專利名稱：液體噴射頭、液體噴射頭單元以及液體噴射裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及從噴嘴開口噴射液體的液體噴射頭、液體噴射頭單元以及液體噴射裝置，特別涉及噴出作為液體的墨水的噴墨式記錄頭、噴墨式記錄頭單元以及噴墨式記錄裝置。
背景技術：
例如，如被日本專利文獻特開2008-55716號公報公開的那樣，在噴墨式記錄頭中，為了噴出以UV墨水為代表的高粘度墨水，對墨水供應路的墨水進行加熱來使其粘度降低(例如參考專利文獻1)。專利文獻1的噴墨式記錄頭被設置于用于加溫墨水的加溫水在其中流動的頭內(nèi)液體流路，粘度降低的墨水在墨水供應路中穩(wěn)定地流動，因此能夠得到良好的墨水的噴出特性。在專利文獻1的噴墨式記錄頭中，通過由被設置在頭外部的加熱器加熱后的加熱水來加熱墨水。因此，有時在到達頭內(nèi)的壓力產(chǎn)生室之前容易受外部環(huán)境影響而溫度發(fā)生變動，即使通過被設置在外部的傳感器控制溫水的溫度也無法使頭內(nèi)的墨水的溫度成為希望的溫度。在該情況下存在以下問題無法使墨水成為希望的粘度，不能得到良好的噴出特性。此外，這樣的問題不限于噴出高粘度的墨水的情況，在通過加熱使墨水低粘度化來噴出的噴墨式記錄頭中也同樣存在。另外，不只是噴出墨水的噴墨式記錄頭，在噴出墨水以外的液體的液體噴射頭中也同樣存在。

發(fā)明內(nèi)容
液體噴射頭包括壓力產(chǎn)生室，與噴出液體的噴嘴開口連通；壓力產(chǎn)生單元，使所述壓力產(chǎn)生室內(nèi)的液體的壓力發(fā)生變化；歧管，所述岐管是多個壓力產(chǎn)生室共用的液體室； 可撓膜，構成為覆蓋所述歧管的至少一部分；以及發(fā)熱部，被形成在所述可撓膜上的與所述歧管相對的區(qū)域且由金屬圖案形成。本發(fā)明的另一方式提供一種液體噴射裝置，具有上述的液體噴射頭或者上述的液體噴射頭單元。


圖1是本發(fā)明的一個實施方式涉及的記錄裝置的簡略圖；圖2的(a)和(b)是本發(fā)明的實施方式1涉及的記錄頭的截面圖；圖3是本發(fā)明的實施方式1涉及的密封基板的平面圖；圖4是本發(fā)明的實施方式2涉及的密封基板的平面圖5是用于說明本發(fā)明的實施方式2的控制部的框圖；圖6的(a)和(b)是本發(fā)明的另一實施方式涉及的密封基板的平面圖。
具體實施例方式下面基于實施方式對本發(fā)明進行詳細的說明。第一實施方式圖1是示出作為本發(fā)明的實施方式1涉及的液體噴射裝置的一個例子的噴墨式記錄裝置的簡略構成的立體圖。如圖1所示，作為液體噴射裝置的一個例子的噴墨式記錄裝置I具有后述的噴墨式記錄頭100。具體地說，如圖1所示，具有噴墨式記錄頭100的記錄頭單元IA和IB可裝卸地設置有構成墨水供應單元的盒2A和2B，安裝了該記錄頭單元IA和IB的托架3在軸向移動自如地被設置在托架軸5上，所述托架軸5被安裝在裝置主體4上。該記錄頭單元IA 和IB例如分別噴出黑墨水組成物和彩色墨水組成物。并且，驅(qū)動馬達6的驅(qū)動力經(jīng)由未圖示的多個齒輪以及定時帶7被傳遞給托架3， 由此安裝了記錄頭單元IA和IB的托架3沿托架軸5移動。另一方面，在裝置主體4上沿著托架軸5設置有壓紙卷軸8，作為通過未圖示的供紙輥等提供的紙等記錄介質(zhì)的記錄紙張S被纏繞在壓紙卷軸8上而被運送。這里，對安裝在這樣的噴墨式記錄裝置I上的噴墨式記錄頭100進行說明。圖2 的(a)是作為本發(fā)明的實施方式1涉及的液體噴射頭的一個例子的噴墨式記錄頭的壓力產(chǎn)生室的長向的截面圖，圖2的(b)是噴墨式記錄頭的壓力產(chǎn)生室的短向的主要部分截面圖。如圖2的(a)和(b)所示，流路形成基板50由單晶硅基板構成，通過多個隔壁51 劃分而成的壓力產(chǎn)生室52在流路形成基板50的寬度方向(短向)并列設置在其一個面?zhèn)鹊谋韺硬糠?。另外，用于向各壓力產(chǎn)生室52提供作為液體的一個例子的墨水的歧管53經(jīng)由作為液體供應口的一個例子的墨水供應路M而與各壓力產(chǎn)生室52的長向的一端部側連通。即，該歧管53成為各壓力產(chǎn)生室52共用的液體室。另外，流路形成基板50的壓力產(chǎn)生室52的開口面?zhèn)缺徽駝影?0密封，在其另一面?zhèn)冉?jīng)由粘接劑或熱熔融膜而粘接有噴嘴開口陽穿設其中的作為噴嘴形成部件一個例子的噴嘴板56。在本實施方式中，在流路形成基板50中設置有包括壓力產(chǎn)生室52、墨水供應路M以及歧管53的液體流路。形成在流路形成基板50上的振動板60例如由彈性膜61和支承板62的復合板形成，所述彈性膜由樹脂膜等可撓性材料構成，所述支承板62支承該彈性膜61，例如由金屬材料等構成，彈性膜61側與流路形成基板50接合。例如，在本實施方式中，彈性膜61由厚度是數(shù)μπι左右的PPSbolyphenylene sulfite，聚苯硫醚)膜構成，支承板62由厚度是數(shù)十Pm左右的不銹鋼鋼板(SUS)構成。另外，在振動板60的與各壓力產(chǎn)生室52相對的區(qū)域內(nèi)設置有壓電元件11的頂端部與其抵接的島部59。S卩，在振動板60的與各壓力產(chǎn)生室52的周邊部相對的區(qū)域形成有厚度比其他區(qū)域薄的薄壁部64，在該薄壁部64的內(nèi)側分別設置有島部59。另外，在本實施方式中，在振動板60的與歧管53相對的區(qū)域設置有與薄壁部64 同樣地通過蝕刻而去除了支承板62、實質(zhì)上僅由彈性膜61構成的柔性(compliance)部 65。即，振動板60的支承板62在與歧管53相對的區(qū)域具有貫穿厚度方向的開口部，彈性膜61的與歧管53相對的區(qū)域為柔性部65。此外，該柔性部65 (可撓膜)被構成為能夠彎曲，起到以下的作用在歧管53內(nèi)產(chǎn)生壓力變化時，通過該柔性部65的彈性膜61發(fā)生變形來吸收壓力變化，將歧管53內(nèi)的壓力總是保持為恒定。如上所述，在本實施方式中，流路形成基板50的壓力產(chǎn)生室52的開口面?zhèn)缺徽駝影?0密封，即歧管53被振動板60密封。并且，在彈性膜61上的與歧管53相對的區(qū)域、即柔性部65上設置有由金屬圖案構成的發(fā)熱部。這里，對發(fā)熱部進行了詳細的說明。圖3是本發(fā)明的實施方式1涉及的密封基板 (振動板60)的平面圖。如圖3所示，振動板60由彈性膜61和支承板62構成。另外，在振動板60上設置有貫穿其厚度方向來向歧管53供應液體的墨水供應孔66。另外，如上所述，支承板62在與歧管53對應的區(qū)域具有貫穿厚度方向的開口部， 并露出彈性膜61。該彈性膜61的露出部分為柔性部65。并且，在彈性膜61的柔性部65 上設置有由金屬圖案構成的發(fā)熱部67。S卩，在彈性膜61的與歧管53相對的區(qū)域設置有由金屬圖案構成的發(fā)熱部67。該發(fā)熱部67與未圖示的電源連接，能夠施加電壓。發(fā)熱部67的形狀并不被特別限定，本實施方式的發(fā)熱部67是線狀體，被設置成在彈性膜61上彎曲。通過調(diào)整發(fā)熱部67的形狀，能夠調(diào)整發(fā)熱部67的發(fā)熱量。例如，通過使發(fā)熱部67的寬度變小、或者長度變長，能夠使電阻上升，從而使發(fā)熱量變多。此外，這里所說的長度是指設置在與歧管53相對的區(qū)域的發(fā)熱部67的長度。通過調(diào)整蜿蜒的發(fā)熱部 67的間隔(pitch)，能夠調(diào)整發(fā)熱部67的長度。發(fā)熱部67的材料沒有被特別限定，能夠使用各種金屬。在本實施方式中，發(fā)熱部 67由構成支承板(固定部件)62的金屬材料形成。換而言之，在本實施方式中，設置有由與支承板62相同材料構成、但不與支承板62連續(xù)的發(fā)熱部67。本實施方式的發(fā)熱部67當在支承板62上形成開口部時能夠同時形成。這里，關于發(fā)熱部67的形成方法進行簡單的說明。首先，通過在支承板62的一個面上形成彈性膜61來形成振動板60。并且，在支承板62的與彈性膜61相反側的面上，例如通過光刻(Photolithography)法形成預定的光致抗蝕圖(photo resist pattern)，通過經(jīng)由該光致抗蝕圖對支承板62圖案化，由此使彈性膜61露出。具體地說，除去與歧管53 相對的區(qū)域以及振動板60的與各壓力產(chǎn)生室52的周邊部相對的區(qū)域的支承板62，使彈性膜61露出。此時，如圖3所示，以在與歧管53相對的區(qū)域保留與支承板62不連續(xù)的金屬圖案的方式來形成發(fā)熱部67。發(fā)熱部67通過光刻法來形成，由此即使是復雜的形狀也能夠高精度地形成。另外，一旦發(fā)熱部67僅被形成在與歧管53相對的區(qū)域，則柔性部65會被保持為朝向歧管53側、或者朝向與歧管53側相反側過度彎曲的狀態(tài)。因此，在歧管53內(nèi)產(chǎn)生了壓力時的變形不會充分進行，有可能無法充分吸收壓力。但是，該發(fā)熱部67從與歧管53相對的區(qū)域連續(xù)到該區(qū)域外而延伸設置，因此該區(qū)域外的發(fā)熱部67承擔起作為該區(qū)域的發(fā)熱部67的支承部件的作用。具體地說，該區(qū)域的發(fā)熱部67的從歧管53的周邊部到其外側的部位比該區(qū)域的中央的發(fā)熱部67被形成得粗。當對上述的發(fā)熱部67施加電壓時，發(fā)熱部67發(fā)熱，歧管53的墨水通過該發(fā)熱而被加熱。由此，使用高粘度的墨水的情況下也能使墨水的粘度降低，能夠改善墨水的流動狀態(tài)，而供應給噴嘴開口 55。因此，能夠抑制每個噴嘴的噴出量的差異，從各噴嘴開口 55以均勻的速度噴出均勻的量的墨滴。在振動板60上固定有具有墨水供應路的頭殼體70，所述墨水供應路是與作為未圖示的多個液體儲存體的一個例子的墨盒連接的液體供應路的一個例子，且在該頭殼體70 中高精度地被確定范圍而固定有壓電元件單元10。即，頭殼體70設置有貫穿的容納部71， 在該容納部71的一個內(nèi)表面，壓電元件單元10的各壓電元件11的頂端與各島部59抵接并被固定在各島部59上，所述島部59被設置在振動板60上的與各壓力產(chǎn)生室52對應的區(qū)域。在本實施方式中，壓電元件11在一個壓電元件單元10中被一體地形成。即，形成將壓電材料層15和電極形成材料16、17縱向交替地被夾成三明治狀而層積的壓電元件形成部件13，通過將該壓電元件形成部件13與各壓力產(chǎn)生室52對應地劃分成梳齒狀來形成各壓電元件11。即，在本實施方式中，多個壓電元件11被一體地形成。并且，不對該壓電元件11 (壓電元件形成部件1 的振動產(chǎn)生幫助的非活性區(qū)域、即壓電元件11的基端部側被固定在固定基板14上。并且，沒有進行圖示，但是在壓電元件11的基端部附近，在與固定基板14相反側的面上連接有電路基板30，所述電路基板30具有提供用于驅(qū)動各壓電元件 11的信號的配線31。在本實施方式中，構成了用于壓電元件11使振動板60產(chǎn)生變形的壓電致動器，由壓電元件11和固定基板14構成壓電元件單元10。并且，在頭殼體70上固定有配線基板33，所述配線基板33設置有電路基板30的各配線31分別連接與其的多個導電接點32，頭殼體70的容納部71實質(zhì)上被該配線基板 33堵住。在配線基板33上與頭殼體70的容納部71相對的區(qū)域形成狹縫狀的開口部34， 電路基板30從該配線基板33的開口部34折彎到容納部71的外側而被拉出。構成壓電元件單元10的電路基板30例如在本實施方式中由安裝有用于驅(qū)動壓電元件11的驅(qū)動ic(未圖示)的覆晶薄膜(COF，Chip onFilm)構成。并且，電路基板30的各配線31在其基端部側例如通過錫焊或各向異性導電材料等經(jīng)由外部電極與構成壓電元件11的電極形成材料16、17連接。另一方面，在其頂端部側，各配線31與配線基板33的各導電接點32接合。具體地說，在從配線基板33的開口部34拉出到容納部71的外側的電路基板30的頂端部沿配線基板33的表面而被折彎的狀態(tài)下，各配線31被與配線基板33 的各導電接點32接合。在這樣的噴墨式記錄頭100中，在噴出墨滴時，通過壓電元件11和振動板60的變形使各壓力產(chǎn)生室52的容積發(fā)生變化，從而從預定的噴嘴開口 55噴出墨滴。具體地說，當從未圖示的墨盒向歧管53提供墨水時，經(jīng)由墨水供應路M向各壓力產(chǎn)生室52分配墨水。 實際上通過向壓電元件11施加電壓來使壓電元件11收縮。由此，振動板60與壓電元件11 一起發(fā)生變形，壓力產(chǎn)生室52的容積被擴大，墨水被引入到壓力產(chǎn)生室52內(nèi)。并且，在在墨水充滿內(nèi)部直到達到噴嘴開口陽之后，按照經(jīng)由配線基板33而被提供的記錄信號解除施加在壓電元件11的電極形成材料16和17上的電壓。由此，壓電元件11被伸長而恢復到原來的狀態(tài)，同時振動板60也發(fā)生變位而返回到原來的狀態(tài)。其結果是，壓力產(chǎn)生室52 的容積收縮，壓力產(chǎn)生室52內(nèi)的壓力變高，從噴嘴開口 55噴出墨滴。在本實施方式中，當對發(fā)熱部67施加電壓時，發(fā)熱部67發(fā)熱，能夠?qū)⑻峁┙o歧管 53的墨水加熱到預定的溫度。由此，能夠使高粘度的墨水的粘度降低，墨水能夠容易流出而提供給噴嘴開口陽。另外，通過使歧管53內(nèi)的墨水的溫度均勻化，能夠抑制每個噴嘴的噴出量的偏差，從而從各噴嘴開口陽以均勻的速度噴出均勻的量的墨滴。在本實施方式中， 在處于壓力產(chǎn)生室52之前的歧管53中，由于能夠加熱墨水，因此能夠向各壓力產(chǎn)生室52 提供均勻溫度的墨水，并能夠容易地調(diào)整壓力產(chǎn)生室52的墨水的溫度。另外，通過在由薄膜構成的彈性膜61上形成發(fā)熱部67，能夠容易地將由發(fā)熱部67 產(chǎn)生的熱傳遞給歧管53內(nèi)的墨水，能夠用較少的熱量使墨水成為希望的溫度。另外，在各噴墨式記錄頭100的內(nèi)部(具體地說與歧管53對應的區(qū)域)具有發(fā)熱部67，從而當在噴墨式記錄裝置安裝多個噴墨式記錄頭時也能在各噴墨式記錄頭100中將壓力產(chǎn)生室52的墨水調(diào)整成預定的溫度。因此，能夠成為可抑制每個噴墨式記錄頭的噴出量的不同、具有良好的噴出特性的液體噴射裝置。實施方式2圖4是作為本發(fā)明的實施方式2涉及的液體噴射頭的一個例子的噴墨式記錄頭的密封板(振動板60)的平面圖。另外，圖5是表示本發(fā)明的實施方式2涉及的噴墨式記錄頭的控制的框圖。此外，對與上述實施方式1相同的部件標注相同的標號并省略重復的說明。如圖4所示，在柔性部65 (彈性膜61)上、即彈性膜61上的與歧管53相對的區(qū)域， 分別獨立地設置了由金屬圖案構成的第一發(fā)熱部67A、第二發(fā)熱部67B、第三發(fā)熱部67C、第四發(fā)熱部67D。各發(fā)熱部67分別具有未圖示的電源，能夠按照從控制部80(參考圖幻輸入的發(fā)熱量信號施加預定的電壓。另外，在歧管53內(nèi)設置有用于檢測歧管53內(nèi)的預定位置的墨水溫度的溫度檢測單元。在本實施方式中，作為溫度檢測單元使用溫度傳感器。溫度傳感器(溫度檢測單元) 檢測出的歧管53內(nèi)的預定位置的墨水溫度被發(fā)送給后述的控制部80。這里，使用圖5對控制部和發(fā)熱量信號進行說明。如圖5所示，各溫度傳感器69(69々、698、69(、690)檢測出的歧管53內(nèi)的預定位置的墨水溫度作為溫度信號S1(S1A、S1B、S1。、S1D)而被輸入到控制部80。并且，控制部80基于溫度信號Sl以歧管53內(nèi)的墨水溫度均勻的方式來決定各發(fā)熱部67(67A、67B、67C、67D) 的發(fā)熱量，并生成用于驅(qū)動各發(fā)熱部67的發(fā)熱量信號S2 (S2a,S2b,S2c,S2d)。被生成的發(fā)熱量信號52被輸入到各發(fā)熱部67(67々、678、67(、670)的電源。由此，各發(fā)熱部67發(fā)熱。這里，各發(fā)熱部67的發(fā)熱的控制方法并沒有被特別限定，可以調(diào)整各發(fā)熱部67的電源的接通時間，也可以針對每個發(fā)熱部67來改變電壓或脈沖等。在本實施方式中，在歧管53中具有多個溫度傳感器69 (溫度檢測單元)，基于溫度傳感器的檢測結果控制發(fā)熱部的發(fā)熱量。由此，能夠使歧管53內(nèi)的墨水溫度可靠地均勻化。因此，能夠更可靠地向各噴嘴開口提供均勻的溫度的液體。存在以下根據(jù)印刷數(shù)據(jù)各噴嘴列使用狀況不同的情況在某個噴嘴列較多地噴出墨水，在其他的噴嘴列噴出較少的墨水等。在以往的噴墨式記錄頭中有以下的問題在歧管 53的與墨水的噴出量多的噴嘴列對應的位置能夠保持預定的溫度，但是在歧管53的與墨水的噴出量少的噴嘴列對應的位置溫度會降低。在本實施方式的噴墨式記錄頭中，通過反饋歧管53內(nèi)的墨水的溫度來控制各發(fā)熱部67的發(fā)熱量，由此不被墨水的噴出量(墨水的流量)所左右，能夠?qū)⑵绻?3內(nèi)的各位置的溫度保持為恒定。
另外，一般地如果墨水過度地加熱，則其性質(zhì)會劣化、印刷質(zhì)量降低，但在本實施方式中，能夠根據(jù)歧管53內(nèi)的墨水溫度來適當調(diào)整發(fā)熱部67的發(fā)熱量，因此能夠抑制由于過度的加熱而導致的墨水的質(zhì)量的降低。另外，由于墨水從墨水供應孔66被供應，因此為了對被供應的墨水加熱，優(yōu)選歧管53的墨水供應孔66附近與其他部分相比，發(fā)熱量高。在本實施方式中，具有多個發(fā)熱部 67，通過分別獨立地被設置，能夠根據(jù)位置使發(fā)熱量發(fā)生變化。例如，能夠使第二發(fā)熱部67B 和第三發(fā)熱部67C的發(fā)熱量比第一發(fā)熱部67A和第四發(fā)熱部67D的發(fā)熱量多。另外，本實施方式的噴墨式記錄頭100具有兩個液體流路，以所噴出墨水的量相應的新墨水被流入到各個歧管53。墨水的噴出量多的液體流路流入到歧管53的墨水的量變多，為了成為希望的溫度而需要的熱量多，與此相對，在墨水的噴出量少的液體流路，由于流入到歧管53的墨水的量少，因此為了成為希望的溫度而需要的熱量少。在本實施方式中，根據(jù)各歧管53的墨水溫度的檢測結果、即墨水溫度的變化能夠適當?shù)卣{(diào)整發(fā)熱量。因此，能夠使各液體流路的墨水溫度成為希望的溫度。其他的實施方式以上，對本發(fā)明的實施方式1進行了說明，但是本發(fā)明的基本的構成并不限定于上述實施方式。例如在上述的實施方式1和2中，在振動板60的彈性膜61上與歧管53相對的區(qū)域設置了長度和寬度均勻的發(fā)熱部67，但是并不限定于此，長度和寬度也可以根據(jù)范圍而不同。例如，也可以如圖6的(a)所示，發(fā)熱部67E在墨水供應孔66的附近將長度設為較長、即在墨水供應孔66的附近縮小蜿蜒的發(fā)熱部67的間距(間隔)，使得發(fā)熱部67E密集地存在，由此可以使發(fā)熱量多。在導入墨水的墨水供應孔66的附近，墨水的溫度容易降低，但通過加長墨水供應孔66的附近的發(fā)熱部67E的長度，從而發(fā)熱量變多，能夠良好地抑制墨水的溫度的降低。由此，能夠向壓力產(chǎn)生室52可靠地提供均勻溫度的墨水。另外，也可以如圖6的(b)所示，使發(fā)熱部67F在墨水供應孔66的附近使寬度變小，由此可以使發(fā)熱量多。該情況也是同樣的，能夠良好地抑制墨水供應孔66附近的墨水的溫度的降低。并且，使發(fā)熱部在墨水供應孔66的附近寬度小并且長度長，可以使發(fā)熱量多。如上所述，在溫度容易降低的范圍內(nèi)，可以使寬度小，或者可以使長度長，但是相反地在溫度難以降低的范圍內(nèi)，可以使寬度大或者可以使長度短。如此，發(fā)熱部67能夠被形成為通過按照預定范圍改變長度或?qū)挾葋淼玫较Ｍ陌l(fā)熱量。在實施方式2中，在歧管53內(nèi)設置了溫度傳感器69，但是溫度傳感器69也可以設置在墨水供應路M或壓力產(chǎn)生室52中。另外，在實施方式2中設置了四個發(fā)熱部67，但是發(fā)熱部67的數(shù)目并不限定于此。另外，在實施方式2中分別獨立設置多個發(fā)熱部67，能夠基于各自對應的溫度傳感器69的溫度檢測結果施加預定的電壓，但溫度傳感器69的數(shù)目并不被限定于此。例如， 在溫度傳感器69的數(shù)目比發(fā)熱部67的數(shù)目少的情況下，通過考慮預測歧管53的流路長或從各噴嘴列噴出的液體噴射量，預測墨水溫度在歧管53內(nèi)的各位置中怎樣變化，適當設定各發(fā)熱部67的發(fā)熱量。另外，在上述的實施方式中，對使壓電材料層15和電極形成材料16、17交替層積而使其在軸向伸縮的縱向振動型的壓電元件11進行了說明，但是并不是特別被限定于此，例如也可以使用在基板(流路形成基板)上依次層積第一電極、壓電材料層、以及第二電極的撓性振動型的壓電元件。在圖1所示的例子中，噴墨式記錄頭單元1A、1B分別具有一個噴墨式記錄頭100， 但是并不被特別限定于此，例如也可以是1個噴墨式記錄頭單元IA或IB具有2個以上的噴墨式記錄頭。并且，在上述的實施方式中，例示噴出墨滴的噴墨式記錄頭100來對本發(fā)明進行了說明，本發(fā)明廣泛地以所有液體噴射頭為對象。作為液體噴射頭例如能夠例舉以下等使用在打印機等圖像記錄裝置上的記錄頭、使用在液晶顯示器等的濾色器的制造上的色料噴射頭、使用在有機EL顯示器或FED (場致發(fā)光顯示器)等的電極形成上的電極材料噴射頭、 使用在生物芯片制造上的生物有機物噴射頭。
權利要求
1.一種液體噴射頭，包括壓力產(chǎn)生室，與噴出液體的噴嘴開口連通； 壓力產(chǎn)生單元，使所述壓力產(chǎn)生室內(nèi)的液體的壓力發(fā)生變化； 歧管，所述岐管是多個壓力產(chǎn)生室共用的液體室； 可撓膜，構成為覆蓋所述歧管的至少一部分；以及發(fā)熱部，被形成在所述可撓膜上的與所述歧管相對的區(qū)域且由金屬圖案形成。
2.如權利要求1所述的液體噴射頭，其中， 所述發(fā)熱部的發(fā)熱量針對每個預定范圍而不同。
3.如權利要求1所述的液體噴射頭，其中，所述發(fā)熱部是線狀體，其寬度針對每個所述預定范圍而不同。
4.如權利要求2所述的液體噴射頭，其中，所述發(fā)熱部是線狀體，其長度針對每個所述預定范圍而不同。
5.如權利要求1所述的液體噴射頭，其中，所述發(fā)熱部在所述可撓膜上的與所述歧管相對的區(qū)域被設置多個， 所述液體噴射頭還包括獨立地控制各發(fā)熱部的發(fā)熱量的控制部。
6.如權利要求1所述的液體噴射頭，其中，還包括溫度檢測單元，檢測包含所述壓力產(chǎn)生室和所述歧管的液體流路內(nèi)的溫度， 所述控制部基于所述溫度檢測單元的檢測結果來控制各發(fā)熱部的發(fā)熱量。
7.如權利要求1所述的液體噴射頭，其中，所述發(fā)熱部從與所述歧管相對的區(qū)域延伸設置到該區(qū)域外。
8.一種液體噴射頭單元，包括權利要求1所述的液體噴射頭。
9.一種液體噴射裝置，包括權利要求1所述的液體噴射頭。
10.一種液體噴射裝置，包括權利要求8所述的液體噴射頭單元。
全文摘要
本發(fā)明涉及液體噴射頭、液體噴射頭單元以及液體噴射裝置。液體噴射頭包括壓力產(chǎn)生室，與噴出液體的噴嘴開口連通；壓力產(chǎn)生單元，使壓力產(chǎn)生室內(nèi)的液體的壓力發(fā)生變化；歧管，是多個壓力產(chǎn)生室共用的液體室；可撓膜，構成為覆蓋歧管；以及發(fā)熱部，被形成在膜上的與歧管相對的區(qū)域且由金屬圖案形成。
文檔編號B41J2/14GK102233730SQ201110083770
公開日2011年11月9日 申請日期2011年3月30日 優(yōu)先權日2010年3月30日
發(fā)明者渡邊峻介 申請人:精工愛普生株式會社