專利名稱：：用于抽空玻璃室的改進(jìn)的密封裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及被玻璃壁限定(即包圍)的室的抽空(evacuation)，所述玻璃壁包括斷口，通過它可實(shí)現(xiàn)抽空。本發(fā)明針對(duì)諸如真空玻璃封裝(vacuumglazing)和等離子顯示面板的抽空玻璃面板已經(jīng)取得了發(fā)展，在這里將針對(duì)上述情況描述本發(fā)明。然而，應(yīng)該理解的是，本發(fā)明確實(shí)有更廣的應(yīng)用，例如包括平板形成的顯示器件。
背景技術(shù)：
：在一種形式的真空玻璃封裝中，兩平面隔開的玻璃板處于面對(duì)面相對(duì)的關(guān)系，并圍繞它們的邊緣用通常被稱為焊接用玻璃的低熔點(diǎn)玻璃氣密地密封。這些板之間的空間(即室)被抽空，并通過小支撐柱的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)保持這些板面對(duì)面的間隔。在一般情況下，玻璃封裝可能由表面面積在0.02到4.00平方米量級(jí)、板厚度在2.0mm到5mm的量級(jí)和面對(duì)面的表面間隔在0.1mm到0.2mm量級(jí)的玻璃板組成。平形抽空玻璃面板的制作通常包括兩個(gè)步驟，這兩個(gè)步驟都涉及將面板加熱到高溫。在第一步驟中，圍繞兩玻璃板的外圍用焊接用玻璃進(jìn)行氣密密封。在這個(gè)過程中，焊接用玻璃粉作為漿液沉積在玻璃板的外圍周圍，而且整個(gè)組件被加熱到高溫，一般超過460℃。在這個(gè)溫度，焊接用玻璃熔化形成為抗?jié)B物質(zhì)，并潤濕玻璃板。因此，當(dāng)焊接用玻璃隨著組件向室溫冷卻而固化時(shí)，在玻璃板的邊緣周圍形成了牢固無泄露的密封。在第二制作步驟中，面板的室被抽空。這通常通過使用一真空系統(tǒng)通過其中一個(gè)玻璃板上的小開口或孔移除面板內(nèi)的空氣來實(shí)現(xiàn)。在這個(gè)抽空過程中，組件通常被放置在一爐中，并被加熱到高溫，以便從表面移除抽空空間內(nèi)的殘余空氣。面板的室與抽空系統(tǒng)的連接能以幾種方式實(shí)現(xiàn)。在一種方法中，在其中一個(gè)玻璃面板內(nèi)的開口周圍密封長(zhǎng)玻璃管，以便管的內(nèi)部連接到面板的內(nèi)部空間。該密封通常在邊緣密封過程中用焊接用玻璃實(shí)現(xiàn)。在當(dāng)邊緣密封處理完成后玻璃板已經(jīng)冷卻到室溫之后，該管子用O形環(huán)密封聯(lián)接器連接到真空系統(tǒng)。該連接通常在用于在抽空處理過程中加熱面板的爐的外部的一點(diǎn)來進(jìn)行，以便在加熱操作過程中O形環(huán)保持冷卻。在另一種抽空方法中，開口可能僅僅是其中一個(gè)玻璃板上的孔。或者，該開口可能包括通過其中一個(gè)玻璃板的孔，在該孔上用焊接用玻璃密封一玻璃短管。在使用這些設(shè)計(jì)的平玻璃面板的抽空過程中，直接在開口周圍的玻璃板表面上實(shí)現(xiàn)了密封。在該方法的一種實(shí)施方式中，抽空杯(或頭)被放置在開口上，并用O形環(huán)密封到所述板的表面上。在這樣情況下，因?yàn)镺形環(huán)材料在較高溫度會(huì)分解，所以在抽空過程中玻璃板的溫度被限制在大約220℃。在烘烤處理完成時(shí)，或者通過將一罩密封在玻璃板上的孔上，或者通過熔化玻璃管的末端，來封閉開口。人們已經(jīng)認(rèn)識(shí)到的是，如果能在單個(gè)加熱步驟中進(jìn)行邊緣密封和抽空處理，則將獲得顯著的優(yōu)點(diǎn)，如減少制作時(shí)間和成本。這在使用O形環(huán)將抽空杯密封到玻璃板的情況下是不可能的，因?yàn)镺形環(huán)的材料在邊緣密封處理中的高溫下會(huì)被破壞。為克服這個(gè)困難人們已經(jīng)開發(fā)出一種方法，該方法在申請(qǐng)人較早的申請(qǐng)PCT/AU99/00964中有描述。該方法使用了能承受用于形成焊接用玻璃邊緣密封的處理高溫的抽空頭。該抽空頭有兩個(gè)同心的密封表面，當(dāng)所述杯被抽空時(shí)，它們由于大氣壓力被強(qiáng)制沖壓抽空開口周圍的玻璃板上。通過該表面和玻璃板之間的接觸形成的密封不是完全無泄露的。該密封表面限定了在杯和玻璃板之間用獨(dú)立的真空系統(tǒng)不同地抽空的兩個(gè)同心室。外環(huán)形室通常用旋轉(zhuǎn)泵抽空，在這個(gè)室中的壓力一般為1托左右。內(nèi)室采使用利用了擴(kuò)散泵或渦輪分子泵的高真空系統(tǒng)抽空，這個(gè)室中的壓力一般為10-3托，也能低到10-4托。抽空頭的兩個(gè)室內(nèi)的壓力取決于對(duì)它們進(jìn)行抽空的回路的抽空速度和通過所述頭密封表面和玻璃板表面之間的小間隙泄漏空氣的速率。這些泄露速率由很多因素決定，包括兩個(gè)表面的清潔度和它們的平面度。在抽空頭中心區(qū)域內(nèi)實(shí)現(xiàn)10-3托的真空度對(duì)很多應(yīng)用都是足夠的，包括一些沒有進(jìn)行非常嚴(yán)格的絕緣的真空玻璃封裝的設(shè)計(jì)。然而，對(duì)很多應(yīng)用，希望達(dá)到更高的真空水平。真空玻璃封裝的非常嚴(yán)格的絕緣設(shè)計(jì)要求內(nèi)部空間內(nèi)的壓強(qiáng)應(yīng)該在大約10-4托或更低。另外，等離子顯示面板的加工要求要求在制作過程中在面板內(nèi)部空間內(nèi)的壓強(qiáng)應(yīng)該更低，在10-5托到10-6托之間。在國際專利申請(qǐng)PCT/AU99/00964中，描述了用于獲得如此低壓強(qiáng)的一種方法。所述方法在抽空頭內(nèi)使用三個(gè)或更多的抽空級(jí)。盡管這樣的多級(jí)抽空技術(shù)能非常滿意地工作，它們需要更復(fù)雜更昂貴的真空系統(tǒng)。抽空頭的另一問題在于杯的金屬密封表面和玻璃板表面之間的直接接觸可能在玻璃表面上造成印記。盡管這些印記不會(huì)明顯地弱化玻璃，但是它們也是不希望出現(xiàn)的，因?yàn)閷?duì)于所得到的抽空面板，它們是不美觀的。為了防止這些印記的發(fā)生，在抽空頭和玻璃表面之間可使用相對(duì)較軟的金屬墊圈。該墊圈必須由在玻璃面板的制作過程的最大溫度下不會(huì)熔化而且在這些高溫處具有非常低的蒸汽氣壓的材料制成。具有近似660℃熔點(diǎn)的鋁是非常適合這種墊圈的材料。在過去，墊圈由商品級(jí)的輥壓鋁箔制成，該墊圈一般為50μm厚。該墊圈在尺寸上比抽空頭的外徑大。它具有中心孔，該孔足夠大以覆蓋玻璃面板的抽氣開口周圍的區(qū)域。該墊圈在位于抽空頭的密封表面之間的區(qū)域內(nèi)還具有一個(gè)或更多孔，以便從從墊圈和玻璃板表面之間的空間移除空氣。然而，在以前，使用墊圈并不能獲得真空玻璃封裝和等離子顯示面板的高密封設(shè)計(jì)中所需的真空水平。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明針對(duì)至少一種優(yōu)選形式的用于對(duì)室進(jìn)行抽空的、高溫處理中的一種改進(jìn)的密封裝置。在第一方面，發(fā)明提供了用于在玻璃壁和抽空頭之間提供氣密封的墊圈，所述墊圈具有相反的面，其在一個(gè)面上包括一第一密封表面，用于接合所述抽空頭的一相應(yīng)的密封表面，并在相對(duì)的面上包括一第二密封表面，用于接合所述玻璃壁，其中，所述墊圈各處的所述密封表面之間的厚度變化小于1μm。在一實(shí)施例中，墊圈是阻熱的，并能承受超過400℃的溫度，更優(yōu)選能承受超過460℃。在一種形式中，墊圈材料還在這些高溫下具有非常低的蒸汽氣壓。在該應(yīng)用中，墊圈優(yōu)選由金屬或金屬合金形成。在一特別優(yōu)選的形式中，墊圈由厚度在20μm和80μm之間的鋁形成。在一實(shí)施例中，墊圈的至少一個(gè)面上的密封表面被成形，以便當(dāng)施加壓力到該密封面上時(shí)更易于變形。在一具體實(shí)施例中，至少一個(gè)墊圈面被成形以包括由至少一個(gè)凸起脊構(gòu)成的結(jié)構(gòu)。在使用時(shí)，凸起脊形成墊圈所述面上的密封表面，并在一種形式中繞墊圈連續(xù)延伸，以提供高質(zhì)量的氣密封。在一種形式中，凸起脊可以是螺旋形式，而在另一實(shí)施例中，可以是至少一個(gè)但是優(yōu)選多個(gè)的環(huán)的形式。以上形式的墊圈非常適合用于面板和抽空頭要經(jīng)受高溫的抽空玻璃面板的制作。這樣的應(yīng)用用于單個(gè)加熱步驟的制作過程。根據(jù)本發(fā)明一實(shí)施例的墊圈在相對(duì)較低的壓力下比傳統(tǒng)的由鋁箔形成的墊圈顯示出了更有效的密封，同時(shí)依然能適應(yīng)高溫環(huán)境。當(dāng)使用金屬墊圈進(jìn)行玻璃表面的密封時(shí)，沖壓墊圈的力必須保持充分地低，使得它不會(huì)引起玻璃的破碎。在使用抽空頭去抽空玻璃面板的實(shí)際應(yīng)用中，不希望而且也不便于使用外部夾持系統(tǒng)在墊圈上施加壓力。因此，該壓力應(yīng)該理想地被限制在由大氣壓作用在抽空頭外表面上引起的壓力。對(duì)于一個(gè)直徑為70mm的典型抽空頭，這個(gè)力等于大約40kg的重量。在墊圈上進(jìn)行成形使得墊圈能夠變形，以提供更好的密封。這是由于成形導(dǎo)致在接觸抽空頭或玻璃壁的墊圈材料部分中的應(yīng)力大于在平形墊圈中產(chǎn)生的應(yīng)力。其次，墊圈材料能側(cè)向流入墊圈表面上的凹槽內(nèi)。另外，通過提供密封表面的點(diǎn)到點(diǎn)厚度變化小于1μm的墊圈，極大地改進(jìn)了密封裝置，因?yàn)樗鼧O大地減小了在密封表面之間的空隙量。在第二方面中，本發(fā)明提供了一種用于在玻璃壁和抽空頭之間提供氣密封的墊圈，所述墊圈具有相反的面，其在一個(gè)面上包括一第一密封表面，用于接合所述抽空頭的一相應(yīng)的密封表面，并在相對(duì)的面上包括一第二密封表面，用于接合所述玻璃壁，其中，所述墊圈的至少一個(gè)面上的密封表面被成形，以便在施加壓力到所述密封表面時(shí)比非成形表面更易于變形。在一種形式中，只有墊圈的一側(cè)被成形。該墊圈使用光滑側(cè)接觸抽空頭，而用成形側(cè)接觸玻璃板。在這樣的情況下，兩側(cè)上增加的應(yīng)力水平使得墊圈容易地變形。在另一種形式中，墊圈的兩側(cè)都被成形。在墊圈被成形以包括凸起區(qū)域和至少一個(gè)凹槽的設(shè)置中，凸起區(qū)域的材料可能不會(huì)完全地填充凹槽區(qū)域。如果使用螺旋凹槽，則在墊圈兩側(cè)上將存在窄的泄露通道，這些通道橫過抽空頭的密封表面，并經(jīng)過這些未完全填充的螺旋凹槽。簡(jiǎn)單的計(jì)算顯示，在玻璃面板的制作過程中沿著這些凹槽泄露的空氣量是可忽略的。因此，這些螺旋泄露通道的存在不會(huì)顯著地降低真空密封的質(zhì)量。在一種形式中，墊圈被沖壓以限制厚度變化和/或成形墊圈表面。在另一種形式中，也可以使用光刻技術(shù)將凹槽結(jié)構(gòu)直接制作在墊圈表面上。如果使用了這個(gè)方法，優(yōu)選地，墊圈材料本身在厚度上是足夠均勻的，使得在其使用過程中由抽空頭導(dǎo)致的變形也足以獲得滿意質(zhì)量的真空密封。當(dāng)傳統(tǒng)輥壓鋁箔被用作墊圈以將抽空頭密封到玻璃板時(shí)，其點(diǎn)到點(diǎn)的厚度變化遠(yuǎn)大于想要的厚度變化。專用的輥壓技術(shù)與傳統(tǒng)輥壓鋁箔相比可能可以減小點(diǎn)到點(diǎn)的厚度變化，而且如果用光刻方法制作這些凹槽，以這種方式制作的箔片可能是適合的。在另一方面，本發(fā)明提供了對(duì)室進(jìn)行抽空的方法，該室至少部分被包括一抽空端口的玻璃壁封閉，所述方法包括如下步驟利用具有與所述端口連通的一第一腔的一抽空頭，覆蓋所述端口和圍繞所述端口的一部分玻璃壁；在所述抽空頭和玻璃壁之間設(shè)置一墊圈，以在所述玻璃壁和所述頭之間提供氣密封；施加壓力到所述墊圈上，使得所述墊圈充分變形以改善所述壁和所述頭之間的密封；通過所述第一腔抽空所述玻璃室。在一種形式中，根據(jù)發(fā)明這方面的方法進(jìn)一步包括使玻璃壁承受大于450℃的溫度并同時(shí)保持玻璃壁和抽空頭之間氣密封的步驟。在一種形式中，所述壓力是由于對(duì)抽空頭中的腔進(jìn)行抽空而施加在墊圈上的。在一種形式中，這可以通過抽空第一腔(它轉(zhuǎn)而對(duì)室進(jìn)行抽空)來實(shí)現(xiàn)。在另一種形式中，所述壓力可以通過抽空抽空頭內(nèi)的第二腔來實(shí)現(xiàn)，或者通過抽空第一和第二腔來施加。在一種具體形式中，墊圈是本發(fā)明上述方面中的上述形成中的任何一種。更具體地，墊圈可由鋁箔形成，其被預(yù)加工以使得其比標(biāo)準(zhǔn)的平鋁箔更易于變形。在一種形式中，在由于對(duì)抽空頭內(nèi)的腔進(jìn)行抽空而施加的所述壓力的作用下，使得箔片變形。在該力作用下，在與玻璃壁和抽空頭的密封表面之間測(cè)量得到的墊圈厚度可減小超過1μm。在另一方面，本發(fā)明提供了可以用于上述任意方法中的抽空頭組件。在這個(gè)方面，抽空頭組件包括抽空頭和依據(jù)上述任一形式制作的墊圈。在另一方面，本發(fā)明提供了具有與玻璃壁接近的熱膨脹系數(shù)的抽空頭。在過去，對(duì)于大部分真空設(shè)備，用于抽空玻璃面板的抽空頭由諸如304型號(hào)的奧氏體(或300系列)不銹鋼制成。正如在真空玻璃封裝制作過程中需要的那樣，這種材料容易加工和焊接，而且在高溫下能保持強(qiáng)度和抗腐(蝕)性。這種材料在整個(gè)相關(guān)溫度范圍內(nèi)的熱膨脹系數(shù)近似為18×10-6℃-1。對(duì)于鈉鈣玻璃(它一般用于形成玻璃壁)，其熱膨脹系數(shù)低得多，大約為8×10-6℃-1。通過提供在熱膨脹系數(shù)更接近玻璃面板熱膨脹系數(shù)的抽空頭，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)當(dāng)該系統(tǒng)向室溫冷卻時(shí)抽空頭和玻璃板之間的真空密封的傳導(dǎo)率的劣化小得多。適合本發(fā)明這個(gè)方面的材料包括馬氏體(或400系列)不銹鋼。這些類型的不銹鋼比奧氏體類型具有更小的熱膨脹系數(shù)。例如，410型號(hào)不銹鋼在整個(gè)相關(guān)溫度范圍內(nèi)的熱膨脹系數(shù)近似為11×10-6℃-1。在抽空頭組件包括依據(jù)上述任一形式制作的墊圈的情況下，提供熱膨脹系數(shù)接近玻璃壁的抽空頭能夠帶來顯著的優(yōu)點(diǎn)。測(cè)量已經(jīng)顯示在高溫時(shí)在鋁箔和玻璃之間形成了相對(duì)較弱的結(jié)合，而且在面板冷卻的過程中鋁墊圈不會(huì)相對(duì)玻璃移動(dòng)。因此，在這些元件之間的真空密封的質(zhì)量在系統(tǒng)冷卻到室溫時(shí)保持不變。然而，如果抽空頭的熱膨脹系數(shù)并不接近玻璃壁的熱膨脹系數(shù)，當(dāng)系統(tǒng)冷卻時(shí)，抽空頭比玻璃板收縮更多。這導(dǎo)致杯的密封表面相對(duì)玻璃對(duì)應(yīng)區(qū)域移動(dòng)。由于鋁墊圈被結(jié)合到玻璃板上，所以所述杯相對(duì)鋁墊圈向內(nèi)滑動(dòng)。因此，當(dāng)系統(tǒng)向室溫冷卻時(shí)，由于高溫下墊圈的成形表面的非彈性變形而形成的抽空頭和墊圈之間的非常良好的真空密封劣化。使抽空頭的熱膨脹系數(shù)接近玻璃壁的熱膨脹系數(shù)將改善這個(gè)問題。通過這樣的方式，當(dāng)系統(tǒng)向室溫冷卻時(shí)，抽空頭和玻璃板之間的真空密封的傳導(dǎo)率的劣化小得多。在另一種形式中，本發(fā)明針對(duì)一種加工墊圈的方法，其用于減小墊圈密封表面厚度變化，以及對(duì)墊圈的至少一個(gè)表面成形，以使墊圈在壓力作用下更易于變形。在一實(shí)施例中，在單步驟加工過程中獲得了該結(jié)果。在另一方面，本發(fā)明涉及在以上過程中使用的沖壓工具。以下將參考附圖描述本發(fā)明的實(shí)施例。附圖和相關(guān)描述的具體內(nèi)容并不替代之前對(duì)附圖的更廣泛的描述。在附圖中圖1是真空玻璃封裝的示意性剖切透視圖；圖2示出利用抽空頭使用單步制作處理的玻璃封裝制作中的順序的步驟(a)至(e)；圖3是圖2所示處理中使用的墊圈的平面圖；圖4是圖3所示墊圈的一部分的詳細(xì)橫截面視圖；圖5是在墊圈用于圖2所示制作處理中時(shí)墊圈的一部分的放大的詳細(xì)橫截面視圖；圖6是用于圖3所示墊圈的制作的沖壓工具的示意圖；圖7是加工圖6所示沖壓工具的支承表面的加工裝置的示意圖；圖8是圖6所示沖壓工具的支承表面的放大的詳細(xì)視圖；圖9是位于烘烤室內(nèi)并通過抽空頭連接到外部真空泵的玻璃封裝的示意性表示；以及圖10到圖13示出在對(duì)圖2所示程序及其變形的執(zhí)行中得到的測(cè)量結(jié)果的圖示。具體實(shí)施例方式圖1圖示了平形抽空玻璃面板100，該面板包括兩個(gè)保持面對(duì)面隔開關(guān)系的平面玻璃板101、102。所述玻璃板通常由鈉鈣玻璃構(gòu)成，并且通過邊緣密封用的焊接用玻璃構(gòu)成的密封條(bead)103沿其邊緣互連。室104由兩塊玻璃板101、102界定，這些板通過支撐柱105構(gòu)成的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)或陣列保持隔開的關(guān)系。室104被抽空到低于10-3托的水平，這使得通過板的氣態(tài)熱傳導(dǎo)相對(duì)其他熱流機(jī)制可以忽略不記。玻璃板101形成有開口106(見圖2)，玻璃抽氣管107被定位在開口106內(nèi)并從開口106向外伸出。抽氣管通過焊接用玻璃的密封條108密封到玻璃板上。如圖1所示，面板抽空之后，抽氣管被密封。平形抽空玻璃面板100的制作需要兩個(gè)主要的操作，第一個(gè)是在玻璃面板101、102周圍提供邊緣密封，第二個(gè)是對(duì)室104進(jìn)行抽空。一般，這兩個(gè)操作都涉及將面板加熱到高溫。盡管傳統(tǒng)地這兩個(gè)操作都在分開的步驟中進(jìn)行，但是也可以在單個(gè)加熱步驟中執(zhí)行，正如在申請(qǐng)者以前的國際申請(qǐng)PCT/AU99/00964中所詳細(xì)描述的那樣。以下將參考圖2說明該單階段處理，其中使用了抽空頭20。首先，如圖2(a)所示組裝面板100的兩玻璃板101、102。然后，如圖2(b)所示，將作為漿液形式的粉末的焊接用玻璃21沉積在玻璃板外邊緣109、110的周圍以及抽氣管107的周圍。抽空頭20被安置在板101的表面上，位于抽氣管107上方。抽空頭20包括金屬主體22，該金屬主體具有或形成有一中心第一腔23。該第一腔23的尺寸被形成為能夠接收抽氣管107，并且在室104的抽空和除氣(out-gassing)過程中能夠?qū)崿F(xiàn)自由的氣體運(yùn)動(dòng)。如圖9所示意性示出的，第一腔23通過端口24和導(dǎo)管25連接到位于烘烤室50外部的真空泵51。在抽空頭20的主體22內(nèi)還提供了第二環(huán)形腔26。第二腔26被設(shè)置成包圍第一腔23，并在使用中被設(shè)置為被包圍抽氣管107的玻璃板101的表面封閉。第一環(huán)形帶(annularland)27位于第一和第二腔23、26之間，而第二環(huán)形帶28包圍第二環(huán)形腔26。如在下面詳細(xì)討論的那樣，墊圈10被設(shè)置在抽空頭和玻璃板101之間，用于在抽空頭20和玻璃板101之間提供良好的真空密封。如圖9所示，腔26的環(huán)形帶27、28通過端口29和導(dǎo)管30被連接到另一真空泵52。一般，抽空頭20會(huì)具有50mm到100mm的外徑，第一中心腔23會(huì)具有量級(jí)在10mm到20mm的直徑。帶27、28各自會(huì)具有量級(jí)在1mm(但也可能在0.10mm到10mm范圍內(nèi))的徑向?qū)挾取Ｔ诔榭疹^20連接到面板100之后，整個(gè)組件在烘烤室中被加熱到大約460℃。在這個(gè)處理過程中，焊接用玻璃熔化以在玻璃封裝101、102的邊緣周圍和抽氣管107周圍形成密封103。同時(shí)，兩個(gè)環(huán)形帶27和28之間的環(huán)形腔26由泵52抽空。泵52一般為旋轉(zhuǎn)泵，腔26中的壓強(qiáng)通常達(dá)到大約1托的值。然后，玻璃封裝和抽空頭被冷卻到焊接用玻璃固化的溫度(到大約380℃的溫度)，然后通過將高真空系統(tǒng)51連接到抽空頭20的中心腔23，開始對(duì)兩塊玻璃板101和102之間的室104的抽空。該高真空系統(tǒng)51使用擴(kuò)散泵或者渦輪分子泵，并且所述室中的壓強(qiáng)一般為10-3托或更小。在抽空頭的中心區(qū)域內(nèi)實(shí)現(xiàn)10-3托的真空度對(duì)于很多應(yīng)用是足夠的，包括沒有非常嚴(yán)格絕緣的真空玻璃封裝的一些設(shè)計(jì)。然而，希望達(dá)到更高的真空水平，例如，通過熱傳導(dǎo)流經(jīng)10-3托的真空的微小但相當(dāng)量的熱會(huì)導(dǎo)致真空玻璃封裝熱絕緣性能的可察覺的降低。因此，真空玻璃封裝的非常嚴(yán)格的絕緣設(shè)計(jì)要求內(nèi)部空間內(nèi)的壓強(qiáng)應(yīng)該為大約10-4托或更小。另外，等離子顯示面板的加工要求要求在加工過程中面板內(nèi)部空間內(nèi)的壓強(qiáng)應(yīng)該更低，在10-5到10-6托之間。通過在抽空頭20和玻璃板101之間加入墊圈10，由于墊圈提供了有效的密封，所以能夠獲得了這樣的高水平真空。當(dāng)玻璃封裝100和抽空頭20被冷卻時(shí)，保持腔23的抽空狀態(tài)。在該冷卻期間內(nèi)使用的具體溫度/時(shí)間進(jìn)度完全取決于實(shí)現(xiàn)玻璃內(nèi)表面的充分除氣所需的時(shí)間，因此該進(jìn)度可能根據(jù)玻璃封裝100的結(jié)構(gòu)而變化。當(dāng)除氣和抽空已經(jīng)完成時(shí)，抽氣管107被封閉，完成面板的構(gòu)造。在圖2e中示出的情況下，通過熔化和熔合抽氣管107的端部實(shí)現(xiàn)該封閉。圖3和圖4圖示了上述抽空過程中使用的墊圈10。墊圈10一般由50μm厚的商品級(jí)輥壓鋁箔制成。墊圈需要由在玻璃面板制作過程中的最大溫度下不會(huì)熔化并在這樣的些高溫下具有非常低的蒸汽氣壓的材料制成。而且，優(yōu)選墊圈由相對(duì)較軟的金屬制成，以防止抽空頭導(dǎo)致的玻璃印記。盡管鋁是非常適合的材料，但本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該認(rèn)識(shí)到，也可以使用諸如其他適合的金屬或金屬合金的其他材料。墊圈10在尺寸上大于抽空頭20的外徑。它具有相反的主面11和12，并包括一中心孔13，該孔足夠大以容納在玻璃板101的抽氣管107周圍的區(qū)域。墊圈10在一個(gè)面11或兩個(gè)面11、12上包括環(huán)形密封表面14、15，這些密封表面設(shè)計(jì)成對(duì)應(yīng)與抽空20的環(huán)形帶27、28。墊圈10在密封表面14、15之間還包括一個(gè)或更多孔。在對(duì)杯的環(huán)形區(qū)域進(jìn)行抽空時(shí)，這些孔使空氣從墊圈10和玻璃板101表面之間的空間排出。如在圖4中最佳圖示的，密封表面14、15被特別成形為具有被凸起脊18隔開的一系列精細(xì)、同心或近似同心的凹槽17。在另一面12上提供了類似的環(huán)形成形表面(profiledsurface)19，它們與玻璃板101接合，并設(shè)置成與墊圈10上表面11的成形表面14、15直接相對(duì)。密封表面(14、15、19)的這種輪廓用于使得墊圈更柔順，以便墊圈在其被擠壓在玻璃板101和抽空頭20之間時(shí)將更容易變形。當(dāng)抽空頭20和墊圈10在形成玻璃面板100的邊緣密封的處理過程中被加熱到高溫時(shí)，鋁墊圈的屈服強(qiáng)度下降，而且抽空頭20的嚙合表面(即帶27、28)在由于大氣壓而產(chǎn)生的力的作用下會(huì)使墊圈的材料逐漸變形。墊圈的成形的密封表面使得與表面是平形的情況相比，會(huì)產(chǎn)生大得多的變形量。該變形的增大是由于兩個(gè)原因。第一，墊圈10僅在凸起脊18處接觸玻璃板和抽空頭的密封表面，而凸起脊18僅占密封表面的標(biāo)稱面積的一小部分。從而，接觸這些表面的墊圈材料部分內(nèi)的壓力大于在平形表面中產(chǎn)生的壓力。第二，接觸玻璃板101和抽空頭密封表面的墊圈凸起脊18的材料能夠側(cè)向流進(jìn)墊圈密封表面上的凹槽17內(nèi)。因此，與具有平形密封表面的墊圈相比，對(duì)該墊圈的給定量的擠壓所需的材料移動(dòng)要小得多。圖5示意性示出金屬墊圈在抽空頭20和玻璃板101之間被沖壓后，其形狀通常會(huì)如何改變。因此，凹槽17的存在有效地增加了墊圈的柔順性，使得墊圈每個(gè)面上的密封表面處能夠有1μm到2μm的平均總變形。為進(jìn)一步增強(qiáng)墊圈10在提供抽空頭20和玻璃板101之間的密封方面的有效性，提供墊圈，使得在相反的脊區(qū)域之間的點(diǎn)到點(diǎn)厚度變化在優(yōu)選小于1μm、更優(yōu)選小于0.6μm的小容差內(nèi)。保持這樣小的容差改善了密封，因?yàn)槿魏纬榭疹^墊圈和玻璃的密封表面的平面度偏差可能影響密封的質(zhì)量，特別是如果墊圈的變形量不能補(bǔ)償平面度的偏差時(shí)。抽空頭的密封表面要加工成使得點(diǎn)到點(diǎn)的平面度偏差遠(yuǎn)小于±0.1μm是可能的。在一般的抽空頭的直徑范圍上，在一片浮法玻璃中可能出現(xiàn)甚至更小的平面度偏差。然而，傳統(tǒng)輥壓鋁箔的點(diǎn)到點(diǎn)平均厚度變化一般大到箔片厚度的±2％，或?qū)τ?0μm厚的箔片為±1μm。然而，測(cè)量顯示，在這樣的箔片中，在相距幾個(gè)毫米的點(diǎn)處會(huì)出現(xiàn)±2μm的局部厚度變化。這樣的變化是由于輥壓過程中箔片的制作方式造成的。因此，為了使用鋁墊圈提供良好的真空密封必須在由于抽空頭上的大氣壓作用而施加在墊圈上的相對(duì)較小的力下，消除由鋁箔的平面度偏差導(dǎo)致的間隙。為了實(shí)現(xiàn)墊圈密封表面14、15、19上的所述成形和這些表面的點(diǎn)到點(diǎn)厚度變化，墊圈10在被引入抽空組件之前被進(jìn)行加工。該預(yù)先加工通過圖6中最佳圖示的單次沖壓操作完成。具體地，如圖6所示，墊圈的加工涉及利用沖壓工具40的一個(gè)部件上的兩個(gè)硬質(zhì)金屬表面41、42將墊圈區(qū)域沖壓到?jīng)_壓工具46另一部件上的平形表面47上。沖壓工具制造成使得在擠壓操作過程中壓在墊圈上的位于一側(cè)的表面41、42和位于另一側(cè)的表面47名義上非常平坦。這兩個(gè)支承表面還具有包括一系列同心或近似同心的凸起脊43的精細(xì)結(jié)構(gòu)，如圖8中最佳圖示的，這些凸起脊被略微凹入的區(qū)域44分隔開。在金屬?zèng)_壓工具40的支承表面41、42、47上的各個(gè)脊43一般比該表面上的凹槽區(qū)域44高1μm到5μm。在沖壓操作過程中，墊圈10不可逆轉(zhuǎn)地發(fā)生變形，使得沖壓工具40的表面41、42、47的輪廓轉(zhuǎn)印到墊圈表面14、15、19上，并由此形成墊圈的成形密封表面。從而，沖壓工具的硬質(zhì)表面將反映了沖壓工具的表面形狀的結(jié)構(gòu)印到墊圈的表面上。另外，因?yàn)闆_壓工具的支承表面非常的平坦，所以對(duì)墊圈的擠壓減小了墊圈的點(diǎn)到點(diǎn)厚度變化。圖7示出了在沖壓工具40的支承表面上進(jìn)行最后加工操作的方法。如該圖所示，在傳統(tǒng)的金屬加工車床60上加工金屬?zèng)_壓工具40的支承表面41、42、47，使得它們名義上非常平坦。沖壓工具40的支承表面41、42、47的點(diǎn)到點(diǎn)平面度偏差取決于在車床60主驅(qū)動(dòng)軸內(nèi)的軸承的質(zhì)量和在最后加工操作中推進(jìn)刀具的橫向進(jìn)給運(yùn)動(dòng)的總和。一般，利用狀態(tài)良好的金屬加工車床，可以很容易地得到小到±0.4μm的點(diǎn)到點(diǎn)平面度偏差。沖壓工具40的支承表面的最后加工操作在車床上采用硬化刀具61完成，該刀具去除了金屬?zèng)_壓工具40的支承表面的極薄的一層。刀具的端部被加工成使得其輪廓反映加工表面所希望的形狀。在這里，刀具61的端部加工成具有橫截面近似為圓形的輪廓。在最后加工操作中，刀具以非常低的速率推進(jìn)，一般，以加工表面每轉(zhuǎn)近似25μm的速率前進(jìn)。因此，該加工操作在金屬?zèng)_壓工具的本來非常平坦的支承表面上留下具有對(duì)應(yīng)節(jié)距的精細(xì)螺旋結(jié)構(gòu)。如圖7和8所示，該螺旋結(jié)構(gòu)包括略微突出于這些表面的名義平面之上并被空凹槽44分隔的一系列脊43。如上所述，金屬?zèng)_壓工具的支承表面上的各個(gè)脊43一般比所述表面的凹槽區(qū)域高1μm到5μm。金屬?zèng)_壓工具40被設(shè)計(jì)成使得它擠壓在金屬墊圈的以抽空頭20的密封表面(27、28)的位置為中心、且比密封表面略寬的區(qū)域上。這樣做使得在玻璃面板的制作過程中能夠方便地將抽空頭20放置在墊圈10的加工區(qū)域上。作為一示例，典型抽空頭具有1mm寬的帶27、28。在這樣的情況下，一般，金屬?zèng)_壓工具40設(shè)計(jì)成使得使鋁墊圈變形的支承表面41、42以與抽空頭的密封表面27、28相同的位置為中心，并且大約為2mm寬。圖6所示金屬?zèng)_壓工具40由比鋁硬很多的諸如中性鋼或硬化工具鋼的材料制成。該沖壓工具包括兩個(gè)部件45、46，它們被對(duì)準(zhǔn)，使得在它們被用于沖壓墊圈時(shí)總是在預(yù)定位置會(huì)合。在所示工具的一種設(shè)計(jì)中，部件46被加工成使得支承表面47平坦均勻，而另一部件上的支承表面41、42被加工成使得它們僅在與抽空頭20的密封表面位置位置對(duì)應(yīng)的區(qū)域上擠壓鋁墊圈。在沖壓工具的另一種設(shè)計(jì)(未示出)中，兩個(gè)部件的支承表面相對(duì)于工具的其它部分凸起。沖壓工具的工作遠(yuǎn)離在兩種情況下本質(zhì)上是一樣的。如上所述，沖壓工具的密封表面在寬度上被制作成略微大于抽空頭的密封表面，以便墊圈的承受沖壓操作的區(qū)域整個(gè)置于抽空頭的密封表面下。當(dāng)抽空頭20在制作處理過程中正被定位在玻璃面板101上時(shí)，相對(duì)抽空頭的密封表面27、28正確地設(shè)置鋁墊圈10很重要。具體地說，所述頭的密封表面必須完全置于墊圈的在沖壓工具40中已被變形的區(qū)域14、15上。實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)的一個(gè)相對(duì)簡(jiǎn)單的方法是在墊圈還保持在沖壓工具40中時(shí)向上彎曲墊圈的外側(cè)區(qū)域部分。在圖6中以虛象的形式示意地示出該情況。經(jīng)沖壓的墊圈的向上彎曲區(qū)域?yàn)槎ㄎ怀榭疹^20提供了引導(dǎo)，以便正確地設(shè)置抽空頭的密封表面。通過觀察在系統(tǒng)被烘烤到大約460℃的溫度的抽空操作之后，由抽空頭的密封表面留在墊圈上的壓痕，可以知道制作鋁墊圈10的功效。當(dāng)使用傳統(tǒng)輥壓鋁墊圈時(shí)，與由于抽空頭密封表面造成的與墊圈的非彈性變形相關(guān)的壓痕繞密封區(qū)域的圓周是不連續(xù)的。然而，對(duì)于經(jīng)沖壓的墊圈10，觀察發(fā)現(xiàn)抽空操作之后墊圈上的壓痕繞墊圈的圓周是連續(xù)的。該觀察結(jié)果表明與未經(jīng)加工的墊圈的情況相比，墊圈的加工使得抽空頭和玻璃板外表面的密封表面與加工墊圈表面的接觸要緊密得多。這從而帶來了更好的真空密封，并降低了抽空頭區(qū)域內(nèi)的壓強(qiáng)。通過使用具有加工墊圈的抽空頭對(duì)平玻璃面板進(jìn)行抽空而獲得的性能改善，已經(jīng)通過測(cè)量與通過所述頭的密封表面的氣流相關(guān)的傳導(dǎo)率而得到定量評(píng)價(jià)。為了執(zhí)行這些測(cè)量，將抽空頭放置在玻璃板上，使用適當(dāng)設(shè)計(jì)的真空系統(tǒng)抽空所述頭的兩個(gè)區(qū)域。在組件被加熱到大約460℃的高溫并然后冷卻的同時(shí)，記錄抽空所述杯的分離區(qū)域的兩個(gè)真空回路內(nèi)的壓強(qiáng)。在發(fā)表在JournalofVacuumScienceandTechnology(JournalofVacuumScienceandTechnology，volumeA20，Number4，p1384-1389，July2002)上的由NNg、REcollins和MLenzen所著題為“Bakeable，all-mentaldemountablevacuumsealtoaflatglasssurface”的文章中給出了執(zhí)行這些操作和計(jì)算氣流通過抽空頭密封表面的傳導(dǎo)率的方法。該文章中描述的方法用于測(cè)量當(dāng)抽空頭被密封到3mm厚的玻璃板上并被抽空時(shí)，通過抽空頭外密封表面的傳導(dǎo)率(Cout)和內(nèi)密封表面的傳導(dǎo)率(Cin)。在這些測(cè)量中，抽空頭和玻璃板被加熱到近似460℃的溫度，并保持在這個(gè)溫度近似1小時(shí)，然后允許去冷卻。圖10示出了沒有鋁墊圈情況下的抽空頭的典型的測(cè)量得到的傳導(dǎo)率和溫度。圖11示出了在頭和玻璃板之間使用未加工鋁墊圈時(shí)的類似數(shù)據(jù)。在圖12中，示出了當(dāng)使用根據(jù)上述方法加工的鋁墊圈時(shí)的數(shù)據(jù)。在所有的情況下，傳導(dǎo)率測(cè)量值隨溫度增長(zhǎng)而減小。當(dāng)沒有使用鋁墊圈時(shí)(圖10)，或者對(duì)于未加工的鋁墊圈(圖11)，該減小大部分是由于氣流通過密封表面和在抽空線路中的傳導(dǎo)率的溫度相關(guān)性。然而，當(dāng)使用經(jīng)加工的墊圈時(shí)，在圖12中的數(shù)據(jù)顯示在高溫下測(cè)量得到的通過抽空頭密封表面的氣流的傳導(dǎo)率遠(yuǎn)小于在沒有墊圈或使用未加工鋁墊圈時(shí)觀察到的傳導(dǎo)率。例如，對(duì)于具有1mm寬的密封表面的抽空頭，墊圈的加工一般導(dǎo)致在高溫下通過抽空頭外密封表面的氣流的傳導(dǎo)率從5×10-5s-1下降到低于5×10-6s-1。類似地，墊圈的加工一般將在高溫下與通過抽空頭內(nèi)密封表面的氣流相關(guān)的傳導(dǎo)率從10-6ls-1減小到接近10-8ls-1的值。假如使用了適當(dāng)?shù)恼婵粘槿〖夹g(shù)，這樣的減小了的傳導(dǎo)率使得能在抽空頭的兩個(gè)分離的區(qū)域以及玻璃面板內(nèi)部里獲得相對(duì)較低的壓強(qiáng)。在圖12中的數(shù)據(jù)顯示通過全金屬杯的密封表面的氣流的傳導(dǎo)率隨著全金屬杯和玻璃板的溫度的減小而增大。因此，面板內(nèi)的壓強(qiáng)也隨著系統(tǒng)冷卻而增大。當(dāng)使用具有經(jīng)加工的墊圈10的抽空頭20去抽空真空玻璃封裝時(shí)，這通常不會(huì)構(gòu)成嚴(yán)重的問題，因?yàn)楫?dāng)溫度下降到大約200℃時(shí)，玻璃通常被密封了。在這個(gè)溫度下，當(dāng)在頭和玻璃板之間使用經(jīng)加工的鋁墊圈時(shí)，傳導(dǎo)率依然非常低，玻璃內(nèi)的壓力也相應(yīng)地依然較低。然而，在一些應(yīng)用中，可能不希望面板內(nèi)的傳導(dǎo)和壓力隨著溫度的下降而增大這么多。在密封之前必須將面板冷卻到室溫時(shí)情況尤其如此。測(cè)量結(jié)果已經(jīng)顯示在高溫下，在鋁箔和玻璃之間形成相對(duì)較弱的結(jié)合，而且在這樣的冷卻過程中鋁墊圈不會(huì)相對(duì)玻璃板移動(dòng)。當(dāng)系統(tǒng)冷卻到室溫時(shí)，這兩個(gè)元件之間的真空密封的質(zhì)量保持不變。已經(jīng)顯示，當(dāng)系統(tǒng)冷卻時(shí)通過全金屬杯密封表面的傳導(dǎo)率的增大是由于杯和玻璃板之間熱膨脹的不同。當(dāng)系統(tǒng)冷卻時(shí)，抽空頭比玻璃板收縮更多。這導(dǎo)致杯的密封表面相對(duì)玻璃的對(duì)應(yīng)區(qū)域移動(dòng)。由于鋁墊圈被結(jié)合到玻璃板上，所以杯相對(duì)鋁墊圈向內(nèi)滑動(dòng)。因此，當(dāng)系統(tǒng)向室溫冷卻時(shí)，高溫下由于墊圈成形表面的非彈性變形形成的杯和墊圈之間非常良好的真空密封變差。因?yàn)閷?duì)于大部分真空設(shè)備，在圖10、11和12中給出的測(cè)量中使用的全金屬杯由諸如304型號(hào)鋼的奧氏體(或300系列)不銹鋼制成。正如在真空玻璃封裝制作過程中需要的那樣，這種材料容易加工和焊接，并在高溫時(shí)能保持強(qiáng)度和抗腐(蝕)性。這種材料在整個(gè)相關(guān)溫度范圍內(nèi)的熱膨脹系數(shù)近似為18×10-6℃-1。對(duì)于鈉鈣玻璃，熱膨脹系數(shù)更低，大約為8×10-6℃-1。適合應(yīng)用于金屬抽空杯的材料包括馬氏體(或400系列)不銹鋼。這些類型的不銹鋼比奧氏體類型具有小得多的熱膨脹系數(shù)。例如，410型號(hào)不銹鋼在整個(gè)相關(guān)溫度范圍內(nèi)的熱膨脹系數(shù)近似為11×10-6℃-1。盡管這些材料適用于真空設(shè)備，但是因?yàn)閵W氏體類型更方便使用，它們很少被應(yīng)用在這種應(yīng)用中。圖13示出了被密封到3mm厚玻璃板上并經(jīng)受高溫加熱循環(huán)的兩個(gè)抽空杯在環(huán)形區(qū)域內(nèi)的壓力和通過外密封表面的氣流的傳導(dǎo)率的實(shí)驗(yàn)測(cè)量結(jié)果。圖13a示出了用300系列(304型號(hào))不銹鋼制成的抽空杯的數(shù)據(jù)。圖13b示出了由400系列(410型號(hào))不銹鋼制成的抽空杯的相應(yīng)數(shù)據(jù)。這些數(shù)據(jù)表明，與由304型號(hào)不銹鋼制成的杯的數(shù)據(jù)相比，對(duì)于由410型號(hào)不銹鋼制成的抽空杯，當(dāng)溫度下降時(shí)通過密封表面的氣流的傳導(dǎo)率的劣化小得多。在圖13中展示的數(shù)據(jù)顯示，如果在頭和玻璃之間的熱膨脹差別小得多，則當(dāng)系統(tǒng)向室溫冷卻時(shí)，全金屬抽空頭和玻璃板之間真空密封的傳導(dǎo)率的劣化小得多。應(yīng)該認(rèn)識(shí)到的是，無論使用加工墊圈10，還是提供其他類型的密封裝置，都可以受益于抽空頭與玻璃壁的膨脹特性的更佳匹配。因此，本發(fā)明實(shí)現(xiàn)了經(jīng)抽空的玻璃面板的制造中抽空頭向玻璃壁的密封的改進(jìn)，這使得能夠獲得更高水平的真空度。在所附權(quán)利要求和之前對(duì)本發(fā)明的描述中，除了在上下文中由于用語和必要的含義而另有規(guī)定之外，詞語“包括”表示非封閉的含義，即，說明所給出特征的存在，但是并不排除在本發(fā)明的不同實(shí)施例中出現(xiàn)或添加其它特征。用于指定說明的特性的存在，而不是排除該存在或排除在本發(fā)明多種實(shí)施例中的其他特性的增加。在不背離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，可對(duì)前面描述的部分進(jìn)行改變和修改。權(quán)利要求書(按照條約第19條的修改)1.一種用于在玻璃壁和抽空頭之間提供氣密封的墊圈，所述墊圈具有相反的面，其在一個(gè)面上包括一第一密封表面，用于接合所述抽空頭的一相應(yīng)的密封表面，并在相對(duì)的面上包括一第二密封表面，用于接合所述玻璃壁，其中，所述墊圈周圍的所述密封表面之間的厚度變化小于1μm。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的墊圈，其中，所述墊圈是阻熱的，而且能承受超過400℃的溫度。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的墊圈，其中，所述墊圈由金屬或金屬合金形成。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的墊圈，其中，所述墊圈由厚度在20μm和80μm之間的鋁箔形成。5.根據(jù)前面所述權(quán)利要求的任意一個(gè)所述的墊圈，其中，至少一個(gè)面上的所述密封表面被成形，以便在施加壓力到所述密封表面時(shí)，比非成形表面更易于變形。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的墊圈，其中，所述至少一個(gè)墊圈面被成形以包括由至少一個(gè)凸起脊構(gòu)成的結(jié)構(gòu)。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的墊圈，其中，所述或每個(gè)凸起脊形成墊圈所述面的密封表面，并繞所述墊圈延伸，以提供高質(zhì)量的氣密封。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的墊圈，其中，所述或每個(gè)凸起脊以螺旋形式繞所述密封面延伸。9.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的墊圈，其中，所述或每個(gè)凸起脊是環(huán)的形式。10.根據(jù)權(quán)利要求5到9的任意一個(gè)所述的墊圈，其中，所述墊圈的每個(gè)密封表面被成形，以便在施加壓力到所述密封表面時(shí)比非成形表面更易于變形。11.一種用于在玻璃壁和抽空頭之間提供氣密封的墊圈，所述墊圈具有相反的面，其在一個(gè)面上包括一第一密封表面，用于接合所述抽空頭的一相應(yīng)的密封表面，并在相對(duì)的面上包括一第二密封表面，用于接合所述玻璃壁，其中，所述墊圈的至少一個(gè)面上的密封表面被成形，以便在施加壓力到所述密封表面時(shí)比非成形表面更易于變形。12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的墊圈，其中，所述至少一個(gè)墊圈面被成形以包括由至少一個(gè)凸起脊構(gòu)成的結(jié)構(gòu)。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的墊圈，其中，所述或每個(gè)凸起脊形成墊圈所述面的密封表面，并繞所述墊圈延伸，以提供高質(zhì)量的氣密封。14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的墊圈，其中，所述或每個(gè)凸起脊以螺旋形式繞所述密封面延伸。15.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的墊圈，其中，所述或每個(gè)凸起脊是環(huán)的形式。16.根據(jù)權(quán)利要求11到15的任意一個(gè)所述的墊圈，其中，每個(gè)所述密封表面都被成形，以便在施加壓力到所述密封表面時(shí)比非成形表面更易于變形。17.一種用于抽空至少部分地被包括一抽空端口的玻璃壁封閉的室的抽空頭組件，所述組件包括具有與所述抽空端口工作連通的一第一腔的一抽空頭，和在所述第一腔周圍延伸的一墊圈，其中，所述墊圈為權(quán)利要求1到16中的任意一個(gè)。18.一種用于抽空至少部分地被包括一抽空端口的玻璃壁封閉的室的方法，所述方法包括如下步驟利用具有與所述端口連通的一第一腔的一抽空頭，覆蓋所述端口和圍繞所述端口的一部分玻璃壁；在所述抽空頭和玻璃壁之間設(shè)置一墊圈，以在所述玻璃壁和所述頭之間提供氣密封；施加壓力到所述墊圈上，使得所述墊圈充分變形以改善所述壁和所述頭之間的密封；通過所述第一腔抽空所述玻璃室。19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的抽空所述室的方法，其中，進(jìn)一步包括使所述玻璃壁經(jīng)受大于400℃的溫度并同時(shí)保持所述玻璃壁和所述抽空頭之間的氣密封的步驟。20.根據(jù)權(quán)利要求18或19所述的抽空所述室的方法，其中，所述壓力是由于對(duì)所述抽空頭的一腔進(jìn)行抽空而施加到所述墊圈上的。21.根據(jù)權(quán)利要求18到20的任意一個(gè)所述的方法，其中，所述墊圈由厚度在20μm和80μm之間的鋁箔形成，并且，在所述墊圈在壓力作用下變形時(shí)，在與所述玻璃壁和所述抽空頭的密封表面之間測(cè)量得到的所述墊圈的厚度減小超過1μm。22.根據(jù)權(quán)利要求18到21的任意一個(gè)所述的抽空所述室的方法，其中，進(jìn)一步包括如下步驟加熱所述抽空頭、墊圈和玻璃壁；和在所述抽空頭、墊圈和玻璃壁冷卻的過程中抽空所述室，其中，所述墊圈和所述抽空頭具有與所述玻璃壁接近的熱膨脹系數(shù)，以便防止所述室在被抽空時(shí)這些元件相對(duì)移動(dòng)。23.一種用于抽空至少部分地被包括一抽空端口的玻璃壁封閉的室的抽空頭，其中，所述抽空頭具有與所述玻璃壁接近的熱膨脹系數(shù)。24.根據(jù)權(quán)利要求23所述的抽空頭，其中，所述玻璃壁具有近似為8×10-6℃-1的熱膨脹系數(shù)，所述抽空頭由具有近似為11×10-6℃-1的熱膨脹系數(shù)的馬氏體不銹鋼形成。25.一種加工墊圈的方法，所述方法包括如下步驟提供用于沖壓所述墊圈的一沖壓工具，所述沖壓工具具有相對(duì)的面，其中的至少一個(gè)面包括一成形表面，以及在所述沖壓工具的相對(duì)的面之間沖壓所述墊圈，其中，在沖壓所述墊圈時(shí)，所述墊圈周圍的所述密封表面之間的厚度變化被減小，并且所述墊圈的至少一個(gè)面被所述成形表面成形，以便在施加壓力到所述密封表面時(shí)更易于變形。權(quán)利要求1.一種用于在玻璃壁和抽空頭之間提供氣密封的墊圈，所述墊圈具有相反的面，其在一個(gè)面上包括一第一密封表面，用于接合所述抽空頭的一相應(yīng)的密封表面，并在相對(duì)的面上包括一第二密封表面，用于接合所述玻璃壁，其中，所述墊圈周圍的所述密封表面之間的厚度變化小于1μm。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的墊圈，其中，所述墊圈是阻熱的，而且能承受超過400℃的溫度。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的墊圈，其中，所述墊圈由金屬或金屬合金形成。根據(jù)權(quán)利要求3所述的墊圈，其中，所述墊圈由厚度在20μm和80μm之間的鋁箔形成。4.根據(jù)前面所述權(quán)利要求的任意一個(gè)所述的墊圈，其中，至少一個(gè)面上的所述密封表面被成形，以便在施加壓力到所述密封表面時(shí)，比非成形表面更易于變形。5.根據(jù)權(quán)利要求5所述的墊圈，其中，所述至少一個(gè)墊圈面被成形以包括由至少一個(gè)凸起脊構(gòu)成的結(jié)構(gòu)。6.根據(jù)權(quán)利要求6所述的墊圈，其中，所述或每個(gè)凸起脊形成墊圈所述面的密封表面，并繞所述墊圈延伸，以提供高質(zhì)量的氣密封。7.根據(jù)權(quán)利要求7所述的墊圈，其中，所述或每個(gè)凸起脊以螺旋形式繞所述密封面延伸。8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的墊圈，其中，所述或每個(gè)凸起脊是環(huán)的形式。9.根據(jù)權(quán)利要求5到10的任意一個(gè)所述的墊圈，其中，所述墊圈的每個(gè)密封表面被成形，以便在施加壓力到所述密封表面時(shí)比非成形表面更易于變形。10.一種用于在玻璃壁和抽空頭之間提供氣密封的墊圈，所述墊圈具有相反的面，其在一個(gè)面上包括一第一密封表面，用于接合所述抽空頭的一相應(yīng)的密封表面，并在相對(duì)的面上包括一第二密封表面，用于接合所述玻璃壁，其中，所述墊圈的至少一個(gè)面上的密封表面被成形，以便在施加壓力到所述密封表面時(shí)比非成形表面更易于變形。11.根據(jù)權(quán)利要求11所述的墊圈，其中，所述至少一個(gè)墊圈面被成形以包括由至少一個(gè)凸起脊構(gòu)成的結(jié)構(gòu)。12.根據(jù)權(quán)利要求12所述的墊圈，其中，所述或每個(gè)凸起脊形成墊圈所述面的密封表面，并繞所述墊圈延伸，以提供高質(zhì)量的氣密封。13.根據(jù)權(quán)利要求13所述的墊圈，其中，所述或每個(gè)凸起脊以螺旋形式繞所述密封面延伸。14.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的墊圈，其中，所述或每個(gè)凸起脊是環(huán)的形式。15.根據(jù)權(quán)利要求11到15的任意一個(gè)所述的墊圈，其中，每個(gè)所述密封表面都被成形，以便在施加壓力到所述密封表面時(shí)比非成形表面更易于變形。16.一種用于抽空至少部分地被包括一抽空端口的玻璃壁封閉的室的抽空頭組件，所述組件包括具有與所述抽空端口工作連通的一第一腔的一抽空頭，和在所述第一腔周圍延伸的一墊圈，其中，所述墊圈為權(quán)利要求1到16中的任意一個(gè)。17.一種用于抽空至少部分地被包括一抽空端口的玻璃壁封閉的室的方法，所述方法包括如下步驟利用具有與所述端口連通的一第一腔的一抽空頭，覆蓋所述端口和圍繞所述端口的一部分玻璃壁；在所述抽空頭和玻璃壁之間設(shè)置一墊圈，以在所述玻璃壁和所述頭之間提供氣密封；施加壓力到所述墊圈上，使得所述墊圈充分變形以改善所述壁和所述頭之間的密封；通過所述第一腔抽空所述玻璃室。18.根據(jù)權(quán)利要求18所述的抽空所述室的方法，其中，進(jìn)一步包括使所述玻璃壁經(jīng)受大于400℃的溫度并同時(shí)保持所述玻璃壁和所述抽空頭之間的氣密封的步驟。19.根據(jù)權(quán)利要求18或19所述的抽空所述室的方法，其中，所述壓力是由于對(duì)所述抽空頭的一腔進(jìn)行抽空而施加到所述墊圈上的。20.根據(jù)權(quán)利要求18到20的任意一個(gè)所述的方法，其中，所述墊圈由厚度在20μm和80μm之間的鋁箔形成，并且，在所述墊圈在壓力作用下變形時(shí)，在與所述玻璃壁和所述抽空頭的密封表面之間測(cè)量得到的所述墊圈的厚度減小超過1μm。21.根據(jù)權(quán)利要求18到21的任意一個(gè)所述的抽空所述室的方法，其中，進(jìn)一步包括如下步驟加熱所述抽空頭、墊圈和玻璃壁；和在所述抽空頭、墊圈和玻璃壁冷卻的過程中抽空所述室，其中，所述墊圈和所述抽空頭具有與所述玻璃壁接近的熱膨脹系數(shù)，以便防止所述室在被抽空時(shí)這些元件相對(duì)移動(dòng)。22.一種用于抽空至少部分地被包括一抽空端口的玻璃壁封閉的室的抽空頭，其中，所述抽空頭具有與所述玻璃壁接近的熱膨脹系數(shù)。23.根據(jù)權(quán)利要求23所述的抽空頭，其中，所述玻璃壁具有近似為8×10-6℃-1的熱膨脹系數(shù)，所述抽空頭由具有近似為11×10-6℃-1的熱膨脹系數(shù)的馬氏體不銹鋼形成。24.一種加工墊圈的方法，所述方法包括如下步驟提供用于沖壓所述墊圈的一沖壓工具，所述沖壓工具具有相對(duì)的面，其中的至少一個(gè)面包括一成形表面，以及在所述沖壓工具的相對(duì)的面之間沖壓所述墊圈，其中，在沖壓所述墊圈時(shí)，所述墊圈周圍的所述密封表面之間的厚度變化被減小，并且所述墊圈的至少一個(gè)面被所述成形表面成形，以便在施加壓力到所述密封表面時(shí)更易于變形。全文摘要一墊圈(10)被設(shè)置用于抽空頭組件(20)，以抽空由兩塊玻璃板(101、102)界定的室(104)。該墊圈(10)由諸如鋁的金屬箔片制成，并具有相反的密封表面(14、15、19)，這些密封表面被成形為具有一系列精細(xì)的凹槽(17)，其中，密封表面之間的厚度變化小于1μm。文檔編號(hào)E06B3/677GK1777770SQ200480010434公開日2006年5月24日申請(qǐng)日期2004年2月25日優(yōu)先權(quán)日2003年2月26日發(fā)明者理查德·E·科林斯,沃克·L·N·恩格申請(qǐng)人:悉尼大學(xué)