一種新型晶棒切斷機飛輪的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種晶棒切斷機裝置，具體涉及一種可以提高帶鋸穩(wěn)定性的晶棒切斷機的飛輪。
【背景技術(shù)】
[0002]在晶硅切斷生產(chǎn)中，是通過晶棒切斷機的飛輪帶動帶鋸對晶棒進行切斷的。當前，普通的晶棒切斷機飛輪為鋁質(zhì)飛輪盤，最外層是塑膠環(huán)，塑膠環(huán)外表面是平坦無槽的，與帶鋸直接接觸并帶動帶鋸進行工作。這種狀態(tài)下工作，時間長了，塑膠環(huán)會磨損成斜面狀，帶鋸容易打滑走偏，切出來的晶棒截面不平整，對帶鋸的損耗也特別大。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的是提供一種能提高帶鋸穩(wěn)定性的晶棒切斷機的飛輪，從而提高晶棒切斷質(zhì)量，減少帶鋸的損耗成本。一種新型晶棒切斷機飛輪包括飛輪外環(huán)、飛輪盤及飛輪中心驅(qū)動軸，所述飛輪帶動帶鋸運動；所述飛輪外環(huán)表面內(nèi)設(shè)有表面凹槽，確保帶動帶鋸運行的時候不會滑動，所述表面凹槽里設(shè)有橡皮條，可以增加摩擦力。
[0004]作為優(yōu)先，所述飛輪外環(huán)采用金屬材質(zhì)，其中，更優(yōu)先為鐵環(huán)。
[0005]采用本實用新型晶棒切斷機飛輪具有以下優(yōu)勢:可以穩(wěn)定地帶動帶鋸進行切斷，不會出現(xiàn)打滑走偏的現(xiàn)象；晶棒切斷面更加垂直平坦，提高了正品率；由于帶鋸運行平穩(wěn)，可以大大減少帶鋸的損耗。
【附圖說明】
[0006]圖1為切斷機飛輪正視圖。
[0007]圖2為切斷機飛輪側(cè)視圖。
[0008]附圖標記說明:
[0009]圖中1為飛輪外環(huán)，2為飛輪盤，3為飛輪中心驅(qū)動軸，5為飛輪外環(huán)表面，6為表面凹槽(鑲嵌著橡皮條)。
【具體實施方式】
[0010]下面通過實施例，并結(jié)合附圖，對本實用新型的技術(shù)方案作進一步具體的說明。
[0011]實施例:參看圖1-2，一種新型晶棒切斷機飛輪包括飛輪外環(huán)1、飛輪盤2及飛輪中心驅(qū)動軸3，所述飛輪帶動帶鋸運動；所述飛輪外環(huán)表面5內(nèi)設(shè)有表面凹槽6，所述表面凹槽6的條數(shù)為六條，確保帶動帶鋸運行的時候不會滑動，所述表面凹槽6里設(shè)有橡皮條，可以增加摩擦力。
[0012]最后，應(yīng)當指出，以上實施例僅是本實用新型較有代表性的例子。顯然，本實用新型不限于上述實施例，還可以有許多變形。凡是依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均應(yīng)認為屬于本實用新型的保護范圍。
【主權(quán)項】
1.一種新型晶棒切斷機飛輪，包括飛輪外環(huán)、飛輪盤及飛輪中心驅(qū)動軸，其特征在于所述飛輪外環(huán)表面內(nèi)設(shè)有表面凹槽，所述表面凹槽里設(shè)有橡皮條。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種新型晶棒切斷機飛輪，其特征在于所述飛輪外環(huán)采用金屬材質(zhì)制成。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述一種新型晶棒切斷機飛輪，其特征在于所述飛輪外環(huán)為鐵環(huán)。
【專利摘要】本實用新型涉及一種新型晶棒切斷機飛輪包括飛輪外環(huán)、飛輪盤及飛輪中心驅(qū)動軸，所述飛輪帶動帶鋸運動；所述飛輪外環(huán)表面內(nèi)設(shè)有表面凹槽，確保帶動帶鋸運行的時候不會滑動，所述表面凹槽里設(shè)有橡皮條，可以增加摩擦力。采用本實用新型晶棒切斷機飛輪具有以下優(yōu)勢：可以穩(wěn)定地帶動帶鋸進行切斷，不會出現(xiàn)打滑走偏的現(xiàn)象；晶棒切斷面更加垂直平坦，提高了正品率；減少了帶鋸的損耗。
【IPC分類】B28D5/04
【公開號】CN205021840
【申請?zhí)枴緾N201520679700
【發(fā)明人】賴貴生, 王文廣, 周光進
【申請人】浙江晟輝科技有限公司
【公開日】2016年2月10日
【申請日】2015年9月6日