專利名稱：密封裝置及密封系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體工藝設(shè)備的密封技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種密封裝置及密封系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體工藝設(shè)備中，對(duì)微環(huán)境需要較高的潔凈度和低的含氧量，以保證生產(chǎn)出的硅晶片質(zhì)量。傳統(tǒng)的半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)微環(huán)境后門(mén)的密封一般采用密封墊片或者其他形狀的密封墊，主要是靠密封墊的壓縮量來(lái)保證密封效果。由于微環(huán)境需要密封的面比較大，靠密封墊的壓縮難以保證較好的密封效果。半導(dǎo)體制造工藝中的密封代表多種類(lèi)型的密封，例如半導(dǎo)體設(shè)備微環(huán)境、潔凈腔室、密封車(chē)間等密閉空間的密封。半導(dǎo)體微環(huán)境的密封在領(lǐng)域內(nèi)應(yīng)用最多的是各類(lèi)密封條，如D形密封條、矩形密封條、P形密封條等多種形狀的密封條等。用來(lái)消除密封門(mén)與門(mén)框之間的間隙，得到了良好的密封效果。但是采用密封條、密封墊的密封方式，在使用過(guò)程中不是很穩(wěn)定，如果門(mén)板水平度不好或者是使用過(guò)程中產(chǎn)生扭曲，將達(dá)不到密封的效果，并且由于長(zhǎng)期的擠壓會(huì)產(chǎn)生變形、移位。密封條會(huì)失去密封的效果。而且受損的密封條很容易將產(chǎn)生的顆粒帶到微環(huán)境里面，影響晶片工藝效果。

發(fā)明內(nèi)容
(一)要解決的技術(shù)問(wèn)題本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是如何對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備微環(huán)境實(shí)現(xiàn)更好地密封。( 二 )技術(shù)方案為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種密封裝置，包括充氣密封圈及為所述充氣密封圈充氣的充氣裝置，所述充氣密封圈用于密封待密封空間。其中，所述充氣密封圈包括充氣圈及與所述充氣圈形成為一體的固定座，所述充氣圈用于密封待密封空間，所述固定座用于固定所述充氣密封圈。其中，所述固定座的橫截面為矩形。其中，所述固定座的橫截面為燕尾形。其中，所述充氣密封圈的材料為潔凈系列材料。其中，所述潔凈系列材料包括硅橡膠、氟橡膠。其中，所述充氣裝置包括氣源、電磁閥和管路，所述管路連接所述氣源和充氣密封圈，電磁閥安裝在氣源和充氣密封圈之間的管路上，用于控制所述充氣密封圈的充/放氣。其中，所述充氣裝置還包括安裝在所述管路上的調(diào)壓閥，用于調(diào)節(jié)所述管路的壓力。其中，所述電磁閥為雙電控的電磁閥。
本發(fā)明還提供了一種密封系統(tǒng)，包括密封門(mén)和上述任一項(xiàng)所述的密封裝置，所述密封門(mén)包括門(mén)和門(mén)框，密封裝置用于密封所述密封門(mén)，使門(mén)和門(mén)框無(wú)間隙。其中，所述充氣密封圈包括充氣圈及與所述充氣圈形成為一體的固定座，所述門(mén)框上設(shè)置有與所述固定座相配合的固定槽，用于固定所述固定座。其中，所述固定座的橫截面為矩形，固定槽為矩形槽。其中，所述固定座的橫截面為燕尾形，固定槽為燕尾槽。(三)有益效果本發(fā)明采用充氣密封圈，在密封時(shí)消除密封門(mén)與門(mén)框之間的間隙，得到了良好的密封效果，而且產(chǎn)品使用過(guò)程比較穩(wěn)定，不易破損，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，壽命較長(zhǎng)。


圖1是密封微環(huán)境密封系統(tǒng)(只示出了門(mén)和門(mén)框)結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本發(fā)明實(shí)施例1的一種密封裝置和其對(duì)應(yīng)的密封門(mén)形成的密封系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖(圖1的俯視圖)；圖3是圖1的密封系統(tǒng)在密封處的密封裝置和其對(duì)應(yīng)的密封門(mén)的放大結(jié)構(gòu)示意圖；圖4是本發(fā)明實(shí)施例2的一種密封裝置和其對(duì)應(yīng)密封門(mén)在密封處的放大結(jié)構(gòu)示意圖；圖5是本發(fā)明實(shí)施例3的一種密封裝置和其對(duì)應(yīng)的密封門(mén)形成的密封系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖(圖1的俯視圖)；圖6是圖5的密封系統(tǒng)在密封處的密封裝置和其對(duì)應(yīng)的密封門(mén)的放大結(jié)構(gòu)示意圖；圖7是圖5中密封裝置的充氣密封圈的橫截面結(jié)構(gòu)示意圖；圖8是本發(fā)明實(shí)施例4的一種密封裝置和其對(duì)應(yīng)密封門(mén)在密封處的放大結(jié)構(gòu)示意圖；圖9是本發(fā)明實(shí)施例5的一種密封裝置和其對(duì)應(yīng)的密封門(mén)形成的密封系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖(圖1的俯視圖)；圖10是圖9的密封系統(tǒng)在密封處的密封裝置和其對(duì)應(yīng)的密封門(mén)的放大結(jié)構(gòu)示意圖；圖11是圖9中密封裝置的充氣密封圈的橫截面結(jié)構(gòu)示意圖；圖12是本發(fā)明實(shí)施例6的一種密封裝置和其對(duì)應(yīng)密封門(mén)在密封處的放大結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的密封裝置可以用于半導(dǎo)體設(shè)備微環(huán)境、潔凈腔室、密封車(chē)間等密閉空間的密封，與相應(yīng)的密封門(mén)配合形成密封系統(tǒng)。下面以半導(dǎo)體設(shè)備微環(huán)境的密封為例結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步詳細(xì)描述。以下實(shí)施例用于說(shuō)明本發(fā)明，但不用來(lái)限制本發(fā)明的范圍。實(shí)施例1
如圖1所示，為半導(dǎo)體設(shè)備微環(huán)境密封門(mén)的結(jié)構(gòu)示意圖，包括門(mén)10和門(mén)框20。如圖2、3所示，密封系統(tǒng)包括密封門(mén)和密封裝置。密封裝置包括充氣密封圈30及為充氣密封圈30充氣的充氣裝置40。充氣密封圈30充氣后卡在門(mén)10和門(mén)框20之間，密封門(mén)10和門(mén)框20周?chē)g的縫隙。以達(dá)到對(duì)微環(huán)境的密閉。由于充氣密封圈30和門(mén)10及門(mén)框20 存在擠壓和摩擦，為了防止充氣密封圈30在擠壓和摩擦中受損而產(chǎn)生顆粒進(jìn)入微環(huán)境，充氣密封圈30的材料優(yōu)選為潔凈系列材料，如硅橡膠或氟橡膠。充氣裝置40用于給充氣密封圈30充氣，如圖3所示，包括氣源41、電磁閥42和管路43，管路43連接氣源41和充氣密封圈30，電磁閥42安裝在氣源41和充氣密封圈30 之間的管路43上。本實(shí)施例中，電磁閥42為雙電控的電磁閥。當(dāng)關(guān)門(mén)時(shí)，電磁閥42接收到充氣的電信號(hào)，電磁閥打開(kāi)，氣源41中是氣體通過(guò)管路43進(jìn)入充氣密封圈30。經(jīng)過(guò)一段時(shí)間，充氣密封圈30內(nèi)因氣體進(jìn)入而膨脹，門(mén)10與門(mén)框20之間在充氣密封圈30的作用下壓緊無(wú)縫隙，微環(huán)境內(nèi)的氣體無(wú)泄漏，滿足半導(dǎo)體設(shè)備微環(huán)境工藝的需求。在關(guān)門(mén)密封過(guò)程中，電磁閥42保持打開(kāi)，一直為充氣密封圈30充氣，保持充氣密封圈30內(nèi)的氣體不泄露。 當(dāng)開(kāi)門(mén)時(shí)，電磁閥42接收到放氣的電信號(hào)，電磁閥42關(guān)閉，充氣密封圈30內(nèi)氣體通過(guò)管路 43排出。本實(shí)施例中，密封系統(tǒng)的密封裝置采用了充氣式密封結(jié)構(gòu)，使半導(dǎo)體設(shè)備微環(huán)境的密封門(mén)的門(mén)10與門(mén)框20之間能夠完全壓緊，而且還能彌補(bǔ)門(mén)10或門(mén)框20—定的變形， 實(shí)現(xiàn)了良好的密封。充氣密封圈30采用潔凈系列材料制成，保證了充氣密封圈30不會(huì)因擠壓和摩擦中受損而產(chǎn)生顆粒進(jìn)入微環(huán)境，是微環(huán)境保持清潔，保證了晶片的工藝質(zhì)量。實(shí)施例2本實(shí)施例中的密封系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)和實(shí)施例1中的密封系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)基本相同，不同的是密封裝置采用了不同的充氣裝置，如圖4所示，充氣裝置50包括氣源51、電磁閥52、管路53和調(diào)壓閥M，管路53連接氣源51和充氣密封圈30，電磁閥52安裝在氣源51和充氣密封圈30之間的管路53上。本實(shí)施例中，電磁閥52為雙電控的電磁閥。電磁閥52的工作原理和實(shí)施例1類(lèi)似，此處不再敖述。為了保證充氣密封圈30內(nèi)的壓力在合適的范圍內(nèi)，本實(shí)施例的充氣裝置50在電磁閥52和氣源51之間安裝了調(diào)壓閥54 (也可以安裝在電磁閥52和充氣密封圈30之間)， 用于調(diào)節(jié)管路53的壓力到合適的大小，以保證充氣密封圈30在其使用的壓力范圍內(nèi)。本實(shí)施例的密封裝置的充氣裝置50安裝了調(diào)壓閥M，通過(guò)調(diào)節(jié)管路53的壓力，即可實(shí)現(xiàn)對(duì)充氣密封圈30壓力的調(diào)節(jié)，以實(shí)現(xiàn)更好的密封。實(shí)施例3如圖5、6所示，本實(shí)施例的密封系統(tǒng)的密封裝置包括充氣密封圈60及為充氣密封圈充氣的充氣裝置40。如圖7所示，充氣密封圈60包括充氣圈61及與充氣圈61形成為一體的固定座 62，密封門(mén)的門(mén)框20設(shè)置有與固定座相配合的固定槽。充氣圈61充氣后卡在門(mén)10和門(mén)框 20之間，密封門(mén)10和門(mén)框20周?chē)g的縫隙，以達(dá)到對(duì)微環(huán)境的密閉。固定座62嵌入門(mén)框20上相應(yīng)的固定槽將充氣密封圈60固定在門(mén)框20上，本實(shí)施例中，固定座62的橫截面形狀為矩形，嵌入門(mén)框20上相應(yīng)的矩形槽21以固定充氣密封圈60。如圖5、6所示，固定座 62嵌入了矩形槽21固定充氣密封圈60，充氣圈61卡在門(mén)10和門(mén)框20間，由于采取了充氣結(jié)構(gòu)，充氣圈61能夠緊壓在門(mén)10和門(mén)框20之間以達(dá)到門(mén)10和門(mén)框20的密閉。由于充氣密封圈60和門(mén)10及門(mén)框20存在擠壓和摩擦，為了防止充氣密封圈60在擠壓和摩擦中受損而產(chǎn)生顆粒進(jìn)入微環(huán)境，充氣密封圈60的材料優(yōu)選為潔凈系列材料，如硅橡膠或氟橡膠。充氣裝置40用于給充氣密封圈60充氣，如圖6所示，包括氣源41、電磁閥42和管路43，管路43連接氣源41和充氣密封圈60，電磁閥42安裝在氣源41和充氣密封圈60 之間的管路43上。本實(shí)施例中，電磁閥42為雙電控的電磁閥。當(dāng)關(guān)門(mén)時(shí)，電磁閥42接收到充氣的電信號(hào)，電磁閥打開(kāi)，氣源41中是氣體通過(guò)管路43進(jìn)入充氣密封圈60。經(jīng)過(guò)一段時(shí)間，充氣密封圈60的充氣圈61內(nèi)因氣體進(jìn)入而膨脹，門(mén)10與門(mén)框20之間在充氣密封圈 60的作用下壓緊無(wú)縫隙，微環(huán)境內(nèi)的氣體無(wú)泄漏，滿足半導(dǎo)體設(shè)備微環(huán)境工藝的需求。在關(guān)門(mén)密封過(guò)程中，電磁閥42保持打開(kāi)，一直為充氣圈61充氣，保持充氣圈61內(nèi)的氣體不泄露。當(dāng)開(kāi)門(mén)時(shí)，電磁閥42接收到放氣的電信號(hào)，電磁閥42關(guān)閉，充氣圈61內(nèi)氣體通過(guò)管路 43排出。本實(shí)施例中密封系統(tǒng)的密封裝置采用了充氣式密封結(jié)構(gòu)，使半導(dǎo)體設(shè)備微環(huán)境的密封門(mén)的門(mén)10與門(mén)框20之間能夠完全壓緊，而且還能彌補(bǔ)門(mén)10或門(mén)框20 —定的變形，實(shí)現(xiàn)了良好的密封。充氣密封圈60采用潔凈系列材料制成，保證了充氣密封圈60不會(huì)因擠壓和摩擦中受損而產(chǎn)生顆粒進(jìn)入微環(huán)境，是微環(huán)境保持清潔，保證了晶片的工藝質(zhì)量。充氣密封圈60具有固定座62，使得充氣密封圈60在門(mén)框20上更好地固定。實(shí)施例4本實(shí)施例的密封系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)和實(shí)施例3中的密封系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)基本相同，不同的是密封裝置采用了不同的充氣裝置，如圖8所示，充氣裝置50包括氣源51、電磁閥52、管路 53和調(diào)壓閥M，管路53連接氣源51和充氣密封圈60，電磁閥52安裝在氣源51和充氣密封圈60之間的管路53上。本實(shí)施例中，電磁閥52為雙電控的電磁閥。電磁閥52的工作原理和實(shí)施例3類(lèi)似，此處不再敖述。為了保證充氣密封圈30的充氣圈61的壓力在合適的范圍內(nèi)，本實(shí)施例的充氣裝置50在電磁閥52和氣源51之間安裝了調(diào)壓閥54 (也可以安裝在電磁閥52和充氣密封圈 60之間)，用于調(diào)節(jié)管路53的壓力到合適的大小，以保證充氣圈61在其使用的壓力范圍內(nèi)。本實(shí)施例的密封裝置的充氣裝置50安裝了調(diào)壓閥M，通過(guò)調(diào)節(jié)管路53的壓力，即可實(shí)現(xiàn)對(duì)充氣圈61壓力的調(diào)節(jié)，以實(shí)現(xiàn)更好的密封。實(shí)施例5如圖9、10所示，本實(shí)施例的密封系統(tǒng)的密封裝置包括充氣密封圈70及為充氣密封圈充氣的充氣裝置40。如圖11所示，充氣密封圈70包括充氣圈71及與充氣圈71形成為一體的固定座 72，密封門(mén)的門(mén)框20設(shè)置有與固定座相配合的固定槽。充氣圈71充氣后卡在門(mén)10和門(mén)框 20之間，密封門(mén)10和門(mén)框20周?chē)g的縫隙，以達(dá)到對(duì)微環(huán)境的密閉。固定座72嵌入門(mén)框20上相應(yīng)的槽將充氣密封圈70固定在門(mén)框20上，本實(shí)施例中，固定座72的橫截面形狀為燕尾形，因此，門(mén)框20上不再是矩形槽而是燕尾槽22，固定座72嵌入門(mén)框20上相應(yīng)的燕尾槽22以固定充氣密封圈70。如圖9、10所示，固定座72嵌入了燕尾槽22固定充氣密封
6圈70，充氣圈71卡在門(mén)10和門(mén)框20間，由于采取了充氣結(jié)構(gòu)，充氣圈71能夠緊壓在門(mén)10 和門(mén)框20之間以達(dá)到門(mén)10和門(mén)框20的密閉。由于充氣密封圈70和門(mén)10及門(mén)框20存在擠壓和摩擦，為了防止充氣密封圈70在擠壓和摩擦中受損而產(chǎn)生顆粒進(jìn)入微環(huán)境，充氣密封圈70的材料優(yōu)選為潔凈系列材料，如硅橡膠或氟橡膠。充氣裝置40用于給充氣密封圈70充氣，如圖10所示，包括氣源41、電磁閥42和管路43，管路43連接氣源41和充氣密封圈70，電磁閥42安裝在氣源41和充氣密封圈70 之間的管路43上。本實(shí)施例中，電磁閥42為雙電控的電磁閥。當(dāng)關(guān)門(mén)時(shí)，電磁閥42接收到充氣的電信號(hào)，電磁閥打開(kāi)，氣源41中是氣體通過(guò)管路43進(jìn)入充氣密封圈70。經(jīng)過(guò)一段時(shí)間，充氣密封圈70的充氣圈71內(nèi)因氣體進(jìn)入而膨脹，門(mén)10與門(mén)框20之間在充氣密封圈 70的作用下壓緊無(wú)縫隙，微環(huán)境內(nèi)的氣體無(wú)泄漏，滿足半導(dǎo)體設(shè)備微環(huán)境工藝的需求。在關(guān)門(mén)密封過(guò)程中，電磁閥42保持打開(kāi)，一直為充氣圈71充氣后，保持充氣圈71內(nèi)的氣體不泄露。當(dāng)開(kāi)門(mén)時(shí)，電磁閥42接收到放氣的電信號(hào)，電磁閥42關(guān)閉，充氣圈71內(nèi)氣體通過(guò)管路 43排出。本實(shí)施例中密封系統(tǒng)的密封裝置采用了充氣式密封結(jié)構(gòu)，使半導(dǎo)體設(shè)備微環(huán)境的密封門(mén)的門(mén)10與門(mén)框20之間能夠完全壓緊，而且還能彌補(bǔ)門(mén)10或門(mén)框20 —定的變形，實(shí)現(xiàn)了良好的密封。充氣密封圈70采用潔凈系列材料制成，保證了充氣密封圈70不會(huì)因擠壓和摩擦中受損而產(chǎn)生顆粒進(jìn)入微環(huán)境，是微環(huán)境保持清潔，保證了晶片的工藝質(zhì)量。實(shí)施例6本實(shí)施例的密封系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)和實(shí)施例5中的密封系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)基本相同，不同的是密封裝置采用了不同的充氣裝置，如圖12所示，充氣裝置50包括氣源51、電磁閥52、管路 53和調(diào)壓閥M，管路53連接氣源51和充氣密封圈70，電磁閥52安裝在氣源51和充氣密封圈70之間的管路53上。本實(shí)施例中，電磁閥52為雙電控的電磁閥。電磁閥52的工作原理和實(shí)施例5類(lèi)似，此處不再敖述。為了保證充氣密封圈70的充氣圈71的壓力在合適的范圍內(nèi)，本實(shí)施例的充氣裝置50在電磁閥52和氣源51之間安裝了調(diào)壓閥54 (也可以安裝在電磁閥52和充氣密封圈 70之間)，用于調(diào)節(jié)管路53的壓力到合適的大小，以保證充氣圈71在其使用的壓力范圍內(nèi)。 本實(shí)施例的密封裝置的充氣裝置50安裝了調(diào)壓閥M，通過(guò)調(diào)節(jié)管路53的壓力，即可實(shí)現(xiàn)對(duì)充氣圈71壓力的調(diào)節(jié)，以實(shí)現(xiàn)更好的密封。上述實(shí)施例中的密封系統(tǒng)不限于用于半導(dǎo)體設(shè)備微環(huán)境的密封，還可以用于其它需要密封的腔室的密封。其中，充氣密封圈的固定座不限于矩形和燕尾形，密封門(mén)上對(duì)應(yīng)的固定槽也不限于矩形和燕尾形，可以是用于固定的其它結(jié)構(gòu)。以上實(shí)施方式僅用于說(shuō)明本發(fā)明，而并非對(duì)本發(fā)明的限制，有關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以做出各種變化和變型，因此所有等同的技術(shù)方案也屬于本發(fā)明的范疇，本發(fā)明的專利保護(hù)范圍應(yīng)由權(quán)利要求限定。
權(quán)利要求
1.一種密封裝置，其特征在于，包括充氣密封圈及為所述充氣密封圈充氣的充氣裝置，所述充氣密封圈用于密封待密封空間。
2.如權(quán)利要求1所述的密封裝置，其特征在于，所述充氣密封圈包括充氣圈及與所述充氣圈形成為一體的固定座，所述充氣圈用于密封待密封空間，所述固定座用于固定所述充氣密封圈。
3.如權(quán)利要求2所述的密封裝置，其特征在于，所述固定座的橫截面為矩形。
4.如權(quán)利要求2所述的密封裝置，其特征在于，所述固定座的橫截面為燕尾形。
5.如權(quán)利要求1 4中任一項(xiàng)所述的密封裝置，其特征在于，所述充氣密封圈的材料為潔凈系列材料。
6.如權(quán)利要求5所述的密封裝置，其特征在于，所述潔凈系列材料包括硅橡膠、氟橡膠。
7.如權(quán)利要求5所述的密封裝置，其特征在于，所述充氣裝置包括氣源、電磁閥和管路，所述管路連接所述氣源和充氣密封圈，電磁閥安裝在氣源和充氣密封圈之間的管路上， 用于控制所述充氣密封圈的充/放氣。
8.如權(quán)利要求7所述的密封裝置，其特征在于，所述充氣裝置還包括安裝在所述管路上的調(diào)壓閥，用于調(diào)節(jié)所述管路的壓力。
9.如權(quán)利要求8所述的密封裝置，其特征在于，所述電磁閥為雙電控的電磁閥。
10.一種密封系統(tǒng)，其特征在于，包括密封門(mén)和權(quán)利要求1 10中任一項(xiàng)所述的密封裝置，所述密封門(mén)包括門(mén)和門(mén)框，密封裝置用于密封所述密封門(mén)，使門(mén)和門(mén)框無(wú)間隙。
11.如權(quán)利要求10所述的密封系統(tǒng)，其特征在于，所述充氣密封圈包括充氣圈及與所述充氣圈形成為一體的固定座，所述門(mén)框上設(shè)置有與所述固定座相配合的固定槽，用于固定所述固定座。
12.如權(quán)利要求11所述的密封系統(tǒng)，其特征在于，所述固定座的橫截面為矩形，固定槽為矩形槽。
13.如權(quán)利要求11所述的密封系統(tǒng)，其特征在于，所述固定座的橫截面為燕尾形，固定槽為燕尾槽。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種密封裝置，涉及半導(dǎo)體工藝設(shè)備的密封技術(shù)領(lǐng)域，該裝置包括充氣密封圈及為所述充氣密封圈充氣的充氣裝置，所述充氣密封圈用于密封待密封空間，所述充氣密封圈包括充氣圈及與所述充氣圈形成為一體的固定座，所述充氣圈用于密封待密封空間，所述固定座用于固定所述充氣密封圈。還公開(kāi)了一種密封系統(tǒng)，包括上述密封裝置和密封門(mén)。本發(fā)明采用充氣密封圈，在密封時(shí)消除密封門(mén)與門(mén)框之間的間隙，得到了良好的密封效果，而且產(chǎn)品使用過(guò)程比較穩(wěn)定，不易破損，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，壽命較長(zhǎng)。
文檔編號(hào)E06B7/16GK102425366SQ20111033264
公開(kāi)日2012年4月25日 申請(qǐng)日期2011年10月27日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月27日
發(fā)明者慕曉航, 王麗榮, 董金衛(wèi), 趙星梅, 郝永鵬 申請(qǐng)人:北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司