專利名稱：電子源的特性調整方法及裝置、以及電子源的制造方法
技術領域：
本發(fā)明涉及備有多個電子釋放元件的電子源的特性調整方法及特性調整裝置、以及電子源的制造方法。
背景技術：
迄今，作為電子釋放元件，已知有熱陰極元件和冷陰極元件兩種。其中在冷陰極元件中，已知有例如電場釋放型的電子釋放元件(以下記作FE型)、金屬/絕緣層/金屬型的電子釋放元件(以下記作MIM型)、以及表面?zhèn)鲗偷碾娮俞尫旁?以下稱為表面?zhèn)鲗歪尫旁?。
在對許多電子釋放元件進行了簡單矩陣布線的電子源、以及應用這些電子源的電子發(fā)生裝置或圖像顯示裝置中，希望各電子釋放元件的特性優(yōu)異、能使各像素發(fā)生的亮度均勻。可是，構成電子源的釋放元件由于工序的變化等，各個元件的電子釋放特性多少有些離散，所以在用它作成顯示裝置的情況下，其特性的離散表現(xiàn)為每個像素的亮度的離散。與此不同，已知有利用電子釋放元件的電子釋放特性的存儲性，使特性一致的方法(日本專利特開平10-228867號公報、特開2000-243256號公報、USP6,231,412、EP0,803,892)。
在將該均勻化工藝取入電子源的制造工序中的情況下，對每個像素進行驅動調整的調整方法有可能發(fā)生離散，或者對每個電子源面板進行驅動調整的調整方法有可能發(fā)生離散。因此希望確立能適應這樣的調整離散的通用性更高的均勻化工藝。即，希望能提供一種即使構成電子源的電子釋放元件的電子釋放特性的存儲特性在各像素之間多少有些不同，或者在多個電子源之間多少有些變化，也能在同樣的制造工藝時間內制造同樣的均勻性高的電子源的制造工藝。
例如，各元件有如

圖14所示的各元件中固有的電子釋放元件的特性(特性變化曲線)。因此，迄今，根據(jù)該元件固有的電子釋放電流Ie和調整用電壓Vshift的關系，選擇能獲得成為目標的電子釋放電流的最佳調整用電壓，將該電壓加在應調整的元件上。
因此，在每個元件的特性完全不同的情況下，必須對每個元件采用電子釋放元件的特性變化曲線，準備相當于元件個數(shù)的電壓值。
因此，調整方法變得復雜，調整裝置也復雜、價格高。因此，在工序的一部分中包括該調整方法的電子源的制造方法中，成為使得制造工藝的管理復雜的主要原因。
發(fā)明概述本發(fā)明的目的在于提供一種利用電子釋放元件特有的性質，采用簡易的工序使多電子源的特性大致相同的特性調整方法及特性調整裝置、以及電子源的制造方法。
本發(fā)明的核心在于提供一種電子源的特性調整方法、或特性調整裝置、或電子源的制造方法，有多個電子釋放元件的電子源的特性調整方法的特征在于包括根據(jù)應調整的電子釋放元件的特性，將調整用的電壓脈沖加在該電子釋放元件上的工序，根據(jù)上述電子釋放元件的特性，從具有離散值的多個電壓中選擇上述調整用的電壓，同時根據(jù)上述電子釋放元件的特性和上述選擇的電壓，決定上述脈沖的施加次數(shù)。
根據(jù)本發(fā)明者的發(fā)現(xiàn)，判明了如果電壓一定，則施加特性移動電壓脈沖時的電子釋放電流的變化率與脈沖數(shù)、即電壓施加時間的對數(shù)大致成正比。而且，如果采用該特性，則即使對初始電子釋放電流多少有些不同的元件，也能使用同一電子釋放電流的特性變化曲線，進行元件特性的調整。
附圖的簡單說明圖1A、1B是表示本發(fā)明的一實施形態(tài)的電子釋放元件的特性調整信號的一例圖。
圖2是表示移動電壓施加時間和特性移動量的關系的曲線圖。
圖3A、3B是說明電子釋放元件對應于驅動電壓的釋放電流特性的變化。
圖4是本發(fā)明的實施形態(tài)1的多電子源的特性調整裝置的簡略結構圖。
圖5是圖1A、1B所示的裝置的特性調整流程。
圖6是繼圖5所示流程的特性調整流程。
圖7是說明元件上連續(xù)施加了數(shù)種驅動電壓時電子釋放電流的變化量的特性曲線圖。
圖8是表示在實施形態(tài)1中為了進行特性調整，各個電子釋放元件對應于所施加的離散性的移動電壓的電子釋放電流范圍的圖。
圖9是繼圖6所示流程的特性調整流程。
圖10是本發(fā)明的實施形態(tài)2的多電子源的特性調整裝置的簡略結構圖。
圖11是表示圖10中的行方向選擇用開關矩陣的詳細電路圖。
圖12是圖10所示裝置特性調整流程。
圖13是詳細地表示圖12所示的特性調整流程的一部分的流程。
圖14是表示電子釋放電流的特性變化曲線之一例的曲線圖。
實施發(fā)明的具體方式本發(fā)明的一實施形態(tài)的特征在于在特性調整方法中，根據(jù)電子釋放元件的特性、以及離散性地選擇的多個特性調整用電壓中選擇的特性調整電壓，確定該特性調整電壓脈沖的施加次數(shù)。
換句話說，在確定了某特性的目標值的情況下，對特性多少有些不同的多個元件，用一個特性調整電壓，使對每個元件施加的脈沖次數(shù)適合于每個元件，使各元件的特性接近上述目標值。
在本發(fā)明中，在特性調整工序之前，最好進行后面所述的預驅動處理。
另外，預驅動處理或特性調整工序在電子源的狀態(tài)或顯示面板上顯示的制作了真空容器的狀態(tài)下進行，也可以在有機物氣體的分壓為10-6Pa以下的真空氣氛中進行。
另外，本發(fā)明中使用的特性調整表最好這樣作成將具有離散值的多個特性調整用電壓脈沖反復加在電子釋放元件上，根據(jù)這時測定的電子釋放特性的變化率的脈沖施加數(shù)，作成上述特性調整表。
而且，特性調整表的作成中使用的電子釋放元件最好使用應調整的電子源中的元件，也可以使用經(jīng)過同一工序作成的元件。
在本發(fā)明中，在測定元件的電子釋放特性的情況下，也可以根據(jù)來自元件的釋放電流、流入元件的電流、或從元件釋放的電子，測定發(fā)光的發(fā)光體(如熒光體)。
另外，如果采用本發(fā)明，則能用同一特性調整電壓對特性多少有些不同的多個元件同步地進行特性調整，提高了處理能力。
作為本發(fā)明中使用的電子釋放元件，最好使用USP6,231,412中的說明書及附圖中記載的電子釋放元件。另外，電子釋放部中具有晶態(tài)碳的電子釋放元件也適用于本發(fā)明。以下，說明本發(fā)明的實施形態(tài)，但不限定于這些實施形態(tài)，在能達到本發(fā)明的目的的范圍內，包括采用本發(fā)明的結構要素的代替物或均等物。
本實施形態(tài)在制造工序中，在特性調整工序之前有能降低時效變化的預驅動處理工序。
(預驅動處理工序)在表面?zhèn)鲗歪尫旁那闆r下，形成電子釋放部時，在通電形成處理后進行，根據(jù)需要，通過通電激活處理，在電子釋放部附近淀積碳素或碳素化合物。另外通電激活處理結束后，最好執(zhí)行穩(wěn)定化工序。該工序是通過排氣將真空容器內的有機物質除去的工序。使真空容器排氣的真空排氣裝置最好用不使用油的裝置，以便不會由于從裝置發(fā)生的油等有機物質對元件的特性產生影響。具體地說，能舉出磁懸浮型渦輪分子泵、低溫泵、抽吸泵、離子泵等真空排氣裝置。真空容器內的有機成分的分壓、即上述碳素及碳素化合物大致沒有新淀積時的分壓最好在1×10-6[Pa]以下，若在1×10-8[Pa]以下就更好。另外使真空容器排氣時，最好將真空容器全體加熱，能容易地將吸附在真空容器內壁和電子釋放元件上的有機物質分子排放出去。利用這樣的穩(wěn)定化工序，在降低了真空氣氛中的有機物的分壓的氣氛中，先實施的通電處理是預驅動處理。
驅動時電子釋放部附近的電場強度非常大。因此如果用同一驅動電壓長期驅動，則釋放電子量逐漸下降。這可以認為由大電場強度引起的電子釋放部附近的時效變化表現(xiàn)為釋放電子量下降的現(xiàn)象。
所謂預驅動，是指對進行了穩(wěn)定化工序的元件用電壓Vpre進行了良好的驅動后，測定用電壓Vpre驅動時元件的電子釋放部附近的電場強度而言。此后，用使電場強度變小的驅動電壓Vdrv進行通常的驅動?？梢哉J為通過施加電壓Vpre進行的驅動，是預先用大電場強度驅動元件的電子釋放部，能在短時間內集中發(fā)現(xiàn)成為時效特性的不穩(wěn)定性的原因的結構構件的變化，能減少用通常驅動電壓Vdrv長期驅動引起的變化原因。
(特性調整工序)其次，說明再用電子釋放特性的存儲功能對進行了預驅動的元件進行的電子釋放特性的調整方法。在該特性調整中，用電壓Vdrv驅動元件時釋放的電子量比調整前少。
圖1A、1B是表示關注一個構成多電子源的電子釋放元件，加在一個元件上的預驅動及特性調整驅動信號的電壓波形的圖，橫軸表示時間，縱軸表示加在電子釋放元件上的電壓(以下，記作元件電壓Vf)。
這里，驅動信號使用如圖1A所示連續(xù)的矩形電壓脈沖，將特性調整驅動期間的電壓脈沖的施加期間分成第一期間至第三期間共三個期間，在各期間內從1～1000選擇的適當?shù)拇螖?shù)施加了脈沖。根據(jù)元件的不同，確定施加的脈沖峰值及脈沖數(shù)。圖1B中放大示出了圖1A中的電壓脈沖的波形的一部分。
作為具體的驅動條件，設驅動信號的脈寬為T1＝1[msec]，脈沖周期為T2＝10[msec]。另外，充分地降低從驅動信號源到電子釋放元件的布線路徑的阻抗，進行了驅動，以便有效地加在電子釋放元件上的電壓脈沖的上升邊時間Tr及下降邊時間Tf在100[ns]以下。
這里元件電壓在預驅動期間為Vf＝Vpre(預驅動電壓)，在特性調整期間的第一期間和第三期間Vf＝Vdrv(顯示驅動電壓)，在第二期間Vf＝Vshift(特性調整用的電壓)這些元件電壓Vpre、Vdrv、Vshift都是比電子釋放元件的電子釋放閾值電壓大的電壓，而且，設定得滿足條件Vpre＜Vdrv≤Vshift。但是，電子釋放閾值電壓也隨著電子釋放元件的形狀和材料的不同而不同，所以對照成為測定對象的電子釋放元件適當?shù)卦O定。
在圖1A中詳細說明特性調整期間的各個期間。
(第一期間工作電壓的特性評價期間)第一期間是評價預驅動電壓施加后，使驅動電壓下降到作為通常的工作電壓的通常驅動電壓Vdrv時的元件特性的期間。將通常驅動電壓(Vdrv)脈沖加在元件上，測量施加電壓Vdrv時的釋放電流Ie。測定元件特性用的波形脈沖的施加次數(shù)約為1～10次。
(第二期間特性移動電壓施加期間)第二期間對于電子釋放特性的調整方法來說，采用電子釋放特性的存儲功能，施加比預驅動電壓Vpre大的電壓值Vshift，使元件的電子釋放特性移動。因此，對不需要進行特性調整的元件不使用第二期間至第三期間。在第二期間內，使元件的電子釋放特性移動用的波形脈沖的施加次數(shù)約為1～1000次。
(第三期間特性移動電壓施加后，工作電壓的特性評價期間)第三期間是特性移動電壓施加后，評價使驅動電壓下降到作為通常的顯示用的工作電壓的驅動電壓Vdrv時的元件特性的期間。與第一期間相同，將顯示驅動電壓Vdrv脈沖加在元件上，測量施加電壓Vdrv時的釋放電流Ie。
這樣對一個元件進行了上述的各驅動后，對全部元件進行同樣的處理，對多電子源的特性調整處理結束。
這里，參照圖2，說明特性調整時施加的移動電壓的施加時間和特性的移動量之間的相關關系。圖2是示意地表示施加了電子釋放閾值電壓值以上大小的某特性移動電壓Vshift時的特性移動量Shift和移動電壓的施加時間的相關關系。曲線圖的橫軸用對數(shù)表示移動電壓施加時間，縱軸表示特性移動量Shift。如圖2所示，特性移動量與移動電壓的施加時間的對數(shù)大致成正比地增加。
圖3A是表示從另一方面看圖2所示的關系的圖，表示在第二期間內，隨著Vf＝Vshift的脈沖的施加數(shù)增多，釋放電流特性向右方向移動。移動脈沖施加前呈現(xiàn)Iec(1)的特性的元件變成施加了Vshift脈沖的一個脈沖的狀態(tài)Iec(2)。施加了Vshift脈沖的3個脈沖時，釋放電流特性曲線變成Iec(5)，施加了Vshift脈沖的100個脈沖時，釋放電流特性曲線變成Iec(6)。施加特性移動脈沖時的釋放電流Iec(5)在驅動電壓Vdrv時，變成釋放電流Ie5，釋放電流Iec(6)在驅動電壓Vdrv時，變成釋放電流Ie6。如果使用該特性變化，則通過增減加在第二期間的元件上的Vshift脈沖的施加數(shù)，變成所希望的釋放電流特性曲線，能使第三期間的驅動電壓Vdrv時的電子釋放電流為特定的值。
從圖3A可知，作為多電子源的元件的電子釋放電流在預驅動后，施加Vf＝Vdrv時為Ie4，但通過增加移動電壓(Vshift)的施加次數(shù)，施加Vf＝Vdrv時電子釋放量的變化為Ie3→Ie5→Ie6。
多電子源由多個元件構成，預驅動施加后的特性也各不相同。根據(jù)本發(fā)明者的發(fā)現(xiàn)，在對預驅動施加后的特性各不相同的元件施加了特性移動電壓的情況下，與特性移動電壓施加前的電子釋放量的多少無關，特性變化率大致是一定的。即，如圖3所示，在預驅動后施加Vf＝Vdrv時具有與圖3A不同的初始特性的元件的電子釋放電流雖然為Ie4’，但由于增加了移動電壓(Vshift)的施加次數(shù)，所以施加Vf＝Vdrv時電子釋放量的變化為Ie3’→Ie5’→Ie6’。這時如果著眼于圖3A及圖3B所示的Ie的變化率，則將Vshift加在太陽3A中的元件(1)上時，Ie的變化為Ie4(初始)→Ie3(3個脈沖)→Ie5(10個脈沖)→Ie6(100個脈沖)。Ie的變化率為Ie3/Ie4→Ie5/Ie4→Ie6/Ie4。將Vshift加在圖3B中的元件(2)上時的Ie及變化率如下，即Ie為Ie4’(初始)→Ie3’(3個脈沖)→Ie5’(10個脈沖)→Ie6’(100個脈沖)。變化率為Ie3’/Ie4’→Ie5’/Ie4’→Ie6’/Ie4’。這時，如果對各個變化率Ie3/Ie4和Ie3’/Ie4’，Ie5/Ie4和Ie5’/Ie4’，Ie6/Ie4和Ie6’/Ie4’進行比較，則會發(fā)現(xiàn)它們大致相等。如果利用該特性，則即使是初始Ie多少有些不同的元件，也能使用相同的釋放電流特性的變化曲線，進行元件特性的調整。
因此，在本實施形態(tài)例中，首先用多電子源的一部分元件，取得對應于施加特性移動電壓的釋放電流特性的變化曲線，根據(jù)該曲線進行多電子源全體的特性調整。作為所施加的移動電壓值不使用連續(xù)的電壓值，而是取得離散性的數(shù)據(jù)，按照所希望的時間調整電子源全體的特性，將在后面詳細說明。
這里，說明本發(fā)明的一實施形態(tài)的特性調整裝置。
圖4是表示將特性調整用的波形信號加在構成使用多電子源的顯示面板301的各電子釋放元件上，改變各個電子釋放元件的電子釋放特性用的具有驅動電路的特性調整裝置的結構框圖。
在圖4中，301是顯示面板。在本實施例中，在顯示面板301中多個電子釋放元件被布線成簡單的矩陣狀，假定形成處理及激活處理已經(jīng)結束，處于穩(wěn)定化工序中。顯示面板301是真空容器，具有將多個電子釋放元件配置成矩陣狀的基板；以及在該基板上分離設置、有利用從電子釋放元件放出的電子進行發(fā)光的熒光體的熒光屏等。這些電子釋放元件通過行方向布線端子Dx1～Dxn及列方向布線端子Dy1～Dym與外部的電路連接。301a是構成顯示面板301的多個面電子釋放元件中的一部分，它被用來作為取得特性調整用數(shù)據(jù)用的元件。
302是將來自高壓電源311的高電壓加在顯示面板301的熒光體上用的端子。303、304是驅動電路的開關矩陣，分別選擇行方向布線及列方向布線，選擇施加脈沖電壓用的電子釋放元件。306、307是脈沖發(fā)生電路，發(fā)生脈沖波形信號Px、Py。308是脈沖峰值設定電路，通過輸出脈沖設定信號Lpx、Lpy，確定分別由脈沖發(fā)生電路306、307輸出的脈沖信號的峰值。309是控制電路，控制全部特性調整流程，將設定峰值用的數(shù)據(jù)Tv輸出給脈沖峰值設定電路308，同時控制脈沖施加電路。另外，309a是CPU，對控制電路309的工作進行控制。將在后面參照圖5、圖6及圖9中的流程，說明CPU309a的工作。
在圖4中，309b是存儲各元件的特性調整用的各元件的特性用的存儲器。具體地說，309b存儲施加驅動電壓Vdrv時的各元件的電子釋放電流Ie。309c是對一部分元件301a進行電壓施加取得數(shù)據(jù)作成的參照用檢查表(特性調整LUT)，特性調整時參照，詳細情況將在后面說明。310是開關矩陣控制電路，輸出開關切換信號Tx、Ty，通過控制開關矩陣303、304的開關的選擇，來選擇施加脈沖電壓的電子釋放元件。
其次，說明在特性調整處理中成為必要的取得數(shù)據(jù)的方法。在本實施例中，為了調整元件的電子釋放電流，測定來自各元件的電子釋放電流Ie，并存儲起來。
詳細說明該電子釋放電流Ie的測量方法。為了進行特性調整，至少需要測定施加驅動電壓Vdrv時流過的電子釋放電流Ie，對此進行說明。利用來自控制電路309的開關矩陣控制信號Tsw，開關矩陣303及304選擇規(guī)定的行方向布線或列方向布線，切換連接開關矩陣控制電路310，以便能驅動所希望的電子釋放元件。
另一方面，控制電路309將對應于驅動電壓Vdrv的峰值數(shù)據(jù)Tv輸出給脈沖峰值設定電路308。因此從脈沖峰值設定電路308將峰值數(shù)據(jù)Lpx及Lpy分別輸出給脈沖發(fā)生電路306、307。脈沖發(fā)生電路306、307根據(jù)該峰值數(shù)據(jù)Lpx及Lpy，分別輸出驅動脈沖Px及Py，該驅動脈沖Px及Py施加在由開關矩陣303及304選擇的元件上。這里，該驅動脈沖Px及Py對電子釋放元件設定得振幅為驅動電壓Vdrv(峰值)的1/2，而且是極性互不相同的脈沖。同時，由高壓電源311將規(guī)定的電壓加在顯示面板301的熒光體上。
電子釋放元件的電子釋放特性表現(xiàn)為如果施加某一電壓(稱為閾值電壓，圖3A中的Vthl等)以上的元件電壓，則電子釋放電流Ie急劇增加，另一方面，在閾值電壓以下時，幾乎檢測不到電子釋放電流Ie。就是說，是具有對應于電子釋放電流Ie明確的閾值電壓Vth的非線性元件。因此，在驅動脈沖Px及Py的振幅值為Vdrv的1/2、而且是極性互不相同的脈沖的情況下，只從由開關矩陣303及304選擇的元件放出電子。而且利用電流檢測器305測定用該驅動脈沖Px、Py驅動電子釋放元件時的電子釋放電流Ie。
以下，用圖5、圖6及圖9中的流程，說明圖4中的特性調整中使用的特性調整方法。在本實施形態(tài)中，由于進行了預驅動和特性調整驅動，所以說明兩種驅動處理。
處理流程包括將預驅動電壓Vpre加在顯示面板301的全部電子釋放元件上后，測定驅動電壓Vdrv施加時的電子釋放特性，設定進行特性調整時的基準目標電子釋放電流值Ie-t的階段(對應于圖5所示的流程圖、圖1A中的預驅動期間和特性調整期間的第一期間)；使用在顯示圖像方面幾乎沒有妨礙的地方301a的一部分元件，導出將特性移動電壓Vshift和通常驅動電壓Vdrv交替地加在元件上時的電子釋放電流變化量，作成檢查表的階段(對應于圖6所示的流程圖、圖1A中的特性調整期間的第二、第三期間)；以及根據(jù)特性調整用的檢查表，施加特性移動電壓Vshift的脈沖波形信號，以及為了判斷特性調整是否結束，施加驅動電壓Vdrv，測定電子釋放特性的階段(對應于圖9所示的流程圖、圖1A中的特性調整期間的第二、第三期間)。
首先，說明將預驅動電壓Vpre加在顯示面板301的全部電子釋放元件上后，測定通常驅動電壓Vdrv施加時的電子釋放特性，設定進行特性調整時的基準目標電子釋放電流值Ie-t的階段(對應于圖5所示的流程圖、圖1A中的預驅動期間和特性調整期間的第一期間)。
在步驟S11中，輸出開關矩陣控制信號Tsw，由開關矩陣控制電路310切換開關矩陣303、304，從顯示面板選擇一個電子釋放元件。其次在步驟S12中，將加在被選擇的元件上的脈沖信號的峰值數(shù)據(jù)Tv輸出給脈沖峰值設定電路308。測定用脈沖的峰值是預驅動電壓Vpre＝16V。然后在步驟S13中，由脈沖發(fā)生電路306、307通過開關矩陣303、304，將預驅動電壓值Vpre的脈沖信號加在在步驟S11中選擇的電子釋放元件上。
在步驟S14中，為了進行使施加了預驅動電壓的元件下降到驅動電壓Vdrv而進行驅動時的電子釋放特性的評價，設定驅動電壓值Vdrv＝14.5V，作為加在被選擇的元件上的脈沖信號的峰值數(shù)據(jù)Tv。然后在步驟S15中，將驅動電壓值Vdrv的脈沖信號加在在步驟S11中選擇的電子釋放元件上。在步驟S16中為了進行特性調整，將Vdrv電壓的電子釋放電流Ie存儲在存儲器309b中。
在步驟S17中，檢查是否對顯示面板301的全部電子釋放元件進行了測定，未全部檢查時，進入步驟S18，設定選擇下一個電子釋放元件的開關矩陣控制信號Tsw，進入步驟S11。
另一方面，在步驟S17中，在對全部電子釋放元件的測定處理結束時，在步驟S19中，對顯示面板301的全部電子釋放元件，比較驅動電壓Vdrv時的電子釋放電流Ie，設定基準目標電子釋放電流值Ie-t。
如下設定基準目標電子釋放電流值Ie-t。
如圖3A所示，通過施加特性移動電壓，任何元件的Ie-Vf曲線都向右移動。因此，將目標設定為施加Vdrv時的Ie中最小者?？墒?，如果使目標值過小，則特性調整后的多電子源的平均電子釋放量會下降很多。在本實施例中，統(tǒng)計性地處理全部元件的電子釋放電流值，算出了其平均電子釋放電流Ie-ave和標準偏差σ-Ie。而且，基準目標電子釋放電流值Ie-t為Ie-t＝Ie-ave-σ-Ie通過這樣設定基準目標電子釋放電流值Ie-t，不會使特性調整后的多電子源的平均電子釋放電流下降很多，能降低各個元件的電子釋放量的離散。
其次，說明測量將多個特性移動電壓1～100個脈沖加在顯示面板301上顯示圖像方面幾乎沒有妨礙的地方301a中的多個電子釋放元件上時的元件釋放電流Ie的順序、以及作成根據(jù)該數(shù)據(jù)進行特性調整用的檢查表的階段(對應于圖6所示的流程圖、圖1A中的特性調整期間的第二、第三期間)。
作成檢查表時，作為特性移動電壓，選擇4個階段(Vshift1～Vshift4)的離散性的電壓值，對每個電壓觀測了特性移動量。如上所述，特性移動電壓的范圍為Vshift≥Vpre，Vshift電壓的范圍根據(jù)電子釋放元件的形狀和材料適當?shù)卦O定，但通常在1V左右的范圍內，通過分成幾個步驟進行設定，能進行特性調整。
首先，說明在圖6所示的流程圖中，測量將4個特性移動電壓Vshift1、Vshift2、Vshift3、Vshift4的1～100個脈沖分別加在4個電子釋放元件上時的電子釋放電流Ie的變化量的順序。
作為試樣的元件，每一個特性移動電壓取多個，使用其平均值或中間值。
在步驟S21中，設定將4個特性移動電壓分別加在4個以上的電子釋放元件上的區(qū)域、元件數(shù)、各特性移動電壓值、以及施加脈沖數(shù)。這里，將4個特性移動電壓分別加在多個電子釋放元件上的顯示面板301內的區(qū)域選定在顯示圖像方面幾乎沒有妨礙的地方301a，元件數(shù)是對應于1個特性移動電壓取20個元件。在步驟S22中，輸出開關矩陣控制信號Tsw，由開關矩陣控制電路310切換開關矩陣303、304，從顯示面板301選擇一個電子釋放元件。在步驟S23中，將加在被選擇的元件上的脈沖信號的峰值數(shù)據(jù)Tv輸出給脈沖峰值設定電路308。特性移動電壓值例如是Vshift1＝16.25V、Vshift2＝16.5V、Vshift3＝16.75V、Vshift4＝17V中的某一者。然后在步驟S24中，由脈沖發(fā)生電路306、307通過開關矩陣303、304，將特性移動電壓Vshift的脈沖作為初次特性移動電壓加在在步驟S21中選擇的電子釋放元件上。
在步驟S25中，為了進行使施加了預驅動電壓的元件下降到驅動電壓Vdrv而進行驅動時的電子釋放特性的評價，設定驅動電壓值Vdrv＝14.5V，作為加在被選擇的元件上的脈沖信號的峰值數(shù)據(jù)Tv。然后在步驟S26中，將驅動電壓值Vdrv的脈沖信號加在在步驟S22中選擇的電子釋放元件上。在步驟S27中將Vdrv電壓的電子釋放電流Ie作為對應于特性移動電壓施加脈沖數(shù)的電子釋放量變化數(shù)據(jù)存儲在存儲器309b中。在步驟S28中，檢查將特性移動電壓施加了規(guī)定的次數(shù)，未施加規(guī)定的次數(shù)時，進入步驟S23。另一方面，在步驟S28中，特性移動電壓達到了施加次數(shù)時，進入步驟S29。在步驟S29中，檢查是否對多個規(guī)定的電子釋放元件進行了電子釋放量變化測定，未測定時，進入步驟S30，設定選擇下一個電子釋放元件的開關矩陣控制信號Tsw，進入步驟S22。另一方面，在步驟S29中，對規(guī)定的電子釋放元件的測定處理結束時，將5個特性移動電壓Vshift0(＝Vpre)、Vshift1、Vshift2、Vshift3、Vshift4(1～100個脈沖)分別加在多個規(guī)定的電子釋放元件上時的元件釋放電流的變化量作成曲線。
圖7表示這樣獲得的元件釋放電流的變化量(平均值)。另外，這時的元件釋放電流值是將各個特性移動電壓施加一個脈沖作為驅動電壓Vdrv時測量的值。5個特性移動電壓的關系為Vshift4＞Vshift3＞Vshift2＞Vshift1＞Vpre。
如圖7所示，通過增加特性移動電壓施加數(shù)或增大特性移動電壓，元件特性的變化量大，即調整量增大。用圖7所示的特性變化曲線對多電子源全體進行特性調整，按照以下的兩個步驟進行。
①用根據(jù)圖5中的Ie測量結果設定的目標電子釋放電流值Ie-t，設定特性移動電壓范圍及平均施加脈沖數(shù)。就是說，到此為止，是作成進行特性調整用的檢查表的階段。
②根據(jù)在①中決定的設定值，對每個元件設定特性移動電壓。然后，反復進行特性移動電壓的施加和電子釋放電流特性的測量，使特性移動到目標值。即，是根據(jù)特性調整用的檢查表，施加特性移動電壓Vshift的脈沖波形信號，以及為了判斷特性調整是否結束而施加驅動電壓Vdrv，測定電子釋放特性的階段(對應于圖9所示的流程圖、圖1A中的特性調整期間的第二、第三期間)。
詳細說明①、②。
①假設在圖5中測量的電流值的最大值為Ie max值，根據(jù)在圖5中設定的目標Ie-t，由下式求得最大調整率Dmax。
Dmax＝Ie-t/Ie max例如，假設目標Ie-t＝0.9μA，Ie max＝1.2μA，需要Dmax＝0.75。這時由圖7可知，作為最大移動電壓即使施加一個脈沖的Vshift4，也不能調整全部。另一方面，如果增加特性移動電壓施加脈沖數(shù)，則特性調整的處理時間長，不能說是好的方法。因此，在本實施形態(tài)中，通過平均施加10個脈沖，進行了特性移動。這時處理所需要的時間能用脈沖施加時間和具有目標Ie-t以上的元件數(shù)的積進行估計。
由圖7讀出10個脈沖施加時的Ie的調整率D0～D4。
這里能用下式表示在施加了10個脈沖的特性移動電壓Vshift后，施加了可能會達到目標電子釋放電流Ie-t的初次的一個脈沖的預驅動電壓Vpre后的驅動電壓Vdrv施加時的電子釋放電流上限值Ie-u。Ie-u＝Ie-t/D，就是說，如果將10個脈沖的Vshift加在具有Ie-u特性的預驅動結束的元件上，則電子釋放電流為Ie-t。
即假設施加了10個脈沖的特性移動電壓Vshift1時的調整率為D1，這時的預驅動電壓Vpre的一個脈沖施加后的驅動電壓Vdrv施加時的電子釋放電流的上限值Ie-u1為Ie-u1＝Ie-t/D1同樣，假設施加了10個脈沖的特性移動電壓Vshift2時的調整率為D2，這時的預驅動電壓Vpre的一個脈沖施加后的驅動電壓Vdrv施加時的電子釋放電流的上限值Ie-u2為Ie-u2＝Ie-t/D2假設施加了10個脈沖的特性移動電壓Vshift3時的調整率為D3，這時的預驅動電壓Vpre的一個脈沖施加后的驅動電壓Vdrv施加時的電子釋放電流的上限值Ie-u3為Ie-u3＝Ie-t/D3假設施加了10個脈沖的特性移動電壓Vshift4時的調整率為D4，這時的預驅動電壓Vpre的一個脈沖施加后的驅動電壓Vdrv施加時的電子釋放電流的上限值Ie-u4為Ie-u4＝Ie-t/D4另外，假設施加了10個脈沖的特性移動電壓Vshift0＝Vpre時的調整率為D0，這時的預驅動電壓Vpre的一個脈沖施加后的驅動電壓Vdrv施加時的電子釋放電流的上限值Ie-u0為Ie-u0＝Ie-t/D0如果根據(jù)這些各個電子釋放電流的上限值作成特性調整用的檢查表，則如圖8所示。在圖8中，施加特性移動電壓Vpre(＝Vshift0)，進行特性調整的預驅動電壓Vpre的一個脈沖施加后的驅動電壓Vdrv施加時的電子釋放電流范圍為從目標Ie-t至Ie-u1。同樣，施加特性移動電壓Vshift1，進行特性調整的預驅動電壓Vpre1的一個脈沖施加后的驅動電壓Vdrv施加時的電子釋放電流范圍為從目標Ie-u1至Ie-u2，施加特性移動電壓Vshift2，進行特性調整的預驅動電壓Vpre施加后的驅動電壓Vdrv施加時的電子釋放電流范圍從Ie-u2至Ie-u3，施加特性移動電壓Vshift3，進行特性調整的預驅動電壓Vpre施加后的驅動電壓Vdrv施加時的電子釋放電流范圍從Ie-u3至Ie-u4，施加特性移動電壓Vshift4，進行特性調整的預驅動電壓Vpre施加后的驅動電壓Vdrv施加時的電子釋放電流范圍比Ie-u4大。在預驅動電壓Vpre施加后的驅動電壓Vdrv施加時的電子釋放電流比Ie-u4大的情況下，施加Vshifi4。
例如，將各個特性移動電壓施加了10個脈沖時的調整率D0＝0.9、D1＝0.81、D2＝0.72、D3＝0.6、D4＝0.5、目標Ie-t＝0.9μA、Ie最大值＝1.55μA時，施加各個特性移動電壓的Ie的范圍為0.9＜Ie≤1.0μA(@Vshift0)、1.0＜Ie≤1.11μA(@Vshift1)、1.11＜Ie≤1.25μA(@Vshift2)、1.25＜Ie≤1.5μA(@Vshift3)、1.5＜Ie(@Vshift4)。
②用圖9所示的流程圖，說明為了進行特性調整，參照檢查表(圖8)，施加特性移動電壓Vshift的脈沖波形信號，以及為了判斷特性調整是否結束而施加驅動電壓Vdrv，測定電子釋放特性的階段(對應于圖9所示的流程圖、圖1A中的特性調整期間的第二、第三期間)。
首先在步驟S51中設定特性調整時對進行顯示面板301中的特性調整的表面?zhèn)鬏斝歪尫旁?施加的最大施加脈沖數(shù)。這里最大施加脈沖數(shù)為平均施加脈沖數(shù)的2倍的20個脈沖。其次，在步驟S52中，輸出開關矩陣控制信號Tsw，由開關矩陣控制電路310切換開關矩陣303、304，從顯示面板301選擇一個電子釋放元件。在步驟S53中，讀出關于所選擇的元件的預驅動后的驅動電壓Vdrv施加時的電子釋放電流值。在步驟S54中讀出特性調整檢查表。在步驟S55中將在步驟S53中讀出的所選擇的元件的電子釋放電流值與特性調整的目標值Ie-t進行比較，判斷是否進行特性調整。在電子釋放電流值與特性調整的目標值Ie-t相等或在其以下的情況下，不進行特性調整而進入步驟S63。在電子釋放電流值大于特性調整的目標值Ie-t的情況下，參照在步驟S54中讀出的特性調整檢查表，設定對應于所選擇的元件的電子釋放電流值的特性移動電壓值Vshift0～Vshift4中的某一個，將加在所選擇的元件上的脈沖信號的峰值數(shù)據(jù)Tv輸出給脈沖峰值設定電路308(S56)。在步驟S57中，由脈沖發(fā)生電路306、307通過開關矩陣303、304，將特性移動電壓值Vshift0～Vshift4中的某一個的脈沖信號加在在步驟S52中選擇的電子釋放元件上。例如，假設在步驟S52中選擇的元件的電子釋放電流值為Ie-p，在下述的范圍內，根據(jù)特性調整檢查表(圖8)，特性移動電壓值為Vshift2。
在步驟S58中，為了進行使進行了特性調整的元件下降到驅動電壓Vdrv而進行驅動時的元件特性的評價，設定驅動電壓值Vdrv作為加在被選擇的元件上的脈沖信號的峰值數(shù)據(jù)Tv。然后在步驟S59中，將驅動電壓值Vdrv的脈沖電壓加在在步驟S52中選擇的元件上。在步驟S60中測量這時的電子釋放電流，存儲在存儲器中。在步驟S61中，在步驟S60中測量的電子釋放電流值不在特性調整的目標Ie-t以下的情況下，進入步驟S62的對特性調整驅動最大施加脈沖數(shù)的累積脈沖施加數(shù)的檢查。在步驟S60中測量的元件的電子釋放電流值與特性調整的目標Ie-t相等或在其以下的情況下，不進行特性調整而進入步驟S63。檢查在步驟S62中選擇的元件上的累積脈沖施加數(shù)是否達到了特性調整驅動最大施加脈沖數(shù)的設定值，在未達到的情況下進入步驟S56，在達到了的情況下進入步驟S53。在步驟S63中，檢查是否對顯示面板301的全部元件進行了特性調整，未全部調整時進入步驟S64，選擇下一個元件，輸出開關矩陣控制信號Tsw，進入步驟S52。如果在步驟S63中對全部元件的流程結束，則特性調整結束，全部元件的電子釋放電流均一化。這時步驟②結束。這時處理所需要的時間為已經(jīng)初期Ie比目標Ie-t大的元件個數(shù)和10個脈沖移動電壓施加時間的積的時間。
另外，在本實施形態(tài)中，對每個顯示面板301作成特性調整檢查表，作為根據(jù)該特性調整檢查表進行特性調整的順序，但在同一塊內的顯示面板301上使電子釋放元件的目標電子釋放電流值Ie-t相同進行特性調整的情況下，只對最初的第一個顯示面板作成特性調整檢查表，在第二個以后的顯示面板中，將預驅動電壓Vpre加在顯示面板301的全部電子釋放元件上后，如果驅動電壓Vdrv施加時的電子釋放特性的測定結果在電子釋放元件的目標電子釋放電流值Ie-t中能設定的范疇內，則即使不能取得圖7所示的特性變化曲線的全部，也能取得只確認一部分用的數(shù)據(jù)，用最初的第一個顯示面板的特性調整檢查表，也能進行特性調整，能減少第二個以后的顯示面板的特性調整處理的時間。
(實施形態(tài)2)在實施形態(tài)1中，說明了對顯示面板301內的每一個電子釋放元件個別地進行特性調整的順序。與此不同，在本實施形態(tài)中，顯示面板301的電子釋放元件的結構密度大，在電子釋放元件的全部元件數(shù)大幅度增大了的情況下，也盡量不增加特性調整所花費的時間。
具體地說，以下說明同時期地對圖10所示的顯示面板901內的元件中的一個或多個元件進行特性調整的順序、以及與其對應的裝置結構。另外，預驅動處理、對一個元件的特性調整的方法與實施形態(tài)1相同。
圖10是有同時期地將特性調整用的電壓加在多電子源的多個元件上，改變各個電子釋放元件的電子釋放特性用的驅動控制電路的特性調整裝置的框圖。
在圖10中，901是顯示面板。在顯示面板901中例如多個表面?zhèn)鲗偷碾娮俞尫旁徊季€成簡單的矩陣狀，假定形成處理、激活處理已經(jīng)結束，處于穩(wěn)定化工序中。顯示面板901將以下部分配置在真空容器中將多個元件配置成矩陣狀的基板；以及在該基板上分離設置、有利用從元件放出的電子進行發(fā)光的熒光體的熒光屏等。另外通過行方向布線端子Dx1～Dxn及列方向布線端子Dy1～Dym與外部的電路連接。901a是構成顯示面板901的多個釋放元件中的一部分，被用來作為取得特性調整用數(shù)據(jù)用的元件。902是將來自高壓電源911的高電壓加在顯示面板901的熒光體上用的端子。903是開關矩陣，由能選擇行方向布線端子Dx1～Dxn內的一個端子或多個端子的多選擇型開關矩陣903a和將同一脈沖波形信號加在沿行方向選擇的一個或多個端子上用的脈沖分配放大電路903b構成。將在后面用圖11說明開關矩陣903。
904是開關矩陣，選擇列方向布線，并選擇施加脈沖波形信號用的電子釋放元件的列方向布線端子Dy1～Dym中的某一個。906、907是脈沖發(fā)生電路，發(fā)生脈沖波形信號Px、Py。908是脈沖峰值設定電路，通過輸出脈沖設定信號Lpx、Lpy，確定分別由脈沖發(fā)生電路906、907輸出的脈沖信號的峰值。909是控制電路，控制全部特性調整流程，將設定峰值用的數(shù)據(jù)Tv輸出給脈沖峰值設定電路908。另外，909a是CPU，對控制電路909的工作進行控制。
910是開關矩陣控制電路，輸出開關切換信號Tx、Ty，通過控制開關矩陣903、904的開關的選擇，來選擇施加脈沖電壓的電子釋放元件。另外，開關切換信號Tx由后面所述的選擇塊分割中的任意一塊的信號和選擇該塊中的一個或多個開關的信號構成。
用圖11說明開關矩陣903。在本實施例中，說明在顯示面板901中的全部元件中只選擇列方向的某一端子的狀態(tài)下，將行方向同時期地施加同一特性移動電壓脈沖的連續(xù)的最大數(shù)量為q個的多個元件作為一個塊區(qū)域，能進行多個選擇的塊分割方法。多選擇型開關矩陣903a作為將行方向布線端子Dx1～Dxn每q個分割成塊，為了只能選擇某個被選擇的塊區(qū)域，能使一一對應地連接在行方向布線端子上的開關將集中在每一塊中的開關組同時導通的結構，備有該塊選擇開關組SW-B1、SW-B2～SW-Bp。例如，在選擇由塊選擇開關組SW-B1連接的行方向布線端子的區(qū)域內的塊的情況下，將塊選擇開關組SW-B1內的全部開關導通，而將其他塊選擇開關組SW-B2～SW-Bp內的全部開關阻斷。
另外，在多選擇型開關矩陣903a中備有q個端子選擇開關SW-A1～SW-Aq，用來在某一塊中選擇多個任意的布線端子。端子選擇開關呈這樣的形態(tài)對應于一個端子選擇開關，各塊選擇開關組內的一個開關連接成一對q的多個連接形態(tài)。由此，能選擇某一塊中的任意的端子。另外，各個端子選擇開關呈能獨立地進行通/斷的結構，所以能同時選擇某一塊中的任意的多個端子。
其次，脈沖分配放大電路903b由在多個階段中分配并放大脈沖波形信號Px的電路Amp-A1～Amp-Ar、Amp-B1～Amp-ArBs、以及DRV-1～DRV-q構成，以便能將脈沖發(fā)生電路907中設定的脈沖波形信號Px同樣地加在多選擇型開關矩陣903a中構成的各個端子選擇開關SW-A1～SW-Aq上。驅動器DRV-1～DRV-q與端子選擇開關SW-A1～SW-Aq一一對應地連接。就是說，來自脈沖發(fā)生器907的脈沖波形信號Px在脈沖分配放大電路903b中作為同一波形分配給端子選擇開關SW-A1～SW-Aq。利用來自開關矩陣控制電路910的開關切換信號Tx，選擇端子選擇開關SW-A1～SW-Aq中的一個或多個開關，而且，選擇塊選擇開關組SW-B1～SW-Bp中的一個塊選擇開關組。因此，脈沖波形信號Px能加在顯示面板901中的全部元件的行方向的一個或多個被選擇的布線端子上。
用開關矩陣903、904的結構，能按照以下的特性調整塊轉移順序，以塊為單元對顯示面板901中的全部元件進行特性調整。例如，在開關矩陣904中，最初選擇列方向的第一個端子，用開關矩陣903沿行方向以塊為單元選擇第一個塊，在該塊區(qū)域中進行特性調整(圖12)。然后，如果該塊區(qū)域中的全部元件的特性調整結束，則維持選擇列方向的第一個端子，沿行方向依次轉移塊區(qū)域，進行特性調整。如果對行方向的全部塊的特性調整結束，則用開關矩陣904沿列方向選擇下一個端子，用開關矩陣903沿行方向以塊為單元依次轉移塊區(qū)域。這樣用開關矩陣904沿列方向選擇最后的端子，用開關矩陣903沿行方向以塊為單元依次轉移塊區(qū)域，能對顯示面板901中的全部元件進行特性調整。
另外，與該順序相反，在開關矩陣903中，最初沿行方向選擇第一個塊，用開關矩陣904沿列方向從第一個端子開始直至每一個塊的特性調整結束，依次進行列方向的端子的轉移。如果列方向的全部端子的選擇結束，則用開關矩陣903沿行方向選擇下一個塊，用開關矩陣904沿列方向依次轉移端子。這樣用開關矩陣903沿行方向選擇最后一個塊，用開關矩陣904沿列方向依次轉移端子，能對顯示面板901中的全部元件進行特性調整。
其次，說明對構成多電子源的各個電子釋放元件的電子釋放特性進行調整的處理流程。但關于將預驅動電壓Vpre加在顯示面板901的全部元件上的工序；然后測定驅動電壓Vdrv施加時的電子釋放特性的工序；然后設定調整電子釋放特性用的目標值Ie-t的工序的第一階段(對應于圖5所示的流程圖、圖1A中的預驅動期間和特性調整期間的第一期間)；以及使用在顯示圖像方面幾乎沒有妨礙的地方901a的一部分元件，導出將特性移動電壓Vshift和驅動電壓Vdrv交替地加在元件上時的電子釋放電流變化量，作成檢查表的第二階段(對應于圖6所示的流程圖、圖1A中的特性調整期間的第二、第三期間)，可以根據(jù)實施形態(tài)1所示的對一個元件的特性調整時間(＝平均施加10個脈沖的時間)來考慮，所以其說明從略。
關于第三階段的特性調整順序，即根據(jù)特性調整用的檢查表，將特性移動電壓Vshift的脈沖波形信號加在一個元件上或同時加在多個元件上，以及為了判斷特性調整是否結束，施加驅動電壓Vdrv，測定電子釋放特性的階段與實施形態(tài)1不同，所以用圖12及圖13所示的流程圖進行說明。另外，圖13是說明圖12中從步驟S105至S117的流程用的流程圖。
首先，在步驟S101中，對進行顯示面板901中的特性調整的電子釋放元件設定特性調整驅動的最大施加脈沖數(shù)。最大施加脈沖數(shù)為平均施加脈沖數(shù)的2倍的20個脈沖。其次，在步驟S102中，用開關矩陣903選擇顯示面板901中的全部元件中沿行方向分割成塊的塊中的一個塊，沿列方向選擇一個端子。在本實施例中，將一個塊設定為288個元件(288行為一列。在步驟S103中讀出存在于被選擇的一個塊區(qū)域中的多個元件的預驅動后的驅動電壓Vdrv施加時的各個電子釋放電流值。在步驟S104中讀出特性調整檢查表909c。在步驟S105中，首先抽出在步驟S103中讀出的被選擇的一個塊區(qū)域中存在的多個元件中電子釋放電流值與特性調整中的目標值Ie-t相等或比它小的多個元件，作為不進行特性調整的元件組。其次關于在步驟S103中讀出的被選擇的一個塊區(qū)域中存在的多個元件中電子釋放電流值比特性調整中的目標值Ie-t大的多個元件，參照在步驟S104中讀出的特性調整檢查表，選擇對應于元件的電子釋放電流值的特性移動電壓值Vshift0～Vshift4中施加哪一個特性移動電壓值，且分成組。即，將一個塊區(qū)域內的多個元件分成施加Vshift0的元件組Gr.0、施加Vshift1的元件組Gr.1、施加Vshifi2的元件組Gr.2、施加Vshift3的元件組Gr.3、施加Vshift4的元件組Gr.4。然后在步驟S106中，設定在其前面的步驟S105中選擇的特性移動電壓值Vshift0～Vshift4中的某一個。
在步驟S107中，從開關矩陣控制電路910輸出開關矩陣控制信號Tsw，以便選擇根據(jù)特性移動電壓值Vshift0～Vshift4中的某一者設定的特性移動電壓值對應的元件組Gr.0～Gr.4中的任意一者中存在的各元件所對應的行方向的一個或多個端子、列方向的一個端子，切換開關矩陣903、904，從顯示面板901選擇一個或多個電子釋放元件。在步驟S108中，將加在所選擇的一個或多個元件上的脈沖信號的峰值數(shù)據(jù)Tv輸出給脈沖峰值設定電路908。在步驟S109中，從脈沖發(fā)生電路906、907通過開關矩陣903、904，將特性移動電壓值Vshift0～Vshift4中的某一者的脈沖信號加在在步驟S107中選擇的一個或多個元件上。這里依次施加特性移動電壓值Vshift0～Vshift4，在步驟S110中檢查特性移動電壓值Vshift0～Vshift4是否施加了一遍。這里，在特性移動電壓值Vshift0～Vshift4施加了一遍的情況下，進入步驟S112。另外，在特性移動電壓值Vshift0～Vshift4未施加一遍的情況下，進入步驟S111。在步驟S111中，選擇還未施加的特性移動電壓值Vshift0～Vshift4中的某一個，進入步驟S106。
在步驟S112中，為了對在步驟S102中選擇的塊區(qū)域中存在的全部元件進行下降到驅動電壓Vdrv驅動時的元件特性的評價，輸出開關矩陣控制信號Ts，從利用開關矩陣控制電路910切換開關矩陣903、904選擇的一個塊區(qū)域中選擇一個元件。在步驟S113中設定驅動電壓值Vdrv作為加在被選擇的元件上的脈沖信號的峰值數(shù)據(jù)Tv。然后在步驟S114中，將驅動電壓值Vdrv的脈沖電壓加在被選擇的元件上。在步驟S115中測量這時的電子釋放電流Ie，存儲到存儲器909b中。在步驟S116中，對被選擇的一個塊區(qū)域的全部釋放元件檢查是否進行了電子釋放電流的測量，未進行時進入步驟S117，選擇下一個元件，進入步驟S112。
另一方面，在步驟S116中，在對被選擇的塊區(qū)域的全部元件進行了電子釋放電流的測量的情況下，進入步驟S118。在步驟S118中檢查被選擇的塊區(qū)域的元件的累積脈沖施加數(shù)是否達到了特性調整驅動最大施加脈沖數(shù)設定值，在未達到的情況下進入步驟S119，在達到了的情況下進入步驟S121。在步驟S119中，與步驟S104同樣地讀出特性調整檢查表。在步驟S120中，關于選擇施加特性移動電壓值Vshift0～Vshift4中的哪一個特性移動電壓值且分成的各組Gr.0～Gr.4，抽出該組內存在的各元件在步驟S115中測量并存儲的電子釋放電流值Ie達到了與特性調整中的目標值Ie-t相等或在其以下的一個或多個元件，對未進行調整的元件組進行設定修改。關于電子釋放電流值比特性調整中的目標值Ie-t大的一個或多個元件，設定其仍然留在該組中，進入步驟S106中，以便再次施加特性移動電壓值Vshift0～Vshift4中的某一個。在步驟S121中，檢查是否對在步驟S102中將顯示面板901的元件分成了塊單元的全部塊進行了特性調整。在還有未進行特性調整的塊的情況下，進入步驟S122，在這里按照上述的特性調整塊轉移順序等，選擇下一個未實施的塊，進入步驟S102。在步驟S121中如果對全部塊的特性調整的流程結束，則特性調整結束，全部元件的電子釋放電流均一化。這時，如果在實施例1和實施例2中對特性移動電壓的施加進行比較，則在對一個塊的288個元件中的各元件進行一次移動電壓脈沖的施加的情況下，脈沖施加次數(shù)的總和在實施形態(tài)2中比實施形態(tài)1中的施加288次少5次。即，能縮短移動電壓施加時間。
另外，在實施形態(tài)1、2中測量電子釋放電流，并進行了特性調整，以便使其均一化，但在測定利用從元件釋放的電子進行發(fā)光的熒光體的發(fā)光亮度、有亮度離散的情況下，也可以進行修正以便均一化。即，每當驅動各電子釋放元件時，測定利用從該元件釋放的電子進行發(fā)光的熒光體的發(fā)光亮度，通過將該測定的亮度變換成相當于上述電子釋放電流的值，也能實現(xiàn)均一化。
另外，在實施形態(tài)1、2中，雖然用顯示面板內的301a及901a圖像顯示區(qū)的元件進行特性調整檢查表作成用的特性移動電壓施加，但在顯示面板內作入圖像顯示時不被驅動的偽元件時，也可以在這里取得數(shù)據(jù)。另外，與進行調整的顯示面板不同，也可以從經(jīng)過相同的處理形成的顯示面板內的元件取得數(shù)據(jù)。
如上所述，如果采用本發(fā)明，則能用比較簡單的方法，再現(xiàn)性良好地抑制多電子源的電子釋放元件的電子釋放特性的離散。
另外，由于能抑制由每個元件的特性的不同導致的調整時間的不均勻性，所以調整方法的通用性高，電子源的制造工序的管理容易。
而且，在USP6,231,412中記載的方法中，制作將表面?zhèn)鲗偷碾娮俞尫旁渲迷趲畹幕迳系碾娮釉?，根?jù)需要，與有熒光體的板一體化，安裝真空容器，制作了顯示面板后，實施上述的各實施形態(tài)的特性調整方法，能獲得亮度均勻的顯示狀態(tài)。
權利要求
1.一種電子源的特性調整方法，該電子源有多個電子釋放元件，該電子源的特性調整方法的特征在于包括根據(jù)應調整的電子釋放元件的特性，將調整用的電壓脈沖加在該電子釋放元件上一次以上的工序，根據(jù)上述電子釋放元件的特性，從具有離散值的多個電壓中選擇上述調整用的電壓，同時根據(jù)上述電子釋放元件的特性和上述選擇的電壓，決定上述脈沖的施加次數(shù)。
2.根據(jù)權利要求1所述的電子源的特性調整方法，其特征在于根據(jù)隨著各電壓脈沖的施加次數(shù)而變化的電子釋放元件的特性變化率，對上述多個電壓準備記載著上述調整用的電壓和上述電子釋放元件的關系的特性調整用表，參照上述特性調整用表，根據(jù)應調整的電子釋放元件的特性，選擇上述調整用的電壓，加在該電子釋放元件上。
3.根據(jù)權利要求2所述的電子源的特性調整方法，其特征在于根據(jù)來自進行調整的上述電子源上選擇的電子釋放元件的數(shù)據(jù)，作成上述特性調整用表。
4.根據(jù)權利要求1所述的電子源的特性調整方法，其特征在于每當施加上述調整用的電壓脈沖時，進行上述調整電子釋放元件的特性測定，接近目標值。
5.根據(jù)權利要求1所述的電子源的特性調整方法，其特征在于在有機氣體的分壓為10-6Pa以下的氣氛中施加上述調整用的電壓。
6.根據(jù)權利要求1所述的電子源的特性調整方法，其特征在于將該調整用的電壓同時加在選擇的調整用的電壓相同的多個電子釋放元件上。
7.一種電子源的特性調整裝置，其特征在于具有實施權利要求1所述的特性調整方法用的驅動控制裝置。
8.根據(jù)權利要求7所述的電子源的特性調整裝置，其特征在于具有存儲特性調整用表的存儲裝置；施加調整用的電壓的驅動電路；以及進行調整用的電壓的選擇和施加次數(shù)的確定的控制電路。
9.一種電子源的制造方法，該電子源有多個電子釋放元件，該電子源的制造方法的特征在于包括在基板上制作上述多個電子釋放元件的工序；測定上述多個電子釋放元件的特性的工序；以及實施權利要求1所述的特性調整方法的工序。
10.根據(jù)權利要求9所述的電子源的制造方法，其特征在于將上述電子源和有熒光體的板組裝起來后，實施上述特性調整方法。
11.根據(jù)權利要求9所述的電子源的制造方法，其特征在于根據(jù)隨著各電壓脈沖的施加次數(shù)而變化的電子釋放元件的特性變化率，對上述多個電壓準備記載著上述調整用的電壓和上述電子釋放元件的關系的特性調整用表，參照上述特性調整用表，根據(jù)應調整的電子釋放元件的特性，選擇上述調整用的電壓，加在該電子釋放元件上。
12.根據(jù)權利要求10所述的電子源的制造方法，其特征在于根據(jù)來自進行調整的上述電子源上選擇的電子釋放元件的數(shù)據(jù)，作成上述特性調整用表。
13.根據(jù)權利要求10所述的電子源的制造方法，其特征在于每當施加上述調整用的電壓脈沖時，進行上述調整電子釋放元件的特性測定，接近目標值。
14.根據(jù)權利要求9所述的電子源的制造方法，其特征在于在有機氣體的分壓為10-6Pa以下的氣氛中施加上述調整用的電壓。
15.根據(jù)權利要求9所述的電子源的制造方法，其特征在于將上述調整用的電壓同時加在選擇的調整用的電壓相同的多個電子釋放元件上。
全文摘要
提供一種具有多個電子釋放元件的電子源的特性調整方法及電子源的制造方法。該特性調整方法的特征在于包括根據(jù)應調整的電子釋放元件的特性，將調整用的電壓脈沖加在該電子釋放元件上一次以上的工序，根據(jù)上述電子釋放元件的特性，從具有離散值的多個電壓中選擇上述調整用的電壓，同時根據(jù)上述電子釋放元件的特性和上述選擇的電壓，決定上述脈沖的施加次數(shù)。
文檔編號G09G3/22GK1402293SQ0212760
公開日2003年3月12日 申請日期2002年8月5日 優(yōu)先權日2001年8月6日
發(fā)明者青木修司, 小口高弘 申請人:佳能株式會社