1.一種用于金剛線多晶硅片的三軸聯(lián)動(dòng)自動(dòng)噴砂裝置，其特征在于包括：豎向傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、橫向傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、垂直傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、噴槍模組、砂泵、砂缸和控制器；其中，
豎向傳動(dòng)機(jī)構(gòu)在控制器的控制下驅(qū)動(dòng)金剛線多晶硅片進(jìn)出噴砂區(qū)，包括：真空載臺(tái)、傳動(dòng)軌道和Y軸驅(qū)動(dòng)單元；其中，真空載臺(tái)的上端面用于放置金剛線多晶硅片；傳動(dòng)軌道用于承載真空載臺(tái)、并限定真空載臺(tái)進(jìn)出噴砂區(qū)的軌跡；Y軸驅(qū)動(dòng)單元在控制器的控制下驅(qū)動(dòng)真空載臺(tái)沿著Y軸方向進(jìn)出噴砂區(qū)；
橫向傳動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)置在豎向傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上方，用于固定噴槍模組；橫向傳動(dòng)機(jī)構(gòu)在控制器的控制下沿著X軸方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)；
垂直傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的輸出端與橫向傳動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，在控制器的控制下驅(qū)動(dòng)橫向傳動(dòng)機(jī)構(gòu)沿著Z軸方向運(yùn)動(dòng)；
砂泵的一端與砂缸連接，另一端與噴槍模組連接，在控制器的控制下將砂缸中的磨液泵入噴槍模組的噴槍的進(jìn)料孔；
控制器接收外部的操作指令；當(dāng)所述操作信號(hào)為噴砂指令時(shí)：控制器根據(jù)所述噴砂指令生成控制信號(hào)，依據(jù)所述控制信號(hào)調(diào)整豎向傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、橫向傳動(dòng)機(jī)構(gòu)和垂直傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的位置，依據(jù)所述控制信號(hào)調(diào)整所述砂泵的噴射流量；
其中，X軸方向是指平行于金剛線多晶硅片、并與Y軸垂直的方向，Y軸方向是指金剛線多晶硅片進(jìn)入噴砂區(qū)的方向，Z軸分別與X軸和Y軸垂直。
2.如權(quán)利要求1所述的三軸聯(lián)動(dòng)自動(dòng)噴砂裝置，其特征在于，橫向傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括至少一根與X軸平行的橫桿，噴槍模組包括至少一組噴槍，每根橫桿上設(shè)置一組噴槍，所述噴槍能夠在控制器的控制下沿著所述橫桿移動(dòng)。
3.如權(quán)利要求1所述的三軸聯(lián)動(dòng)自動(dòng)噴砂裝置，其特征在于，噴槍模組包括至少一組噴槍，橫向傳動(dòng)機(jī)構(gòu)包括至少一個(gè)橫板；所述橫板上設(shè)置至少一條與X軸平行的橫軌，每條橫軌上設(shè)置一組噴槍，所述噴槍能夠在控制器的控制下沿著所述橫板移動(dòng)。
4.如權(quán)利要求2所述的三軸聯(lián)動(dòng)自動(dòng)噴砂裝置，其特征在于，在控制器的控制下，噴槍能夠在任意方向上相對(duì)所述橫向傳動(dòng)機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)。
5.如權(quán)利要求4所述的三軸聯(lián)動(dòng)自動(dòng)噴砂裝置，其特征在于，噴槍通過(guò)連接件與橫向傳動(dòng)機(jī)構(gòu)連接；
所述連接件固定地設(shè)置在橫向傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上，或者所述連接件能夠在控制器的控制下圍繞其與橫向傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的連接點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)；
噴槍設(shè)置在所述連接件上，并且能夠在控制器的控制下圍繞其與所述連接件的連接點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)。
6.如權(quán)利要求2所述的三軸聯(lián)動(dòng)自動(dòng)噴砂裝置，其特征在于，橫向傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的一端與X軸驅(qū)動(dòng)單元連接；在控制器的控制下，橫向傳動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠在X軸驅(qū)動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)作用下沿著X軸方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
7.如權(quán)利要求2所述的三軸聯(lián)動(dòng)自動(dòng)噴砂裝置，其特征在于，噴槍上設(shè)置有進(jìn)氣孔，用于與高壓氣源連接。
8.如權(quán)利要求2所述的三軸聯(lián)動(dòng)自動(dòng)噴砂裝置，其特征在于，在控制器的控制下，垂直傳動(dòng)機(jī)構(gòu)能夠在Z軸驅(qū)動(dòng)單元的驅(qū)動(dòng)作用下沿著Z軸方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
9.如權(quán)利要求1所述的三軸聯(lián)動(dòng)自動(dòng)噴砂裝置，其特征在于，Y軸驅(qū)動(dòng)單元包括：傳動(dòng)輪、傳送鏈或傳送帶、以及設(shè)置在傳動(dòng)鏈或傳送帶上的限位齒；其中，
傳送鏈或傳送帶的運(yùn)動(dòng)方向與傳動(dòng)軌道平行，限位齒設(shè)置在傳送鏈或傳送帶上；
傳動(dòng)輪設(shè)置在傳送鏈或傳送帶的內(nèi)圈，傳動(dòng)輪的外圈與傳送鏈或傳送帶的內(nèi)圈嚙合，在控制器的控制下驅(qū)動(dòng)傳送鏈或傳送帶運(yùn)動(dòng)。
10.如權(quán)利要求2所述的三軸聯(lián)動(dòng)自動(dòng)噴砂裝置，其特征在于，噴槍的數(shù)量以及相鄰兩個(gè)噴槍之間的距離滿足如下關(guān)系：
n＝roundup(l/(s×m))×Kh
式中，n為噴槍數(shù)量；l為金剛線多晶硅片的邊長(zhǎng)，單位為mm；s為噴槍的擺動(dòng)幅度，單位為mm；m為相鄰兩個(gè)噴槍之間的距離，單位為mm；Kh為經(jīng)驗(yàn)系數(shù)，Kh取0.1～1000。