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在探測器管座上貼裝芯片時使用的載具的制作方法

文檔序號:11715997閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種在探測器管座上貼裝芯片時使用的載具,其特征在于:包括分體設(shè)置的基座(1)和定位座(2),所述基座(1)的頂部設(shè)置有適于對所述定位座(2)限位的限位槽(11),所述定位座(2)的底部成型有開口向朝下的凹腔(21),所述限位槽(11)底壁上與所述凹腔(21)對應(yīng)的位置成型有抽氣孔(12),所述基座(1)的側(cè)壁上成型有與所述抽氣孔(12)相連通的適于連接真空泵的接口(13),所述定位座(2)的頂壁上成型有按矩形陣列排布的用于容納管座頭部(32)的容納孔(22),所述容納孔(22)為上大下小的階梯孔,其下端與所述凹腔(21)連通,該階梯孔由孔徑較大的大孔段(23)和孔徑較小的小孔段(24)連接構(gòu)成,所述大孔段(23)的孔徑大于所述管座頭部(32)的外徑,小孔段(24)的孔徑小于所述管座頭部(32)的外徑,在大孔段(23)和小孔段(24)連接處具有適于與管座頭部(32)底面相抵的環(huán)形平面(26),在所述大孔段(23)的側(cè)壁上成型有與管座頭部(32)的定位凸耳(33)配合的定位缺口(25)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在探測器管座上貼裝芯片時使用的載具,其特征在于:所述容納孔(22)的上端口為利于所述探測器管座(3)插入的喇叭口狀。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的在探測器管座上貼裝芯片時使用的載具,其特征在于:所述基座(1)上成型有固定安裝用的固定孔(14)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的在探測器管座上貼裝芯片時使用的載具,其特征在于:所述基座(1)的頂壁上成型有四個所述的限位槽(11),四個限位槽(11)之間形成有十字形凸筋(15)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至3中任一項所述的在探測器管座上貼裝芯片時使用的載具,其特征在于:所述限位槽(11)的底壁上覆蓋有保護膜層,所述保護膜層與所述抽氣孔(12)對應(yīng)的位置設(shè)有透孔。

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