液體噴射頭的制造方法、液體噴射頭及液體噴射裝置的制造方法
【技術(shù)領域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及液體噴射頭的制造方法、液體噴射頭及液體噴射裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，作為向被記錄介質(zhì)吐出液滴狀的墨(以下，簡稱為墨滴。)從而記載圖像、字符的裝置，存在著具備從多個噴嘴孔向被記錄介質(zhì)吐出墨滴的噴墨頭(液體噴射頭)的噴墨打印機(液體噴射裝置)。
[0003]上述的噴墨頭具備頭片。例如，如下述專利文獻I所示的頭片，具備:由玻璃等構(gòu)成的底板、以及在底板上排列的由壓電材料構(gòu)成的多個隔壁，并且在各隔壁間劃分容納墨的通道。在隔壁的側(cè)面形成驅(qū)動電極，并與在底板上形成的引出電極電連接。而且，在引出電極的相對隔壁的外側(cè)處連接柔性基板。
[0004]依據(jù)該結(jié)構(gòu)，在經(jīng)由柔性基板及引出電極向驅(qū)動電極施加電壓時，由于隔壁變形，通道內(nèi)的壓力增高，在通道內(nèi)容納的墨通過噴嘴孔吐出。
[0005]另外，最近，為了提高記錄在被記錄介質(zhì)的字符、圖像的密度，提出增大噴嘴孔的數(shù)量的各種技術(shù)。例如，在下述專利文獻I中，研宄了將第I頭片及第2頭片的底板彼此接合，謀求高密度記錄的結(jié)構(gòu)。
[0006]專利文獻1:日本特開2001 - 341298號公報。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]然而，在上述的專利文獻I的結(jié)構(gòu)中，在各頭片的底板上形成引出電極，所以需要分別將第I頭片的引出電極及第2頭片的引出電極連接至柔性印刷基板。因此，存在著不僅部件件數(shù)增加，而且與結(jié)構(gòu)復雜化相關的擔憂。
[0008]另外，如專利文獻I的結(jié)構(gòu)那樣，在將墨容納于各通道內(nèi)、從各通道依次吐出墨的所謂的3循環(huán)方式的噴墨頭中，在使用水性墨等具有導電性的墨時，各驅(qū)動電極間經(jīng)由墨而短路。因此，在專利文獻I的結(jié)構(gòu)中，不能夠應對多樣的墨，在提高便利性這方面存在改善的余地。
[0009]本發(fā)明考慮這樣的情況而作成，其目的在于，提供不僅能夠謀求部件件數(shù)的縮減及結(jié)構(gòu)的簡化，而且能夠謀求高密度記錄的液體噴射頭的制造方法、液體噴射頭及液體噴射裝置。
[0010]為了解決上述課題，本發(fā)明提供以下方案。
[0011]本發(fā)明所涉及的液體噴射頭的制造方法的特征在于，具有:貫通孔形成工序，在底板形成貫通孔；致動部配設工序，在所述底板的厚度方向上的兩側(cè)，在避開所述貫通孔的位置分別配設噴射液體的第I致動部及第2致動部；以及鍍敷工序，對所述底板、所述第I致動部及所述第2致動部進行鍍敷處理，形成驅(qū)動所述第I致動部的第I電極及驅(qū)動所述第2致動部的第2電極，其中，所述貫通孔形成工序具有:穿孔工序，在所述底板形成所述貫通孔；以及處理工序，對在所述穿孔工序中形成的所述貫通孔的內(nèi)表面進行粗糙面化，其中，在所述鍍敷工序中，將所述第2電極通過所述貫通孔迂回直到所述底板中的所述第I致動部側(cè)的主面。
[0012]依據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于第2電極通過貫通孔而迂回到底板的第I致動部側(cè)，所以僅通過僅在底板的第I致動部側(cè)連接柔性印刷基板等外部布線，就能夠確保各致動部與外部布線的電導通。因此，相對于現(xiàn)有的各致動部，與將不同的外部布線分別與底板的兩主面連接的結(jié)構(gòu)相比，不僅能夠謀求部件件數(shù)的縮減及結(jié)構(gòu)的簡化，而且能夠?qū)崿F(xiàn)高密度記錄。
[0013]特別地，依據(jù)本發(fā)明的結(jié)構(gòu)，在貫通孔形成工序中，通過對貫通孔的內(nèi)表面進行粗糙面化，能夠使貫通孔的內(nèi)表面具有固著效果(anchor effect)。由此，在鍍敷工序中，能夠在第I電極與包含貫通孔的內(nèi)表面的第2電極成批形成鍍敷覆膜。因此，能夠謀求制造工序的效率化、簡化。
[0014]另外，上述本發(fā)明所涉及的液體噴射頭的制造方法中，也可以是在所述貫通孔形成工序中、所述穿孔工序及所述處理工序成批進行。
[0015]依據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠在形成貫通孔的同時對貫通孔的內(nèi)表面進行粗糙面化，所以能夠謀求制造工序的效率化。
[0016]另外，上述本發(fā)明所涉及的液體噴射頭的制造方法中，也可以是，所述穿孔工序使用噴砂法。
[0017]依據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過使用噴砂法，能夠更簡單地進行貫通孔的內(nèi)表面的粗糙面化。由此，能夠謀求制造工序的進一步效率化。
[0018]另外，上述本發(fā)明所涉及的液體噴射頭的制造方法中，也可以是，所述底板的原料是玻璃材料。
[0019]依據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于底板由玻璃材料構(gòu)成，所以能夠?qū)⒈砻娲植诙纫种频幂^小。在該情況下，在例如鍍敷工序中，能夠僅使底板之中的、在處理工序中被粗糙面化的部分選擇性地具有固著效果。S卩，能夠設定為:底板之中、僅在粗糙面化的部分析出鍍敷覆膜，在粗糙面化的部分以外的部分不析出鍍敷覆膜。其結(jié)果是，不需要鍍敷覆膜形成后的構(gòu)圖工序，能夠謀求制造工序的效率化，并且能夠謀求低成本化。
[0020]另外，在上述本發(fā)明所涉及的液體噴射頭中，其特征在于，使用上述本發(fā)明的液體噴射頭的制造方法來制造。
[0021]依據(jù)該結(jié)構(gòu)，通過使用上述本發(fā)明的液體噴射頭的制造方法來制造，所以不僅能夠謀求部件件數(shù)的縮減及結(jié)構(gòu)的簡化，而且能夠提供高密度記錄的液體噴射頭。
[0022]在上述本發(fā)明所涉及的液體噴射裝置中，其特征在于，具備:上述本發(fā)明的液體噴射頭；以及使所述液體噴射頭與被記錄介質(zhì)相對移動的移動機構(gòu)。
[0023]依據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于具備上述本發(fā)明的液體噴射頭，所以能夠應對高密度記錄，并且能夠提供可靠性優(yōu)異的液體噴射裝置。
[0024]依據(jù)本發(fā)明，不僅能夠謀求部件件數(shù)的縮減及結(jié)構(gòu)的簡化，而且能夠謀求高密度記錄。
【附圖說明】
[0025]圖1是實施方式中的噴墨打印機的立體圖。
[0026]圖2是噴墨頭的立體圖。
[0027]圖3是從Z方向的一側(cè)觀察吐出部的分解立體圖。
[0028]圖4是從第I頭片側(cè)觀察吐出部的立體圖。
[0029]圖5是從第2頭片側(cè)觀察吐出部的立體圖。
[0030]圖6是相當于圖3的A — A線的截面圖。
[0031]圖7是相當于圖4的B— B線的截面圖。
[0032]圖8是用于說明噴墨頭的制造方法的流程圖。
[0033]圖9是用于說明噴墨頭的制造方法的說明圖(截面圖)。
[0034]圖10是用于說明噴墨頭的制造方法的說明圖(截面圖)。
[0035]圖11是用于說明噴墨頭的制造方法的說明圖(截面圖)，(a)示出第I頭片側(cè)，(b)示出第2頭片側(cè)。
[0036]圖12是用于說明噴墨頭的制造方法的說明圖(截面圖)，(a)示出第I頭片側(cè)，(b)示出第2頭片側(cè)。
[0037]圖13是用于說明噴墨頭的制造方法的說明圖(截面圖)，(a)示出第I頭片側(cè)，(b)示出第2頭片側(cè)。
[0038]圖14是用于說明噴墨頭的制造方法的說明圖(截面圖)，(a)示出第I頭片側(cè)，(b)示出第2頭片側(cè)。
[0039]圖15是用于說明噴墨頭的制造方法的說明圖(截面圖)。
[0040]圖16是用于說明噴墨頭的制造方法的說明圖(截面圖)。
[0041]圖17是用于說明噴墨頭的制造方法的說明圖(截面圖)。
[0042]圖18是用于說明噴墨頭的制造方法的說明圖(立體圖)，(a)示出第I頭片側(cè)，(b)示出第2頭片側(cè)。
[0043]圖19是用于說明噴墨頭的制造方法的說明圖(立體圖)，(a)示出第I頭片側(cè)，(b)示出第2頭片側(cè)。
[0044]圖20是用于說明噴墨頭的制造方法的說明圖(立體圖)，(a)示出第I頭片側(cè)，(b)示出第2頭片側(cè)。
[0045]圖21是示出吐出部的其他結(jié)構(gòu)的從第I頭片側(cè)觀察的平面圖。
【具體實施方式】
[0046]以下，參照附圖，對本發(fā)明所涉及的實施方式進行說明。在以下的實施方式中，作為具備本發(fā)明的液體噴射頭的液體噴射裝置的一個例子，舉出利用墨(液體)向記錄紙等被記錄介質(zhì)進行記錄的噴墨打印機(以下，簡稱為打印機)為例而進行說明。此外，在以下的說明所使用的附圖中，為了設為能識別各部件的大小，對各部件的比例尺進行了適當變更。
[0047][打印機]
圖1是打印機I的立體圖。
[0048]如圖1所示，打印機I具備:輸送紙等被記錄介質(zhì)S的一對輸送機構(gòu)2、3 (移動機構(gòu))；向被記錄介質(zhì)S噴射墨滴的噴墨頭(液體噴射頭)4 ;向噴墨頭4供給墨的墨供給單元5 ；以及使噴墨頭4在與被記錄介質(zhì)S的輸送方向(主掃掠方向)正交的方向(副掃掠方向)進行掃掠的掃掠單元6。
[0049]此外，在以下的說明中，以副掃掠方向為X方向，以主掃掠方向為Y方向，而且以與X方向及Y方向正交的方向為Z方向進行說明。在此，打印機I按照以X方向、Y方向為水平方向、且以Z方向為上下方向的方式進行承載并使用。
[0050]一對輸送機構(gòu)2、3具備:分別沿X方向延伸的柵格輥2a、3a ;分別與柵格輥2a、3a平行地延伸的壓緊輥2b、3b ;以及使柵格輥2a、3a繞其軸旋轉(zhuǎn)地進行旋轉(zhuǎn)動作的馬達等未圖示的驅(qū)動機構(gòu)。
[0051]墨供給單兀5具備:容納墨的墨鍾10、以及連接墨鍾10和喂'墨頭4的墨管道11。設置多個墨罐10，例如，沿著Y方向排列有容納黃色、品紅、青色、黑色這4種墨的墨罐10Y、10M、10C、10B。墨管道11例如是具有撓性的柔性軟管，能跟隨支撐噴墨頭4的滑架16的動作(移動)。此外，墨罐10并不限于容納黃色、品紅、青色、黑色這4種墨的墨罐10Y、10M、10C、10B，也可以具備容納更多顏色的墨的墨鍾。
[0052]掃掠單元6具備:沿X方向延伸、并且在Y方向隔開間隔而互相平行地配置的一對導軌14、15 ;以能沿著這一對導軌14、15移動的方式配置的滑架16 ;以及使該滑架16在X方向移動的驅(qū)動機構(gòu)17。
[0053]驅(qū)動機構(gòu)17配置于一對導軌14、15之間，具備:在X方向隔開間隔而配置的一對滑輪18 ;在這一對滑輪18之間纏繞并在X方向移動的無接頭帶19 ;以及使一個滑輪18旋轉(zhuǎn)驅(qū)動的驅(qū)動馬達20。
[0054]滑架16與無接頭帶19連結(jié)，能夠隨著因一個滑輪18的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動而導致的無接頭帶19的移動而在X方向移動。另外，在滑架16中，以在X方向并列