專(zhuān)利名稱(chēng)：液體噴射頭、液體噴射裝置以及液體噴射頭的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及從噴嘴噴出液體而在被記錄介質(zhì)形成圖像、文字或者薄膜材料的液體噴射頭和使用該液體噴射頭的液體噴射裝置。
背景技術(shù)：
近年來(lái)，噴墨方式的液體噴射頭得到利用，該液體噴射頭將墨滴噴出至記錄紙等， 描繪文字、圖形，或者將液體材料噴出至元件基板的表面，形成功能性薄膜的圖案。該方式將墨或液體材料從液體罐經(jīng)由供給管供給至液體噴射頭，將該墨填充至形成于液體噴射頭的微小空間，響應(yīng)驅(qū)動(dòng)信號(hào)而瞬間地縮小微小空間的容積，使液滴從與槽連通的噴嘴噴出。
圖12示出這種噴墨頭51的分解立體圖。噴墨頭51由下列部件等構(gòu)成壓電體基板52，在表面形成有許多槽56 ；蓋板M，形成有液體供給室62和狹縫63 ；噴嘴板55，具備用于噴出液體的噴嘴64 ；以及柔性基板53，用于利用驅(qū)動(dòng)電路來(lái)生成驅(qū)動(dòng)信號(hào)并將驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給至壓電體基板52。各槽56被蓋板M堵塞上部開(kāi)口而構(gòu)成通道。各槽56被隔壁57 分隔，在隔壁57的側(cè)面，形成有用于驅(qū)動(dòng)隔壁57的驅(qū)動(dòng)電極59。各驅(qū)動(dòng)電極59與形成于壓電體基板52的后方端RE的表面的引出電極60連接。由壓電體構(gòu)成的隔壁57沿垂直方向極化。將驅(qū)動(dòng)信號(hào)施加至形成于隔壁57的兩個(gè)側(cè)面的驅(qū)動(dòng)電極59，由此，隔壁57產(chǎn)生厚度滑移變形(厚*滑D変形)。預(yù)先將液體填充至由槽56構(gòu)成的通道，在驅(qū)動(dòng)時(shí)使隔壁57 變形，由此，通道的容積變化，從與壓電體基板52的前方端FE的表面接合的噴嘴板55的噴嘴64噴出墨。
圖13是將在壓電體基板52的后方端RE附近的表面粘接的柔性基板53從壓電體基板52分離并移至下方的狀態(tài)的壓電體基板52和柔性基板53的俯視示意圖。在壓電體基板52的表面，形成有由槽構(gòu)成的通道，各通道交替地配置偽通道Dl Dn+Ι和噴出液滴的噴出通道Cl Cn。在劃分各通道的隔壁57的側(cè)面，形成有用于變形驅(qū)動(dòng)隔壁57的驅(qū)動(dòng)電極59。在壓電體基板52的后方端RE附近的表面，形成有與各通道的驅(qū)動(dòng)電極59電連接的引出電極60。例如，驅(qū)動(dòng)電極59cl形成于構(gòu)成噴出通道Cl的兩個(gè)隔壁57的噴出通道側(cè)的兩個(gè)側(cè)面，連接至第一引出電極60cl。驅(qū)動(dòng)電極59dl形成于偽通道Dl的噴出通道Cl 側(cè)的側(cè)面，驅(qū)動(dòng)電極59d2形成于偽通道D2的噴出通道Cl側(cè)的側(cè)面，任一個(gè)均電連接至第二引出電極60dl。其他噴出通道C2 Cru偽通道D2 Dn+Ι和第一及第二引出電極60c、 60d也具備同樣的結(jié)構(gòu)。
在柔性基板53的壓電體基板52側(cè)的表面，形成有用于將驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給至驅(qū)動(dòng)電極59的布線(xiàn)電極61。如箭頭所示，使柔性基板53移動(dòng)至壓電體基板52的后方端RE側(cè)的表面，分別將布線(xiàn)電極61dl電連接至引出電極60dl，布線(xiàn)電極61cl電連接至引出電極60cl， 布線(xiàn)電極61d2電連接至引出電極60d2，并粘接于壓電體基板52的表面。其他布線(xiàn)電極61 也是如此。
圖14是示出另一噴墨頭的立體圖(專(zhuān)利文獻(xiàn)1的圖1)。在壓電陶瓷基板71的下表面，形成有構(gòu)成通道的許多槽。在壓電陶瓷基板71的前端部的表面74，接合有未圖示的噴嘴板，由槽構(gòu)成的墨室72與噴嘴板的噴嘴連通。在劃分下表面的各墨室72的隔壁，形成有驅(qū)動(dòng)電極，各驅(qū)動(dòng)電極由引出電極76經(jīng)由表面74而引出至表面75。在表面74，電極由絕緣部73分離，在表面75，引出電極76由絕緣部77電分離。引出電極76在后方端上表面的電連接端78與電氣布線(xiàn)79連接，連接至未圖示的驅(qū)動(dòng)電路。在該示例中，電連接端 78的間距W2形成為比墨室72的間距Wl更大，使與外部連接電路的連接變?nèi)菀住?br> 專(zhuān)利文獻(xiàn)1 日本特開(kāi)平949977號(hào)公報(bào)
在圖12和圖13所示的現(xiàn)有示例中，形成于柔性基板53的布線(xiàn)電極61與引出電極60的連接點(diǎn)的間距P1，必須為與形成于壓電體基板52的通道的排列間距P2相同的程度?？墒?，近年來(lái)，隨著通道數(shù)量增大，該排列間距P2變窄。因此，必須也使柔性基板53的布線(xiàn)電極61的與引出電極60的連接點(diǎn)的間距Pl窄間距化，存在進(jìn)行對(duì)位并安裝時(shí)的對(duì)位精度嚴(yán)格、制造變困難或制造成品率惡化等課題。
另外，如圖14所示，為了在壓電陶瓷基板71的背面?zhèn)刃纬梢鲭姌O76，必須在壓電陶瓷基板71的前方端的表面74和上方的表面75形成電極圖案。因此，存在著制造工序變復(fù)雜從而批量生產(chǎn)性下降的課題。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述情況而完成的，提供能夠簡(jiǎn)便地構(gòu)成的液體噴射頭、液體噴射裝置以及液體噴射頭的制造方法。
本發(fā)明的液體噴射頭，具備致動(dòng)器基板，具有多個(gè)槽、驅(qū)動(dòng)電極以及引出電極，所述槽在基板表面的前方端至后方端的方向上細(xì)長(zhǎng)，由隔壁互相隔離，沿與所述方向交叉的方向排列，所述驅(qū)動(dòng)電極形成于所述隔壁的側(cè)面，所述弓I出電極電連接至所述驅(qū)動(dòng)電極，形成于所述基板表面的后方端附近；蓋板，接合于所述基板表面，將所述多個(gè)槽的上部開(kāi)口堵塞，構(gòu)成多個(gè)通道；以及柔性基板，粘接于所述基板表面的后方端附近，具有電連接至所述引出電極的布線(xiàn)電極，所述多個(gè)通道交替地排列噴出液體的噴出通道和不噴出液體的偽通道，構(gòu)成所述偽通道的槽延伸至所述致動(dòng)器基板的后方端，所述引出電極具有個(gè)別引出電極和共同引出電極，所述個(gè)別引出電極與在與所述噴出通道的兩側(cè)鄰接的2個(gè)偽通道的所述噴出通道側(cè)的側(cè)面形成的驅(qū)動(dòng)電極電連接，形成于所述2個(gè)偽通道之間的所述基板表面的后方端附近，所述共同引出電極與在所述噴出通道的2個(gè)側(cè)面形成的驅(qū)動(dòng)電極電連接， 形成于所述基板表面的后方端附近的比所述個(gè)別弓I出電極更靠近前方端的一側(cè)，所述布線(xiàn)電極具有共同布線(xiàn)電極和多個(gè)個(gè)別布線(xiàn)電極，所述共同布線(xiàn)電極將與所述噴出通道相對(duì)應(yīng)的所述共同引出電極和與其他噴出通道相對(duì)應(yīng)的其他共同引出電極電連接，所述個(gè)別布線(xiàn)電極個(gè)別地電連接至與各噴出通道相對(duì)應(yīng)的個(gè)別引出電極的各個(gè)，在所述共同布線(xiàn)電極和所述驅(qū)動(dòng)電極交叉的共同布線(xiàn)交叉區(qū)域，在構(gòu)成所述偽通道的槽的側(cè)面形成的驅(qū)動(dòng)電極形成為其上端部與所述基板表面相比在槽的深度方向上更深。
另外，在所述共同布線(xiàn)交叉區(qū)域，將所述基板表面和構(gòu)成所述偽通道的槽的側(cè)面之間的角部沿深度方向切削。
另外，構(gòu)成所述噴出通道的槽從所述致動(dòng)器基板的前方端延伸至后方端的面前側(cè)。
另外，構(gòu)成所述噴出通道的槽從所述致動(dòng)器基板的前方端延伸至后方端，所述個(gè)別引出電極包括在所述噴出通道和與所述噴出通道的一側(cè)鄰接的偽通道之間形成的第一個(gè)別引出電極以及在所述噴出通道和與所述噴出通道的另一側(cè)鄰接的偽通道之間形成的第二個(gè)別引出電極，在與所述噴出通道的一側(cè)鄰接的偽通道的所述噴出通道側(cè)的側(cè)面形成的驅(qū)動(dòng)電極與所述第一個(gè)別引出電極電連接，在與所述噴出通道的另一側(cè)鄰接的偽通道的所述噴出通道側(cè)的側(cè)面形成的驅(qū)動(dòng)電極與所述第二個(gè)別引出電極電連接，所述共同引出電極包括在所述噴出通道和與所述噴出通道的一側(cè)鄰接的偽通道之間形成的第一共同引出電極以及在所述噴出通道和與所述噴出通道的另一側(cè)鄰接的偽通道之間形成的第二共同引出電極，在構(gòu)成所述噴出通道的槽的一側(cè)的側(cè)面形成的驅(qū)動(dòng)電極電連接至所述第一共同引出電極，在構(gòu)成所述噴出通道的槽的另一側(cè)的側(cè)面形成的驅(qū)動(dòng)電極電連接至所述第二共同引出電極，所述共同布線(xiàn)電極將與所述噴出通道相對(duì)應(yīng)的所述第一共同引出電極和所述第二共同引出電極電連接。
另外，所述個(gè)別布線(xiàn)電極將與所述噴出通道相對(duì)應(yīng)的所述第一個(gè)別引出電極和所述第二個(gè)別引出電極電連接。
另外，在所述個(gè)別布線(xiàn)電極和所述驅(qū)動(dòng)電極交叉的個(gè)別布線(xiàn)交叉區(qū)域，在構(gòu)成所述噴出通道的槽的側(cè)面形成的驅(qū)動(dòng)電極形成為其上端部與所述基板表面相比在槽的深度方向上更深。
另外，在所述個(gè)別布線(xiàn)交叉區(qū)域，將所述基板表面和構(gòu)成所述噴出通道的槽的側(cè)面之間的角部沿深度方向切削。
本發(fā)明的液體噴射裝置，具備上述任一項(xiàng)所記載的液體噴射頭；移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使所述液體噴射頭往復(fù)移動(dòng)；液體供給管，將液體供給至所述液體噴射頭；以及液體罐，將所述液體供給至所述液體供給管。
本發(fā)明的液體噴射頭的制造方法，具備槽形成工序，在致動(dòng)器基板的基板表面形成由隔壁互相隔離的多個(gè)槽；電極沉積工序，在所述隔壁的側(cè)面和所述隔壁的上表面沉積電極材料；電極形成工序，在所述隔壁的側(cè)面，形成上端部的一部分與所述上表面的高度相比在所述槽的深度方向上更低的形狀的驅(qū)動(dòng)電極，并且，在所述上表面形成引出電極；以及柔性基板粘接工序，將形成有布線(xiàn)電極的柔性基板粘接于所述隔壁的上表面，將所述引出電極和所述布線(xiàn)電極電連接。
另外，所述電極形成工序包括將在所述側(cè)面的上端部沉積的電極的一部分除去而形成所述驅(qū)動(dòng)電極的驅(qū)動(dòng)電極形成工序，以及對(duì)在所述隔壁的所述上表面沉積的電極進(jìn)行構(gòu)圖而形成引出電極的引出電極形成工序。
另外，所述驅(qū)動(dòng)電極形成工序由對(duì)所述隔壁的所述上表面和所述側(cè)面之間的角部進(jìn)行倒角的工序構(gòu)成。
另外，所述電極形成工序在所述電極沉積工序之前在所述隔壁的所述上表面或所述上表面的附近設(shè)置掩模，并在所述電極沉積工序之后除去所述掩模而形成所述驅(qū)動(dòng)電極和所述引出電極。
本發(fā)明的液體噴射頭，具備致動(dòng)器基板，具有多個(gè)槽、驅(qū)動(dòng)電極以及引出電極，所述槽在基板表面的前方端至后方端的方向上細(xì)長(zhǎng)，由隔壁互相隔離，沿與所述方向交叉的方向排列，所述驅(qū)動(dòng)電極形成于所述隔壁的側(cè)面，所述引出電極電連接至所述驅(qū)動(dòng)電極，形成于所述基板表面的后方端附近；蓋板，接合于所述基板表面，將所述多個(gè)槽的上部開(kāi)口堵塞，構(gòu)成多個(gè)通道；以及柔性基板，粘接于所述基板表面的后方端附近，具有電連接至所述引出電極的布線(xiàn)電極。所述多個(gè)通道交替地排列噴出液體的噴出通道和不噴出液體的偽通道，構(gòu)成所述偽通道的槽延伸至所述致動(dòng)器基板的后方端。所述引出電極具有個(gè)別引出電極和共同引出電極，所述個(gè)別引出電極與在與所述噴出通道的兩側(cè)鄰接的2個(gè)偽通道的所述噴出通道側(cè)的側(cè)面形成的驅(qū)動(dòng)電極電連接，形成于所述2個(gè)偽通道之間的所述基板表面的后方端附近，所述共同引出電極與在所述噴出通道的2個(gè)側(cè)面形成的驅(qū)動(dòng)電極電連接， 形成于所述基板表面的后方端附近的比所述個(gè)別引出電極更靠近前方端的一側(cè)。所述布線(xiàn)電極具有共同布線(xiàn)電極和多個(gè)個(gè)別布線(xiàn)電極，所述共同布線(xiàn)電極將與所述噴出通道相對(duì)應(yīng)的所述共同引出電極和與其他噴出通道相對(duì)應(yīng)的其他共同引出電極電連接，所述個(gè)別布線(xiàn)電極個(gè)別地電連接至與各噴出通道相對(duì)應(yīng)的個(gè)別引出電極的各個(gè)。在所述柔性基板的共同布線(xiàn)電極和所述驅(qū)動(dòng)電極交叉的共同布線(xiàn)交叉區(qū)域，在構(gòu)成所述偽通道的槽的側(cè)面形成的驅(qū)動(dòng)電極形成為其上端部與所述基板表面相比在槽的深度方向上更深。
依據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠?qū)⑷嵝曰迳系牟季€(xiàn)電極數(shù)量相對(duì)于致動(dòng)器基板上的引出電極數(shù)量降低至大概1/2。此外，在柔性基板上的布線(xiàn)電極和在隔壁的側(cè)面上形成的驅(qū)動(dòng)電極俯視時(shí)交叉的交叉部，在兩個(gè)電極之間設(shè)有間隙，因而能夠使兩個(gè)電極的絕緣性提高。結(jié)果， 致動(dòng)器基板的引出電極和柔性基板的布線(xiàn)電極的電連接變?nèi)菀?，能夠使制造成品率提高并使制造成本降低?br>

圖1是本發(fā)明第一實(shí)施方式的液體噴射頭的示意性分解立體圖。
圖2是本發(fā)明第一實(shí)施方式的液體噴射頭所使用的致動(dòng)器基板的說(shuō)明圖。
圖3是示出將柔性基板與本發(fā)明第一實(shí)施方式的液體噴射頭的致動(dòng)器基板粘接的狀態(tài)的圖。
圖4是本發(fā)明第二實(shí)施方式的液體噴射頭所使用的致動(dòng)器基板的示意性局部立體圖。
圖5是本發(fā)明第二實(shí)施方式的液體噴射頭的示意性局部俯視圖。
圖6是本發(fā)明第二實(shí)施方式的液體噴射頭的示意性局部縱剖面圖。
圖7是本發(fā)明第二實(shí)施方式的液體噴射頭的示意性縱剖面圖。
圖8是示出本發(fā)明的液體噴射頭的基本的制造方法的工序圖。
圖9是用于說(shuō)明本發(fā)明第三實(shí)施方式的液體噴射頭的制造方法的圖。
圖10是用于說(shuō)明本發(fā)明第三實(shí)施方式的液體噴射頭的制造方法的圖。
圖11是本發(fā)明第四實(shí)施方式的液體噴射裝置的示意性立體圖。
圖12是現(xiàn)有公知的液體噴射頭的分解立體圖。
圖13是現(xiàn)有公知的壓電體基板和柔性基板的俯視示意圖。
圖14是現(xiàn)有公知的噴墨頭的示意圖。
附圖標(biāo)記說(shuō)明
1液體噴射頭；2致動(dòng)器基板；3蓋板；4柔性基板；5槽；6隔壁；7驅(qū)動(dòng)電極；8引出電極；9布線(xiàn)電極；10倒角部；11噴出通道；12偽通道；13封閉件；14液體供給室；15狹縫；16噴嘴板；17噴嘴；18保護(hù)部件。具體實(shí)施方式

〈液體噴射頭〉
(第一實(shí)施方式)
圖1 圖3是用于說(shuō)明本發(fā)明第一實(shí)施方式的液體噴射頭1的圖，圖1是液體噴射頭1的示意性分解立體圖，圖2是致動(dòng)器基板2的說(shuō)明圖，圖3是示出將柔性基板4粘接于致動(dòng)器基板2的狀態(tài)的圖。
如圖1所示，液體噴射頭1具備致動(dòng)器基板2、蓋板3、柔性基板4以及噴嘴板16。 致動(dòng)器基板2具有多個(gè)槽5，在基板表面SF的前方端FE至后方端RE的y方向上細(xì)長(zhǎng)，由隔壁6互相隔離，沿與上述y方向交叉的χ方向排列；驅(qū)動(dòng)電極7，形成于隔壁6的側(cè)面；以及引出電極8，電連接至驅(qū)動(dòng)電極7，形成于基板表面SF的后方端RE附近。蓋板3接合于基板表面SF，將多個(gè)槽5的上部開(kāi)口堵塞，構(gòu)成通道。柔性基板4粘接于基板表面SF的后方端RE附近，具有電連接至引出電極8的布線(xiàn)電極9 (圖3所示的共同布線(xiàn)電極9a和個(gè)別布線(xiàn)電極％)。噴嘴板16具有噴嘴17，與致動(dòng)器基板2和蓋板3的前方端FE接合。在致動(dòng)器基板2形成的槽5，構(gòu)成噴出液體的噴出通道11的槽5和構(gòu)成不噴出液體的偽通道12 的槽5交替地排列。蓋板3具備液體供給室14，液體供給室14經(jīng)由形成于其底面的狹縫 15而與噴出通道11用的槽5連通。即，供給至液體供給室14的液體經(jīng)由狹縫15流入噴出通道11，從噴嘴17噴出。
圖2 (a)是致動(dòng)器基板2的后方端RE附近的示意性局部立體圖，(b)是部分AA的縱剖面示意圖。構(gòu)成偽通道12的槽5延伸至致動(dòng)器基板2的后方端RE，構(gòu)成噴出通道11 的槽5延伸至致動(dòng)器基板2的后方端RE的面前側(cè)。偽通道12和噴出通道11交替地排列， 構(gòu)成各通道的槽5借助隔壁6而隔離。各隔壁6在其側(cè)面的兩方具備驅(qū)動(dòng)電極7。各驅(qū)動(dòng)電極7形成得比槽5的最深的深度的大致1/2更靠上部。個(gè)別引出電極8b形成于在噴出通道11的兩側(cè)鄰接的2個(gè)偽通道12之間的基板表面SF的后方端RE附近。個(gè)別引出電極 8b與在噴出通道11的兩側(cè)鄰接的2個(gè)偽通道12的、形成于噴出通道11側(cè)的各隔壁6的側(cè)面的驅(qū)動(dòng)電極7電連接。共同引出電極8a形成在比個(gè)別引出電極8b更靠前方端FE側(cè)的基板表面SF，與在構(gòu)成噴出通道11的2個(gè)隔壁6形成的驅(qū)動(dòng)電極7電連接。
共同布線(xiàn)交叉區(qū)域CR表示柔性基板4的共同布線(xiàn)電極9a和偽通道12的驅(qū)動(dòng)電極7交叉的區(qū)域(參照?qǐng)D3 (a))，在該區(qū)域的偽通道12的側(cè)面和基板表面SF的角部形成有倒角部10。在該倒角部10，驅(qū)動(dòng)電極7的上端部在槽5的深度方向上比基板表面SF的高度低距離g。具體而言，在形成槽5并接著形成驅(qū)動(dòng)電極7之后，使用切割刀片來(lái)對(duì)槽5的側(cè)面和上表面之間的角部進(jìn)行倒角。由此，槽5的側(cè)面和基板表面SF之間的角部與驅(qū)動(dòng)電極7 —起被切削，從而驅(qū)動(dòng)電極7的上端部與基板表面SF相比在深度方向上更深。
圖3 (a)是將柔性基板4與致動(dòng)器基板2的基板表面SF的后方端RE粘接的液體噴射頭1的示意性局部立體圖，(b)是部分BB的縱剖面示意圖。柔性基板4具備在致動(dòng)器基板2側(cè)的表面形成的共同布線(xiàn)電極9a和多個(gè)個(gè)別布線(xiàn)電極％。共同布線(xiàn)電極9a在共同布線(xiàn)交叉區(qū)域CR電連接至各共同引出電極8a，各個(gè)別布線(xiàn)電極9b電連接至分別對(duì)應(yīng)的個(gè)別引出電極8b。即，由于多個(gè)共同引出電極8a連接至1根共同布線(xiàn)電極9a，因而柔性基板 4上的布線(xiàn)電極數(shù)量減少至大約1/2。另外，個(gè)別引出電極8b在χ方向上具有1個(gè)噴出通道11的寬度和2個(gè)隔壁的厚度的合計(jì)的長(zhǎng)度，大幅地緩和了個(gè)別布線(xiàn)電極9b相對(duì)于個(gè)別引出電極8b的對(duì)位精度。由于在共同布線(xiàn)電極9a和驅(qū)動(dòng)電極7交叉的共同布線(xiàn)交叉區(qū)域 CR形成有倒角部10，因而共同布線(xiàn)電極9a和驅(qū)動(dòng)電極7電分離。
此外，在本第一實(shí)施方式中，作為致動(dòng)器基板2，使用鋯鈦酸鉛(PZT)陶瓷基板，預(yù)先在基板面沿垂直方向?qū)嵤O化處理。致動(dòng)器基板2的從前方端FE至后方端RE的距離是大致11謹(jǐn)，槽5的寬度是70 μ m 80 μ m，槽5的深度是300 μ m 500 μ m,倒角部10的長(zhǎng)度是大致2. 5讓?zhuān)嚯xg是20 μ m 30 μ m。
該液體噴射頭1如下地進(jìn)行動(dòng)作。首先，將墨等液體供給至液體供給室14，將液體經(jīng)由狹縫15填充至噴出通道11。由未圖示的驅(qū)動(dòng)電路生成驅(qū)動(dòng)信號(hào)，使柔性基板4的共同布線(xiàn)電極9a成為GND，將驅(qū)動(dòng)信號(hào)施加至各個(gè)別布線(xiàn)電極9b。驅(qū)動(dòng)信號(hào)從個(gè)別引出電極 8b傳遞至偽通道12的噴出通道11側(cè)的驅(qū)動(dòng)電極7，另一方面，GND電位從共同布線(xiàn)電極9a 傳遞至共同引出電極8a，傳遞至噴出通道11的2個(gè)側(cè)壁的驅(qū)動(dòng)電極7。結(jié)果，構(gòu)成噴出通道11的2個(gè)隔壁6由于沿其厚度方向施加的電場(chǎng)而進(jìn)行厚度滑移變形，噴出通道11內(nèi)的容積變化，填充至噴出通道11的內(nèi)部的液體從未圖示的噴嘴噴出。
這樣，由于形成于柔性基板4的共同引出電極8a共同地電連接至與各噴出通道11 相對(duì)應(yīng)的各共同引出電極8a，因而使柔性基板4上的布線(xiàn)電極的數(shù)量減少至大概1/2，布線(xiàn)電極的間距成為大致2倍。與此相伴的是，幾乎不需要共同引出電極8a和共同布線(xiàn)電極9a 之間的χ方向的對(duì)位，個(gè)別引出電極8b和個(gè)別布線(xiàn)電極9b之間的χ方向的對(duì)位精度與現(xiàn)有方法相比緩和至大致1/2。而且，由于將在共同布線(xiàn)交叉區(qū)域CR在偽通道12的側(cè)面形成的驅(qū)動(dòng)電極7的上端部形成為與基板表面SF相比在深度方向上更深，因而共同布線(xiàn)電極 9a和驅(qū)動(dòng)電極7之間的絕緣性提高。結(jié)果，將柔性基板4粘接于致動(dòng)器基板2的基板表面的工序變?nèi)菀?，能夠使制造成品率提高并使制造成本降低?br> 此外，說(shuō)明了將噴嘴板16與致動(dòng)器基板2的前方端FE接合并沿_y方向噴出液滴的結(jié)構(gòu)，但本發(fā)明不限定于該結(jié)構(gòu)。例如，也可以在構(gòu)成噴出通道11的槽5的底面形成開(kāi)口部，將噴嘴板16設(shè)置于致動(dòng)器基板2的背面?zhèn)?，使形成于噴嘴?6的噴嘴17與上述開(kāi)口部連通，使液滴沿-ζ方向噴出。另外，除了圓弧形狀以外，倒角部10的X方向的剖面形狀也可以是矩形形狀或傾斜形狀。
另外，形成有倒角部10，驅(qū)動(dòng)電極7的上端部形成為比基板表面SF的高度更低 (在槽的深度方向上更深)，但本發(fā)明不限定于此。也可以通過(guò)例如激光束或光刻以及蝕刻法而僅除去共同布線(xiàn)交叉區(qū)域CR的驅(qū)動(dòng)電極7的上端部，保留隔壁6的上端角部。另外， 在前述的實(shí)施方式中，示出了在形成驅(qū)動(dòng)電極7之后在偽通道12的共同布線(xiàn)交叉區(qū)域CR 僅除去驅(qū)動(dòng)電極7的上端部的結(jié)構(gòu)，但不限于該方式。即，通過(guò)在形成驅(qū)動(dòng)電極7之前，在偽通道12的共同布線(xiàn)交叉區(qū)域CR，對(duì)偽通道12的側(cè)面上端部進(jìn)行掩模，從而也能夠?qū)崿F(xiàn)本實(shí)施方式。即，如果在對(duì)偽通道12的側(cè)面上端部進(jìn)行掩模之后，沉積電極材料，形成驅(qū)動(dòng)電極7并隨后除去掩模，那么，在共同布線(xiàn)交叉區(qū)域CR，共同布線(xiàn)電極9a和偽通道12的驅(qū)動(dòng)電極7不接觸。總之，在將柔性基板4粘接于致動(dòng)器基板2時(shí)，將驅(qū)動(dòng)電極7的上端部形成為與基板表面SF的位置相比在深度方向上更深，使得共同布線(xiàn)電極9a和驅(qū)動(dòng)電極7不會(huì)電短路即可。
(第二實(shí)施方式)
圖4是示出本發(fā)明第二實(shí)施方式的液體噴射頭1的致動(dòng)器基板2的后方端RE側(cè)的示意性局部立體圖。與第一實(shí)施方式不同的部分是以下這點(diǎn)構(gòu)成噴出通道11的槽5延伸至后方端RE，與一個(gè)噴出通道11相對(duì)應(yīng)的共同引出電極8a或個(gè)別引出電極8b被分割在位于該噴出通道11的兩側(cè)的2個(gè)隔壁6的上表面。
液體噴射頭1具備致動(dòng)器基板2 ；未圖示的蓋板，接合于致動(dòng)器基板2上；柔性基板4(參照?qǐng)D幻，粘接于致動(dòng)器基板2的后方端RE附近的基板表面；以及未圖示的噴嘴板， 與致動(dòng)器基板2和蓋板的前方端FE接合。由于蓋板和噴嘴板的結(jié)構(gòu)與第一實(shí)施方式同樣， 因而省略說(shuō)明。
如圖4所示，致動(dòng)器基板2具備多個(gè)槽5，該槽5在基板表面SF的前方端FE至后方端RE的y方向上細(xì)長(zhǎng)，由隔壁6互相隔離，沿與上述y方向交叉的χ方向排列。構(gòu)成噴出通道11的槽5從前方端FE延伸至后方端RE，構(gòu)成偽通道12的槽5也從前方端FE延伸至后方端RE，互相交替地沿χ方向排列。各隔壁6在比該兩個(gè)側(cè)面的隔壁6的高度的大致 1/2更靠上部具有驅(qū)動(dòng)電極7，驅(qū)動(dòng)電極7從致動(dòng)器基板2的前方端FE延伸至后方端RE。
在噴出通道11的一側(cè)(-χ方向)設(shè)置有隔壁6_，但在另一側(cè)(+χ方向)設(shè)置有隔壁6+，在兩方的隔壁6_、6+的側(cè)面的上半部分形成有驅(qū)動(dòng)電極7。在致動(dòng)器基板2的基板表面SF的后方端RE附近，設(shè)定有個(gè)別布線(xiàn)交叉區(qū)域SR，在比個(gè)別布線(xiàn)交叉區(qū)域SR更靠近前方端FE側(cè)的基板表面SF，設(shè)定有共同布線(xiàn)交叉區(qū)域CR。個(gè)別布線(xiàn)交叉區(qū)域SR是在將柔性基板4粘接于致動(dòng)器基板2時(shí)，形成于噴出通道11的側(cè)面的驅(qū)動(dòng)電極7和形成于柔性基板 4的個(gè)別布線(xiàn)電極9b俯視時(shí)交叉的區(qū)域。共同布線(xiàn)交叉區(qū)域CR是在將柔性基板4粘接于致動(dòng)器基板2時(shí)，形成于偽通道12的側(cè)面的驅(qū)動(dòng)電極7和形成于柔性基板4的共同引出電極8a俯視時(shí)交叉的區(qū)域。
如圖4所示，隔壁6_在作為其上表面、即基板表面SF的個(gè)別布線(xiàn)交叉區(qū)域SR內(nèi)的-X側(cè)具備個(gè)別引出電極8b_，在作為共同布線(xiàn)交叉區(qū)域CR內(nèi)的+X側(cè)具備共同引出電極 8a_。個(gè)別引出電極8b_與在隔壁6_的偽通道12-形成的驅(qū)動(dòng)電極7電連接，共同引出電極 8a_與隔壁6_的噴出通道11側(cè)的未圖示的驅(qū)動(dòng)電極電連接。同樣地，隔壁6+在作為其上表面、即基板表面SF的個(gè)別布線(xiàn)交叉區(qū)域SR內(nèi)的+χ側(cè)具備個(gè)別引出電極8b+，在作為共同布線(xiàn)交叉區(qū)域CR內(nèi)的-χ側(cè)具備共同引出電極8a+。個(gè)別引出電極8b+與在隔壁6+的偽通道 12+側(cè)形成的未圖示的驅(qū)動(dòng)電極電連接，共同引出電極8a+隔壁6+的噴出通道11側(cè)的驅(qū)動(dòng)電極7電連接。其他噴出通道、偽通道也具備同樣的構(gòu)造。
而且，在共同布線(xiàn)交叉區(qū)域CR，在構(gòu)成偽通道12_、12+的隔壁6_、6+的側(cè)面(即槽5 的側(cè)面)和基板表面SF之間的角部設(shè)有倒角部10。通過(guò)形成該倒角部10，從而形成于側(cè)面的驅(qū)動(dòng)電極7的上端部與基板表面SF的高度相比在槽5的深度方向上更低。同樣地，在個(gè)別布線(xiàn)交叉區(qū)域SR，構(gòu)成噴出通道11的槽5的兩個(gè)側(cè)面和基板表面SF之間的角部設(shè)有倒角部10。該倒角部10導(dǎo)致形成于側(cè)面的驅(qū)動(dòng)電極7的上端部與基板表面SF的高度相比在槽5的深度方向上更低。其他噴出通道、偽通道也具備同樣的構(gòu)造。
圖5是液體噴射頭1的示意性局部俯視圖，示出致動(dòng)器基板2的后方端RE附近的角部。蓋板3接合于致動(dòng)器基板2上。在蓋板3的后方端RE側(cè)的端部，設(shè)置有封閉件13， 將構(gòu)成噴出通道11的槽5封閉，防止填充至噴出通道11的液體泄漏至后方端RE側(cè)。柔性基板4粘接于從致動(dòng)器基板2的后方端RE至封閉件13的跟前的基板表面SF。另外，關(guān)于封閉件13，在圖5中，從-χ方向至+χ方向形成封閉件13，但也可以是僅在填充有墨的噴出通道11形成封閉件13而將噴出通道11的后方端RE側(cè)封閉的結(jié)構(gòu)。
致動(dòng)器基板2在其基板表面具備噴出通道11、偽通道12_、12+、隔壁6_、6+，在隔壁 6_、6+的上表面(即致動(dòng)器基板2的基板表面SF)具備共同引出電極8a_、8a+、個(gè)別引出電極8b_、8b+，其配置與圖4相同。柔性基板4沿著致動(dòng)器基板2側(cè)的表面的外周具備共同布線(xiàn)電極9a，在比共同布線(xiàn)電極9a更靠近內(nèi)側(cè)具備多個(gè)個(gè)別布線(xiàn)電極％。共同布線(xiàn)交叉區(qū)域CR是柔性基板4的共同布線(xiàn)電極9a和形成于偽通道12_、12+等的兩個(gè)側(cè)面的驅(qū)動(dòng)電極 7交叉的區(qū)域。個(gè)別布線(xiàn)交叉區(qū)域SR是柔性基板4的個(gè)別布線(xiàn)電極9b和形成于噴出通道 11的兩個(gè)側(cè)面的驅(qū)動(dòng)電極7交叉的區(qū)域。形成于共同布線(xiàn)交叉區(qū)域CR和個(gè)別布線(xiàn)交叉區(qū)域SR的倒角部10與在圖4中說(shuō)明的構(gòu)成相同。
柔性基板4經(jīng)由未圖示的各向異性導(dǎo)電膜而粘接于致動(dòng)器基板2的基板表面SF 的后方端RE區(qū)域。由此，共同布線(xiàn)電極9a將設(shè)置于隔壁6_的共同引出電極8a_、設(shè)置于隔壁6+的共同引出電極8a+以及設(shè)置于其他隔壁6的其他共同引出電極8a電連接。另外，個(gè)別布線(xiàn)電極9b跨過(guò)噴出通道11而將設(shè)置于兩側(cè)的隔壁6_的個(gè)別引出電極8b_和設(shè)置于隔壁6+的個(gè)別引出電極8b+電連接。其他噴出通道11也是如此。
圖6 (a)示出圖5(a)所示的部分CC的縱剖面的一部分，圖6 (b)示出圖5所示的部分DD的縱剖面的一部分。使用圖6(a)進(jìn)行說(shuō)明。在噴出通道11的一側(cè)的隔壁6_的上表面形成的第一共同引出電極8a_和在另一側(cè)的隔壁6+的上表面形成的第二共同引出電極 8a+電連接至柔性基板4的共同布線(xiàn)電極9a。其他噴出通道11的第一和第二兩個(gè)共同引出電極8a_、8a+也電連接至相同的共同布線(xiàn)電極9a。另外，在共同布線(xiàn)交叉區(qū)域CR，在噴出通道11的一側(cè)的隔壁6_的偽通道12_的側(cè)面和上表面的角部形成有倒角部10，在驅(qū)動(dòng)電極7的上端部和基板表面SF的位置之間設(shè)置距離g。由此，驅(qū)動(dòng)電極7和共同布線(xiàn)電極9a 電分離。其他偽通道12也具有同樣的構(gòu)造。
使用圖6(b)來(lái)說(shuō)明。在噴出通道11的一側(cè)的隔壁6_的上表面形成的第一個(gè)別引出電極8b_和在噴出通道11的另一側(cè)的隔壁6+的上表面形成的第二個(gè)別引出電極8b+的任一個(gè)均電連接至柔性基板4的個(gè)別布線(xiàn)電極9b。其他噴出通道的第一和第二個(gè)別引出電極8b_、8b+也具有相同的構(gòu)造。另外，在個(gè)別布線(xiàn)交叉區(qū)域SR，在構(gòu)成噴出通道11的兩個(gè)隔壁6_、6+的側(cè)面和上表面的角部形成有倒角部10，在驅(qū)動(dòng)電極7的上端部和基板表面SF 的位置之間設(shè)置距離g，使驅(qū)動(dòng)電極7和個(gè)別布線(xiàn)電極9b電分離。
圖7是圖5所示的部分EE的示意性縱剖面圖。在致動(dòng)器基板2上接合有蓋板3， 由在致動(dòng)器基板2形成的槽5和蓋板3構(gòu)成噴出通道11。在蓋板3的后方端RE側(cè)的端部模制有封閉件13，從而使填充至噴出通道11的液體不會(huì)泄漏至后方側(cè)。在致動(dòng)器基板2的基板表面的后方端RE附近粘接有柔性基板4。共同布線(xiàn)電極9a和多個(gè)個(gè)別布線(xiàn)電極9b設(shè)置于柔性基板4的表面，經(jīng)由未圖示的各向異性導(dǎo)電膜而與在致動(dòng)器基板2的基板表面的后方端RE附近形成的未圖示的共同引出電極和個(gè)別引出電極電連接。
供給至液體供給室14的墨等液體經(jīng)由狹縫15而填充至噴出通道11。如果將驅(qū)動(dòng)信號(hào)從未圖示的驅(qū)動(dòng)電路供給至各個(gè)別布線(xiàn)電極％，則將該驅(qū)動(dòng)信號(hào)經(jīng)由個(gè)別引出電極 8b而施加至形成于偽通道12的噴出通道11側(cè)的側(cè)面的驅(qū)動(dòng)電極7。另一方面，共同布線(xiàn)電極9a連接至GND，連接至共同布線(xiàn)電極9a的共同引出電極也連接至GND。所以，形成于噴出通道11的兩個(gè)側(cè)面的驅(qū)動(dòng)電極7也連接至GND。如果將驅(qū)動(dòng)信號(hào)施加至噴出通道11 的兩個(gè)隔壁，則沿垂直方向極化的隔壁進(jìn)行厚度滑移變形，噴出通道11內(nèi)的容積變化。由此，從與噴出通道11連通的未圖示的噴嘴噴出液體。此外，本發(fā)明的液體噴射頭1具有驅(qū)動(dòng)電極7與液體接觸的構(gòu)造，但形成于噴出通道11的側(cè)面的驅(qū)動(dòng)電極7全部連接至GND。所以，即使在液體是導(dǎo)電性的情況下，驅(qū)動(dòng)信號(hào)也不經(jīng)由液體而漏出。另外，在布線(xiàn)電極9的表面設(shè)置有保護(hù)部件18以防止布線(xiàn)電極9的劣化。
在本實(shí)施方式中，由于構(gòu)成噴出通道11和偽通道12的槽5從前方端FE筆直地形成至后方端RE，因而能夠使致動(dòng)器基板2的從前方端FE至后方端RE的長(zhǎng)度縮小。S卩，由于使用圓盤(pán)狀的切割刀片來(lái)形成槽，因而在如第一實(shí)施方式那樣將槽形成至致動(dòng)器基板2的基板表面的中途的情況下，轉(zhuǎn)印切割刀片的圓弧形狀。因此，需要在基板表面從槽的端部至槽成為既定的深度的距離，但在本實(shí)施方式的情況下，由于不需要該距離，因而能夠與該部分距離相應(yīng)地小型化。
另外，與現(xiàn)有示例相比，柔性基板4上的布線(xiàn)電極數(shù)量減少為大概1/2，布線(xiàn)間距成為大致2倍。因此，致動(dòng)器基板2上的引出電極和柔性基板4上的布線(xiàn)電極的對(duì)位精度得到緩和，連接變?nèi)菀?。另外，由于能夠縮小布線(xiàn)間距，因而也適合于通道排列的高密度化。 另外，由于在共同布線(xiàn)交叉區(qū)域CR、個(gè)別布線(xiàn)交叉區(qū)域SR，驅(qū)動(dòng)電極7的上端部形成為與基板表面SF的高度相比在槽的深度方向上更深，因而驅(qū)動(dòng)電極7與共同布線(xiàn)電極9a、個(gè)別布線(xiàn)電極9b的絕緣性提高。因此，由于不需要布線(xiàn)電極9和驅(qū)動(dòng)電極7之間的絕緣對(duì)策，或者，即使需要也采用簡(jiǎn)便的方法即可，因而柔性基板4相對(duì)于致動(dòng)器基板2的粘接變得極其各易ο
此外，在上述第一和第二實(shí)施方式中，形成有倒角部10，驅(qū)動(dòng)電極7的上端部形成為與基板表面SF的位置相比在槽的深度方向上更深，但本發(fā)明不限定于該結(jié)構(gòu)。也可以通過(guò)例如激光束、光刻以及蝕刻法而僅除去共同布線(xiàn)交叉區(qū)域CR或個(gè)別布線(xiàn)交叉區(qū)域SR的驅(qū)動(dòng)電極7的上端部，保留隔壁6的上端角部。另外，也能夠不使用除去驅(qū)動(dòng)電極7的上端部的除去工序，而是在隔壁6的側(cè)面的上端部設(shè)置掩模并在其上沉積電極材料，隨后，除去掩模，形成具有與基板表面SF的位置相比向槽的底面?zhèn)雀偷?在深度方向上更深的)上端部的驅(qū)動(dòng)電極7。在這種情況下，隔壁6的上端角度也殘留。
<液體噴射頭的制造方法>
圖8是示出本發(fā)明的液體噴射頭1的基本的制造方法的工序圖。
首先，在槽形成工序Sl中，準(zhǔn)備將壓電體粘合于壓電體基板或絕緣體基板上的致動(dòng)器基板，在該致動(dòng)器基板的基板表面形成由隔壁互相隔離的多個(gè)槽。能夠通過(guò)光刻以及蝕刻法、噴砂法，或者通過(guò)使用切割刀片的切削法來(lái)形成多個(gè)槽。接著，在電極沉積工序S2 中，在隔壁的側(cè)面和隔壁的上表面沉積電極材料。能夠通過(guò)濺射法、真空蒸鍍法或者電鍍法來(lái)沉積金屬等導(dǎo)體。接著，在電極形成工序S3中，在隔壁的側(cè)面，形成上端部的一部分與上表面的高度相比在槽的深度方向上更低的形狀的驅(qū)動(dòng)電極，而且，在隔壁的上表面形成引出電極。引出電極作為用于與形成于隔壁的側(cè)面的驅(qū)動(dòng)電極電連接并與形成于柔性基板等的布線(xiàn)電極電連接的端子電極而起作用。接著，在柔性基板粘接工序S4中，將形成有布線(xiàn)電極的柔性基板粘接于致動(dòng)器基板的隔壁的上表面，將布線(xiàn)電極和引出電極電連接。在將驅(qū)動(dòng)電極的上端部的一部分形成為與隔壁的上表面的高度相比在槽的深度方向上更低的區(qū)域，是在后面將柔性基板粘接于致動(dòng)器基板的后端部附近的隔壁的上表面時(shí)，形成于柔性基板的布線(xiàn)電極和形成于隔壁的側(cè)面的驅(qū)動(dòng)電極俯視時(shí)交叉的區(qū)域。
電極形成工序S3能夠包括將在隔壁的側(cè)面沉積的電極的一部分除去而形成驅(qū)動(dòng)電極的驅(qū)動(dòng)電極形成工序S5，以及對(duì)在隔壁的上表面沉積的電極進(jìn)行構(gòu)圖而形成引出電極的引出電極形成工序S6。在這種情況下，能夠個(gè)別地實(shí)施驅(qū)動(dòng)電極形成工序S5和引出電極形成工序S6。作為驅(qū)動(dòng)電極形成工序S5，例如，在電極沉積工序S2之后，使用切割刀片來(lái)對(duì)隔壁的側(cè)面和上表面的角部進(jìn)行倒角，將沉積于隔壁的側(cè)面的電極的上端部沿槽的深度方向除去。另外，照射激光，使側(cè)面上端部的電極蒸發(fā)而除去。另外，通過(guò)光刻和蝕刻法將隔壁的側(cè)面上端部的電極除去。另外，能夠同時(shí)地實(shí)施驅(qū)動(dòng)電極形成工序S5和引出電極形成工序S6。例如，在電極沉積工序S2之前，在隔壁的側(cè)面上端部或隔壁的上表面設(shè)置掩模，隨后，在電極沉積工序S2中，沉積電極材料。接著，在電極形成工序S3中，將掩模除去， 能夠同時(shí)地將上端部的一部分與隔壁的上表面的高度相比在槽的深度方向上更低的驅(qū)動(dòng)電極形成于隔壁的側(cè)面并將引出電極形成于隔壁的上表面。
依照本發(fā)明的制造方法，在形成于致動(dòng)器基板的隔壁的驅(qū)動(dòng)電極和柔性基板的布線(xiàn)電極交叉的交叉區(qū)域，驅(qū)動(dòng)電極的上端部比隔壁的上表面的高度更低而電分離，因而絕緣性提高。因此，不需要布線(xiàn)電極9和驅(qū)動(dòng)電極7之間的絕緣對(duì)策，或者，即使需要也采用簡(jiǎn)便的方法即可。以下，對(duì)液體噴射頭的制造方法具體地進(jìn)行說(shuō)明。
(第三實(shí)施方式)
圖9和圖10是用于說(shuō)明本發(fā)明第三實(shí)施方式的液體噴射頭1的制造方法的液體噴射頭1的剖面示意圖。對(duì)相同的部分或具有相同的功能的部分標(biāo)記相同的符號(hào)。
圖9 (a)和(b)示出基板準(zhǔn)備工序。準(zhǔn)備由壓電體基板構(gòu)成的致動(dòng)器基板2。作為壓電體基板，使用沿基板面的垂直方向施行過(guò)極化處理的PZT陶瓷材料。圖9(b)示出將感光性樹(shù)脂21涂敷于致動(dòng)器基板2的基板表面而進(jìn)行構(gòu)圖的狀態(tài)。感光性樹(shù)脂21的圖案例如以形成有引出電極的區(qū)域除去感光性樹(shù)脂21且最終未形成電極的區(qū)域保留感光性樹(shù)脂 21的方式進(jìn)行構(gòu)圖。
圖9 (c)和(d)示出槽形成工序Si。使用切割刀片22來(lái)切削致動(dòng)器基板2的基板表面來(lái)并列地形成槽5。鄰接的槽5由隔壁6隔離。在第一實(shí)施方式的液體噴射頭1的情況下，偽通道12用的槽5從致動(dòng)器基板2的前方端FE筆直地形成至后方端RE，噴出通道 11用的槽5從致動(dòng)器基板2的前方端形成至后方端RE的面前側(cè)。在第二實(shí)施方式的液體噴射頭1的情況下，偽通道12用和噴出通道11用的任一個(gè)的槽5均從前方端FE筆直地形成至后方端RE。在這種情況下，由于不轉(zhuǎn)印切割刀片22的外形形狀，因而能夠?qū)⒅聞?dòng)器基板2的寬度較窄地形成。
圖9(e)和(f)示出電極沉積工序S2。在形成有多個(gè)槽5的基板表面，通過(guò)傾斜蒸鍍法從相對(duì)于垂直方向η傾斜角度θ的方向蒸鍍導(dǎo)電材料。由此，能夠在構(gòu)成槽5的隔壁 6的側(cè)面將導(dǎo)體膜23從槽5的深度的大致1/2形成至隔壁6的上表面。作為導(dǎo)電材料，能夠使用鋁、金、鉻、鈦等金屬材料。此外，在本實(shí)施方式中，致動(dòng)器基板2的基板表面的一部分構(gòu)成隔壁6的上表面。
圖10(g)示出引出電極形成工序S6。除去在槽形成工序之前形成的感光性樹(shù)脂 21。由此，除去形成有感光性樹(shù)脂21的區(qū)域的導(dǎo)體膜23，殘留在槽形成工序Sl中除去了感光性樹(shù)脂21的區(qū)域的導(dǎo)體膜23。由此，能夠在致動(dòng)器基板2的基板表面形成引出電極。
圖10(h)示出驅(qū)動(dòng)電極形成工序S5。在驅(qū)動(dòng)電極7和形成于柔性基板的共同布線(xiàn)電極交叉的共同布線(xiàn)交叉區(qū)域，切削構(gòu)成偽通道12的2個(gè)隔壁6的側(cè)面和上表面之間的角部，形成倒角部10。角部的倒角使用比槽5的寬度稍厚的切割刀片22’。由此，能夠?qū)Ⅱ?qū)動(dòng)電極7的上端部形成為與隔壁6的上表面的高度相比在深度方向上更低。如果將驅(qū)動(dòng)電極 7的上端部自隔壁6的上表面的位置起向槽5的底面方向切削20 μ m 30 μ m，那么，即使將柔性基板的共同布線(xiàn)電極粘接于隔壁6的上表面，驅(qū)動(dòng)電極7和共同布線(xiàn)電極也不會(huì)電短路。
此外，如果自隔壁6的上表面起的切削量變大，那么，倒角部10的長(zhǎng)度變長(zhǎng)，倒角至個(gè)別引出電極8b的形成區(qū)域，將個(gè)別引出電極8b和驅(qū)動(dòng)電極7電氣地切斷。在使用例如直徑2英寸(50.8πιπιΦ)的切割刀片22’來(lái)形成深度30 μ m的倒角部10的情況下，利用切割刀片22’的外周的圓弧部分來(lái)遍及單側(cè)1. 23mm、整體2. 46mm的長(zhǎng)度而進(jìn)行倒角。在假設(shè)形成深度IOOym的倒角部10的情況下，利用切割刀片22’的外周的圓弧部分來(lái)遍及單側(cè)2. 25mm、整體4. 50mm的長(zhǎng)度而進(jìn)行倒角。即，為了將個(gè)別引出電極8b和驅(qū)動(dòng)電極7電氣地切斷，必須延長(zhǎng)槽5的長(zhǎng)度，所以，液體噴射頭1變長(zhǎng)。因此，能夠緊湊地構(gòu)成液體噴射頭 1，而且，柔性基板4的共同布線(xiàn)電極9a和驅(qū)動(dòng)電極7不短路的切削量(共同布線(xiàn)交叉區(qū)域 CR的從隔壁6的上表面的位置向底面方向的深度)可以是15 μ m 50 μ m，優(yōu)選為20 μ m 40 μ m,更優(yōu)選為30 μ m左右。此外，在形成倒角部10時(shí)，使用厚度比槽5的寬度更厚的切割刀片，但也可以使用例如形成槽5的切割刀片來(lái)依次對(duì)槽5的一方的側(cè)面和另一方的側(cè)面進(jìn)行倒角。
圖10 (i)示出將蓋板3與致動(dòng)器基板2的基板表面接合的蓋板接合工序。蓋板3 將構(gòu)成致動(dòng)器基板2的噴出通道11的槽5閉塞，使在致動(dòng)器基板2的后方端RE附近的基板表面形成的共同引出電極和個(gè)別引出電極露出并利用粘接劑來(lái)接合。使形成于蓋板3的液體供給室14的下部的各狹縫15與噴出通道11連通，能夠從液體供給室14填充液體，偽通道12被蓋板3的底面閉塞而不從液體供給室14供給液體。
圖10(j)示出柔性基板粘接工序S4。將形成有共同布線(xiàn)電極9a和個(gè)別布線(xiàn)電極 9b的柔性基板4經(jīng)由各向異性導(dǎo)電膜M而粘接于致動(dòng)器基板2的后方端RE附近的基板表面。由此，致動(dòng)器基板2上的共同引出電極8a和個(gè)別引出電極8b經(jīng)由各向異性導(dǎo)電膜M 而分別電連接至柔性基板4上的共同布線(xiàn)電極9a和個(gè)別布線(xiàn)電極9b。共同引出電極8a與在噴出通道11的兩個(gè)側(cè)面形成的驅(qū)動(dòng)電極7電連接，個(gè)別引出電極8b與在與噴出通道11 鄰接的未圖示的兩個(gè)偽通道的噴出通道11側(cè)的側(cè)面形成的驅(qū)動(dòng)電極電連接。在致動(dòng)器基板2上接合有蓋板3，液體供給室14經(jīng)由狹縫15而與噴出通道11連通。形成于柔性基板 4的布線(xiàn)電極9a、9b由保護(hù)部件18保護(hù)表面。
這樣，由于與各噴出通道11相對(duì)應(yīng)的共同引出電極8a由共同布線(xiàn)電極9a連接， 因而能夠使柔性基板4上的布線(xiàn)電極與現(xiàn)有示例相比減少至大致1/2。而且，由于在共同布線(xiàn)交叉區(qū)域CR，切削形成于槽5的側(cè)面的驅(qū)動(dòng)電極7的上端部，因而驅(qū)動(dòng)電極7和共同布線(xiàn)電極9a的絕緣性提高。因此，由于不需要布線(xiàn)電極9和驅(qū)動(dòng)電極7之間的絕緣對(duì)策，或者， 即使需要也采用簡(jiǎn)便的方法即可，因而柔性基板4相對(duì)于致動(dòng)器基板2的粘接變得極其容易，能夠削減制造成本。
此外，在本實(shí)施方式中，說(shuō)明了在第一實(shí)施方式所說(shuō)明的液體噴射頭1的制造方法，但第二實(shí)施方式所說(shuō)明的液體噴射頭1也能夠同樣地制造。在這種情況下，在槽形成工序Sl中，與偽通道12用的槽5同樣地將噴出通道11用的槽5從致動(dòng)器基板2的前方端FE 形成至后方端RE。另外，在驅(qū)動(dòng)電極形成工序S5中，除了在共同布線(xiàn)交叉區(qū)域CR的偽通道 12形成倒角部10之外，還在個(gè)別布線(xiàn)交叉區(qū)域SR的噴出通道11形成倒角部10。另外，在蓋板接合工序中，在蓋板3的后方端RE側(cè)的端部設(shè)置封閉件13，防止液體從噴出通道11泄漏。
另外，在本實(shí)施方式中，通過(guò)剝離(lift off)法而進(jìn)行電極的構(gòu)圖，但本發(fā)明不限定于此，也可以在通過(guò)傾斜蒸鍍法而形成電極之后，通過(guò)光刻和蝕刻工序來(lái)對(duì)電極進(jìn)行構(gòu)圖。另外，在驅(qū)動(dòng)電極形成工序S5中，也可以通過(guò)激光束、光刻以及蝕刻法而僅除去驅(qū)動(dòng)電極7的上端部，以代替通過(guò)切削隔壁6的側(cè)面和上表面的角部來(lái)進(jìn)行倒角。另外，在本實(shí)施方式中，個(gè)別地實(shí)施驅(qū)動(dòng)電極形成工序S5和引出電極形成工序S6，但本發(fā)明不限定于此， 能夠同時(shí)地實(shí)施驅(qū)動(dòng)電極形成工序S5和引出電極形成工序S6。例如，在基板準(zhǔn)備工序中， 不涂敷感光性樹(shù)脂21，而是在電極沉積工序S2之前，在隔壁6的側(cè)面上端部或隔壁的上表面設(shè)置掩模，隨后，在電極沉積工序S2中沉積電極材料。接著，在電極形成工序S3中除去掩模，能夠同時(shí)地將上端部的一部分與隔壁的上表面的高度相比在槽5的深度方向上更低的驅(qū)動(dòng)電極7形成于隔壁6的側(cè)面并將引出電極形成于隔壁6的上表面。所以，不需要對(duì)隔壁6的側(cè)面和上表面的角部進(jìn)行倒角的工序、追加地除去側(cè)面的上端部電極的工序。
另外，作為同時(shí)地實(shí)施驅(qū)動(dòng)電極形成工序S5和引出電極形成工序S6的其他方法， 例如，在通過(guò)槽形成工序Sl而形成槽5之后，使感光性樹(shù)脂21軟化而流動(dòng)至隔壁6的側(cè)面上端部。接著，在電極沉積工序S2中，沉積電極材料，接著，在電極形成工序S3中，除去感光性樹(shù)脂21。S卩，隔壁6的上表面的感光性樹(shù)脂21流動(dòng)并覆蓋隔壁6的上端部，因而如果除去感光性樹(shù)脂21，則形成上端部的一部分與隔壁6的上表面的高度相比在槽5的深度方向上更低的驅(qū)動(dòng)電極7。所以，能夠同時(shí)地形成隔壁6的側(cè)面的驅(qū)動(dòng)電極7和隔壁6的上表面的引出電極，不需要對(duì)隔壁6的側(cè)面和上表面的角部進(jìn)行倒角的工序、追加地除去側(cè)面的上端部電極的工序。此外，在如上所述地在感光性樹(shù)脂21的構(gòu)圖之后沉積電極材料并接著除去感光性樹(shù)脂21而形成電極圖案的剝離法中，感光性樹(shù)脂21作為掩模而起作用。
<液體噴射裝置>
(第四實(shí)施方式)
圖11是本發(fā)明第四實(shí)施方式的液體噴射裝置30的示意性立體圖。
液體噴射裝置30具備移動(dòng)機(jī)構(gòu)43，使上述本發(fā)明的液體噴射頭1、1’往復(fù)移動(dòng)； 液體供給管33、33’，將液體供給至液體噴射頭1、1’ ；以及液體罐31、31’，將液體供給至液體供給管33、33’。各液體噴射頭1、1’由本發(fā)明的液體噴射頭1構(gòu)成。即，具備多個(gè)槽， 并列于基板表面；致動(dòng)器基板，具有將鄰接的槽隔離的隔壁；蓋板，覆蓋槽，與致動(dòng)器基板的基板表面接合；以及噴嘴板，具有與槽連通的噴嘴，與致動(dòng)器基板的端面接合。該致動(dòng)器基板交替地排列有液滴噴出用的噴出通道和不噴出液滴的偽通道。而且，在致動(dòng)器基板的基板表面的后方端附近，設(shè)置有與形成于噴出通道的側(cè)面的驅(qū)動(dòng)電極連接的共同引出電極和與形成于偽通道的該噴出通道側(cè)的側(cè)面的驅(qū)動(dòng)電極連接的個(gè)別引出電極。共同引出電極比個(gè)別引出電極更位于前方端側(cè)。在柔性基板，設(shè)置有電連接至共同引出電極的共同布線(xiàn)電極和電連接至個(gè)別弓丨出電極的個(gè)別布線(xiàn)電極。
具體地說(shuō)明。液體噴射裝置30具備一對(duì)輸送裝置41、42，將紙等被記錄介質(zhì)34 沿主掃掠方向輸送；液體噴射頭1、1’，將液體噴出至被記錄介質(zhì)34 ；泵32、32’，將存積于液體罐31、31’的液體按壓并供給至液體供給管33、33’；以及移動(dòng)機(jī)構(gòu)43，將液體噴射頭1沿與主掃掠方向正交的副掃掠方向掃掠。
一對(duì)輸送裝置41、42具備沿副掃掠方向延伸且一邊接觸輥面一邊旋轉(zhuǎn)的格柵輥 (grid roller)和夾送輥(pinch roller)。由未圖示的電動(dòng)機(jī)使格柵輥和夾送輥圍繞軸轉(zhuǎn)動(dòng)，將夾入輥間的被記錄介質(zhì)34沿主掃掠方向輸送。移動(dòng)機(jī)構(gòu)43具備一對(duì)導(dǎo)軌36、37， 沿副掃掠方向延伸；滑架單元38，能夠沿著一對(duì)導(dǎo)軌36、37滑動(dòng)；無(wú)接頭帶39，連結(jié)滑架單元38并使滑架單元38沿副掃掠方向移動(dòng)；以及電動(dòng)機(jī)40，經(jīng)由未圖示的滑輪而使該無(wú)接頭帶39環(huán)繞。
滑架單元38載置有多個(gè)液體噴射頭1、1’，噴出例如黃色、品紅、青色、黑色的4種液滴。液體罐31、31’存積對(duì)應(yīng)的顏色的液體，經(jīng)由泵32、32’、液體供給管33、33’而供給至液體噴射頭1、1’。各液體噴射頭1、1’響應(yīng)驅(qū)動(dòng)信號(hào)而噴出各種顏色的液滴。通過(guò)在使液體從液體噴射頭1、1’噴出的定時(shí)，控制驅(qū)動(dòng)滑架單元38的電動(dòng)機(jī)40的旋轉(zhuǎn)和被記錄介質(zhì) 34的輸送速度，從而能夠在被記錄介質(zhì)34上記錄任意的圖案。
依據(jù)該結(jié)構(gòu)，柔性基板上的布線(xiàn)電極數(shù)量相對(duì)于致動(dòng)器基板上的端子電極數(shù)量降低，布線(xiàn)密度成為大概1/2。而且，由于在形成于槽5的驅(qū)動(dòng)電極7和形成于柔性基板4的布線(xiàn)電極交叉的區(qū)域，驅(qū)動(dòng)電極7上端部形成為比隔壁6的上表面更深，因而柔性基板4的布線(xiàn)電極和形成于槽5的驅(qū)動(dòng)電極7不會(huì)電接觸。結(jié)果，柔性基板4相對(duì)于致動(dòng)器基板2 的粘接變?nèi)菀?，能夠使制造成品率提高?br> 權(quán)利要求
1.一種液體噴射頭，具備致動(dòng)器基板，具有多個(gè)槽、驅(qū)動(dòng)電極以及引出電極，所述多個(gè)槽在基板表面的前方端至后方端的方向上細(xì)長(zhǎng)，由隔壁互相隔離，沿與所述方向交叉的方向排列，所述驅(qū)動(dòng)電極形成于所述隔壁的側(cè)面，所述引出電極與所述驅(qū)動(dòng)電極電連接，形成于所述基板表面的后方端附近；蓋板，與所述基板表面接合，將所述多個(gè)槽的上部開(kāi)口堵塞，構(gòu)成多個(gè)通道；以及柔性基板，粘接于所述基板表面的后方端附近，具有與所述引出電極電連接的布線(xiàn)電極，所述多個(gè)通道，噴出液體的噴出通道和不噴出液體的偽通道交替地排列， 構(gòu)成所述偽通道的槽延伸至所述致動(dòng)器基板的后方端，所述引出電極具有個(gè)別引出電極和共同引出電極，所述個(gè)別引出電極與在與所述噴出通道的兩側(cè)鄰接的2個(gè)偽通道的所述噴出通道側(cè)的側(cè)面形成的驅(qū)動(dòng)電極電連接，形成于所述2個(gè)偽通道之間的所述基板表面的后方端附近，所述共同引出電極與在所述噴出通道的 2個(gè)側(cè)面形成的驅(qū)動(dòng)電極電連接，形成于所述基板表面的后方端附近的比所述個(gè)別引出電極更靠近前方端的一側(cè)，所述布線(xiàn)電極具有共同布線(xiàn)電極和多個(gè)個(gè)別布線(xiàn)電極，所述共同布線(xiàn)電極將與所述噴出通道相對(duì)應(yīng)的所述共同引出電極和與其他噴出通道相對(duì)應(yīng)的其他共同引出電極電連接， 所述個(gè)別布線(xiàn)電極個(gè)別地電連接至與各噴出通道相對(duì)應(yīng)的個(gè)別引出電極的各個(gè)，在所述共同布線(xiàn)電極和所述驅(qū)動(dòng)電極交叉的共同布線(xiàn)交叉區(qū)域，在構(gòu)成所述偽通道的槽的側(cè)面形成的驅(qū)動(dòng)電極，形成為其上端部與所述基板表面相比在槽的深度方向上更深。
2.如權(quán)利要求1所述的液體噴射頭，其中，在所述共同布線(xiàn)交叉區(qū)域，將所述基板表面和構(gòu)成所述偽通道的槽的側(cè)面之間的角部沿深度方向切削。
3.如權(quán)利要求1或2所述的液體噴射頭，其中，構(gòu)成所述噴出通道的槽從所述致動(dòng)器基板的前方端延伸至后方端的面前側(cè)。
4.如權(quán)利要求1或2所述的液體噴射頭，其中，構(gòu)成所述噴出通道的槽從所述致動(dòng)器基板的前方端延伸至后方端， 所述個(gè)別引出電極包括，在所述噴出通道和與所述噴出通道的一側(cè)鄰接的偽通道之間形成的第一個(gè)別引出電極，以及在所述噴出通道和與所述噴出通道的另一側(cè)鄰接的偽通道之間形成的第二個(gè)別引出電極，在與所述噴出通道的一側(cè)鄰接的偽通道的所述噴出通道側(cè)的側(cè)面形成的驅(qū)動(dòng)電極與所述第一個(gè)別引出電極電連接，在與所述噴出通道的另一側(cè)鄰接的偽通道的所述噴出通道側(cè)的側(cè)面形成的驅(qū)動(dòng)電極與所述第二個(gè)別引出電極電連接，所述共同引出電極包括，在所述噴出通道和與所述噴出通道的一側(cè)鄰接的偽通道之間形成的第一共同引出電極，以及在所述噴出通道和與所述噴出通道的另一側(cè)鄰接的偽通道之間形成的第二共同引出電極，在構(gòu)成所述噴出通道的槽的一側(cè)的側(cè)面形成的驅(qū)動(dòng)電極與所述第一共同引出電極電連接，在構(gòu)成所述噴出通道的槽的另一側(cè)的側(cè)面形成的驅(qū)動(dòng)電極與所述第二共同引出電極電連接，所述共同布線(xiàn)電極將與所述噴出通道相對(duì)應(yīng)的所述第一共同引出電極和所述第二共同引出電極電連接。
5.如權(quán)利要求4所述的液體噴射頭，其中，所述個(gè)別布線(xiàn)電極將與所述噴出通道相對(duì)應(yīng)的所述第一個(gè)別引出電極和所述第二個(gè)別引出電極電連接。
6.如權(quán)利要求5所述的液體噴射頭，其中，在所述個(gè)別布線(xiàn)電極和所述驅(qū)動(dòng)電極交叉的個(gè)別布線(xiàn)交叉區(qū)域，在構(gòu)成所述噴出通道的槽的側(cè)面形成的驅(qū)動(dòng)電極，形成為其上端部與所述基板表面相比在槽的深度方向上更深。
7.如權(quán)利要求6所述的液體噴射頭，其中，在所述個(gè)別布線(xiàn)交叉區(qū)域，將所述基板表面和構(gòu)成所述噴出通道的槽的側(cè)面之間的角部沿深度方向切削。
8.一種液體噴射裝置，具備權(quán)利要求1或2所述的液體噴射頭；移動(dòng)機(jī)構(gòu)，使所述液體噴射頭往復(fù)移動(dòng)；液體供給管，將液體供給至所述液體噴射頭；以及液體罐，將所述液體供給至所述液體供給管。
9.一種液體噴射頭的制造方法，具備槽形成工序，在致動(dòng)器基板的基板表面形成由隔壁互相隔離的多個(gè)槽；電極沉積工序，在所述隔壁的側(cè)面和所述隔壁的上表面沉積電極材料；電極形成工序，在所述隔壁的側(cè)面，形成上端部的一部分與所述上表面的高度相比在所述槽的深度方向上更低的形狀的驅(qū)動(dòng)電極，并且，在所述上表面形成引出電極；以及柔性基板粘接工序，將形成有布線(xiàn)電極的柔性基板粘接于所述隔壁的上表面，將所述弓丨出電極和所述布線(xiàn)電極電連接。
10.如權(quán)利要求9所述的液體噴射頭的制造方法，其中，所述電極形成工序包括驅(qū)動(dòng)電極形成工序，將在所述側(cè)面的上端部沉積的電極的一部分除去，形成所述驅(qū)動(dòng)電極；以及引出電極形成工序，對(duì)在所述隔壁的所述上表面沉積的電極進(jìn)行構(gòu)圖，形成引出電極。
11.如權(quán)利要求10所述的液體噴射頭的制造方法，其中，所述驅(qū)動(dòng)電極形成工序由對(duì)所述隔壁的所述上表面和所述側(cè)面之間的角部進(jìn)行倒角的工序構(gòu)成。
12.如權(quán)利要求9 11中的任一項(xiàng)所述的液體噴射頭的制造方法，其中，所述電極形成工序，在所述電極沉積工序之前在所述隔壁的所述上表面或所述上表面的附近設(shè)置掩模，并在所述電極沉積工序之后除去所述掩模，形成所述驅(qū)動(dòng)電極和所述引出電極。
全文摘要
本發(fā)明的液體噴射頭(1)具備具有多個(gè)槽(5)的致動(dòng)器基板(2)、將多個(gè)槽(5)的上部開(kāi)口堵塞而構(gòu)成通道的蓋板(3)以及將驅(qū)動(dòng)信號(hào)供給至致動(dòng)器基板(2)的柔性基板(4)。與噴出通道(11)的驅(qū)動(dòng)電極(7)連接的共同引出電極(8a)和與偽通道(12)的驅(qū)動(dòng)電極(7)連接的個(gè)別引出電極(8b)分別在致動(dòng)器基板(2)的基板表面(SF)的后方端(RE)附近形成，分別與柔性基板(4)的共同布線(xiàn)電極(9a)和個(gè)別布線(xiàn)電極(9b)連接。而且，在柔性基板(4)的共同布線(xiàn)電極(9a)與致動(dòng)器基板(2)的驅(qū)動(dòng)電極(7)交叉的共同布線(xiàn)交叉區(qū)域(CR)，偽通道的側(cè)面的驅(qū)動(dòng)電極(7)形成為其上端部比基板表面更深。從而，使致動(dòng)器基板(2)的引出電極(8)和柔性基板(4)的布線(xiàn)電極(9)之間的電連接變?nèi)菀住?br> 文檔編號(hào)B41J2/045GK102529372SQ20111037190
公開(kāi)日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2011年11月10日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月10日
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