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應用于傳送窗口的機械手臂及裝載系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:40637569發(fā)布日期:2025-01-10 18:43閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.應用于傳送窗口的機械手臂(1),具有肩部關(guān)節(jié)中心(11)、肘部關(guān)節(jié)中心(12)和腕部關(guān)節(jié)中心(13),其特征在于,包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的應用于傳送窗口的機械手臂(1),其特征在于,至少四個所述動力源(14)包括并列設(shè)置的第一電機(141)、第二電機(142)、第三電機(143)和第四電機(144),所述第一電機(141)的輸出軸與所述動力軸(16)同軸設(shè)置,所述第二電機(142)、所述第三電機(143)和所述第四電機(144)具有位于不同高度的輸出端。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的應用于傳送窗口的機械手臂(1),其特征在于,還包括升降座(145),至少四個所述動力源(14)設(shè)置在升降座(145)上與所述升降座(145)能夠同步升降。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的應用于傳送窗口的機械手臂(1),其特征在于,所述動能組件還包括驅(qū)動帶輪組(146)和傳動帶輪組(147),所述驅(qū)動帶輪組(146)包括與所述第二電機(142)傳動連接的第一帶輪(1461)、與所述第三電機(143)傳動連接的第二帶輪(1462)和與所述第四電機(144)傳動連接的第三帶輪(1463);

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的應用于傳送窗口的機械手臂(1),其特征在于,所述動力軸(16)包括塔傳中軸(161)以及沿所述塔傳中軸(161)的徑向由內(nèi)到外依次同軸設(shè)置并轉(zhuǎn)動連接的內(nèi)層軸(162)、中層軸(163)和外層軸(164),所述塔傳中軸(161)與所述肩部關(guān)節(jié)中心(11)同軸設(shè)置,所述塔傳中軸(161)一端與所述第一電機(141)的輸出端固定連接,另一端與所述大臂(151)的固定連接,所述第四帶輪(1471)、所述第五帶輪(1472)和所述第六帶輪(1473)分別套設(shè)在所述內(nèi)層軸(162)、所述中層軸(163)和所述外層軸(164)的動力輸入部。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的應用于傳送窗口的機械手臂(1),其特征在于,所述傳動組件(17)包括位于所述肩部關(guān)節(jié)中心(11)的肩部關(guān)節(jié)帶輪組(171)、位于所述肘部關(guān)節(jié)中心(12)的肘部關(guān)節(jié)帶輪組(172)和位于所述腕部關(guān)節(jié)中心(13)腕部關(guān)節(jié)帶輪組(173),所述肩部關(guān)節(jié)帶輪組(171)設(shè)置在所述動能輸出部上用于將所述動力軸(16)的動能傳遞至所述肘部關(guān)節(jié)帶輪組(172),所述肘部關(guān)節(jié)帶輪組(172)用于將動能傳遞至所述腕部關(guān)節(jié)帶輪組(173),所述腕部關(guān)節(jié)帶輪組(173)用于將動能傳遞至所述機械夾爪(153)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的應用于傳送窗口的機械手臂(1),其特征在于,所述肩部關(guān)節(jié)帶輪組(171)包括沿高度方向由上至下依次分布的第七帶輪(1711)、第八帶輪(1712)和第九帶輪(1713),所述第九帶輪(1713)同軸套設(shè)在所述內(nèi)層軸(162)上與所述第四帶輪(1471)同步轉(zhuǎn)動;所述第八帶輪(1712)同軸套設(shè)在所述中層軸(163)上與所述第五帶輪(1472)同步轉(zhuǎn)動;所述第七帶輪(1711)同軸套設(shè)在所述外層軸(164)上與所述第六帶輪(1473)同步轉(zhuǎn)動。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的應用于傳送窗口的機械手臂(1),其特征在于,所述肘部關(guān)節(jié)帶輪組(172)包括位于所述肘部關(guān)節(jié)中心(12)且同軸設(shè)置的關(guān)節(jié)軸(177)、第十帶輪(1721)、第十一帶輪(1722)、第十二帶輪(1723)、第十三帶輪(1724)和第十四帶輪(1725),所述關(guān)節(jié)軸(177)與所述大臂(151)的關(guān)節(jié)處固定連接,所述第十帶輪(1721)與所述第七帶輪(1711)傳動連接,所述第十一帶輪(1722)與所述第八帶輪(1712)傳動連接,所述第十二帶輪(1723)與所述第九帶輪(1713)傳動連接,所述第十一帶輪(1722)與所述第十四帶輪(1725)固定連接同步轉(zhuǎn)動,所述第十二帶輪(1723)與所述第十三帶輪(1724)固定連接同步轉(zhuǎn)動。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的應用于傳送窗口的機械手臂(1),其特征在于,所述第十帶輪(1721)內(nèi)部設(shè)置有內(nèi)軸套(1726),所述內(nèi)軸套(1726)轉(zhuǎn)動套設(shè)在所述關(guān)節(jié)軸(177)上,所述內(nèi)軸套(1726)背離所述關(guān)節(jié)軸(177)的一側(cè)固定連接有承載盤(176),所述承載盤(176)固定連接在所述小臂(152)上;所述第十一帶輪(1722)與所述第十四帶輪(1725)內(nèi)部設(shè)置有中軸套(1727),所述中軸套(1727)轉(zhuǎn)動連接所述內(nèi)軸套(1726);所述第十二帶輪(1723)與所述第十三帶輪(1724)內(nèi)部設(shè)置有外軸套(1728),所述外軸套(1728)轉(zhuǎn)動連接所述中軸套(1727)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的應用于傳送窗口的機械手臂(1),其特征在于,所述腕部關(guān)節(jié)帶輪組(173)包括位于所述腕部關(guān)節(jié)中心(13)且同軸設(shè)置的第十五帶輪(1731)和第十六帶輪(1732),所述第十五帶輪(1731)與所述第十三帶輪(1724)傳動連接,所述第十六帶輪(1732)與所述第十四帶輪(1725)傳動連接。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的應用于傳送窗口的機械手臂(1),其特征在于,所述第十五帶輪(1731)包括第一軸承(174)和第一輪體,所述機械夾爪(153)具有驅(qū)動夾持動作的夾持軸(1531),所述第一軸承(174)的外環(huán)固定在小臂(152)內(nèi),所述第一軸承(174)的內(nèi)環(huán)與第十五帶輪(1731)固定連接,所述夾持軸(1531)與第十五帶輪(1731)固定連接。

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的應用于傳送窗口的機械手臂(1),其特征在于,所述第十六帶輪(1732)包括第二軸承(175)和第二輪體,所述第二軸承(175)的外環(huán)固定在大臂(151)內(nèi),所述第二軸承(175)的內(nèi)環(huán)的一個端面與所述第十六帶輪(1732)固定連接,所述第二軸承(175)的內(nèi)環(huán)的另一個端面與所述機械夾爪(153)固定連接。

13.裝載系統(tǒng),包括如權(quán)利要求1-12任意一項所述的應用于傳送窗口的機械手臂(1),其特征在于,還包括:


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了應用于傳送窗口的機械手臂及裝載系統(tǒng),具有肩部關(guān)節(jié)中心、肘部關(guān)節(jié)中心和腕部關(guān)節(jié)中心,包括:至少四個沿水平方向并列設(shè)置的動力源;手臂本體,包括大臂、小臂、機械夾爪和動力軸,所述動力軸包括位于軸體兩端的動力輸入部和動力輸出部,所述動力輸入部與所述動能組件的至少四個所述輸出端傳動連接;傳動組件,與所述動能輸出部傳動連接;傳遞的動能分別用于驅(qū)動所述大臂圍繞所述肩部關(guān)節(jié)中心沿水平方向旋轉(zhuǎn)、驅(qū)動所述小臂圍繞肘部關(guān)節(jié)中心沿水平方向旋轉(zhuǎn)、驅(qū)動所述機械夾爪圍繞腕部關(guān)節(jié)中心沿水平方向旋轉(zhuǎn)以及驅(qū)動所述機械夾爪夾取晶圓傳送盒。采用上述方案,實現(xiàn)了在傳送窗口內(nèi)的多角度大扭矩移動和整體安裝空間限制的要求。

技術(shù)研發(fā)人員:朱玉東,嚴夢,劉瑋,趙渠
受保護的技術(shù)使用者:素珀電子科技(上海)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/1/9
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