專利名稱：抗蝕劑稀釋系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及解決抗蝕劑稀釋系統(tǒng)中高粘度抗蝕劑干燥問題的技術(shù)。
背景技術(shù)：
作為在半導(dǎo)體晶片或液晶基板等被涂布體上涂布抗蝕液以形成厚度均勻的涂膜的前階段，需要調(diào)制該抗蝕液?？刮g液通常是在實際使用的工廠等將從輸送成本等觀點出發(fā)進(jìn)行濃縮來提供的高粘度抗蝕劑進(jìn)行稀釋，調(diào)制成適當(dāng)?shù)恼扯取?br> 圖3示出現(xiàn)有的抗蝕劑稀釋系統(tǒng)。抗蝕劑稀釋系統(tǒng)21由調(diào)制槽22、高粘度抗蝕劑用管道23、稀釋溶劑用管道25、閥門24、閥門26構(gòu)成。將高粘度抗蝕劑27導(dǎo)入至高粘度抗蝕劑用管道23中，使其流向調(diào)制槽22。閥門24設(shè)置在高粘度抗蝕劑用管道23上，能夠調(diào)整流向調(diào)制槽22的高粘度抗蝕劑27的流量。將稀釋溶劑28導(dǎo)入至稀釋溶劑用管道25中，使其流向調(diào)制槽22。閥門26設(shè)置在稀釋溶劑用管道25上，能夠調(diào)整流向調(diào)制槽22的稀釋溶劑28的流量。
下面對使用這樣的抗蝕劑稀釋系統(tǒng)21來稀釋高粘度抗蝕劑的方法進(jìn)行說明。首先，打開閥門24，使預(yù)定量的高粘度抗蝕劑27流入調(diào)制槽22中，然后關(guān)閉閥門24。
接著，打開閥門26，使稀釋溶劑28流入調(diào)制槽22中。使稀釋溶劑28以所需的量流入調(diào)制槽22以將高粘度抗蝕劑27稀釋成適當(dāng)粘度之后，關(guān)閉閥門26。
這樣，分別從各自獨立的高粘度抗蝕劑用管道、稀釋溶劑用管道導(dǎo)入高粘度抗蝕劑、稀釋溶劑，進(jìn)行稀釋，直到該高粘度抗蝕劑達(dá)到適當(dāng)?shù)恼扯取?br> 另外，作為稀釋高粘度抗蝕劑的其它方法，例如在專利文獻(xiàn)1中公開了如下的涂布膜形成裝置在涂布膜形成裝置內(nèi)保存有高濃度的原料液和稀釋液，在對半導(dǎo)體晶片供給涂布液的噴嘴的前端部，將該原料液和該稀釋液攪拌混合。
并且，在專利文獻(xiàn)2中公開了如下的光致抗蝕劑涂布裝置在光致抗蝕劑槽和稀釋噴嘴之間具有用于混合光致抗蝕劑稀釋用溶劑和光致抗蝕劑的稀釋槽、以及將該光致抗蝕劑稀釋用溶劑注入到該稀釋槽內(nèi)的裝置。
專利文獻(xiàn)1日本特開2001-176776號公報專利文獻(xiàn)2日本實公昭61-188351號公報圖3的抗蝕劑稀釋系統(tǒng)21中所使用的管道中，分別獨立設(shè)置有高粘度抗蝕劑用管道和稀釋溶劑用管道。因此，在高粘度抗蝕劑用管道的內(nèi)側(cè)表面附著有殘留的高粘度抗蝕劑，該高粘度抗蝕劑干燥而固著。在高粘度抗蝕劑用管道之中，尤其在與空氣最為接觸的排出口附近，該固著顯著。因此，這樣的抗蝕劑稀釋系統(tǒng)是以下述情況作為前提來設(shè)計的，即，通過定期的維護(hù)對高粘度抗蝕劑用管道進(jìn)行清洗來使用。
并且，在高粘度抗蝕劑用管道的連接位置或高粘度抗蝕劑用管道所設(shè)置的閥門處存在高粘度抗蝕劑的干燥物或粘度變化物時，有可能存在下述問題由該干燥物或粘度變化物所致的異物的產(chǎn)生、或抗蝕劑的特性變化等。
而且，清洗高粘度抗蝕劑用管道時，需要停止該抗蝕劑稀釋系統(tǒng)的工作，需要其替代機(jī)(清洗中的備用裝置)。因此，不適于始終工作的該抗蝕劑稀釋系統(tǒng)。
并且，在專利文獻(xiàn)1和專利文獻(xiàn)2的光致抗蝕劑涂布裝置中，難以準(zhǔn)確地調(diào)制抗蝕液的濃度，不能夠設(shè)定為合適的濃度。因此，在半導(dǎo)體晶片上涂布抗蝕劑時的厚度控制有可能變難。

發(fā)明內(nèi)容
鑒于上述課題，本發(fā)明提供一種抗蝕劑稀釋系統(tǒng)，其具有使高粘度抗蝕劑等易干燥而難以處理的液體進(jìn)行流通的管道。
本發(fā)明涉及一種抗蝕劑稀釋系統(tǒng)，該抗蝕劑稀釋系統(tǒng)的特征在于，其具有管道和混合部，所述管道具有2個以上的流入部和1個以上的流出部；所述混合部將第一液體和第二液體混合，該第一液體從所述流入部中的第一流入部流入、從所述流出部中的第一流出部流出，該第二液體從所述流入部中的第二流入部流入、從所述第一流出部流出，該第二液體的粘度相對低于所述第一液體。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在使用時，第二液體能夠?qū)Τ埩粼诠艿辣砻娴乃龅谝灰后w進(jìn)行沖洗(洗い流す)。
并且，所述抗蝕劑稀釋系統(tǒng)具有下述特征所述第一液體是抗蝕劑材料，所述第二液體是稀釋所述抗蝕劑材料的稀釋劑。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，在使用時，稀釋溶劑能夠?qū)Τ埩粼诠艿辣砻娴母哒扯瓤刮g劑進(jìn)行沖洗。
所述抗蝕劑稀釋系統(tǒng)還具有下述特征所述混合部具有調(diào)制槽，該調(diào)制槽利用所述第二液體稀釋所述第一液體，以調(diào)整該第一液體的粘度。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，通過以第二液體進(jìn)行稀釋，能夠?qū)⒌谝灰后w的粘度調(diào)制成適當(dāng)?shù)恼扯取?br> 所述抗蝕劑稀釋系統(tǒng)的特征在于，其進(jìn)一步具有第一供給部以及第二供給部，所述第一供給部能夠填充所述第一液體，將該第一液體向所述第一流入部供給；所述第二供給部能夠填充所述第二液體，將該第二液體向所述第二流入部供給。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⒌谝灰后w從第一供給部向第一流入部供給，將第二液體從第二供給部向第二流入部供給。
所述抗蝕劑稀釋系統(tǒng)的特征在于，其進(jìn)一步具有連接部，該連接部連接所述第一供給部和所述第二供給部，使所述第二液體從該第二供給部流入該第一供給部。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，還能夠?qū)埩粼谒龅谝还┙o部的內(nèi)側(cè)表面和第一流入部的內(nèi)側(cè)表面的第一液體進(jìn)行沖洗。
本發(fā)明涉及抗蝕劑稀釋系統(tǒng)的使用方法，該抗蝕劑稀釋系統(tǒng)具有管道以及調(diào)制部，所述管道具有2個以上的流入部和1個以上的流出部，所述調(diào)制部用于稀釋抗蝕劑以調(diào)制粘度；該方法的特征在于，從所述流入部中的第一流入部流入第一液體，使該第一液體從所述流出部中的第一流出部流出，供給至所述調(diào)制部，供給所述第一液體之后，從所述流入部中的第二流入部流入粘度相對低于該第一液體的第二液體，使該第二液體從所述第一流出部流出，供給至所述調(diào)制部。
根據(jù)這樣的方法，在使用時，第二液體能夠?qū)埩粼诠艿辣砻娴乃龅谝灰后w進(jìn)行沖洗。
所述抗蝕劑稀釋系統(tǒng)的使用方法還具有下述特征從填充有供給至所述第一流入部的所述第一液體的第一供給部供給該第一液體，從所述第一供給部供給該第一液體之后，在該第一供給部中加入所述第二液體，該第二液體從該第一供給部供給至所述第一流入部，從所述第一流出部流出。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠?qū)埩粼谒龅谝还┙o部的內(nèi)側(cè)表面和第一流入部的內(nèi)側(cè)表面的第一液體進(jìn)行沖洗。
所述抗蝕劑稀釋系統(tǒng)的使用方法的特征在于，所述第一液體是抗蝕劑材料，所述第二液體是稀釋所述抗蝕劑材料的稀釋劑。
根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠?qū)埩粼谒龅谝还┙o部的內(nèi)側(cè)表面和第一流入部的內(nèi)側(cè)表面的高粘度抗蝕劑進(jìn)行沖洗。
通過將稀釋溶劑用管道與高粘度抗蝕劑用管道相連接，在使用時，稀釋溶劑對常殘留在管道表面的高粘度抗蝕劑進(jìn)行沖洗，因此，能夠降低異物的產(chǎn)生并降低混入粘度變化品的危險性。并且，能夠減少抗蝕劑稀釋系統(tǒng)的維護(hù)頻率，能夠?qū)ぷ餍实奶岣咦鞒鲐暙I(xiàn)。


圖1示出第一實施方式的抗蝕劑稀釋系統(tǒng)。
圖2示出第二實施方式的抗蝕劑稀釋系統(tǒng)。
圖3示出現(xiàn)有的抗蝕劑稀釋系統(tǒng)。
具體實施例方式圖1示出本實施方式的抗蝕劑稀釋系統(tǒng)。抗蝕劑稀釋系統(tǒng)1主要由調(diào)制槽2、管道3構(gòu)成。管道3具有2個流入部和1個流出部。從2個流入部之中的一方導(dǎo)入高粘度抗蝕劑5。下面，將導(dǎo)入高粘度抗蝕劑5的管道稱為高粘度抗蝕劑用管道3a。
并且，從該管道3的2個流入部之中的另一方導(dǎo)入稀釋溶劑6(低粘度溶劑)。下面，將導(dǎo)入稀釋溶劑6的管道稱為稀釋溶劑用管道3b。
管道具有如下的結(jié)構(gòu)高粘度抗蝕劑用管道3a與稀釋溶劑用管道3b連接，管道進(jìn)一步從該連接部3c向流出部3e延伸。下面，將從連接部3c到流出部3e的管道部分稱為共用管道3d。
在高粘度抗蝕劑用管道3a和稀釋溶劑用管道3b上分別設(shè)置有閥門4a、4b。閥門4a用于調(diào)整從高粘度抗蝕劑用管道3a流向流出部3e的高粘度抗蝕劑5的流量。閥門4b用于調(diào)整從稀釋溶劑用管道3b流向流出部3e的稀釋溶劑6的流量。
在調(diào)制槽2中，將從流出部3e流出的高粘度抗蝕劑5和稀釋溶劑6混合，利用稀釋溶劑6將高粘度抗蝕劑5稀釋，從而能夠?qū)⒏哒扯瓤刮g劑5調(diào)制成達(dá)到預(yù)定的粘度。
下面對使用這樣的抗蝕劑稀釋系統(tǒng)1對高粘度抗蝕劑5進(jìn)行稀釋的方法進(jìn)行說明。另外，抗蝕劑稀釋系統(tǒng)1的初始狀態(tài)是，調(diào)制槽2為空、閥門4a、4b為關(guān)閉的狀態(tài)。
首先，打開閥門4a，使高粘度抗蝕劑5流入至調(diào)制槽2。流入預(yù)定量高粘度抗蝕劑5之后，關(guān)閉閥門4a。此時，在管道內(nèi)側(cè)的閥門4a的周邊、共用管道3d的內(nèi)側(cè)表面以及流出部3e附著有殘留的高粘度抗蝕劑5。
接著，打開閥門4b，使稀釋溶劑6以規(guī)定量流入至調(diào)制槽2。此時，在管道內(nèi)側(cè)的閥門4a的周邊、共用管道3d的內(nèi)側(cè)表面以及流出部3e殘留的高粘度抗蝕劑5通過該稀釋溶劑6進(jìn)行沖洗。流入預(yù)定量稀釋溶劑6之后，關(guān)閉閥門4b。
之后，在調(diào)制槽2中，利用稀釋溶劑6稀釋高粘度抗蝕劑5。即，通過將積蓄在調(diào)制槽2內(nèi)的高粘度抗蝕劑5與稀釋溶劑6混合，得到具有適當(dāng)粘度的抗蝕劑。
這樣，在每次排出稀釋溶劑6時能夠?qū)埩粼诠艿纼?nèi)側(cè)的閥門4a的周邊、共用管道3d的內(nèi)側(cè)表面以及流出部3e的高粘度抗蝕劑5進(jìn)行沖洗。因此，能夠防止附著在共用管道表面的高粘度抗蝕劑5干燥固著。
并且，由于可以將高粘度抗蝕劑5在調(diào)制槽2中調(diào)制成適當(dāng)粘度之后用于半導(dǎo)體晶片，因而與將稀釋的抗蝕劑直接涂布至半導(dǎo)體晶片的情況相比，能夠容易控制粘度。
在第一實施方式中，閥門4a關(guān)閉時，如果高粘度抗蝕劑用管道3a內(nèi)始終被高粘度抗蝕劑5填充，此時高粘度抗蝕劑用管道3a的內(nèi)側(cè)表面幾乎不與空氣接觸，高粘度抗蝕劑5不會發(fā)生干燥而固著在高粘度抗蝕劑用管道3a的內(nèi)側(cè)表面的情況。
但是，停止向高粘度抗蝕劑用管道3a供給高粘度抗蝕劑時，由于高粘度抗蝕劑用管道3a的內(nèi)側(cè)表面與空氣接觸，所以可能發(fā)生殘留在高粘度抗蝕劑用管道3a的內(nèi)側(cè)表面的高粘度抗蝕劑5干燥而固著的情況。
因此，在本實施方式中，進(jìn)一步說明還能夠?qū)Ω哒扯瓤刮g劑用管道3a以及將高粘度抗蝕劑5供給至高粘度抗蝕劑用管道3a的供給槽進(jìn)行清洗的抗蝕劑稀釋系統(tǒng)。
圖2示出本實施方式的抗蝕劑稀釋系統(tǒng)。本實施方式的抗蝕劑稀釋系統(tǒng)1，在圖1的抗蝕劑稀釋系統(tǒng)中追加了稀釋溶劑供給槽10、高粘度抗蝕劑供給槽11、連接管12。
在稀釋溶劑供給槽10中填充有稀釋溶劑6，稀釋溶劑6被供給至稀釋溶劑用管道3b。在高粘度抗蝕劑供給槽11中填充有高粘度抗蝕劑5，該高粘度抗蝕劑5被供給至高粘度抗蝕劑用管道3a。
連接管12用于連接稀釋溶劑供給槽10與高粘度抗蝕劑供給槽11。通過該連接管12，稀釋溶劑6從稀釋溶劑供給槽10流向高粘度抗蝕劑供給槽11。
下面，說明使用這樣的抗蝕劑稀釋系統(tǒng)1來稀釋高粘度抗蝕劑的方法。
若將高粘度抗蝕劑5連續(xù)供給至高粘度抗蝕劑用管道3a，則高粘度抗蝕劑供給槽11內(nèi)的高粘度抗蝕劑5被消耗，幾乎成空。這樣，高粘度抗蝕劑用管道3a的內(nèi)側(cè)表面、管道內(nèi)側(cè)的閥門4a的周邊以及高粘度抗蝕劑供給槽11的內(nèi)側(cè)表面暴露在空氣中的部分增多。
接著，通過連接管12從稀釋溶劑供給槽10向高粘度抗蝕劑供給槽11供給稀釋溶劑6，對殘留在高粘度抗蝕劑供給槽11的內(nèi)側(cè)表面的高粘度抗蝕劑5進(jìn)行沖洗。而且，該清洗后的稀釋溶劑6被供給至高粘度抗蝕劑用管道3a，直接經(jīng)過流出部3e排出到調(diào)制槽2。
這樣，每次從稀釋溶劑供給槽10經(jīng)過連接管12和高粘度抗蝕劑供給槽11流出稀釋溶劑6時，能夠?qū)埩粼诟哒扯瓤刮g劑供給槽11的內(nèi)側(cè)表面、高粘度抗蝕劑用管道3a、管道內(nèi)側(cè)的閥門4a的周邊、共用管道3d的內(nèi)側(cè)表面以及流出部3e的高粘度抗蝕劑5進(jìn)行沖洗。其結(jié)果，能夠防止附著在這些表面的高粘度抗蝕劑5干燥而固著。
另外，在第一和第二實施方式中，不限于使用具有2個流入部和1個流出部的管道。例如，由于還有將不同粘度的抗蝕劑混合、或使用各種稀釋溶劑的情況，因此，可以使用具有3個以上的流入部的管道。當(dāng)然，此時可以在各流入部設(shè)置閥門，并具備與各流入部對應(yīng)的抗蝕劑供給槽。
并且，在使用這樣的具有2個以上的流入部的管道時，有可能存在想要得到多個不同粘度的抗蝕劑溶液的情況，因而，可以使用具有2個以上的流出部的管道，也可以分配給多個調(diào)制槽。當(dāng)然，這樣使用具有2個以上的流出部的管道時，可以設(shè)置用于將液體引導(dǎo)到作為目的的流出部的流出流入路切換機(jī)構(gòu)。
另外，本發(fā)明所涉及的抗蝕劑稀釋系統(tǒng)不限于以上所述的實施方式，也可以在不脫離本發(fā)明宗旨的范圍內(nèi)采用各種結(jié)構(gòu)或形狀。
根據(jù)以上，通過使用本發(fā)明，在使用時，稀釋溶劑對通常殘留在管道表面的高粘度抗蝕劑進(jìn)行沖洗，因而能夠降低異物的產(chǎn)生并降低混入粘度變化品的危險性。并且，能夠減少抗蝕劑稀釋系統(tǒng)的維護(hù)頻率，能夠?qū)ぷ餍实奶岣咦鞒鲐暙I(xiàn)。
權(quán)利要求
1.一種抗蝕劑稀釋系統(tǒng)，其特征在于，該抗蝕劑稀釋系統(tǒng)具有管道，該管道具有2個以上的流入部和1個以上的流出部；以及混合部，該混合部將第一液體和第二液體混合，該第一液體從所述流入部中的第一流入部流入、從所述流出部中的第一流出部流出，該第二液體從所述流入部中的第二流入部流入、從所述第一流出部流出，該第二液體的粘度相對低于所述第一液體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗蝕劑稀釋系統(tǒng)，其特征在于，所述第一液體是抗蝕劑材料，所述第二液體是稀釋所述抗蝕劑材料的稀釋劑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗蝕劑稀釋系統(tǒng)，其特征在于，所述混合部具有調(diào)制槽，該調(diào)制槽利用所述第二液體稀釋所述第一液體，以調(diào)整該第一液體的粘度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗蝕劑稀釋系統(tǒng)，其特征在于，該抗蝕劑稀釋系統(tǒng)還具有第一供給部，該第一供給部能夠填充所述第一液體，將該第一液體供給到所述第一流入部；以及第二供給部，該第二供給部能夠填充所述第二液體，將該第二液體供給到所述第二流入部。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的抗蝕劑稀釋系統(tǒng)，其特征在于，該抗蝕劑稀釋系統(tǒng)還具有連接部，該連接部連接所述第一供給部和所述第二供給部，使所述第二液體從該第二供給部流入該第一供給部。
6.一種抗蝕劑稀釋系統(tǒng)的使用方法，該抗蝕劑稀釋系統(tǒng)具有管道以及調(diào)制部，所述管道具有2個以上的流入部和1個以上的流出部，所述調(diào)制部用于稀釋抗蝕劑以調(diào)制粘度；該方法的特征在于，從所述流入部中的第一流入部流入第一液體，使該第一液體從所述流出部中的第一流出部流出，供給至所述調(diào)制部；供給所述第一液體之后，從所述流入部中的第二流入部流入粘度相對低于該第一液體的第二液體，使該第二液體從所述第一流出部流出，供給至所述調(diào)制部。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的抗蝕劑稀釋系統(tǒng)的使用方法，其特征在于，從填充有供給至所述第一流入部的所述第一液體的第一供給部供給該第一液體；從所述第一供給部供給該第一液體之后，在該第一供給部中加入所述第二液體；該第二液體從該第一供給部供給至所述第一流入部，從所述第一流出部流出。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的抗蝕劑稀釋系統(tǒng)的使用方法，其特征在于，所述第一液體是抗蝕劑材料，所述第二液體是稀釋所述抗蝕劑材料的稀釋劑。
全文摘要
本發(fā)明提供一種抗蝕劑稀釋系統(tǒng)，該抗蝕劑稀釋系統(tǒng)具有使高粘度抗蝕劑等易干燥而難以處理的液體進(jìn)行流通的管道。該抗蝕劑稀釋系統(tǒng)(1)具有管道(3)以及調(diào)制槽(2)，該管道(3)具有高粘度抗蝕劑用管道(3a)、稀釋溶劑用管道(3b)以及1個流出部(3e)；該調(diào)制槽(2)將高粘度抗蝕劑和稀釋溶劑混合，該高粘度抗蝕劑從高粘度抗蝕劑用管道(3a)流入、從流出部(3e)流出，該稀釋溶劑從稀釋溶劑用管道(3b)流入、從流出部(3e)流出；利用該抗蝕劑系統(tǒng)(1)，在使用時，稀釋溶劑能夠?qū)νǔ埩粼诠艿辣砻娴母哒扯瓤刮g劑進(jìn)行沖洗。
文檔編號G03F7/42GK1967385SQ20061012893
公開日2007年5月23日 申請日期2006年9月4日 優(yōu)先權(quán)日2005年11月18日
發(fā)明者森尾公隆, 長谷川透, 室伏榮治 申請人:東京應(yīng)化工業(yè)株式會社