨機(jī)選擇的工序是這樣的工序沿所述X軸方向，將所述重疊部分割為多個(gè)分割區(qū)域，針對每個(gè)所述分割區(qū)域，以預(yù)定的比例確定在第1次中所要涂布的像素的個(gè)數(shù)以及在 第2次以后所要涂布的像素的個(gè)數(shù)，針對每個(gè)所述分割區(qū)域，隨機(jī)選擇所述個(gè)數(shù)的像素。
11.一種涂布裝置，該涂布裝置具有 保持涂布對象物的工作臺(tái)；涂料排出部，其配置有噴頭模塊，該噴頭模塊由多個(gè)形成有多個(gè)噴嘴的噴頭組合而成， 且具有涂布寬度Wm ；驅(qū)動(dòng)單元，其使所述涂料排出部沿所述工作臺(tái)上的X軸方向和與所述X軸方向垂直的 Y軸方向移動(dòng)；位置檢測單元，其檢測所述涂料排出部的位置信息；以及控制部，其與所述涂料排出部、所述驅(qū)動(dòng)單元以及所述位置檢測單元連接，該控制部具 有使所述涂料排出部沿所述X軸方向移動(dòng)的X軸方向移動(dòng)指示；使所述涂料排出部沿所 述Y軸方向移動(dòng)的Y軸方向移動(dòng)指示；從所述噴嘴排出涂料的排出指示；以及排出預(yù)定信 息，其示出所述涂料排出部的X坐標(biāo)、Y坐標(biāo)及所述排出指示之間的關(guān)系以及輸出所述Y軸 方向移動(dòng)指示的定時(shí)，所述Y軸方向移動(dòng)指示包含移動(dòng)量1比所述涂布寬度Wm小的移動(dòng)指示。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的涂布裝置，其中，所述涂料排出部在所述Y軸方向上，以規(guī)定間距P配置有排出一種顏色的涂料的所述 噴頭模塊，并且，以相對于所述排出一種顏色的涂料的噴頭模塊，沿所述X軸方向排列且在所述Y 軸方向上錯(cuò)開所述涂布寬度Wm以下的距離的方式，在所述Y軸方向上，以所述規(guī)定間距P， 配置有排出與上述一種顏色不同顏色的涂料的噴頭模塊。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的涂布裝置，其中，所述涂料排出部在所述Y軸方向上，以規(guī)定間距P配置了所述噴頭模塊， 所述Y軸方向移動(dòng)指示是這樣的移動(dòng)指示針對所述涂料排出部在所述X軸方向上的 每次移動(dòng)，所述移動(dòng)距離y均相同。
14.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的涂布裝置，其中，所述涂料排出部在所述Y軸方向上，以規(guī)定間距P配置了所述噴頭模塊，所述Y軸方向移動(dòng)指示是這樣的移動(dòng)指示針對所述涂料排出部在所述X軸方向上的 每次移動(dòng)，所述移動(dòng)距離y均不同。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的涂布裝置，其中，所述Y軸方向移動(dòng)指示是這樣的移動(dòng)指示在對所述規(guī)定間距P的寬度的區(qū)域進(jìn)行涂 布時(shí)的第k次的移動(dòng)距離yk比第k+Ι次的移動(dòng)距離yk+1小，最后的移動(dòng)距離yt比所述涂布 寬度Wm小。
16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的涂布裝置，其中，所述Y軸方向移動(dòng)指示是這樣的移動(dòng)指示設(shè)對所述規(guī)定間距P之間進(jìn)行涂布的次數(shù)為S、所述Y軸方向上的一個(gè)方向?yàn)檎?、?一個(gè)方向?yàn)樨?fù)向，則滿足(S-I)的關(guān)系的所述涂料排出部的第k次在所述Y軸方向上 的移動(dòng)距離為(-Dk-1KS-IOPl/S，其中，上述S是通過對根據(jù)所述最后的移動(dòng)距離yt和所 述規(guī)定間距P求出的P/yt的整數(shù)部加1來確定的。
17.根據(jù)權(quán)利要求14所述的涂布裝置，其中，所述Y軸方向移動(dòng)指示是這樣的移動(dòng)指示在對所述規(guī)定間距P的寬度的區(qū)域進(jìn)行涂 布時(shí)的第k次的移動(dòng)距離yk比第k+Ι次的移動(dòng)距離yk+1大，最初的移動(dòng)距離ys比所述涂布 寬度Wm小。
18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的涂布裝置，其中，所述Y軸方向移動(dòng)指示是這樣的移動(dòng)指示設(shè)對所述規(guī)定間距P之間進(jìn)行涂布的次數(shù)為S、所述Y軸方向上的一個(gè)方向?yàn)檎?、?一個(gè)方向?yàn)樨?fù)向，則滿足(S-I)的關(guān)系的所述涂料排出部的第k次在所述Y軸方向上 的移動(dòng)距離為(-1) η (kP) /S，其中，上述S是通過對根據(jù)所述最初的移動(dòng)距離ys和所述規(guī) 定間距P求出的P/ys的整數(shù)部加1來確定的。
19.根據(jù)權(quán)利要求11 18中任一項(xiàng)所述的涂布裝置，其中，所述排出預(yù)定信息中的所述涂料排出部的X坐標(biāo)、Y坐標(biāo)以及所述排出指示之間的關(guān) 系是對應(yīng)于如下狀態(tài)的關(guān)系在所述狀態(tài)中，在屬于所述涂布對象物的特定區(qū)域的像素中， 隨機(jī)選擇了在第1次中所要涂布的像素和在第2次以后所要涂布的像素。
20.根據(jù)權(quán)利要求11 19中任一項(xiàng)所述的涂布裝置，其中，所述排出預(yù)定信息中的所述涂料排出部的X坐標(biāo)與所述排出指示之間的關(guān)系是對應(yīng) 于如下狀態(tài)的關(guān)系在所述狀態(tài)中，沿所述Y軸方向，將所述涂布對象物的特定區(qū)域分割為多個(gè)分割區(qū)域，針對每個(gè)所述分割區(qū)域，以預(yù)定的比例確定了在第1次中所要涂布的像素的個(gè)數(shù)和在 第2次以后所要涂布的像素的個(gè)數(shù)，針對每個(gè)所述分割區(qū)域，隨機(jī)選擇了所述個(gè)數(shù)的所述像素。全文摘要
本發(fā)明提供能夠?qū)崿F(xiàn)了裝置的小型化且便于維護(hù)的涂布裝置。涂布裝置(1)構(gòu)成為該涂布裝置(1)構(gòu)成有噴頭單元(52)，通過該噴頭單元(50)在基板(K)上，沿掃描方向(X)掃描S次，對該基板(K)涂布涂料，其中，S為2以上的整數(shù)，所述噴頭單元(52)配置有多個(gè)噴頭模塊(52)，該噴頭模塊由排出相同顏色的涂料的多個(gè)涂料噴頭(51)構(gòu)成，在該涂布裝置(1)中，在與掃描方向(X)垂直的掃描垂直方向(Y)上，以規(guī)定的排列間距(P)，配置有一列噴頭模塊(52)，構(gòu)成單色的噴頭單元(50)，涂布裝置(1)具有噴頭單元移動(dòng)部件(45)，該噴頭單元移動(dòng)部件(45)在噴頭單元(50)的每一次掃描結(jié)束時(shí)，使噴頭單元(50)沿掃描垂直方向(Y)移動(dòng)規(guī)定量P/S。
文檔編號(hào)G02B5/20GK101903810SQ20088012229
公開日2010年12月1日 申請日期2008年12月17日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月21日
發(fā)明者上原淳一, 東野繁, 巖出卓 申請人:東麗工程株式會(huì)社