專利名稱：：脫模用層壓膜的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種表面具有由氟樹脂構(gòu)成的層的脫模用層壓膜，具體地涉及非常適合用于多層基板的壓制成型的脫模用層壓膜。
背景技術(shù)：
：所謂脫模膜是指用于以下用途的膜在該膜上涂布各種粘合材料、涂料等并使之固化，由此在該膜上形成涂膜，然后將該涂膜剝離而能夠使用。一直以來，作為這些脫模膜，使用特氟隆(注冊商標(biāo))(PTFE)等的氟樹脂膜、聚(4-甲基戊烯-l)膜、以及在雙軸拉伸聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)表層上涂布了硅系材料的膜等。特別是，已知在表層使用氟樹脂的膜其粘合性極低，脫模性優(yōu)異。例如專利文獻(xiàn)1提出了使用氟系樹脂膜作為脫模膜的方案。另外，專利文獻(xiàn)2提出了將表層為氟系樹脂、并且表層層壓在熱塑性樹脂上的膜作為脫模膜使用的方案。另外，在制造印刷電路板、陶瓷電子部件、熱固性樹脂制品、裝飾板等時，脫模膜也有時在工序中夾入金屬板之間、或樹脂之間來使用，以避免金屬板之間或樹脂之間粘結(jié)。例如，印刷電路板的制造一般采用下述的方法將玻璃纖維布中浸滲有環(huán)氣樹脂的預(yù)浸處理片(半固化片；prepreg)適宜重疊數(shù)片，再載置銅箔等金屬蕩，由壓制加工機(jī)進(jìn)行加熱、力口壓從而一體化，而在該壓力加工時，使脫模膜夾在壓制加工機(jī)的加壓板和印刷電路板之間、該基板彼此之間，從而防止相互的粘附。特別是，近年隨著印刷電路板的高密度化，表面安裝的構(gòu)成也在變化，為了搭載芯片等表面安裝部件，大多使用具有階梯狀的凹凸的多層基板。層壓成型這樣的形狀的多層基板的場合，用通常的成型方法難以對被成型物均勻地施加壓力，因此采用下面的方法在階梯狀的部分與該形狀一致地埋入硅橡膠等中，一邊加熱一邊施加壓力。另外，為了均勾地施加壓力，也提出了利用真空多段層壓裝置來成型的方案。另夕卜，為了防止壓制成型時插入到多層基板的層間的預(yù)浸處理片樹脂熔融而向空腔部分流出，專利文獻(xiàn)3公開了一種層壓壓制用多層膜，該膜由三層結(jié)構(gòu)構(gòu)成，上下二層由氟樹脂等耐熱性樹脂形成，芯層由聚乙烯等熱塑性樹脂形成。該多層膜在加壓時中間層變?yōu)槿廴诩訅籂顟B(tài)，可防止預(yù)浸處理片的流出。專利文獻(xiàn)1特開平8-186141號公報專利文獻(xiàn)2特開2002-208782號公報專利文獻(xiàn)3特開平10-296765號公報
發(fā)明內(nèi)容發(fā)明要解決的問題可是，在專利文獻(xiàn)1和專利文獻(xiàn)2中，由于氟樹脂膜的價格高，因此要想作為脫模膜而實用化，在成本方面存在問題。另外，如果為了消除成本問題而使用薄的氟樹脂膜，則發(fā)生以下問題膜的挺度喪失，操作性差，在制造印刷電路板時發(fā)生與不銹鋼板的熱粘附等等。另外、象專利文獻(xiàn)2那樣在表層為氟樹脂的層壓體中，由于氟樹脂的粘合性低，因此與非氟系的熱塑性樹脂等的粘合力弱，存在易發(fā)生層間剝離的問題。另外、專利文獻(xiàn)3所公開的多層膜，必須將上下二層的氟系樹脂層和作為芯層的聚乙烯樹脂層粘合。將氟樹脂層和聚乙烯樹脂層粘合的場合，通常采用干式層壓的方法。采取干式層壓的方法的場合，為了不存在有氣泡等而粘合，使貼合的兩層具有規(guī)定以上的厚度變得必要。這將導(dǎo)致大量使用成本高的氟系樹脂，成為多層膜原料的成本提高的原因之類的問題。另外，分別地作成各層，并將它們貼合的干式層壓自身是費時費力的作業(yè)，成為制造成本提高的原因。此外，為了使各層具有規(guī)定以上的厚度，壓制成型時也存在多層膜不能夠很好地追隨多層基板的階梯狀的形狀之類的問題。因此，本發(fā)明的課題在于提供一種脫模用層壓膜，該脫模用層壓膜具有氟樹脂的表面特性，同時不易發(fā)生層間剝離，操作性、經(jīng)濟(jì)性也優(yōu)異，而且在進(jìn)一步壓制成型時能夠容易地追隨多層基板的階梯狀的形狀。解決問題的措施以下對本發(fā)明進(jìn)行說明。再者，為了容易理解本發(fā)明，以括號方式附記了附圖的參照符號，但本發(fā)明并不由此而被圖示的形態(tài)限定。本發(fā)明第一要點涉及一種脫模用層壓膜(100A)，其包括由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層(10)、和在該層的至少一面上層壓的由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層(20)。在本發(fā)明的第一要點中，優(yōu)選在由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層(10)的兩面層壓由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層(20a、20b)。在本發(fā)明的第一要點中，優(yōu)選由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層(20)的厚度為1~15pm,由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層(10)的厚度為10~100|iim。本發(fā)明的第二要點涉及一種脫模用層壓膜(100C)，在由聚烯烴樹脂構(gòu)成的層(30)的至少一面上順序地層壓由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層(10)、和由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層(20)。在本發(fā)明的第二要點中，優(yōu)選在由聚烯烴樹脂構(gòu)成的層(30)的兩面上順序地層壓由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層(10a、10b)、和由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層(20a、20b)。在本發(fā)明的第二要點中，優(yōu)選由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層(20)的厚度為1~15pm、由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層(10)的厚度為0.5~100|im、由聚烯烴樹脂構(gòu)成的層(30)的厚度為10~100pm。本發(fā)明的第三要點涉及一種脫沖莫用層壓膜(100E),在由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層(10)的至少一面上順序地層壓由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層(20)、和由氟樹脂構(gòu)成的層(40)。在本發(fā)明的第三要點中，優(yōu)選在由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層(10)的兩面上順序地層壓由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層(20a、20b)、和由氟樹脂構(gòu)成的層(40a、德)。在本發(fā)明的第三要點中，優(yōu)選由氟樹脂構(gòu)成的層(40)的厚度為1~15pm、由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層(20)的厚度為0.5~15pm、由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層(10)的厚度為10~100|im。本發(fā)明的第四要點涉及一種脫模用層壓膜(100G),在由聚烯烴樹脂構(gòu)成的層(30)的至少一面上順序地層壓由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層(10)、由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層(20)、和由氟樹脂構(gòu)成的層(40)。在本發(fā)明的第四要點中，優(yōu)選在由聚烯烴樹脂構(gòu)成的層(30)的兩面上順序地層壓由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層(10a、10b)、由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層(20a、20b)、和由氟樹脂構(gòu)成的層(40a、40b)。在本發(fā)明的第四要點中，優(yōu)選由氟樹脂構(gòu)成的層(40)的厚度為1~15pm、由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層(20)的厚度為0.5-15pm、由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層(10)的厚度為0.5~100}im、由聚烯烴樹脂構(gòu)成的層(30)的厚度為10~100,。在本發(fā)明第一~第四要點中，優(yōu)選形成由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層(IO)的改性聚烯烴樹脂是改性聚乙烯樹脂。在本發(fā)明的第三和第四要點中，優(yōu)選形成由氟樹脂構(gòu)成的層(40)的氟樹脂是乙烯-四氟乙烯共聚物。本發(fā)明的第五要點涉及一種脫模用層壓膜，其具有由耐熱性樹脂構(gòu)成的層、和在該層的至少一面上層壓的由氟樹脂構(gòu)成的層。在本發(fā)明的第五要點中，優(yōu)選在由耐熱性樹脂構(gòu)成的層的兩面上層壓由氟樹脂構(gòu)成的層。在本發(fā)明的第五要點中，優(yōu)選由氟樹脂構(gòu)成的層的厚度為l~15|im、由耐熱性樹脂構(gòu)成的層的厚度為10~150|im。在本發(fā)明的第五要點中，形成由氟樹脂構(gòu)成的層的氟樹脂優(yōu)選的是乙烯-四氟乙烯共聚物、低熔點乙烯-四氟乙烯共聚物、或它們的混合物。在本發(fā)明的第五要點中，形成上述由耐熱性樹脂構(gòu)成的層的耐熱性樹脂優(yōu)選的是聚碳酸酯、乙烯-乙烯醇共聚物、聚酰胺中的任一種。本發(fā)明的第六要點涉及一種脫模用層壓膜(100J),是將通過粘合劑重疊多片基板而成的層壓體在加熱下層壓壓制成型時配置在加壓板和該層壓體之間的層壓膜，是具有芯層(50a)、和在該芯層的兩面上層壓的由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層(20a、20b)的層壓膜，芯層(50a)由具有比粘合性氟樹脂低的熔點的樹脂形成。在本發(fā)明的第六要點中，芯層(50a)優(yōu)選是由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層。在本發(fā)明的第六要點中，優(yōu)選在由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層(20a、20b)和芯層(50a)之間進(jìn)一步具有中間層(60a、60b),所述的中間層由選自改性聚烯烴樹脂、乙烯-乙烯醇共聚物(EVOH)、和聚酰胺中的一種以上的熱塑性樹脂構(gòu)成。在本發(fā)明的第六要點中，改性聚烯烴樹脂優(yōu)選的是改性聚乙烯。在本發(fā)明的第六要點中，由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層(20a、20b)的厚度優(yōu)選5~20(nm。在本發(fā)明的第六要點中，優(yōu)選在由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層(20a、20b)的更外一側(cè)具有由氟樹脂構(gòu)成的層(70a、70b)，所述的氟樹脂包含選自由聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙烯-六氟丙烯共聚物(FEP)、四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)、聚氯三氟乙烯(CTFE)、乙烯-四氟乙烯共聚物(ETFE)、聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚氟乙烯、和酸改性ETFE(EFEP)組成的組中的一種以上的樹脂。在本發(fā)明的第六要點中，膜整體的厚度優(yōu)選是100~120(Vm。本發(fā)明的第一-第六要點中的脫模用層壓膜(100)優(yōu)選的是通過共擠出形成的。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種脫模用層壓膜，其具有氟樹脂的優(yōu)異的脫模性，同時不易發(fā)生層間剝離，操作性、經(jīng)濟(jì)性也優(yōu)異，而且在進(jìn)一步壓制成型時還能夠容易地追隨多層基板的階梯狀的形狀。圖1(a)(d)是示出第一實施方案的脫模用層壓膜的層構(gòu)成的模式圖。圖2(a)(d)是示出第一實施方案的脫模用層壓膜的層構(gòu)成的模式圖。圖3(a)(c)是示出第三實施方案的脫模用層壓膜的層構(gòu)成的模式圖。圖4(a)(b)是示出壓制成型過程中脫模用層壓膜的作用的說明圖。圖5是示出在實施例中使用的壓制成型裝置的圖。符號說明100A~100L脫模用層壓膜10由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層20由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層30由聚烯烴樹脂構(gòu)成的層40由氟樹脂構(gòu)成的層50芯層60中間層70由氟樹脂構(gòu)成的層200、300層壓壓制成型裝置具體實施方式<第一實施方案〉圖1示出本發(fā)明的脫模用層壓膜的層構(gòu)成。如圖l(a)所示，本發(fā)明的脫模用層壓膜100A，具有由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層10、和在該層的至少一面上層壓的由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20。所謂本發(fā)明中的「粘合性氟樹脂J,是指下述的氟樹脂將熔點為150°C250。C，作為改性聚烯烴樹脂的一種的L^夕7Z—/"RA3150(日本聚乙烯公司制)和氟樹脂在4xl05~5xl05Pa的試樣壓力下、在240。C加壓10分鐘，制作的層壓片，切斷成為寬度2.5cm、長度25cm而取得的樣品，采用依據(jù)JISZ0237標(biāo)準(zhǔn)的方法，在剝離速度5mm/min、溫度23。C下進(jìn)行180度剝離強(qiáng)度的測定時的180度剝離強(qiáng)度為4N/cm以上。另夕卜，本發(fā)明中的「粘合性氟樹脂J的IR光譜，在1780crrT1~1880cm"之間具有吸收峰。優(yōu)選r粘合性氟樹脂」的IR光譜在1790cm'1~1800cnf1之間和1845cm"~1855cm"之間具有起因于馬來酸酐基等酸酐的吸收峰，或者，在1800cm-1~1815cm-1之間具有起因于末端碳酸酯基的吸收峰，或者在1790cm-1~1800cm"之間、1845cm"~1855cm"之間和1800cm"~1815cm"之間具有起因于馬來酸酐基等酸酐和末端碳酸酯基的混合物的吸收峰。進(jìn)一步優(yōu)選「粘合性氟樹脂」的IR光譜在1790cm-1~1800cm"之間和1845cm"~1855cm"之間具有起因于馬來酸酐基等酸酐的吸收峰，或者在1800cm-1~1815cm-1之間具有起因于末端碳酸酯基的吸收峰。另外，馬來酸酐基等酸酐的1790cm-1~1800cm"之間的吸收峰高度，相對于起因于主鏈的CH2基的2881cm"附近的吸收峰高度的比，為0.5~1.5,優(yōu)選為0.7~1.2，進(jìn)一步優(yōu)選為0.8~1.0。另外，起因于末端碳酸酯基的1800cm-1-1815cm-1之間的吸收峰高度，相對于起因于主鏈的CH2基的2881cm"附近的吸收峰高度之比，為1.0~2.0，優(yōu)選1.2~1.8,更優(yōu)選1.5~1.7。作為具有這樣的粘合強(qiáng)度的氟樹脂，例如是具有四氟乙烯單元的均聚物、共聚物，可舉出在末端或側(cè)鏈具有碳酸酯基、卣代羧酸基、羥基、羧基、環(huán)氧基等官能團(tuán)的樹脂。如果是呈現(xiàn)上述熔點和粘合強(qiáng)度的，則也可以混合多種樹脂。作為在市售品中具有上述那樣的粘合強(qiáng)度的氟樹脂，例如可舉出凈才！7口7EFEP(夕、']《乂工業(yè)公司制)、7才7LM-ETFEAH2000(旭硝子公司制)。所謂本發(fā)明中的r改性聚烯烴樹脂」，是指采用任意的方法使無機(jī)酸、不飽和羧酸或其衍生物等的酸與成為基質(zhì)的聚烯烴樹脂接枝反應(yīng)而得到的樹脂。作為成為基質(zhì)的聚烯烴，例如使用聚乙烯和聚丙烯等。作為不飽和羧酸類，例如使用佛爾酮(水口乂)酸、丙烯酸、曱基丙烯酸、馬來酸、富馬酸、衣康酸、檸康酸、以及它們的酸肝、S旨、酰胺、酰亞胺、金屬鹽等。作為改性聚烯烴樹脂，優(yōu)選乙烯與曱基丙烯酸縮水甘油酯的共聚物。作為這樣的乙烯與曱基丙烯酸縮水甘油酯的共聚物，例如可舉出"夕義A—ARA3150(日本聚乙烯公司制)、水>卜'77"-只卜E(住友化學(xué)公司制)。本發(fā)明的脫模用層壓膜IOOA，可根據(jù)需要在該由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層10上進(jìn)一步層壓幾個層90。其中，如圖l(b)所示，在由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層10的兩面層壓由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b的構(gòu)成IOOB，兩面都能夠發(fā)揮脫模性，而且經(jīng)濟(jì)性也優(yōu)異，從該點出發(fā)是優(yōu)選的。象圖l(a)、圖l(b)中示出的脫模用層壓膜IOOA、IOOB那樣地構(gòu)成的場合，優(yōu)選由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20、20a、20b為1~15|_im、由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層10為10~100|am。通過這樣地構(gòu)成，即使由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20、20a、20b較薄，也會使由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層10具有適度的厚度和剛性，因此可制成具有挺度的操作性優(yōu)異的脫模用層壓膜IOOA、IOOB。另外，由于高價的粘合性氟樹脂只使用必要最小量，因此經(jīng)濟(jì)性也優(yōu)異。如圖l(c)所示，本發(fā)明的脫模用層壓膜100,可制成在由聚烯烴樹脂構(gòu)成的層30的至少一側(cè)的面上順序地層壓由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層10、和由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20的層壓膜IOOC。作為由聚烯烴樹脂構(gòu)成的層30所使用的聚烯烴樹脂，可舉出聚乙烯、聚丙烯等，但其中，從加壓時的緩沖性、密封性的觀點出發(fā)，優(yōu)選聚乙烯。當(dāng)這樣地構(gòu)成時，在層壓膜100A、100B中為了使操作性更良好，只利用由改性聚烯烴構(gòu)成的層IO具有厚度，但在層壓膜100C中利用更廉價的由聚烯烴樹脂構(gòu)成的層30也能夠具有厚度，能夠減少改性聚烯烴樹脂的使用量，從而能夠制成經(jīng)濟(jì)性更優(yōu)異的脫模用層壓膜100C。在設(shè)有由聚烯烴樹脂構(gòu)成的層30的脫模用層壓膜100C中，也可以根據(jù)需要進(jìn)一步層壓幾個層90。其中，如圖l(d)所示，優(yōu)選制成在由聚烯烴樹脂構(gòu)成的層30的兩面順序地層壓由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層10a、10b、和由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b的脫模用層壓膜IOOD。通過形成為這樣的構(gòu)成，能夠得到兩面都可發(fā)揮脫模性、而且經(jīng)濟(jì)性也優(yōu)異的脫模用層壓膜。象圖l(c)、圖l(d)中示出的脫模用層壓膜IOOC、IOOD那樣地構(gòu)成的場合，優(yōu)選由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20、20a、20b為1~15pm、由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層10、10a、10b為0.5~100pm、由聚烯烴樹脂構(gòu)成的層30為10100(im。通過這樣地構(gòu)成，即使由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20、20a、20b較薄，也會使由聚烯烴樹脂構(gòu)成的層30具有適度的厚度，因此能夠制成具有挺度的操作性優(yōu)異的脫模用層壓膜IOOC、IOOD。另外，由于高價的粘合性氟樹脂只使用必要最小量，因此經(jīng)濟(jì)性也優(yōu)異。圖2示出本發(fā)明的脫模用層壓膜的另一構(gòu)成。如圖2(a)所示，本發(fā)明的脫模用層壓膜100,可制成在由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層10的至少一面順序地層壓由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20、和由氟樹脂構(gòu)成的層40的脫模用層壓膜10犯。作為在由氟樹脂構(gòu)成的層40中所使用的氟樹脂，例如可舉出乙烯-四氟乙烯共聚物(ETFE)、聚偏二氟乙烯(PVDF)、四氟乙烯-六氟丙烯共聚物(FEP)、四氟乙烯-六氟丙烯-偏二氟乙烯共聚物(THV)等。其中，從脫模性、加工性等方面出發(fā)優(yōu)選ETFE。ETFE作為市售品可以容易地得到，例如可舉出77口7COP(旭硝子公司制)、Tefzel(f二；K>公司制)、豐才7口7ETFE(夕、、4^>工業(yè)^>司制)等。在脫模用層壓膜100E中，由于最外層具有由氟樹脂構(gòu)成的層40,因此與由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20位于最外層的場合比較，尤其是在用于高溫(20(TC以上)下的壓制成型的場合的脫模性優(yōu)異。可認(rèn)為這是因為，粘合性氟樹脂當(dāng)達(dá)到其熔點以上時呈現(xiàn)出粘合性能，存在脫模性降低的傾向，與此相反，通常的氟樹脂在高溫下的粘合性小。如圖2(a)所示，本發(fā)明的脫模用層壓膜100E可以根據(jù)需要在其由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層10上再層壓幾個層90。其中，如圖2(b)所示，優(yōu)選制成在由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層10的兩面順序地層壓由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b、和由氟樹脂構(gòu)成的層40a、40b的構(gòu)成的脫模用層壓膜IOOF。在該層壓膜100F中，能夠制成兩面都發(fā)揮脫^^莫性、而且經(jīng)濟(jì)性也優(yōu)異的脫模用層壓膜。象圖2(a)、圖2(b)中示出的脫模用層壓膜IOOE或IOOF那樣地構(gòu)成的場合，優(yōu)選由氟樹脂構(gòu)成的層40、40a、40b為1~15(im、由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20、20a、20b為0.5~15|im、由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層10為10~lOO(im。通過這樣地構(gòu)成，即使由氟樹脂構(gòu)成的層40、40a、40b較薄，也會使由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層10具有適度的厚度和剛性，因此能夠制成具有挺度的操作性優(yōu)異的脫模用層壓膜IOOE、IOOF。另外，由于高價的氟樹脂只使用必要最小量，因此經(jīng)濟(jì)性也優(yōu)異。如圖2(c)所示，本發(fā)明的脫模用層壓膜100可制成在由聚烯烴樹脂構(gòu)成的層30的至少一面順序地層壓由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層10、由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20、和由氟樹脂構(gòu)成的層40的脫模用層壓膜100G。當(dāng)這樣地構(gòu)成時，脫^^用層壓膜IOOE、100F為了使操作性良好，只利用由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層10具有厚度，但脫模用層壓膜100G利用由更廉價的聚烯烴樹脂構(gòu)成的層30也能夠具有厚度，因此能夠減少改性聚烯烴樹脂的使用量，能夠制成經(jīng)濟(jì)性更優(yōu)異的脫模用層壓膜IOOG。與上述的脫模用層壓膜100E同樣，在脫模用層壓膜100G中，也可根據(jù)需要進(jìn)一步層壓幾個層90。其中，優(yōu)選象圖2(d)示出的脫模用層壓膜100H那樣制成在由聚烯烴樹脂構(gòu)成的層30的兩面順序?qū)訅河筛男跃巯N樹脂構(gòu)成的層10a、10b、由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b、和由氟樹脂構(gòu)成的層40a、40b的脫模用層壓膜IOOH。通過形成這樣的構(gòu)成，能夠制成兩面都能發(fā)揮脫模性、而且經(jīng)濟(jì)性也優(yōu)異的脫模用層壓膜。象脫模用層壓膜IOOG或脫模用層壓膜100H那樣地構(gòu)成的場合，優(yōu)選由氟樹脂構(gòu)成的層40、40a、40b為1~15pm、由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20、20a、20b為0.5~15nm、由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層10、10a、10b為0.5~lOO(im、由聚烯烴樹脂構(gòu)成的層30為10~100|am。通過這樣地構(gòu)成，即使由氟樹脂構(gòu)成的層40、40a、40b較薄，但由于使由聚烯烴樹脂構(gòu)成的層30具有適度的厚度，因此能夠制成具有挺度的操作性優(yōu)異的脫模用層壓膜。另外，由于高價的氟樹脂只使用必要最小量，因此經(jīng)濟(jì)性也優(yōu)異。<第二實施方案〉本發(fā)明的脫模用層壓膜IOO可形成具有由耐熱性樹脂構(gòu)成的層、和在該層的至少一面上層壓的由氟樹脂構(gòu)成的層這樣的結(jié)構(gòu)。第二實施方案涉及的發(fā)明，尤其是在高溫度環(huán)境下也能夠非常合適地使用的脫模用層壓膜。另外，在與上述由耐熱性樹脂構(gòu)成的層中的層壓由氟樹脂構(gòu)成的層的面相反的一側(cè)的面上，可以根據(jù)需要進(jìn)一步層壓幾個層。其中，在兩面都能夠發(fā)揮脫模性、而且經(jīng)濟(jì)性優(yōu)異之點上考慮，優(yōu)選的構(gòu)成為在由耐熱性樹脂構(gòu)成的層的兩面層壓由氟樹脂構(gòu)成的層。在這里，由氟樹脂構(gòu)成的層的厚度優(yōu)選為1-15|im,由耐熱性樹脂構(gòu)成的層的厚度優(yōu)選為10~150pm。通過這樣地構(gòu)成，即使由氟樹脂構(gòu)成的層較薄，但由于使由耐熱性樹脂構(gòu)成的層具有適度的厚度和剛性，因此能夠制成具有挺度的操作性優(yōu)異的脫模用層壓膜。另外，由于高價的氟樹脂只使用必要最小量，因此經(jīng)濟(jì)性也優(yōu)異。第二實施方案中的、形成由氟樹脂構(gòu)成的層的氟樹脂，優(yōu)選是乙烯-四氟乙烯共聚物、低熔點乙烯-四氟乙烯共聚物、或它們的混合物。在這里，所謂低熔點乙烯-四氟乙烯共聚物，是在第一實施方案中記載定義的粘合性氟樹脂。作為形成由耐熱性樹脂構(gòu)成的層的耐熱性樹脂，可舉出聚碳酸酯、聚碳酸酯系合金、聚醚酰亞胺、乙烯-乙烯醇共聚物、聚酰胺、聚酰胺系合金。其中，優(yōu)選使用聚碳酸酯、乙烯-乙烯醇共聚物、聚酰胺。通過采用這些樹脂形成由耐熱性樹脂構(gòu)成的層，能夠制成廉價、耐熱性優(yōu)異的脫模性層壓膜。另外，這些樹脂可通過共擠出來成型。由此能夠解決象層壓PET膜的場合那樣在層間發(fā)生雜質(zhì)混入的問題。在高溫(例如18(TC以上)下，上述的耐熱性樹脂的彈性模量降低，但通過用超聲波焊機(jī)對脫模用層壓膜的端部進(jìn)行熔斷密封等，如后面所示的圖3(a)那樣，在端部粘合由氟樹脂構(gòu)成的層，可解決上述樹脂的軟化、熔化的問題。另外，本實施方案的脫模用層壓膜，即使使用刃具切斷膜，也具有不剝離程度的層間的暫時密合性。另外，在脫模用層壓膜上安裝膠帶、設(shè)置拉伸部的場合，拿著該拉伸部可容易地剝離脫模用層壓膜、分離各層。這樣，本發(fā)明的脫模用層壓膜具有在使用后可剝離、分離各層，可分別廢棄的優(yōu)點。<第三實施方案>圖3(a)是示出本發(fā)明第三實施方案的脫模用層壓膜100J的層構(gòu)成的厚度方向的截面圖。圖示的層壓膜100J具備三層結(jié)構(gòu)，在芯層50a的兩側(cè)配置有由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b。在本實施方案中，構(gòu)成芯層50a的樹脂必須是熔點比粘合性氟樹脂低的樹脂。通過采取這樣的構(gòu)成，通過壓制成型時的加溫只有構(gòu)成芯層50a的樹脂熔融成為可能，在壓制成型時能夠容易地追隨多層基板的階梯狀的形狀。在層壓膜100J的端部，如圖3(a)左側(cè)所示，優(yōu)選采取二層的由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b直接粘合、將芯層50a密封的結(jié)構(gòu)，但由于層壓膜IOOJ與其表面積相比充分地薄，另外通常層壓膜100J的大小比模具接觸面大，因此上述密封結(jié)構(gòu)不是必需的。構(gòu)成芯層50a的樹脂的種類并不特別限定，但從能夠容易地進(jìn)行與由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b的粘合、另外具有比可得到的粘合性氟樹脂的熔點低的熔點的觀點出發(fā)，優(yōu)選的是選自改性聚烯烴樹脂、乙烯-乙烯醇共聚物(EVOH)和聚酰胺中的一種以上的熱塑性樹脂。本實施方案中的「改性聚烯烴樹脂」和「粘合性氟樹脂」分別與第一實施方案中的相同。本實施方案的層壓膜100J,在層構(gòu)成中以夾住芯層50a的方式配置二層由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b。因此，將芯層50a和由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b之間粘合時不需要粘合劑。這樣，在制作本實施方案的層壓膜100J時，不需要經(jīng)由以往的干式層壓工序，通過共擠出一步地形成層壓膜100J成為可能。此外，由于能夠通過共擠出來制作膜，因此將由作為原料的高價的粘合性氟樹脂構(gòu)成的層減薄是可能的。在本實施方案的層壓膜100J中，由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b的厚度并不特別限定，優(yōu)選在520(im的范圍。當(dāng)由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b的厚度過薄時，有可能在強(qiáng)度上發(fā)生問題。當(dāng)由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b的厚度比上述范圍厚時，原材料成本上升，通過共擠出來制作層壓膜100J的優(yōu)點將喪失。另外，二層由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b的厚度可以相同，也可以不同。另一方面，通過在上述范圍較薄地形成由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b，芯層50a的樹脂熔融時的層壓膜IOOJ的柔軟性增加，因此在層壓壓制時可容易地追隨多層基板的階梯狀的形狀，可防止壓制成型時插入到多層基板的層間的預(yù)浸處理片樹脂熔融而向空腔部分流出。本實施方案的層壓膜100J的總厚度不特別限定。歸根到底，只要是通過壓制成型的加熱而變形時盡量無間隙地填充到多層基板的層間的厚度范圍即可，從這樣的觀點出發(fā)，優(yōu)選100~1200pm的厚度。如圖3(b)所示，本實施方案的脫模用層壓膜IOO可制成在由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、加b和芯層50b之間進(jìn)一步具有中間層60a、60b的脫模用層壓膜100K,其中，所述的中間層60a、60b由選自改性聚烯烴、乙烯-乙烯醇共聚物(EVOH)、和聚酰胺中的一種以上的熱塑性樹脂構(gòu)成。在本實施方案中，構(gòu)成芯層50b的樹脂，必須是具有比構(gòu)成由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b的樹脂的熔點低的熔點的樹脂。通過采取這樣的構(gòu)成，通過壓制成型時的加溫只有構(gòu)成芯層50b的樹脂熔融成為可能，在壓制成型時能夠容易地追隨多層基板的階梯狀的形狀。在層壓膜100K的端部，如圖3(b)左側(cè)所示，優(yōu)選采取中間層60a、60b直接粘合、將芯層50密封的結(jié)構(gòu)，但由于層壓膜100K與其表面積相比充分地薄，另外通常層壓膜100K的大小比模具接觸面大，因此上述密封結(jié)構(gòu)不是必需的。在本實施方案中，構(gòu)成中間層60a、60b的樹脂優(yōu)選是和構(gòu)成由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b的樹脂具有良好的粘合性的樹脂，從這樣的觀點出發(fā)，構(gòu)成中間層60a、60b樹脂優(yōu)選的是選自改性聚烯烴、乙烯-乙烯醇共聚物(EVOH)、和聚酰胺中的一種以上的熱塑性樹脂。在本實施方案的層壓膜100K中，構(gòu)成芯層50b的樹脂的種類并不特別限定，但優(yōu)選與構(gòu)成中間層60a、60b的樹脂之間具有良好的粘合性。作為中間層60a、60b使用上述優(yōu)選的熱塑性樹脂的場合，芯層50b與中間層60a、60b的粘合，比粘合芯層50b和由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b的場合容易。另外，從具有比可得到的粘合性氟樹脂的熔點低的熔點的觀點出發(fā)，可優(yōu)選使用聚乙烯、聚丙烯、聚氯乙烯、聚偏二氯乙烯、聚苯乙烯等。本實施方案的層壓膜100K,在層構(gòu)成中以夾住芯層50b的方式配置二層的中間層60a、60b，而且在該中間層60a、60b的外側(cè)配置由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b。即，在芯層50b和由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b之間配置中間層60a、60b,謀求兩層粘合。因此，兩層間不需要粘合劑。這樣，在制作本實施方案的層壓膜100K時，不需要經(jīng)由以往的干式層壓工序，通過共擠出一步地形成5層結(jié)構(gòu)的層壓膜IOOK成為可能。此外，由于能夠通過共擠出來制作膜，因此將由作為原料的高價的粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b減薄是可能的。另外，本實施方案的層壓膜IOOK，對中間層60a、60b委以與由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b的粘合的任務(wù)，芯層50b可只從具有比構(gòu)成由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b的樹脂的熔點低的熔點的觀點來選擇。因此，可擴(kuò)大構(gòu)成芯層50b的樹脂的選擇范圍。這樣，降低原材料成本、對層壓膜1OOK賦予新的功能變得容易。在本實施方案的層壓膜100K中，由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b的厚度并不特別限定，優(yōu)選在5~20pm的范圍。當(dāng)由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b的厚度過薄時，在強(qiáng)度上有可能發(fā)生問題。當(dāng)由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b的厚度比上述范圍厚時，原材料成本上升，通過共擠出而制作層壓膜100K的優(yōu)點喪失。另外，二層由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b的厚度可以相同，也可以不同。在本實施方案的層壓膜100K中，中間層60a、60b的厚度并不特別限定，優(yōu)選在1-20)im的范圍。當(dāng)中間層60a、60b的厚度比該范圍薄地通過共擠出來制作時，在制造上存在困難。相反，當(dāng)中間層60a、60b的厚度比該范圍厚時，原材料成本上升，通過共擠出來制作層壓膜100K的優(yōu)點喪失。另外，二層中間層60a、60b的厚度可以相同，也可以不同。這樣，通過象上述那樣較薄地形成由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b、和中間層60a、60b，芯層50b的樹脂熔融時的層壓膜100K的柔軟性增加，因此層壓壓制時可容易地追隨多層基板的階梯狀的形狀，可防止壓制成型時插入到多層基板的層間的預(yù)浸處理片樹脂熔融而向空腔部分流出。本實施方案的層壓膜100K的總厚度不特別限定。歸根到底，只要是通過壓制成型的加熱而變形時，盡量無間隙地填充到多層基板的層間的厚度范圍即可，從這樣的觀點出發(fā)，優(yōu)選100~1200pm的厚度。如圖3(c)所示，在本實施方案的脫模用層壓膜100中，可制成在由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b的更外一側(cè)具有由氟樹脂構(gòu)成的層70a、70b的構(gòu)成，所述的氟樹脂，包含選自聚四氟乙烯(PTFE)、四氟乙烯-六氟丙烯共聚物(FEP)、四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物(PFA)、聚氯三氟乙烯(CTFE)、乙烯-四氟乙晞共聚物(ETFE)、低熔點乙烯-四氟乙烯共聚物(ETFE)、聚偏二氟乙烯(PVDF)、聚氟乙烯、和酸改性ETFE(EFEP)中的一種以上的樹脂。在此，所謂低熔點乙烯-四氟乙烯共聚物(ETFE),是在ETFE之中具有低熔點的樹脂，例如可舉出旭硝子公司制的7/"才7LM720。通過采取這樣的構(gòu)成，壓制成型時該層壓膜100L對模具和多層基板的剝離性、氣體阻擋性、和雜質(zhì)從層壓膜100L向多層基板側(cè)的非轉(zhuǎn)印性進(jìn)一步提高。設(shè)置由氟樹脂構(gòu)成的層70a、70b作為外層的場合，外層70a、70b的厚度可以相同，也可以不同。另外其厚度優(yōu)選5~20pm。當(dāng)外層的厚度過薄時，在強(qiáng)度上有可能發(fā)生問題。另外外層的厚度過厚時，原材料成本上升，通過共擠出來制作層壓膜100L的優(yōu)點喪失。<脫模用層壓膜100的制造方法〉作為上述的第一實施方案~第三實施方案涉及的脫模用層壓膜100的層壓方法，可舉出熱熔合壓制、或共擠出等，但是其中，從生產(chǎn)性、成本方面考慮，優(yōu)選通過多層共擠出來一步地制作作為目標(biāo)的脫模用層壓膜100的方法。另外，也可以采用組合共擠出和壓制來制作提高膜間粘合性的層壓膜的方法。〈脫模用層壓膜100的用途〉上述的第一實施方案~第三實施方案涉及的本發(fā)明的脫模用層壓膜100,用作為了通過在該膜上涂布各種粘合材料、涂料等并固化，而在該膜上形成涂膜，然后剝離該涂膜而能使用那樣的脫模用膜。另夕卜，在中間層IO的兩面層壓由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層或者由氟樹脂構(gòu)成的層的形態(tài)的脫模用層壓膜100B、IOOD、IOOF、IOOH、IOOJ、IOOK、IOOL，也用作在以下說明的多層基板用層壓體的壓制成型中使用的脫模用膜100。以下關(guān)于多層基板的層壓壓制成型，舉出使用第三實施方案涉及的脫模用層壓膜100的情形為例來說明。本發(fā)明的脫模用層壓膜100，在通過粘合劑層重疊多片基板而層壓時，為了抑制粘合劑樹脂流出而使用。本發(fā)明的脫模用層壓膜100，如圖4(a)那樣配置在層壓壓制成型裝置200內(nèi)而使用。層壓壓制成型裝置200,具備安裝在油壓汽缸210a、210b的端部、上下對置地配置的加壓用熱板220a、220b。圖4(a)是模式地示出加壓前的狀態(tài)的垂直截面圖，在下側(cè)的加壓用熱板220b上載置多個基板230、230、...。各基板230、230、...之間插有預(yù)浸處理片。預(yù)浸處理片是在玻璃纖維等芯材中浸滲樹脂而成的。作為預(yù)浸處理片用的樹脂，可舉出環(huán)氧樹脂、BT樹脂、酚醛樹脂、不飽和聚酯樹脂、乙烯基酯樹脂、聚酰亞胺樹脂、聚苯醚樹脂、氟樹脂、聚對笨二甲酸乙二醇酯樹脂、聚對苯二曱酸丁二醇酯樹脂、鄰苯二曱酸二烯丙酯樹脂、等等的單一樹脂、或它們的混合物、或者改性物等的熱固性樹脂。其中，從耐熱可靠性的觀點出發(fā)，優(yōu)選使用環(huán)氧樹脂和BT樹脂。在這些樹脂中，可根據(jù)需要含有滑石、粘土、二氧化硅、碳酸鈣等的無機(jī)顆粒填充材料、玻璃纖維、石棉纖維、陶瓷纖維等纖維質(zhì)填充材料。預(yù)浸處理片用樹脂溶解于規(guī)定的溶劑中，然后浸滲到芯材中，制成預(yù)浸處理片。作為預(yù)浸處理片的芯材，一般為玻璃纖維，但除此以外也可使用芳香族聚酰胺纖維。另外，也可使用氈狀的玻璃、聚酯、芳香族聚酰胺。而且預(yù)浸處理片的樹脂量通常相對于預(yù)浸處理片整體為30~80質(zhì)量％。多層基板用層壓體的層壓壓制成型，通常在160280。C的溫度下進(jìn)行。此時，由熱塑性樹脂構(gòu)成的芯層50a、50b變成熔融狀態(tài)，另一方面，夾著芯層50a、50b的由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b變成軟化的狀態(tài)。在此，所謂芯層50a、50b的r熔融狀態(tài)」，除了液體狀態(tài)以外，也包括通過加壓壓力而容易地引起變形，能夠充分軟化到實質(zhì)上無間隙地填埋被成型物的凹凸形狀部分的程度的狀態(tài)。另外，所謂由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b的r軟化」，意指在壓制成型時，通過芯層50a、50b的熔融樹脂的內(nèi)壓，成為軟化到容易賦予沿著被成型物的凹凸的形狀的程度的狀態(tài)。為此，用上下的加壓用熱板220a、220b加壓時，芯層50a、50b的熔融樹脂被關(guān)閉在由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b所包圍的空間中，變成加壓狀態(tài)，由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b,通過芯層50a、50b的熔融樹脂的內(nèi)壓，被賦予沿著被成型物的凹凸的形狀(圖4(b))。其結(jié)果，由階梯狀的空腔部分和加壓用熱板220a、220b形成的空間被加壓狀態(tài)的芯層50a、50b的熔融樹脂填埋。該熔融樹脂的壓力與要從基板間流出的粘合劑的壓力同等或比其大，因此可抑制作為被成型物的多層基板之間的預(yù)浸處理片樹脂的流出。上述熔融樹脂的壓力根據(jù)空腔部分的容積和由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b的厚度的關(guān)系等來確定。即，根據(jù)芯層50a、50b的熔融樹脂的體積、和階梯狀的空腔部分的容積的大小關(guān)系來確定熔融樹脂的壓力。該壓力越高，抑制預(yù)浸處理片樹脂流出的效果越大。實施例<脫模用層壓膜的制作(l)〉(實施例1)按成為下述構(gòu)成的方式、在280。C從多腔模共擠出，得到作為目標(biāo)的膜。第1層粘合性氟樹脂(夕'、<矢>工業(yè)公司制凈才7口>EFEPEP-5000)1Opm第2層改性聚烯烴樹脂(日本聚乙烯公司制k夕RA3150)80nm第3層粘合性氟樹脂(夕'4《>工業(yè)公司制灃才7口>EFEPEP-5000)10pm(實施例2)按成為下述構(gòu)成的方式、采用與實施例1同樣的方法，得到作為目標(biāo)的膜。第1層粘合性氟樹脂(夕、'4矢7工業(yè)公司制才才7口爻EFEPEP-5000)1Opm第2層改性聚烯烴樹脂(日本聚乙烯公司制k夕X一ARA3150)10(im第3層聚烯烴樹脂(日本水°卩少厶公司制乂六尹少夕HDHJ580)60pm第4層改性聚烯烴樹脂(日本聚乙烯公司制k夕只^一ARA3150)l(^m第5層粘合性氟樹脂(夕'4祆7工業(yè)公司制；f才7口>EFEPEP-5000)10pm(實施例3)按成為下述構(gòu)成的方式、在280°C從多腔模共擠出，在5x1(T3Pa(5kgf/cm2)的壓力下在240。C加壓處理IO分鐘，得到作為目標(biāo)的膜。第1層粘合性氟樹脂(夕'、4軒》工業(yè)公司制才才7口>EFEPEP-5000)5pm第2層改性聚烯烴樹脂(日本聚乙烯公司制k夕只Z—ARA3150)5|im第3層聚烯烴樹脂(日本水y少厶公司制乂^7夕HDHJ580)60pm第4層改性聚烯烴樹脂(日本聚乙烯公司制k夕7,—^RA3150)5pm第5層粘合性氟樹脂(夕、'4矢>工業(yè)公司制豐才7口>EFEPEP-5000)5pm(實施例4)作為粘合性氟樹脂，使用旭硝子乂>司制的7>才》LM-ETFEAH2000,除此以外，與實施例l同樣地進(jìn)行，得到了脫模用層壓膜。(實施例5)作為粘合性氟樹脂，使用旭硝子公司制的7>才>LM-ETFEAH2000，除此以外，與實施例2同樣地進(jìn)行，得到了脫模用層壓膜。C實施例6)作為粘合性氟樹脂，使用旭硝子公司制的7A才乂LM-ETFEAH2000，除此以外，與實施例3同樣地進(jìn)行，得到了脫模用層壓膜。(比較例1)使實施例1的第1層、第3層為四氟乙烯-六氟丙烯-偏二氟乙烯共聚物(夕、'^f二才乂公司制THV220G),除此以外，與實施例1同樣地進(jìn)行，得到了脫模用層壓膜。(比較例2)使實施例1的第l層、第3層為四氟乙烯-六氟丙烯共聚物(夕'^f^乂公司制氺才:7口>FEP),除此以外，與實施例1同樣地進(jìn)行，得到了脫模用層壓膜。(比4交例3)使實施例l的第l層、第3層為偏二氟乙烯(夕k,、公司制KF水卩7一TW850),除此以外，與實施例l同樣地進(jìn)行，得到了脫模用層壓膜。(實施例7)按成為下述構(gòu)成的方式、在28(TC從多腔模共擠出，得到作為目標(biāo)的膜。第l層氟樹脂(旭硝子公司制7^才7ETFEC-88AXP)5pm第2層粘合性氟樹脂(夕、、4矢乂工業(yè)公司制才才7口^EFEPEP-5000)10pm第3層改性聚烯烴樹脂(日本聚乙烯公司制k夕久一^RA3150)40pm第4層粘合性氟樹脂(夕'*>工業(yè)公司制；f才7口^EFEPEP-5000)1Opm第5層氟樹脂(旭硝子公司制7^才乂ETFEC-88AXP)5pm(實施例8)按成為下述構(gòu)成的方式、在280°C從多腔模共擠出，在5x1(T3Pa(5kgf/cm2)的壓力下、在240。C加壓處理IO分鐘，得到作為目標(biāo)的膜。第1層氟樹脂(旭硝子公司制7/k才7ETFEC-88AXP)5pm第2層粘合性氟樹脂(夕"4《>工業(yè)公司制才才7口>EFEPEP-5000)5pm第3層改性聚烯烴樹脂(日本聚乙烯公司制k夕；^《一RA3150)804m第4層粘合性氟樹脂(夕"4《>工業(yè)公司制豐才7口>EFEPEP-5000)5pm第5層氟樹脂(旭硝子公司制7A才7ETFEC-88AXP)5pm(實施例9)按成為下述構(gòu)成的方式、采用與實施例7同樣的方法，得到作為目標(biāo)的第l層氟樹脂(旭硝子公司制7A才^ETFEC-88AXP)5pm第2層粘合性氟樹脂(夕、'4扦>工業(yè)公司制才才7口>EFEPEP-5000)10|am第3層改性聚蹄烴樹脂(日本聚乙烯公司制k夕義一ARA3150)lO[im第4層聚烯烴樹脂(日本;K卩少厶公司制乂"亍'乂夕HDHJ580)70pm第5層改性聚烯烴樹脂(日本聚乙烯公司制k夕只^—ARA3150)10pm第6層粘合性氟樹月旨(,4軒乂工業(yè)公司制才才7口>EFEPEP-5000)10pm第7層氟樹脂(旭硝子公司制7^才乂ETFEC-88AXP)5pm(實施例10)按成為下述構(gòu)成的方式、采用與實施例8同樣的方法，得到作為目標(biāo)的第l層氟樹脂(旭竭子公司制7^才乂ETFEC-88AXP)5)am第2層粘合性氟樹脂(夕'、4*^工業(yè)公司制卑才7口7EFEPEP-5000)5pm第3層改性聚烯烴樹脂(日本聚乙烯公司制RA3150)5nm第4層聚烯烴樹脂(日本水卩亇厶公司制乂戸尹少夕HDHJ580)70^mi第5層改性聚烯烴樹脂(日本聚乙烯公司制k夕X川一ARA3150)5pm第6層粘合性氟樹脂(夕、、4*>工業(yè)公司制豐才7口7EFEPEP-5000)5pm第7層氟樹脂(旭硝子公司制7/L才》ETFEC-88AXP)5pm(實施例11)作為粘合性氟樹脂，使用旭硝子公司制的7》才>LM-ETFEAH2000,除此以外，與實施例7同樣地進(jìn)行，得到了脫模用層壓膜。(實施例12)作為粘合性氟樹脂，使用旭硝子公司制的7A才7LM-ETFEAH2000，除此以外，與實施例8同樣地進(jìn)行，得到了脫模用層壓膜。(實施例13)作為粘合性氟樹脂，使用旭硝子公司制的！7乂L才歹LM-ETFEAH2000，除此以外，與實施例9同樣地進(jìn)行，得到了脫模用層壓膜。(實施例14)作為粘合性氟樹脂，使用旭硝子公司制的7A才7LM-ETFEAH2000,除此以外，與實施例10同樣地進(jìn)行，得到了脫模用層壓膜。(比較例4)使實施例7的第2層、第4層為聚乙烯樹脂(日本水卩少厶公司制乂T7夕HDHJ580)，除此以外，與實施例7同樣地進(jìn)行，得到了脫4莫用層壓膜。(比較例5)使實施例7的第2層、第4層為四氟乙烯-六氟丙烯-偏二氟乙烯共聚物(夕'4二才^公司制THV220G)，除此以外，與實施例7同樣地進(jìn)行，得到了脫模用層壓膜。(比較例6)使實施例7的第2層、第4層為四氟乙烯-六氟丙烯共聚物(夕、、4《7公司制凈才7口>FEP)，除此以外，與實施例7同樣地進(jìn)行，得到了脫模用層壓膜。(比4交例7)使實施例7的第2層、第4層為偏二氟乙烯(夕U^、公司制KF水！J7—T#850)，除此以外，與實施例7同樣地進(jìn)行，得到了脫模用層壓膜。(比4交例8)以原樣不變的狀態(tài)直接使用了厚度為50(im的ETFE(旭硝子公司制7^才^ETFEC-88AXP)膜。<基板的層壓壓制成型(1)〉使用在上述的實施例1~14和比較例1~8中制作的膜作為印刷電路板成型過程中的脫模膜。膜在印刷電路板成型用的壓制加工機(jī)上從下層順序地放置成為[緩沖材料/不銹鋼(SUS)裝飾板/脫模膜/層壓成型材料(外裝飾用鍍銅層壓板、內(nèi)裝飾用鍍銅層壓板、帶有浸滲有環(huán)氧樹脂的玻璃布的預(yù)浸處理片)/脫模膜/不銹鋼(SUS)裝飾板/緩沖材料],加壓壓制是在壓制機(jī)壓力為3.6MPa、加壓溫度為180°C、加熱時間為77分鐘的條件下進(jìn)行?！丛u價方法(l)〉對于在上述的實施例1~14和比較例1~8中制作的膜、和在層壓壓制成型中使用的膜，采用以下的評價項目進(jìn)行評價。將評價結(jié)果匯總示于表1和表2中。(擠出加工性)o:通過共擠出(根據(jù)情況為共擠出+壓制)可穩(wěn)定地得到膜。x:共擠出時層間剝離，不能穩(wěn)定地巻取。(層間粘合性)o:未發(fā)生層間剝離。x:巻取時等發(fā)生層間剝離。(密封性)目視考察環(huán)氧樹脂是否從印刷電路板的通孔擠出。o:樹脂沒有從通孔擠出。△:樹脂從通孔的擠出為0.5mm以內(nèi)。x:樹脂A人通孔的沖齊出為0.5mm以上。(表面脫才莫性)壓制加工后，目視評價不銹鋼(SUS)裝飾板和層壓成型材料之間是否有脫模性。o:有脫模性，可輕輕地剝離。x:無脫^^莫性，不能使用。(操作性)評價了在涂布時、裝入壓力機(jī)時的脫模用層壓膜的操作容易性。o:膜有挺度，易放置，不起褶皺。x:膜沒有挺度，難以放置，易起褶皺。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage24</column></row><table>如表1所示，本發(fā)明的脫模用層壓膜(實施例1~6)，膜的層間粘合性良好，作為脫模膜，密封性、表面脫模性、操作性均優(yōu)異。另一方面，比較例13的層壓膜，層間粘合性差，各層剝離，不能夠進(jìn)行作為脫模膜的評價。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage25</column></row><table>由表2可知，本發(fā)明的脫模用層壓膜(實施例7~14),在層間粘合性、脫模性等所有方面都優(yōu)異。而比較例47的膜，雖然脫模性、密封性、經(jīng)濟(jì)性優(yōu)異，但在其他的任一項目上則差。另外，原樣不變地直接使用ETFE膜的膜(比較例8),雖然脫模性優(yōu)異，但是經(jīng)濟(jì)性、操作性差。<脫模用層壓膜0作制(2)>(實施例15)按成為下述構(gòu)成的方式、在300。C從多腔模共擠出，得到作為目標(biāo)的膜。第1層氟樹脂(三井f二求y7口口夂；、力7L公司制亍7七'A290)5|im第2層耐熱性樹脂(三菱工乂5'二7卩乂夕"7°，,千7夕公司制工-匕°口》S-2000)lOOpm第3層氟樹脂(三井，'、工求>:7口口少；、力乂b公司制r7七、/k290)5pm(實施例16)作為氟樹脂，使用夕、、*>工業(yè)公司制的才才7口>EFEPRP-5000，除此以外，與實施例15同樣地進(jìn)行，得到脫模膜。(實施例17)作為耐熱性樹脂，使用日本GE7°，X千、7夕制的々Ar厶1000,除此以外，與實施例15同樣地進(jìn)行，得到脫模膜。(實施例18)按成為下述構(gòu)成的方式、在300。C從多腔模共擠出，得到作為目標(biāo)的膜。第1層氟樹脂(三井f工求〉7口口少；、力>公司制亍7七、A290)5|am第2層耐熱性樹脂(三菱工歹--7*卩>夕'7°，7f夕公司制工-匕°口乂S-2000)100,第3層氟樹脂(三井亍、'二求77口口少；力乂L公司制r7七A290)5|mn(實施例19)作為氟樹脂，使用夕、、4^〉工業(yè)公司制的凈才7口7EFEPRP-5000，除此以外，與實施例18同樣地進(jìn)行，得到脫模膜。(實施例20)作為耐熱性樹脂，使用日本GE:/，久千少夕公司制的々^亍厶1000,除此以外，與實施例18同樣地進(jìn)行，得到脫模膜。(實施例21)作為耐熱性樹脂，使用宇部興產(chǎn)公司制的UBE尼龍61015B,除此以外，與實施例18同樣地進(jìn)行，得到脫模膜。(實施例22)作為耐熱性樹脂，使用日本合成化學(xué)工業(yè)公司制的乂7乂一/LA4412，除此以外，與實施例18同樣地進(jìn)行，得到脫模膜。(實施例23)作為氟樹脂，使用住友只>]一工厶公司制的THV220,除此以外，與實施例15同樣地進(jìn)行，得到脫模膜。(實施例24)作為氟樹脂，使用夕、、*>工業(yè)公司制的才才:7口>FEP，除此以外，與實施例15同樣地進(jìn)行，得到脫模膜。(比4交例9)原樣不變地直接使用厚度為50pm的ETFE(旭硝子公司制ETFEC-88AXP)膜。(實施例25)作為氟樹脂，使用住友久II一工厶公司制的THV220，除此以外，與實施例18同樣地進(jìn)行，得到脫模膜。(實施例26)作為氟樹脂，使用夕、'4《乂工業(yè)公司制的才才7口7FEP，除此以外，與實施例18同樣地進(jìn)行，得到脫模膜。(比較例10)原樣不變地直接使用厚度為50jum的ETFE(旭硝子公司制7A才7ETFEC-88AXP)膜。(參考例1)使用實施例1的膜。<基板的層壓壓制成型(2)>通過使用在上述的實施例15~26、比較例9~10和參考例1中制作的膜作為在印刷電路板成型過程中的脫模膜，進(jìn)行性能評價。膜是在印刷電路板成型用的壓制加工機(jī)上從下層順序地放置成為[緩沖材料/不銹鋼(SUS)裝飾板/脫模膜/層壓成型材料(外裝飾用鍍銅層壓板、內(nèi)裝飾用鍍銅層壓板、帶有浸滲有環(huán)氧樹脂的玻璃布的預(yù)浸處理片)/脫模膜/不銹鋼(SUS)裝飾板/緩沖材料]，加壓壓制是在壓壓制機(jī)壓力為3.6MPa、加壓溫度為180°C、加熱時間為77分鐘的條件下進(jìn)行。<評價方法(2)〉采用以下的評價項目來評價在上述的實施例15~26、比較例9~10和參考例1中制作的膜、和在層壓壓制成型中使用的膜。將評價結(jié)果匯總示于表1中。(押出加工性)o:通過共擠出能夠穩(wěn)定地得到膜?！?能夠進(jìn)行共擠出，但巻取時可看到剝離。x-.共擠出時層間剝離，不能穩(wěn)定地巻取。(層間粘合性)o:用刃具切斷，將切斷部分用手指彎曲一次時，未發(fā)生層間剝離?！?用刃具切斷，將切斷部分用手指彎曲一次時，發(fā)生層間剝離。x:用刃具切斷時，發(fā)生層間剝離。(密封性)目視考察環(huán)氧樹脂是否從印刷電路板的通孔擠出。o:樹脂沒有從通孔擠出?！?樹脂從通孔的擠出為0.5mm以內(nèi)。x:樹脂從通孔的擠出為0.5mm以上。(高溫密封性)將層壓壓制成型中的加熱溫度從180。C變?yōu)?00°C,除此以外，與上述的r密封性」同樣地進(jìn)行評価。(表面脫模性)壓制加工后，目視評價不銹鋼(SUS)裝飾板和層壓成型材料之間是否有脫模性。o:有脫模性，可輕輕地剝離?！?有脫模性，但存在難以剝離的部分。x:無脫模性，不能使用。(操作性)評價了在涂布時、裝入壓力機(jī)時的脫模用層壓膜的操作容易性。o:膜有挺度，易放置，不起褶皺?！?模的挺度弱，在放置時易起褶皺。X:膜沒有挺度，難以放置，易起褶皺。<table>tableseeoriginaldocumentpage29</column></row><table><脫模用層壓膜的制作和基板的層壓壓制成型(3)>(實施例27)使用本發(fā)明的脫模用層壓膜100制造在BGA(BallGridArray)用多層基板中使用的層壓體的基板，使用了在玻璃基材中浸滲有BT樹脂(商品名HL830(三菱瓦斯化學(xué)公司制))的基板。另外，預(yù)浸處理片使用了在玻璃芯材中浸滲有BT樹脂(商品名HL830(三菱瓦斯化學(xué)公司制))的預(yù)浸處理片。樹脂量為75%。在本實施例中使用的脫模用層壓膜100，是圖3(c)所示的100L的形態(tài)的膜。層壓膜100通過在240。C從多腔模共擠出而得到。對層壓膜100的各層進(jìn)行說明，由氟樹脂構(gòu)成的層70a、70b由ETFE(商品名7A才乂LM720;旭硝子公司制)以2.5|im的厚度形成。由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層20a、20b,由夕、、*7工業(yè)制的才才7口》EFEPEP-5000以2.5pm的厚度形成。另外，芯層50a由改性聚乙烯(商品名k夕只一^RA3150;日本聚乙烯公司制)以500)im的厚度形成。再者，ETFE的熔點為230°C、粘合性氟樹脂的熔點為200°C。層壓壓制成型如下進(jìn)行。如圖5所示，在壓制成型裝置300的上下對置地配置的模具310a、310b之間，配置不銹鋼板320a、320b、緩沖材料(未圖示)、基板用的3片基材330a、330b、330c、預(yù)浸處理片340a、340b、和脫模用層壓膜IOO。即，在脫模用層壓膜100中，按由氟樹脂構(gòu)成的層(例如70a)與不銹鋼板320a的下面?zhèn)冉佑|、由氟樹脂構(gòu)成的層(例如70b)與基材330a的上面?zhèn)冉佑|的方式配置。它們分別設(shè)有銷孔，立著設(shè)置于模具310a、310b之間的確定位置用的銷350從該銷孔插過，確定位置。不銹鋼板320a、320b使用了SUS630不4秀鋼。加壓壓力規(guī)定為0.98MPa、1.96MPa的2階段加壓。成型溫度為200°C，在從常溫升溫過程中達(dá)到ll(TC的時刻，將壓力從0.98MPa切換為1.96MPa。20(TC的保持時間為5分鐘。在這樣的成型條件下進(jìn)行壓制成型，成型完成后，取出層壓體。用電子顯微鏡觀察所得到的層壓體，結(jié)果未發(fā)現(xiàn)預(yù)浸處理片的流出。(比較例11)不使用脫模用層壓膜就進(jìn)行成型，除此以外與實施例27同樣地進(jìn)行了多層基板用層壓體的制造。用電子顯微鏡進(jìn)行了觀察，結(jié)果在所得到的層壓體的凹凸形狀面上可看到預(yù)浸處理片的流出。權(quán)利要求1.一種脫模用層壓膜，其具有由耐熱性樹脂構(gòu)成的層、和在該層的至少一面上層壓的由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層。2.按照權(quán)利要求1所述的脫模用層壓膜，其中，在由耐熱性樹脂構(gòu)成的層的兩面上層壓由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層。3.按照權(quán)利要求1或2所述的脫模用層壓膜，其中，上述粘合性氟樹脂在17卯cm」1800cm-1之間和1845cm"1855cm"之間、或者在1800cm"1815cm—'之間具有IR吸收光譜。4.按照權(quán)利要求1或2所述的脫模用層壓膜，其中，上述由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層的厚度為115pm，上述由耐熱性樹脂構(gòu)成的層的厚度為10~150拜。5.按照權(quán)利要求1或2所述的脫模用層壓膜，其中，形成上述由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層的粘合性氟樹脂是低熔點乙烯-四氟乙烯共聚物。6.按照權(quán)利要求1或2所述的脫模用層壓膜，其中，形成上述由耐熱性樹脂構(gòu)成的層的耐熱性樹脂是聚碳酸酯、乙烯-乙烯醇共聚物、聚酰胺中的任一種。7.按照權(quán)利要求1或2所述的脫模用層壓膜，其通過共擠出而形成。8.—種脫模用層壓膜，其具有由耐熱性樹脂構(gòu)成的層、以及與上述由耐熱性樹脂構(gòu)成的層的至少一面相鄰而層壓的由氟樹脂構(gòu)成的層，所述耐熱性樹脂選自聚碳酸酯、聚碳酸酯系合金、聚醚酰亞胺、乙烯-乙烯醇共聚物、聚酰胺、聚酰胺系合金。9.按照權(quán)利要求8所述的脫模用層壓膜，其是上述由耐熱性樹脂構(gòu)成的層和上述由氟樹脂構(gòu)成的層共擠出而成型的。10.按照權(quán)利要求8或9所述的脫模用層壓膜，其中，在上述由耐熱性樹脂構(gòu)成的層的兩面上層壓上述由氟樹脂構(gòu)成的層。11.按照權(quán)利要求8或9所述的脫模用層壓膜，其中，上述由氟樹脂構(gòu)成的層的厚度為l~15pm,上述由耐熱性樹脂構(gòu)成的層的厚度為10~150(im。12.按照權(quán)利要求8或9所述的脫模用層壓膜，其中，形成上述由氟樹脂構(gòu)成的層的氟樹脂是乙烯-四氟乙烯共聚物。13.按照權(quán)利要求8或9所述的脫模用層壓膜，其中，形成上述由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層的氟樹脂是低熔點乙烯-四氟乙烯共聚物。全文摘要本發(fā)明提供一種脫模用層壓膜，該脫模用層壓膜具有由改性聚烯烴樹脂構(gòu)成的層、和在該層的至少一面上層壓的由粘合性氟樹脂構(gòu)成的層。本發(fā)明的脫模用層壓膜具有氟樹脂的表面特性，同時不易發(fā)生層間剝離，操作性、經(jīng)濟(jì)性也優(yōu)異，而且進(jìn)一步壓制成型時能夠容易地追隨多層基板的階梯狀的形狀。文檔編號B32B27/08GK101531080SQ20091013280公開日2009年9月16日申請日期2005年5月27日優(yōu)先權(quán)日2004年5月27日發(fā)明者垣下修,西岡潤,西尾欣彥,西村茂樹申請人:三菱樹脂株式會社