專利名稱：：感光性樹脂組合物以及層壓體的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及能通過堿性水溶液顯影的感光性樹脂組合物、將該感光性樹脂組合物層壓在支撐體上的感光性樹脂層壓體、使用該感光性樹脂層壓體在基板上形成抗蝕圖案的方法以及該抗蝕圖案的用途。更詳細(xì)地說，涉及一種感光性樹脂組合物，其提供適用于如下用途的抗蝕圖案印刷線路板的制造；撓性印刷線路板的制造；IC芯片搭載用引線框(以下稱為引線框)的制造；以金屬掩模制造為代表的金屬箔精密加工；半導(dǎo)體封裝體制造，例如BGA(球柵陣列封裝)或CSP(芯片尺寸級封裝)；以TAB(載帶自動鍵合)或COF(在薄膜上的芯片在薄膜狀的微細(xì)線路板上搭載半導(dǎo)體IC的材料)為代表的帶狀基板的制造；半導(dǎo)體凸塊的制造；平板顯示器領(lǐng)域中的ITO電極、尋址電極、或電磁波屏蔽體等部件的制造；以及通過噴砂法加工基材時的保護(hù)掩模部件。
背景技術(shù)：
：目前，印刷線路板通過光刻法制造。所謂的光刻法，是指在基板上涂布感光性樹脂組合物，并通過圖案曝光使該感光性樹脂組合物的曝光部分聚合固化，通過顯影液除去未曝光部分而在基板上形成抗蝕圖案，進(jìn)行蝕刻或鍍敷處理而形成導(dǎo)體圖案，然后，從該基板上剝離除去該抗蝕圖案，從而在基板上形成導(dǎo)體圖案的方法。在上述光刻法中，在基板上涂布感光性樹脂組合物時，可以使用下述方法的任一種在基板上涂布感光性樹脂組合物溶液并使其千燥的方法；或?qū)⒁来螌訅褐误w、由感光性樹脂組合物構(gòu)成的層(以下，還稱為"感光性樹脂層"。)和根據(jù)需要的保護(hù)層得到的感光性樹脂層壓體(以下，還稱為"感光抗蝕干膜"。)層壓到基板上的方法。而且，在印刷線路板的制造中，大多使用后者的感光抗蝕干膜。以下簡單描述使用上述感光抗蝕干膜制造印刷線路板的方法。首先，在感光抗蝕干膜具有保護(hù)層、例如聚乙烯薄膜的情況下，從感光性樹脂層將其剝離。接著，使用層壓機(jī)按照基板、感光性樹脂層、支撐體的順序?qū)⒏泄庑詷渲瑢雍椭误w層壓到該基板例如覆銅層壓板之上。然后，通過具有線路圖案的光掩模，使該感光性樹脂層在超高壓汞燈發(fā)出的含有i射線(365nm)的紫外線下曝光，從而使曝光部分聚合固化。然后剝離支撐體、例如由聚對苯二曱酸乙二酯制成的薄膜。接著，通過顯影液、例如具有弱堿性的水溶液，將感光性樹脂層的未曝光部分溶解或分散除去，在基板上形成抗蝕圖案。然后，以所形成的抗蝕圖案作為保護(hù)掩模進(jìn)行公知的蝕刻處理或圖案鍍敷處理。最后，從基板剝離該抗蝕圖案，制造具有導(dǎo)體圖案的基板、即印刷線路板。伴隨著近年來印刷線路板中布線間隔的^f敖細(xì)化，在感光抗蝕干膜中高分辨率和高附著力的要求增加。另一方面，曝光方式也根據(jù)用途而多樣化，發(fā)現(xiàn)通過激光直接繪制、即不需要光掩模的無掩模曝光在近年急劇增加。作為無掩模曝光的光源，往往使用波長350~410nm的光，尤其是i射線或h射線(405nm)。因此，重要的是能形成對于這些波長區(qū)域的光源為高分辨率的抗蝕圖案。另外，曝光后的利用缺陷檢查機(jī)的判定通常能識別未曝光部分和曝光部分。在感光抗蝕干膜的感光性樹脂層中含有通過7曝光而顯色的染料。未曝光部分和曝光部分的對比度通過該染料的顯色而形成。為了提高生產(chǎn)率，要求感光性樹脂層在曝光后具有良好的對比度。在專利文獻(xiàn)l中公開了一種感光性樹脂組合物，其含有曱基丙烯酸曱酯/丙烯酸2-乙基己酯/曱基丙烯酸千基酯/甲基丙烯酸的4元共聚物和聚乙二醇二丙烯酸酯(Mw=742),研究了其顯影時間、分辨率、蓋孔膜強(qiáng)度、剝離時間，但對于剛曝光后的對比度，現(xiàn)狀還不能說是充分應(yīng)對。專利文獻(xiàn)2公開了一種感光性樹脂組合物，其含有曱基丙烯酸甲酯/曱基丙烯酸/苯乙烯的3元共聚物和在季戊四醇上加成聚環(huán)氧烷基的(曱基)丙烯酸酯，但對于剛曝光后的對比度，現(xiàn)狀還不能說是充分應(yīng)對。專利文獻(xiàn)3公開了一種感光性樹脂組合物，其含有曱基丙烯酸/甲基丙烯酸節(jié)基酯/苯乙烯的3元共聚物和三羥曱基丙烷三丙烯酸酯，但對于剛曝光后的對比度，現(xiàn)狀還不能說是充分應(yīng)對。專利文獻(xiàn)l:日本特開昭63-147159號7>報(bào)專利文獻(xiàn)2:日本特開2002-40646號7>報(bào)專利文獻(xiàn)3:日本特開平ll-231535號公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容發(fā)明要解決的問題本發(fā)明的目的是克服上述問題，提供剛曝光后的對比性優(yōu)異的感光性樹脂組合物以及使用該感光性樹脂組合的感光性樹脂層壓體。解決問題的方法上述目的可以通過本發(fā)明的如下方案實(shí)現(xiàn)。(1)一種感光性樹脂組合物，其特征在于，所述感光性樹脂組合物含有20~90質(zhì)量％(a)含羧基粘合劑、5~75質(zhì)量%(b)具有至少一個末端烯屬不飽和基團(tuán)的加成聚合性單體、0.01~30質(zhì)量％(c)光聚合引發(fā)劑、0.01~10質(zhì)量％(d)隱色染料，其中，(a)含羧基粘合劑的重均分子量為5000500000,含有至少將10~40質(zhì)量％下述通式(I)所示的單體、10~80質(zhì)量％下述通式(II)所示的單體以及IO~80質(zhì)量％下述通式(III)所示的單體共聚而成的共聚物，并且，作為(b)具有至少一個末端烯屬不飽和基團(tuán)的加成聚合性單體，含有選自下述通式(IV)、(V)和(VI)所示的組中的至少l種化合物。H2C=C—COOH(i)[化學(xué)式2](R1、112和113為氫原子或曱基，這些可以相同也可以不同。114和115各自獨(dú)立地表示氫原子、卣素原子、羥基、碳數(shù)1~12的烷基、碳數(shù)112的烷氧基、羧基或卣代烷基。)9[化學(xué)式4]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage10</formula>(iv〉(R^和R7為氫原子或曱基，這些可以相同也可以不同外，l為3~15的整數(shù)。)[化學(xué)式5]此<formula>formulaseeoriginaldocumentpage10</formula>(式中，R8、J^和R"為氫原子或曱基，這些可以相同也可以不同。jt匕夕卜nl+n2+n3為1~20的整凄之。)[化學(xué)式6]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage10</formula>(式中，R11、R12、R"和R"為氫原子或曱基，這些可以相同也可以不同。此外，ml+m2+m3+m4為1~20的整數(shù)。)(2)根據(jù)(1)所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，作為(c)光聚合性引發(fā)劑，含有O.Ol~30質(zhì)量％下述通式(VII)所示的吖啶化合物。R15(式中，R"為氫、烷基、芳基、吡啶基或烷氧基。)(3)根據(jù)(1)或(2)所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，含有O.Ol~30質(zhì)量％(e)N-芳基-a-氨基酸化合物。(4)根據(jù)U)~(3)任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，含有O.Ol~3質(zhì)量％(f)卣素化合物。(5)—種感光性樹脂層壓體，其通過將(1)~(4)任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物層壓到支撐體上而形成。(6)—種抗蝕圖案形成方法，其包括使用(5)所述的感光性樹脂層壓體在基板上形成感光性樹脂層的層壓工序、曝光工序和顯影工序。(7)根據(jù)(6)所述的抗蝕圖案形成方法，其特征在于，在前述曝光工序中，通過直接繪制進(jìn)行曝光。(8)—種印刷線路板的制造方法，其包括對通過(6)或(7)所述的方法形成了抗蝕圖案的基板進(jìn)行蝕刻或鍍敷的工序。(9)一種引線框的制造方法，其包括對通過(6)或(7)所述的方法形成了抗蝕圖案的基板進(jìn)行蝕刻的工序。(10)—種半導(dǎo)體封裝體的制造方法，其包括對通過(6)或(7)所述的方法形成了抗蝕圖案的基板進(jìn)行鍍敷的工序。(11)一種凸塊的制造方法，其包括對通過(6)或(7)所述的方法形成了抗蝕圖案的基板進(jìn)行鍍敷的工序。(12)—種具有凹凸圖案的基材的制造方法，其包括通過ii噴砂對通過(6)或(7)所述的方法形成了抗蝕圖案的基板進(jìn)行加工的工序。發(fā)明效果本發(fā)明的感光性樹脂組合物具有剛曝光后的對比性優(yōu)異的效果。具體實(shí)施例方式以下，對本發(fā)明進(jìn)行具體的說明。(a)含羧基粘合劑本發(fā)明使用的(a)含羧基粘合劑所含的羧基的量優(yōu)選酸當(dāng)量為100以上600以下，更優(yōu)選為250以上450以下。所謂的酸當(dāng)量，是指其中具有l(wèi)當(dāng)量羧基的粘合劑的質(zhì)量。為了賦予感光性樹脂層對于堿性水溶液的顯影性、剝離性，粘合劑中的羧基是必須的。從提高耐顯影性、并提高分辨率和附著力的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為100以上，從提高顯影性和剝離性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為600以下。酸當(dāng)量的測定使用平沼產(chǎn)業(yè)(林)制造的平沼自動滴定裝置(COM-555)，使用0.1mol/L的氬氧化鈉通過電位差滴定法進(jìn)行。本發(fā)明使用的(a)含羧基粘合劑的重均分子量為5000以上500000以下。從提高顯影性的觀點(diǎn)出發(fā)，為500000以下，從提高蓋孔膜強(qiáng)度、抑制熔邊的觀點(diǎn)出發(fā)，為5000以上。重均分子量更優(yōu)選為20000以上300000以下。再者，熔邊是指將感光性樹脂層壓體巻繞成筒狀的情況下，感光性樹脂組合物從筒端面滲出的現(xiàn)象。分散度(也稱為分子量分布)表示下述式的重均分子量與數(shù)均分子量之比。其分散度優(yōu)選為110，更優(yōu)選為1~5。(分散度)=(重均分子量)/(數(shù)均分子量)重均分子量和數(shù)均分子量是通過日本分光(抹)制造的凝膠滲透色譜(GPC)(泵Gulliver、PU-1580型；柱昭和電工(抹)制造的Shodex(注冊商標(biāo))(KF-807、KF-806M、KF-806M、KF-802.5)4根串聯(lián)；流動層溶劑四氬^^喃；使用利用標(biāo)準(zhǔn)聚苯乙烯樣品(昭和電工(抹)制造的ShodexSTANDARDSM-105)繪制的標(biāo)準(zhǔn)曲線)以聚苯乙烯換算求得的。"本發(fā)明所用的(a)含羧基粘合劑為至少將1040質(zhì)量％下述通式(I)所示的單體、10~80質(zhì)量％下述通式(II)所示的單體和10~80質(zhì)量％下述通式(III)所示的單體共聚的共聚物(以下稱為"特定的含羧基粘合劑"。)，且重均分子量為5000500000。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>[化學(xué)式8]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>[化學(xué)式9]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage13</formula>[化學(xué)式IO](R1、112和113為氫原子或甲基，這些可以相同也可以不同。114和115各自獨(dú)立地表示氫原子、卣素原子、羥基、碳數(shù)1~12烷基、碳數(shù)112的烷氧基、羧基或囟代烷基。)作為上述通式(I)所示的單體，例如可列舉出(曱基)丙烯酸。該情況下，上述通式(I)所示的單體的比例為共聚物的成分的10質(zhì)量％以上40質(zhì)量％以下，優(yōu)選為20質(zhì)量％以上40質(zhì)量%以下。從提高耐顯影性、提高分辨率和附著力的觀點(diǎn)出發(fā)為40質(zhì)量％以下，從堿性水溶液的顯影性和剝離性提高的觀點(diǎn)出發(fā)為10質(zhì)量％以上。在此，(曱基)丙烯酸是指丙烯酸和曱基丙烯酸。以下同樣。作為上述通式(II)所示的單體，可列舉出苯乙烯以及苯乙烯衍生物，例如a-曱基苯乙烯、對羥基苯乙烯、對曱基苯乙烯、對曱氧基苯乙烯、對氯苯乙烯。上述通式(II)所示的單體的比例為共聚物的成分的10質(zhì)量％以上80質(zhì)量％以下，更優(yōu)選為10質(zhì)量％以上40質(zhì)量％以下。從分辨率、附著力的觀點(diǎn)出發(fā)優(yōu)選為10質(zhì)量％以上，從固化抗蝕劑的柔軟性的觀點(diǎn)出發(fā)為80質(zhì)量％以下。上述通式(III)所示的單體例如可列舉出(甲基)丙烯酸千基酯、(曱基)丙烯酸4-羥基千基酯、(曱基)丙烯酸4-甲基節(jié)基酯、(曱基)丙烯酸4-氯爺基酯。從保持感光性樹脂層的顯影性、蝕刻性和鍍敷工序的耐性、固化膜的可撓性的觀點(diǎn)出發(fā)，作為特別優(yōu)選的例子，可列舉出(甲基)丙烯酸卡基酯。含羧基粘合劑中的上述通式(III)所示的單體的比例為共聚物的成分的10質(zhì)量％以上80質(zhì)量％以下，優(yōu)選為10質(zhì)量％以上70質(zhì)量％以下，更優(yōu)選為30質(zhì)量％以上70質(zhì)量％以下。從分辨率和附著力、耐鍍液性的觀點(diǎn)出發(fā)優(yōu)選為10質(zhì)量％以上，從顯影性的觀點(diǎn)出發(fā)優(yōu)選為80質(zhì)量％以下。作為本發(fā)明所使用的特定的含羧基粘合劑，除了作為必須成分的上述通式(I)~(III)的單體以外，作為這些以外的公知單體也可作為共聚物的成分，可以組合用0~50質(zhì)量％、優(yōu)選為0~30質(zhì)量％。作為這些以外的公知單體，可列舉出含羧酸單體，例如富馬酸、肉桂酸、巴豆酸、衣康酸、馬來酸半酯、(曱基)丙烯酸酯，例如(曱基)丙烯酸曱酯、(曱基)丙烯酸乙酯、(曱基)丙烯酸正丙酯、(曱基)丙烯酸環(huán)己酯、(曱基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸2-羥基乙酯、(曱基)丙烯酸2-羥基丙酯、(甲基)丙烯酸4-羥基丁酯、聚乙二醇單(曱基)丙烯酸酯、聚丙二醇單(曱基)丙烯酸酯、(曱基)丙烯酰胺、N-羥曱基丙烯酰胺、N-丁氧基曱基丙烯酰胺、(曱基)丙烯腈、曱基丙烯酸縮水甘油酯，這些可以單獨(dú)使用也可以2種以上組合使用。本發(fā)明所用的特定的含羧基粘合劑可以如下進(jìn)行合成在用溶劑例如丙酮、甲乙酮、異丙醇稀釋上述單體的混合物得到的溶液中，適量添加自由基聚合引發(fā)劑例如過氧化苯甲酰、偶氮二異丁腈，并進(jìn)行加熱攪拌，由此來進(jìn)行合成。也有在反應(yīng)液中滴加一部分混合物的同時進(jìn)行合成的情況。作為合成方法，除溶液聚合外，也可使用本體聚合、懸浮聚合和乳液聚合。脂組合物的比例優(yōu)選為5質(zhì)量％以上90質(zhì)量％以下，更優(yōu)選為10質(zhì)量％以上70質(zhì)量％以下，特別優(yōu)選為20質(zhì)量％以上60質(zhì)量％以下。從提高蓋孔膜強(qiáng)度的觀點(diǎn)出發(fā)為5質(zhì)量％以上，從提高顯影性的觀點(diǎn)出發(fā)為90質(zhì)量％以下。在本發(fā)明的組合物中，除了上述特定的含羧基粘合劑以外，可以以相對于全體感光性樹脂組合物為085質(zhì)量％、優(yōu)選為0~50質(zhì)量％的比例組合使用特定以外的公知的含羧基粘合劑。作為可組合使用的含羧基粘合劑，例如可列舉出(曱基)丙烯酸與選自(曱基)丙烯酸酯化合物(例如(曱基)丙烯酸甲酯、(曱基)丙烯酸乙酯、(曱基)丙烯酸丁酯、(曱基)丙烯酸千基酯、(曱基)丙烯酸2-羥基乙酯)、苯乙烯、苯乙烯衍生物中的1種或2種以上化合物的共聚物，苯乙烯/馬來酸酐共聚物，含羧酸纖維素例如羥乙基羧曱基纖維素。尤其從抑制顯影液中的聚集物產(chǎn)生的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選組合使用將甲基丙烯酸、苯乙烯、曱基丙烯酸2-羥乙酯和丙烯酸2-乙基己酯共聚得到的、重均分子量為30000以上90000以下的熱塑性高分子。相對于全體感光性樹脂組合物，(a)含羧基粘合劑的含量為20質(zhì)量％以上90質(zhì)量％以下。從熔邊的觀點(diǎn)出發(fā)為20質(zhì)量％以上，從固化性的觀點(diǎn)出發(fā)為90質(zhì)量％。(b)具有至少一個末端烯屬不飽和基團(tuán)的加成聚合性單體作為本發(fā)明所用的(b)成分具有至少一個末端烯屬不飽和基團(tuán)的加成聚合性單體，包含選自下述通式(IV)、(V)和(VI)中的至少l種化合物作為必須成分。[化學(xué)式ll〗(R^和R7為氫原子或甲基，這些可以相同也可以不同。此外1為3~15的整數(shù)。)作為上述通式(IV)所示的化合物，例如可列舉出四乙二醇二(曱基)丙烯酸酯、九乙二醇二(曱基)丙烯酸酯、十五乙二醇二(甲基)丙烯酸酯。這些可以單獨(dú)使用也可以2種以上組合使用。這些當(dāng)中，最優(yōu)選為九乙二醇二丙烯酸酯。<formula>formulaseeoriginaldocumentpage17</formula>(式中，R8、R^和R"為氫原子或甲基，這些可以相同也可以不同。it匕夕卜，nl+n2+n3為1~20的整lt。)作為上述通式(V)所示的化合物，可列舉出多乙氧基三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯。這些可單獨(dú)使用也可以2種以上組合使用。nl+n2+n3優(yōu)選為3~9。其中，最優(yōu)選為三乙氧基三羥曱基丙烷三丙烯酸酯。[化學(xué)式13]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage17</formula>(式中，R11、R12、R"和R"為氫原子或甲基，這些可以相同也可以不同。此外，ml+m2+m3+m4為1~20的整數(shù)。)作為上述通式(VI)所示的化合物，可列舉出季戊四醇多乙氧基四(曱基)丙烯酸酯。這些可單獨(dú)使用也可以2種以上組合使用。ml+m2+m3+m4優(yōu)選為4~12。這些當(dāng)中，最優(yōu)選為季戊四醇四乙氧基四丙婦酸酯。上述選自通式(IV)、(V)和(VI)所示的組中的至少一種化合物在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中的含量，優(yōu)選在感光性樹脂組合物中包含l~40質(zhì)量％,更優(yōu)選為5~30質(zhì)量％。從體現(xiàn)曝光后的良好對比性、剝離片尺寸的微細(xì)化的觀點(diǎn)出發(fā)，該量優(yōu)選為1質(zhì)量％以上，此外，從抑制熔邊和蓋孔性降低的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為40質(zhì)量％以下。作為本發(fā)明的感光性樹脂組合物所使用的(b)具有至少一個末端烯屬不飽和基團(tuán)的加成聚合性單體，還可以使用除了上述化合物以外的具有至少一個末端烯屬不飽和基團(tuán)的公知化合物?？梢粤信e例如4-壬基苯基七乙二醇二丙二醇丙烯酸酯、2-羥基-3-苯氧基丙基丙烯酸酯、苯氧基六乙二醇丙烯酸酯、三羥曱基丙烷三(曱基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、鄰苯二曱酸酐與丙烯酸2-羥基丙酯的半酯化合物與環(huán)氧丙烷的反應(yīng)物(日本觸媒化學(xué)制造、商品名OE-A200)、4-正辛基苯氧基五丙二醇丙烯酸酯、2,2-雙[{4-(曱基)丙烯酰氧基多乙氧基}苯基]丙烷、2,2-雙{(4-丙烯酰氧基多乙氧基)環(huán)己基}丙烷或2,2-雙{(4-曱基丙烯酰氧基多乙氧基)環(huán)己基}丙烷、1，6-己二醇(曱基)丙烯酸酯、1,4-環(huán)己二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚氧亞烷基二醇二(曱基)丙烯酸酯例如聚丙二醇二(曱基)丙埽酸酯、聚氧乙烯聚氧丙二醇二(曱基)丙烯酸酯、2-二(對羥基苯基)丙烷二(曱基)丙烯酸酯、甘油三(甲基)丙烯酸酯、含有尿烷基的多官能團(tuán)(曱基)丙烯酸酯例如六亞曱基二異氰酸酯與五丙二醇單曱基丙烯酸酯的尿烷化物、以及異氰脲酸酯化合物的多官能(甲基)丙烯酸酯。這些可單獨(dú)使用也可以2種以上組合使用。本發(fā)明感光性樹脂組合物中所含的(b)具有至少一個末端烯屬不飽和基團(tuán)的加成聚合性單體的量在5~75質(zhì)量％的范圍，更優(yōu)選的范圍是15~70質(zhì)量％。從抑制固化不良和顯影時間延遲的觀點(diǎn)出發(fā)，該量為5質(zhì)量％以上，此外，從抑制熔邊和固化18抗蝕劑的剝離延遲的觀點(diǎn)出發(fā)，該量為75質(zhì)量％以下。相對于本發(fā)明的感光性樹脂組合物中所含有的全體(b)加成聚合性單體，上述通式(IV)、(V)和(VI)所示的組中的至少一種化合物的含有比例優(yōu)選為5~80質(zhì)量。更優(yōu)選為IO質(zhì)量%以上。(c)光聚合引發(fā)劑在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中可使用通常已知的光聚合引發(fā)劑作為(c)光聚合引發(fā)劑。本發(fā)明感光性樹脂組合物中所含的(c)光聚合引發(fā)劑的量在O.Ol~30質(zhì)量％的范圍，更優(yōu)選的范圍為0.05~10質(zhì)量％。從獲得足夠的感光度的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為0.01質(zhì)量％以上，此外，從光線充分透過至抗蝕劑底面，獲得良好的高分辨率的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為30質(zhì)量％以下。作為這樣的光聚合引發(fā)劑的具體例子，有醌類，例如2-乙基蒽醌、八乙基蒽醌、1，2-苯并蒽醌、2，3-苯并蒽醌、2-苯基蒽醌、2，3-二苯基蒽醌、l-氯代蒽醌、2-氯代蒽醌、2-曱基蒽醌、1，4-萘醌、9，10-菲醌、2-曱基一1，4-萘醌、9,10-菲醌、2-曱基-1,4-萘醌、2，3-二甲基蒽醌、3-氯-2-曱基蒽醌、芳香族酮類例如二苯曱酮、米眚酮[4，4，-雙(二曱基氨基)二苯曱酮]、4，4，-雙(二乙基氨基)二苯甲酮、二烷基縮酮類例如苯偶姻、苯偶姻醚類例如苯偶姻乙醚、苯偶姻苯基醚、曱基苯偶姻、乙基苯偶姻、安息香雙曱醚、安息香雙乙醚、噻噸酮類例如二乙基噻噸酮、氯代噻噸酮、二烷基氨基安息香酸酯類例如二甲基氨基安息香酸乙酯、肟酯類例如1-苯基-1，2-丙二酮-2-0-苯曱?；俊?-苯基-1,2-丙二酮-2-(0-乙氧基羰基)肟、洛粉堿二聚體例如2-(鄰氯苯基)-4，5-二苯基咪唑二聚體、2-(鄰氯苯基)-4，5-雙-(間甲氧基苯)咪唑二聚體、2-(對曱氧基苯)-4,5-二苯基咪唑二聚體、下述所示的吖啶化合物。這些化合物可單獨(dú)使用也可組合2種以上使用。在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，作為(c)光聚合引發(fā)劑，可含有下述通式(VII)所示的吖啶化合物，其量優(yōu)選為0.01~30質(zhì)量％,更優(yōu)選為0.05~10質(zhì)量％。從獲得足夠的感光度的觀點(diǎn)出發(fā)，該量優(yōu)選為0.01質(zhì)量％以上，此外，從光線充分透過至抗蝕劑底面、獲得良好的高分辨率的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為30質(zhì)量％以下。15(式中、R"為氫或烷基、芳基、吡啶基、烷氧基。)作為上述的吖啶化合物的例子，可列舉出吖咬、9-苯基吖啶、9-(對-甲基苯基)吖啶、9-(對-乙基苯基)吖啶、9-(對-異丙基苯基)吖啶、9-(對-正丁基苯基)吖啶、9-(對-叔丁基苯基)吖啶、9-(對-曱氧基苯基)吖啶、9-(對-乙氧基苯基)吖啶、9-(對-乙?；被?吖啶、9-(對-二甲基氨基苯基)吖啶、9-(對-氰基苯基)吖啶、9-(對-氯苯基)吖啶、9-(對-溴苯基)吖啶、9-(間-甲基苯基)吖啶、9-(間-正丙基苯基)吖啶、9-(間-異丙基苯基)吖啶、9-(間-正丁基苯基)吖啶、9-(間-叔丁基苯基)吖啶、9-(間-曱氧基苯基)吖啶、9-(間-乙氧基苯基)吖啶、9-(間-乙?；交?吖啶、9-(間-二曱基氨基苯基)吖啶、9-(間-二乙基氨基苯基)吖啶、9-(氰基苯基)吖啶、9-(間-氯苯基)吖啶、9-(間-溴代苯基)吖啶、9-甲基吖啶、9-乙基吖啶、9-正丙基吖啶、9-異丙基吖啶、9-氰基乙基吖啶、9-羥乙基吖啶、9-氯乙基吖啶、9-曱氧基吖啶、9-乙氧基吖啶、9-正丙氧基吖啶、9-異丙氧基吖啶、9-氯代乙氧基吖啶、9-吡啶基吖啶。其中優(yōu)選為9-苯基吖啶。從高感光度的觀點(diǎn)出發(fā)，本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式為在感光性樹脂組合物中組合使用吖啶化合物和下述(f)卣素化合物。此外，從高感光度的觀點(diǎn)出發(fā)，本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式為進(jìn)一步組合使用吖啶化合物、下述(f)囟素化合物以及(e)N-芳基-a-氨基酸化合物。(d)隱色染料在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，含有O.Ol~10質(zhì)量％的(d)隱色染料。作為這樣的隱色染料，可列舉出隱色結(jié)晶紫、熒烷染料。其中，使用隱色結(jié)晶紫時，對比度良好故優(yōu)選。作為熒烷染料，例如可列舉出3-二乙基氨基-6-甲基-7-苯胺基熒烷、3-二丁基氨基-6-曱基-7-苯胺基熒烷、2-(2-氯苯胺基)-6-二丁基氨基熒烷、2-溴-3-甲基-6-二丁基氨基熒烷、2-N,N-二芐基氨基-6-二乙基氨基熒烷、3-二乙基氨基-7-氯氨基熒烷、3，6-二曱氧基熒烷、3-二乙基氨基-6-甲氧基-7-氨基熒烷。感光性樹脂組合物中的(d)隱色染料的含量為0.01~10質(zhì)量％,優(yōu)選為0.5~6質(zhì)量％。從體現(xiàn)充分的對比度的觀點(diǎn)出發(fā)優(yōu)選為0.01質(zhì)量％以上，此外，從維持保存穩(wěn)定性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為10質(zhì)量％以下。從附著力和對比度的觀點(diǎn)出發(fā)，本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式為在感光性樹脂組合物中組合使用(d)隱色染料和下述(f)囟素化合物。(e)N-芳基-a-氨基酸化合物在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，優(yōu)選在感光性樹脂組合物中含有0.01~30質(zhì)量％的1^-芳基-a-氨基酸化合物。N-芳基-a-氨基酸化合物的更優(yōu)選的含量為0.0510質(zhì)量％。從獲得足夠的感光度的觀點(diǎn)出發(fā)，N-芳基-a-氨基酸化合物的含量優(yōu)選為0.01質(zhì)量％以上，從分辨率的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為30質(zhì)量％以下。作為N-芳基-a-氨基酸化合物，例如可列舉出N-苯甘氨酸、N-曱基-N-苯甘氨酸、N-乙基-N-苯甘氨酸、N-(正丙基)-N-苯甘氨酸、N-(正丁基)-苯甘氨酸、N-(2-甲氧基乙基)-N-苯甘氨酸、N-曱基-N-苯丙氨酸、N-乙基-N-苯丙氨酸、N-(正丙基)-N-苯丙氨酸、N-(正丁基)-N-苯丙氨酸、N-曱基-N-苯纈氨酸、N-甲基-N-苯基亮氨酸、N-曱基-N-(對-曱苯基)甘氨酸、N-乙基-N-(對-曱苯基)甘氨酸、N-(正丙基)-N-(對-甲苯基)甘氨酸、N-(正丁基)-N-(對-曱苯基)甘氨酸、N-曱基-N-(對-氯苯基)甘氨酸、N-乙基-N-(對-氯苯基)甘氨酸、N-(正丙基)-N-(對-氯苯基)甘氨酸、N-(正丁基)-N-(對-氯苯基)甘氨酸、N-曱基-N-(對-溴苯基)甘氨酸、N-乙基-N-(對-溴苯基)甘氨酸、N-(正丙基)-N-(對-溴苯基)甘氨酸、N-(正丁基)-N-(對-溴苯基)甘氨酸、N，N，-二苯基甘氨酸、N-(對-氯苯基)甘氨酸、N-(對-溴苯基)甘氨酸、N-(鄰氯苯基)甘氨酸。其中特別優(yōu)選N-苯甘氨酸。(f)卣素化合物在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，優(yōu)選在感光性樹脂組合物中含有0.01~3質(zhì)量％的囟素化合物。該卣素化合物更優(yōu)選的含量為O.l~1.5質(zhì)量％。從光固化性的觀點(diǎn)出發(fā)，卣素化合物的含量優(yōu)選為0.01質(zhì)量％以上，從抗蝕劑的保存穩(wěn)定性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為3質(zhì)量％以下。作為卣素化合物，例如可列舉出戊基溴、異戊基溴、溴化異丁烯、溴化乙烯、二苯曱基溴、芐基溴、二溴曱烷、三溴曱基苯砜、四溴化碳、三(2,3-二溴丙基)磷酸鹽、三氯乙酰胺、戊基碘、異丁基碘、l,l，l-三氯-2，2-雙(對-氯苯基)乙烷、氯化三溱化合物，其中，特別優(yōu)選使用三溴甲基苯砜。(g)其它成分為了提高本發(fā)明中的感光性樹脂組合物的處理性，除前述(d)隱色染料以外可添加下述著色物質(zhì)。作為這樣的著色物質(zhì)，例如可列舉出品紅、酞菁綠、堿性槐黃、副品紅、結(jié)晶紫、曱基橙、耐爾藍(lán)2B、維多利亞藍(lán)、孔雀綠(保土少谷化學(xué)(抹)制造的74七、>(注冊商標(biāo))MALACHITEGREEN)、堿性藍(lán)20、鉆石綠(保土少谷化學(xué)(抹)制造的74七、》(注冊商標(biāo))DIAMONDGREENGH)。含有上述著色物質(zhì)時的添加量優(yōu)選在感光性樹脂組合物中含有O.OOl~1質(zhì)量％。為0.001質(zhì)量％以上的含量，具有提高處理性的效果，為1質(zhì)量％以下的含量，具有維持保存穩(wěn)定性的效果。進(jìn)一步，為了提高本發(fā)明的感光性樹脂組合物的熱穩(wěn)定性、保存穩(wěn)定性，優(yōu)選在感光性樹脂組合物中含有選自自由基聚合阻聚劑、苯并三唑類和羧基苯并三唑類中的至少l種以上的化合物。作為這樣的自由基聚合阻聚劑，例如可列舉出對曱氧基苯酚、氬醌、連苯三酚、萘胺、叔丁基鄰苯二酚、氯化亞銅、2,6-二叔丁基-對甲盼、2,2，-亞曱基雙(4-曱基-6-叔丁基苯酚)、2，2，-亞曱基雙(4-乙基-6-叔丁基苯酚)、亞硝基苯基羥基胺鋁鹽和二苯基亞硝基胺。另外，作為苯并三唑類，可以列舉例如1，2，3-苯并三唑、1-氯-1，2，3-苯并三唑、雙(N-2-乙基己基)氨基亞甲基-1，2，3-苯并三唑、雙(N-2-乙基己基)氨基亞曱基-1，2，3-曱苯基三唑和雙(N-2-羥基乙基)氨基亞甲基-1,2，3-苯并三唑。另外，作為羧基苯并三唑類，例如可列舉出4-羧基-1,2,3-苯并三唑、5-羧基-1，2，3-苯并三哇、N-(N，N-二-2-乙基己基)氨基亞曱基羧基苯并三唑、N-(N，N-二-2-羥基乙基)氨基亞曱基羧基苯并三唑以及N-(N,N-二-2-乙基己基)氨基亞乙基羧基苯并三唑。自由基聚合阻聚劑、苯并三唑類和羧基苯并三唑類的總計(jì)添加量優(yōu)選為0.01~3質(zhì)量％,更優(yōu)選為0.05~1質(zhì)量％。從對感光性樹脂組合物賦予保存穩(wěn)定性的觀點(diǎn)出發(fā)，該量優(yōu)選為O.Ol質(zhì)量％以上，此外，從維持感光度的觀點(diǎn)出發(fā)。該量更優(yōu)選為3質(zhì)量％以下。在本發(fā)明的感光性樹脂組合物中，根據(jù)需要，還可以含有增塑劑。作為這樣的增塑劑，例如可列舉出聚乙二醇、聚丙二醇、聚氧丙烯聚氧乙烯醚、聚氧乙烯單曱醚、聚氧丙烯單曱醚、聚氧乙烯聚氧丙烯單曱醚、聚氧乙烯單乙醚、聚氧丙烯單乙醚、聚氧乙烯聚氧丙烯單乙醚、鄰苯二曱酸二乙酯、鄰曱苯磺酰胺、對甲苯磺酰胺、檸檬酸三丁酯、種檬酸三乙酯、乙酰種檬酸三乙酯、乙酰檸檬酸三正丙酯、乙酰檸檬酸三正丁酯。作為增塑劑的量，優(yōu)選在感光性樹脂組合物中含有550質(zhì)量％，更優(yōu)選為5~30質(zhì)量％。從抑制顯影時間延遲、或者對固化膜賦予柔軟性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為5質(zhì)量％以上，此外，從抑制固化不足和熔邊的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選為50質(zhì)量％以下。<感光性杉t脂組合物混合液>本發(fā)明的感光性樹脂組合物還可以制成添加溶劑的感光性樹脂組合物混合液。作為適合的溶劑，可以列舉以曱乙酮(MEK)為代表的酮類以及醇類，例如曱醇、乙醇和異丙醇。優(yōu)選在感光性樹脂組合物中添加溶劑，使得感光性樹脂組合物混合液的粘度在25°C為500~4000mPa.sec。<感光性樹脂層壓體>本發(fā)明的感光性樹脂層壓體包括感光性樹脂層和支撐該層的支撐體，可以根據(jù)需要在感光性樹脂層的與支撐體相反一側(cè)的表面具有保護(hù)層。作為其中使用的支撐體，期望是能使由曝光光源放射出的光線透過的透明物質(zhì)。作為這樣的支撐體，可以列舉聚對苯二曱酸乙二酯薄膜、聚乙烯醇薄膜、聚氯乙烯薄膜、氯乙烯共聚物薄膜、聚偏氯乙烯薄膜、偏氯乙烯共聚薄膜、聚曱基丙烯酸甲酯共聚物薄膜、聚苯乙烯薄膜、聚丙烯腈薄膜、苯乙烯共聚物薄膜、聚酰胺薄膜和纖維素衍生物薄膜。這些薄膜還可以根據(jù)需要使用經(jīng)延伸的薄膜。優(yōu)選霧度為5以下。關(guān)于薄膜的厚度，厚度薄的薄膜在圖像形成性和經(jīng)濟(jì)性的方面是有利的，由于必須維持強(qiáng)度，優(yōu)選使用10~30pm的厚度。此外，作為在感光性樹脂層壓體中所用的保護(hù)層的重要特性，就與感光性樹脂層的附著力而言，保護(hù)層與感光性樹脂層的附著力相較于支撐體與感光性樹脂層的附著力應(yīng)足夠小且可容易地剝離。例如，可以優(yōu)選使用聚乙烯薄膜和聚丙烯薄膜作為保護(hù)層。此外，可以使用日本特開昭59-202457號公報(bào)中所示的剝離性優(yōu)異的薄膜。保護(hù)層的膜厚優(yōu)選為10lOO)im,更優(yōu)選為10~50nm。本發(fā)明的感光性樹脂層壓體中的感光性樹脂層的厚度優(yōu)選為5100iim,更優(yōu)選為760pm。厚度越薄，分辨率越高，此外，厚度越厚，膜強(qiáng)度越強(qiáng)，因此可以根據(jù)用途適當(dāng)選擇。依次層壓支撐體、感光性樹脂層和根據(jù)需要設(shè)置的保護(hù)層從而制備本發(fā)明的感光性樹脂層壓體的方法，可以采用目前已知的方法。例如，將用于感光性樹脂層的感光性樹脂組合物制成前述感光性樹脂組合物混合液，首先使用棒涂機(jī)或輥涂機(jī)將其涂布到支撐體上，干燥，在支撐體上層壓由該感光性樹脂組合物構(gòu)成的感光性樹脂層。然后，根據(jù)需要，通過在該感光性樹脂層上層壓保護(hù)層，從而能制備感光性樹脂層壓體。<抗蝕圖案形成方法>使用本發(fā)明感光性樹脂層壓體的抗蝕圖案可以通過包括層壓工序、曝光工序和顯影工序的工序形成。示出具體方法的一個例子。首先，使用層壓機(jī)進(jìn)行層壓工序。在感光性樹脂層壓體具有保護(hù)層的情況下剝離保護(hù)層，然后，使用層壓機(jī)將感光性樹脂層加熱壓粘并層壓到基板表面上。在該情況下，感光性樹脂層可以僅層壓到基板表面的單面上，也可以根據(jù)需要層壓到兩面上。此時的加熱溫度通常為40160°C。此外，通過進(jìn)行二次以上該加熱壓粘，能提高所得抗蝕圖案對基板的附著力。此時，壓粘可以使用具有雙聯(lián)輥的二段式層壓機(jī)，也可以多次反復(fù)通過輥來進(jìn)行壓粘。然后，使用曝光機(jī)進(jìn)行曝光工序?？梢愿鶕?jù)需要，剝離支撐體，并通過光掩模使用活性光進(jìn)行曝光。曝光量由光源照度和曝光時間決定。還可以使用光量計(jì)進(jìn)行測定。在曝光工序中，還可以使用無掩模曝光方法。無掩模曝光無需使用光掩模，在基板上通過直接描繪裝置進(jìn)行曝光。作為光源，使用波長為350~410nm的半導(dǎo)體激光或超高壓汞燈。描繪圖案由電腦控制，該情況下的曝光量由曝光光源的照度和基板的移動速度決定。接著，使用顯影裝置進(jìn)行顯影工序。在曝光后，感光性樹脂層上具有支撐體的情況下將該支撐體除去。接著，使用由堿性水溶液構(gòu)成的顯影液，將未曝光部分顯影除去，獲得抗蝕圖案。作為石威性水溶液，優(yōu)選Na2C03或K2C03的水溶液。這些可以根據(jù)感光性樹脂層的特性適當(dāng)選擇，通常是0.2~2質(zhì)量％濃度的Na2C03水溶液。還可以在該堿性水溶液中混入表面活性劑、消泡劑、用于促進(jìn)顯影的少量有機(jī)溶劑。另外，顯影工序中的該顯影液的溫度優(yōu)選在20~40°C的范圍內(nèi)保持恒定溫度。通過上述工序獲得抗蝕圖案，但還可以根據(jù)情況進(jìn)行將該抗蝕圖案加熱到100~300。C的加熱工序。通過進(jìn)4亍該加熱工序，可以進(jìn)一步提高耐化學(xué)試劑性。加熱可以使用熱風(fēng)、紅外線或遠(yuǎn)紅外線的方式的加熱爐。<印刷線路板的制造方法>圖案形成方法在作為基板的覆銅層壓板或撓性基板上形成抗蝕圖案后，經(jīng)過以下的工序來進(jìn)行的。首先，進(jìn)行如下工序在通過顯影露出的基板的銅面上，使用已知的方法例如蝕刻法或鍍敷法形成導(dǎo)體圖案的工序。然后，進(jìn)行使用具有比顯影液強(qiáng)的堿'性的水溶液將抗蝕圖案從基板剝離的剝離工序，從而獲得期望的印刷線路板。對于剝離用的堿性水溶液(以下還稱為"剝離液"。)沒有特別的限制，27通常使用2~5質(zhì)量％濃度的NaOH或KOH的水溶液。在剝離液中也可以加入少量的水溶性溶劑。另外，剝離工序中的該剝離液的溫度優(yōu)選在40~70。C的范圍。<引線框的制造方法〉本發(fā)明的引線框制造方法可以在通過前述抗蝕圖案形成方法在作為基板的銅、銅合金或鐵系合金的金屬板上形成抗蝕圖案后，經(jīng)過以下的工序進(jìn)行。首先，進(jìn)行對通過顯影露出的基板進(jìn)行蝕刻從而形成導(dǎo)體圖案的工序。然后，進(jìn)行通過與上述印刷線路板的制造方法同樣的方法剝離抗蝕圖案的剝離工序，從而獲得期望的引線框。<半導(dǎo)體封裝體的制造方法〉本發(fā)明半導(dǎo)體封裝體的制造方法可以通過對完成了作為LSI的電路形成的芯片通過以下工序進(jìn)行封裝來制造半導(dǎo)體封裝體。首先，對于通過顯影得到的附著抗蝕圖案的基材中的基材的金屬露出的部分，實(shí)施硫酸銅鍍從而形成導(dǎo)體圖案。然后，案的剝離工序，再進(jìn)行蝕刻，以便除去柱狀鍍敷以外部分的薄的金屬層，封裝上述芯片，從而獲得期望的半導(dǎo)體封裝體。<凸塊的制造方法〉的凸塊的制造方法以下的工序制造。首先，對于通過顯影得到的附著抗蝕圖案的基材中的基材的金屬露出的部分，實(shí)施硫酸銅鍍從而形成導(dǎo)體圖案。然后，進(jìn)行通過與上述印刷線路板的制造方法同樣的方法剝離抗蝕圖案的剝離工序，再進(jìn)行通過蝕刻除去柱狀鍍敷以外部分的薄的金屬層的工序，從而獲得期望的凸塊。<具有凹凸圖案的基材的制造方法>通過前述抗蝕圖案形成方法形成的抗蝕圖案可以作為通過噴砂法對基板進(jìn)行加工時的保護(hù)掩模部件來使用。作為基板，可以列舉例如玻璃、硅晶片、無定形硅、多晶硅、陶瓷、藍(lán)寶石、金屬材料。在這些基板上，通過與前述抗蝕圖案形成方法相同的方法形成抗蝕圖案。然后，經(jīng)過從所形成的抗蝕圖案上吹附噴砂材料切削目標(biāo)深度的噴砂處理工序、用堿性剝離液從基板上除去殘留于基板上的抗蝕圖案部分的剝離工序，從而能制成在基板上具有微細(xì)凹凸圖案的基材。上述噴砂處理工序中使用的噴砂材料可以使用公知的物質(zhì)，例如，使用SiC、Si02、A1203、CaC03、ZrO、玻璃、不銹鋼的2~100pm左右的微粒。利用上述噴砂法制造具有凹凸圖案的基材的方法可使用于平板顯示的隔壁的制造、有機(jī)EL的玻璃蓋加工、硅晶片的打孔加工、以及陶瓷的立管腳加工。此外可利用于強(qiáng)介電質(zhì)膜和選自貴金屬、貴金屬合金、高熔點(diǎn)金屬以及高熔點(diǎn)金屬化合物中的金屬材料層的電極的制造。實(shí)施例(實(shí)施例l~12、比較例l~2)首先說明實(shí)施例和比較例的評價用試樣的制備方法，然后，示出所得試樣的評價方法及其評價結(jié)果。l.評價用試樣的制備實(shí)施例和比較例中的感光性樹脂層壓體如下制備。<含羧基粘合劑的制備〉首先，準(zhǔn)備下述所示的粘合劑。(合成例)在配備氮?dú)鈱?dǎo)入口、攪拌翼、戴氏冷凝器和溫度計(jì)的1000cc的四口燒瓶中，在氮?dú)夥諊?，添?00g曱乙酮，并將水浴的溫度升到80。C。接著，將甲基丙烯酸/苯乙烯/曱基丙烯酸千基酯分別以30/20/50(質(zhì)量比)的組成比調(diào)制總計(jì)400g的溶液作為調(diào)制液。制備在30g甲乙酮中溶解有3g偶氮二異丁腈的溶液，并且邊攪拌邊用2小時將其滴加到該調(diào)制液中。然后，進(jìn)行6小時聚合(一次聚合)。然后每隔4小時分3次滴加在30g曱乙酮中溶解有6g偶氮二異丁腈的溶液，然后加熱攪拌5小時(二次聚合)。接著，添加240g甲乙酮并從燒瓶中取出聚合反應(yīng)物，得到粘合劑溶液B-1。此時的重均分子量為55000、分散度為2.6、酸當(dāng)量為290。充分除去所得到的粘合劑溶液B-l中的甲乙酮，測定的樹脂固體成分為41.1質(zhì)量％。同樣，合成粘合劑溶液B-2~B-4。聚合性物質(zhì)的組成比和得到的粘合劑溶液的樹脂固體成分、重均分子量、分散度、酸當(dāng)量如以下所示。粘合劑B-1:甲基丙烯酸/苯乙烯/曱基丙烯酸節(jié)基酯=30/20/50(重量比)(重均分子量為55000、分散度為2.6、酸當(dāng)量為290、固體成分濃度=41質(zhì)量％的曱乙酮溶液)。粘合劑B-2:曱基丙烯酸/甲基丙烯酸甲S旨/丙烯酸正丁酯=25/65/10(重量比)(重均分子量為80000、分散度為3.7、酸當(dāng)量為374、固體成分濃度=34質(zhì)量％的曱乙酮溶液)。粘合劑B-3:曱基丙烯酸/曱基丙烯酸曱酯/苯乙烯=25/50/25(重量比)(重均分子量為50000、分散度為3.1、酸當(dāng)量為344、固體成分濃度=43質(zhì)量％的甲乙酮溶液)。粘合劑B-4:曱基丙烯酸/曱基丙烯酸節(jié)基酯/苯乙烯/曱基丙烯酸曱酯=25/35/30/10(重量比)(重均分子量為55000、分散度為2.3、酸當(dāng)量為344、固體成分濃度=41質(zhì)量％的甲乙酮溶液)。<感光性樹脂層壓體的制備>充分?jǐn)嚢璞?中所示的組成的感光性樹脂組合物和溶劑，混合而形成感光性樹脂組合物混合液，使用棒涂機(jī)將其均勻涂布到作為支撐體的16iim厚度的聚對苯二曱酸乙二酯薄膜的表面，在95。C的干燥機(jī)中干燥4分鐘，從而形成感光性樹脂層。感光性樹脂層的厚度為40^m。然后，在感光性樹脂層的沒有層壓聚對苯二甲酸乙二酯薄膜的表面上，貼合作為保護(hù)層的22iim厚的聚乙烯薄膜，從而獲得感光性樹脂層壓體。在表2中示出表1中的符號表示的感光性樹脂組合物調(diào)合液中的各成分的名稱。表l中的B-1~B-4的值為固體成分的值。<table>tableseeoriginaldocumentpage32</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage33</column></row><table><基板整面〉評價用基板使用層壓有厚度35pm壓延銅箔的1.6mm厚的覆銅層壓^1，對表面進(jìn)行濕式拋光輥研磨(3M(抹)制造，義-y*7、'，4卜(注冊商標(biāo))HD#600,通2次)。<層壓>邊剝離感光性樹脂層壓體的聚乙烯薄膜，邊通過熱輥層壓機(jī)(旭化成電子材料元件抹式會社制造，AL-70)在輥溫度105。C下對整面預(yù)熱成60。C的覆銅層壓板進(jìn)行層壓。空氣壓力為0.35MPa，層壓速度為1.5m/min。<曝光〉在實(shí)施例1中，將對感光性樹脂層評價必須的圖案掩模置于作為支撐體的聚對苯二曱酸乙二酯薄膜上，通過超高壓汞燈(才-夕制作所制造、HMW-201KB),以50mJ/cm2的曝光量進(jìn)行曝光。并且，在實(shí)施例2~11、比較例12中，通過直接描繪式曝光裝置(PIIC(4朱)制造，DI曝光機(jī)DE-1AH，光源GaN藍(lán)紫二極管，主波長407士3nm),以25mJ/cn^的曝光量進(jìn)行曝光。<顯影>在剝離聚對苯二曱酸乙二酯薄膜后，噴灑規(guī)定時間的30。C的l質(zhì)量。/。Na2C03水溶液，溶解除去感光性樹脂層的未曝光部分。此時，以未曝光部分的感光性樹脂層完全溶解所需要的最少時間為最小顯影時間。2.評價方法以下示出各評價方法。(1)對比性用色差計(jì)(日本電色工業(yè)(株)制造、NF333簡易型分光色差計(jì))測定層壓后經(jīng)過15分鐘的感光性樹脂層的未曝光部分和曝光后經(jīng)過30秒后的感光性樹脂層的曝光部分的色差A(yù)E,如下劃分等級。◎:AE的值超過3。o:AE的值超過2，且為3以下。x:AE的值在2以下。(2)分辨率對層壓后經(jīng)過15分鐘的感光度、分辨率評價用基板，通過曝光部分與未曝光部分的寬度為l:l比例的線圖案掩模進(jìn)行曝光。以最小顯影時間的2倍的顯影時間顯影，將正常形成固化抗蝕圖案線的最小掩模線寬度作為分辨率的值，分辨率按照如下進(jìn)行分級。◎:分辨率的值為25ixm以下。o:分辨率的值超過25iam，且為30pm以下。x:分辨率的值超過30pm。(3)附著力對層壓后經(jīng)過15分鐘的感光度、分辨率評價用基板，通過曝光部分與未曝光部分的寬度為1:1比例的線圖案掩模進(jìn)行曝光。以最小顯影時間的2倍的顯影時間顯影，將正常形成固化抗蝕圖案線的最小掩模線寬度作為附著力的值，附著力按照如下進(jìn)行分級?！?附著力的值為25pm以下。o:附著力的值超過25jLim，且為30(iim以下。x:附著力的值超過30pm。(4)顯影聚集性在200ml的l。/。碳酸鈉水溶液中，溶解、分散6g沒有曝光的感光性樹脂層。將該液用帶有泵和噴嘴的顯影液循環(huán)裝置連續(xù)8小時噴涂(噴涂壓力=0.2MPa)，然后用5pm的微孔濾膜過濾，稱量濾紙上所收集的顯影聚集物的干燥重量，如下劃分等級?！?顯影聚集物的重量在20mg以下。o:顯影聚集物的重量超過20mg,且為40mg以下。x:顯影聚集物的重量超過40mg。(5)蓋孔性在1.6mm厚的覆銅層壓板有直徑6mm的孔的基材上，兩面層壓感光性樹脂層，曝光，用最小顯影時間的2倍的顯影時間進(jìn)行顯影。并且測定膜破損數(shù)，通過下述算數(shù)式算出膜破損率，如以下劃分等級。蓋孔膜破損率(％)=[膜破損數(shù)(個)/總的蓋孔膜數(shù)(個)]x100◎:蓋孔膜破損率為0%。o:蓋孔膜破損率超過0%，且為0.5%以下。x:蓋孔膜破損率超過0.5%。(6)剝離片尺寸用苛性鈉水溶液(50°C、3質(zhì)量％)浸漬整面曝光的4.2cmx6cm的層壓板，如下對從層壓板剝離的固化膜的形狀(剝離片尺寸)進(jìn)行等級劃分?！?剝離片尺寸在5mm見方以下。o:剝離片尺寸超過5mm見方，且為10mm見方以下。x:剝離片尺寸超過10mm見方。3.評價結(jié)果實(shí)施例和比較例的評價結(jié)果如表1所示。工業(yè)上的可利用性本發(fā)明可以在印刷線路板的制造，IC芯片搭載用引線框的制造、金屬掩模制造所代表的金屬箔精密加工、半導(dǎo)體封裝體例如BGA或CSP的制造、帶狀基板的制造例如COF或TAB、半導(dǎo)體凸塊的制造、ITO電極、尋址電極、電磁波屏蔽體等平板顯示器的隔壁的制造、以及通過噴砂工藝制造具有凹凸圖案的基材的方法中使用。權(quán)利要求1.一種感光性樹脂組合物，其特征在于，所述感光性樹脂組合物含有20～90質(zhì)量％(a)含羧基粘合劑、5～75質(zhì)量％(b)具有至少一個末端烯屬不飽和基團(tuán)的加成聚合性單體、0.01～30質(zhì)量％(c)光聚合引發(fā)劑、0.01～10質(zhì)量％(d)隱色染料，其中，(a)含羧基粘合劑的重均分子量為5000～500000，含有至少將10～40質(zhì)量％下述通式(I)所示的單體、10～80質(zhì)量％下述通式(II)所示的單體以及10～80質(zhì)量％下述通式(III)所示的單體共聚而成的共聚物，并且，作為(b)具有至少一個末端烯屬不飽和基團(tuán)的加成聚合性單體，含有選自下述通式(IV)、(V)和(VI)所示的組中的至少1種化合物。[化學(xué)式1][化學(xué)式2][化學(xué)式3](R1、R2和R3為氫原子或甲基，這些可以相同也可以不同。R4和R5各自獨(dú)立地表示氫原子、鹵素原子、羥基、碳數(shù)1～12的烷基、碳數(shù)1～12的烷氧基、羧基或鹵代烷基。)[化學(xué)式4](R6和R7為氫原子或甲基，這些可以相同也可以不同。此外，1為3～15的整數(shù)。)[化學(xué)式5](式中，R8、R9和R10為氫原子或甲基，這些可以相同也可以不同。此外n1+n2+n3為1～20的整數(shù)。)[化學(xué)式6](式中，R11、R12、R13和R14為氫原子或甲基，這些可以相同也可以不同。此外，m1+m2+m3+m4為1～20的整數(shù)。)2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，作為(c)光聚合性引發(fā)劑，含有O.Ol~30質(zhì)量％下述通式(VII)所示的吖啶化合物。[化學(xué)式7]<formula>formulaseeoriginaldocumentpage4</formula>(VII)(式中，R"為氫、烷基、芳基、吡啶基或烷氧基。)3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，含有O.Ol~30質(zhì)量％(e)N-芳基-a-氨基酸化合物。4.根據(jù)權(quán)利要求l~3任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物，其特征在于，含有O.Ol~3質(zhì)量％(f)閨素化合物。5.—種感光性樹脂層壓體，其通過將權(quán)利要求l~4任一項(xiàng)所述的感光性樹脂組合物層壓到支撐體上而形成。6.—種抗蝕圖案形成方法，其包括使用權(quán)利要求5所述的感光性樹脂層壓體在基板上形成感光性樹脂層的層壓工序、曝光工序和顯影工序。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的抗蝕圖案形成方法，其特征在于，在前述曝光工序中，通過直接繪制進(jìn)行曝光。8.—種印刷線路板的制造方法，其包括對通過權(quán)利要求6或7所述的方法形成了抗蝕圖案的基板進(jìn)行蝕刻或鍍敷的工序。9.一種引線框的制造方法，其包括對通過權(quán)利要求6或7所述的方法形成了抗蝕圖案的基板進(jìn)行蝕刻的工序。10.—種半導(dǎo)體封裝體的制造方法，其包括對通過權(quán)利要求6或7所述的方法形成了抗蝕圖案的基板進(jìn)行鍍敷的工序。11.一種凸塊的制造方法，其包括對通過權(quán)利要求6或7所述的方法形成了抗蝕圖案的基板進(jìn)行鍍敷的工序。12.—種具有凹凸圖案的基材的制造方法，其包括通過噴砂對通過權(quán)利要求6或7所述的方法形成了抗蝕圖案的基板進(jìn)行加工的工序全文摘要本發(fā)明的課題在于提供一種剛曝光后的對比性優(yōu)異的感光性樹脂組合物以及使用該感光性樹脂組合物的感光性樹脂層壓體，使用一種感光性樹脂組合物，其特征在于，含有20～90質(zhì)量％(a)含羧基粘合劑、5～75質(zhì)量％(b)具有至少一個末端烯屬不飽和基團(tuán)的加成聚合性單體、0.01～30質(zhì)量％(c)光聚合引發(fā)劑、0.01～10質(zhì)量％(d)隱色染料，其中，含有作為(a)含羧基粘合劑的特定的粘合劑、作為(b)具有至少一個末端烯屬不飽和基團(tuán)的加成聚合性單體的特定的單體。文檔編號G03F7/033GK101449208SQ200780018579公開日2009年6月3日申請日期2007年7月27日優(yōu)先權(quán)日2006年8月3日發(fā)明者筒井大和申請人:旭化成電子材料元件株式會社