專利名稱：一種硅片自動化學腐蝕機的控制系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及硅片制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種硅片自動化學腐蝕機的控制系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
化學腐蝕是當今硅片的制造過程中非常重要的工藝?，F(xiàn)今生產(chǎn)中使用的主流設(shè)備都是日本出產(chǎn)，基本上能滿足生產(chǎn)中的需要?？呻S著設(shè)備在日常中的使用，動力控制部分中的一些不足及程序上的一些不合理的就逐步顯現(xiàn)出來。原化腐機的搬運系統(tǒng)為汽缸傳動。通過控制氣閥的通斷來控制汽缸活塞的運動，利用螺紋與螺母的運動達到機械臂運動的效果。制動部分采用光耦限位開關(guān)及保險硬限位塊，制動動作存在一定安全隱患。而且傳統(tǒng)的氣缸中活塞的密封由于往復(fù)運動存在老化，致使氣缸內(nèi)部竄氣，活塞卡住運動不到位。另外，原化腐機控制機械手進入酸液的深度都是采用外部限位開關(guān)控制的。這就導致腐蝕不同尺寸的拋光片時，需要調(diào)節(jié)限位開關(guān)的不同位置，工序繁瑣。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的問題是提供一種采用電機控制能精確定位的硅片自動化學腐蝕機的控制系統(tǒng)。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:一種硅片自動化學腐蝕機的控制系統(tǒng)，包括機械手，其特征在于:還包括伺服電機、伺服電機驅(qū)動器、伺服驅(qū)動模塊和PC控制器，所述PLC控制器連接所述伺服驅(qū)動模塊，所述伺服驅(qū)動模塊還所述伺服電機驅(qū)動器相連，所述伺服電機驅(qū)動器與所述電機相連，所述伺服電機與所述機械手相連。所述伺服驅(qū)動模塊與所述伺服電機驅(qū)動器通過光纖傳輸線相連。所述伺服電機驅(qū)動器的型號為MR-J3-200B。所述伺服驅(qū)動模塊的型號為Qd75MH_l。所述伺服電機驅(qū)動器還具有中斷報警端口，與伺服電機相連。本發(fā)明具有的優(yōu)點和積極效果是:由于采用上述技術(shù)方案，能夠避免由于汽缸老化造成的系統(tǒng)故障，及其故障所產(chǎn)生的損失。采用的伺服電機能夠精確的定位從而減少變更產(chǎn)品時對設(shè)備的調(diào)整。伺服電機控制機械手實現(xiàn)拋動功能能夠提高化腐機所加工產(chǎn)品的質(zhì)量，提高合格率。


圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)框2是本發(fā)明工作控制方法的流程圖
具體實施方式
如圖1所示，本發(fā)明包括機械手，其特征在于:還包括伺服電機、伺服電機驅(qū)動器、伺服驅(qū)動模塊和PLC控制器，所述PLC控制器連接所述伺服驅(qū)動模塊，所述伺服驅(qū)動模塊還所述伺服電機驅(qū)動器相連，所述伺服電機驅(qū)動器與所述電機相連，所述伺服電機與所述機械手相連。所述伺服驅(qū)動模塊與所述伺服電機驅(qū)動器通過光纖傳輸線相連。所述伺服電機驅(qū)動器的型號為MR-J3-200B。所述伺服驅(qū)動模塊的型號為Qd75MH_l。本實例的工作過程:基于生產(chǎn)工藝中的各項要求，在PLC控制器上設(shè)置好運行參數(shù)，PLC控制器通過讀取這些參數(shù)，來給伺服驅(qū)動模塊指令；指令中包括運行時的速度，運行的位置，以及每一步驟保持的時間。伺服驅(qū)動模塊通過光纖將指令傳達給伺服電機驅(qū)動器，伺服電機驅(qū)動器接到指令后，會驅(qū)動伺服電機運轉(zhuǎn)，機械手達到指定位置，并按照設(shè)定程序進行工作。如圖2所示，該控制系統(tǒng)的控制方式為:(I)開啟設(shè)備后上料架的位置應(yīng)在原點位置，如不在則PLC控制器則控制上料架自動運行到原點位置，等待上料。(2)上料結(jié)束后，根據(jù)要酸腐的硅片尺寸進行浸沒位置及運行速度的設(shè)置。(3)參數(shù)設(shè)置好后，機械手根據(jù)參數(shù)緩慢進入酸洗槽中的指定位置進行酸腐。(4)進入酸腐槽后，機械手會運行拋動程序，上下運行并持續(xù)一段時間。(5)拋動過程完成后，為避免氧化，機械手將快速的從酸槽運行到水槽，進行純水漂洗。(6)漂洗過程完成后，機械手自動回到原點位置等待卸料，至此單次腐化過程運行完畢。伺服電機驅(qū)動器還具有中斷報警端口，與伺服電機相連。當伺服電機運行到限位開關(guān)位時，會強行中斷電機運作，起到保護作用；同時產(chǎn)生一個報警信號，通知操作人員，以達到警示作用。以上對本發(fā)明的一個實施例進行了詳細說明，但所述內(nèi)容僅為本發(fā)明的較佳實施例，不能被認為用于限定本發(fā)明的實施范圍。凡依本發(fā)明申請范圍所作的均等變化與改進等，均應(yīng)仍歸屬于本發(fā)明的專利涵蓋范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種硅片自動化學腐蝕機的控制系統(tǒng)，包括機械手，其特征在于:還包括伺服電機、伺服電機驅(qū)動器、伺服驅(qū)動模塊和PLC控制器，所述PLC控制器連接所述伺服驅(qū)動模塊，所述伺服驅(qū)動模塊還所述伺服電機驅(qū)動器相連，所述伺服電機驅(qū)動器與所述伺服電機相連，所述伺服電機與所述機械手相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制系統(tǒng)，其特征在于:所述伺服驅(qū)動模塊與所述伺服電機驅(qū)動器通過光纖傳輸線相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制系統(tǒng)，其特征在于:所述伺服電機驅(qū)動器的型號為MR-J3-200B。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制系統(tǒng)，其特征在于:所述伺服驅(qū)動模塊的型號為Qd75MH-l。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的控制系統(tǒng)，其特征在于:所述伺服電機驅(qū)動器還具有中斷報警端口，與所述伺服電機相連。
全文摘要
本發(fā)明提供一種硅片自動化學腐蝕機的控制系統(tǒng)，包括機械手，其特征在于還包括伺服電機、伺服電機驅(qū)動器、伺服驅(qū)動模塊和PLC控制器，所述PLC控制器連接所述伺服驅(qū)動模塊，所述伺服驅(qū)動模塊還所述伺服電機驅(qū)動器相連，所述伺服電機驅(qū)動器與所述伺服電機相連，所述伺服電機與所述機械手相連。本發(fā)明的有益效果是能夠精確的定位，提高化腐機所加工產(chǎn)品的質(zhì)量，提高合格率。
文檔編號B25J9/18GK103144112SQ20131005826
公開日2013年6月12日 申請日期2013年2月25日 優(yōu)先權(quán)日2013年2月25日
發(fā)明者靳立輝, 王國瑞, 于書瀚, 張基龍 申請人:天津市環(huán)歐半導體材料技術(shù)有限公司