本實(shí)用新型涉及硅片加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是指一種金剛線切割裝置。

背景技術(shù)：

隨著半導(dǎo)體、光伏產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，各種晶體材料，特別是以單晶硅為代表的高科技附加值材料成為當(dāng)代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的支柱。單晶硅作為一種極具潛能的資源正引起越來越多的關(guān)注，單晶硅片是由單晶硅棒切割而成，常用的硅片切割設(shè)備為金剛線切割裝置。

硅片在切割過程中經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)斷線情況，這種情況一旦發(fā)生，需要切割裝置迅速反應(yīng)并產(chǎn)生報(bào)警，否則就會(huì)損傷硅片和傳動(dòng)輥，造成不必要的損失。

傳統(tǒng)的金剛線切割裝置的斷線報(bào)警靈敏度低，常常使發(fā)生的斷線事故不能第一時(shí)間得到處理。導(dǎo)致這種后果的原因如下：用于切割硅棒的金剛線上電鍍著一層金剛石，用于感應(yīng)金剛線是否斷線的傳感器上常常附著著一層切割硅棒產(chǎn)生的硅粉，而金剛石和硅粉均屬于導(dǎo)電性能較差的介質(zhì)，因此要想提高斷線感應(yīng)的靈敏度，必須將傳感器靠近金剛線；然而切割過程中的冷卻介質(zhì)是水，因此當(dāng)有水濺到傳感器上時(shí)容易造成誤報(bào)警，耽誤作業(yè)進(jìn)程。另外，由于傳感器與金剛線靠得比較近，在更換傳動(dòng)輥時(shí)會(huì)妨礙后續(xù)的工作。

因此，迫切需要一種斷線報(bào)警靈敏度高、準(zhǔn)確性強(qiáng)的金剛線切割裝置。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型提出一種金剛線切割裝置，解決了現(xiàn)有技術(shù)中斷線報(bào)警靈敏度低、準(zhǔn)確性差的問題。

本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的：

一種金剛線切割裝置，包括：傳動(dòng)輥、電機(jī)、PLC控制器、纏繞在所述傳動(dòng)輥上的金剛線和位于所述金剛線旁的斷線傳感器，所述斷線傳感器與靠近所述金剛線的支架固定連接；所述支架與靠近所述金剛線的工作臺(tái)面之間可拆卸轉(zhuǎn)動(dòng)連接；所述電機(jī)的輸出端與傳動(dòng)輥連接，其輸入端與所述PLC控制器連接；所述斷線傳感器的輸出端與所述PLC控制器連接。

作為優(yōu)選，所述PLC控制器的型號(hào)為西門子S7-200。

作為優(yōu)選，所述斷線傳感器的型號(hào)為基恩士GT2-H12F。

作為優(yōu)選，本實(shí)用新型還包括限位板，所述支架與所述限位板之間通過銷軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述限位板與靠近所述金剛線的工作臺(tái)面之間活動(dòng)卡接。

本實(shí)用新型的工作原理如下：

當(dāng)裝置正常切割硅片時(shí)，將斷線傳感器旋轉(zhuǎn)到靠近金剛線的位置，一旦發(fā)生斷線情況，斷掉的金剛線就會(huì)接觸到斷線傳感器，斷線傳感器將斷線信號(hào)傳送給PLC控制器，PLC控制器控制電機(jī)停止轉(zhuǎn)動(dòng)，從而切割裝置停止運(yùn)行，待斷線問題處理好后，再重新啟動(dòng)。

當(dāng)需要做冷卻工作時(shí)，先將斷線傳感器旋轉(zhuǎn)到遠(yuǎn)離金剛線的位置，然后再用水對(duì)裝置進(jìn)行冷卻，冷卻完畢，再將斷線傳感器旋轉(zhuǎn)回靠近金剛線的位置，避免了冷卻水濺到斷線傳感器上導(dǎo)致誤報(bào)警事故的發(fā)生。

當(dāng)需要更換傳動(dòng)輥時(shí)，可以通過限位板將斷線傳感器拆卸下來，更換完成，再將其安裝回去。

本實(shí)用新型的有益效果為：

裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造方便，通過將斷線傳感器設(shè)置為可拆卸可旋轉(zhuǎn)的方式，斷線報(bào)警靈敏度高，且能夠有效避免誤報(bào)警事故的發(fā)生，不會(huì)影響傳動(dòng)輥的更換，減少人工勞動(dòng)強(qiáng)度，提高工作效率。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。

圖1為本實(shí)用新型所述金剛線切割裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中：

1、傳動(dòng)輥，2、金剛線，3、支架，4、斷線傳感器。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

如圖1所述的實(shí)施例可知，本實(shí)用新型所述的金剛線切割裝置，包括：傳動(dòng)輥1、電機(jī)、PLC控制器、限位板、纏繞在傳動(dòng)輥1上的金剛線2和位于金剛線2旁的斷線傳感器4，斷線傳感器4與靠近金剛線2的支架3固定連接；支架3與限位板之間通過銷軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接，限位板與靠近金剛線2的工作臺(tái)面之間活動(dòng)卡接；電機(jī)的輸出端與傳動(dòng)輥1連接，其輸入端與PLC控制器連接；斷線傳感器4的輸出端與PLC控制器連接。

上述PLC控制器的型號(hào)為西門子S7-200。

上述斷線傳感器4的型號(hào)為基恩士GT2-H12F。

上述金剛線切割裝置的工作原理如下：

當(dāng)裝置正常切割硅片時(shí)，將斷線傳感器4旋轉(zhuǎn)到靠近金剛線2的位置，一旦發(fā)生斷線情況，斷掉的金剛線2就會(huì)接觸到斷線傳感器4，斷線傳感器4將斷線信號(hào)傳送給PLC控制器，PLC控制器控制電機(jī)停止轉(zhuǎn)動(dòng)，從而切割裝置停止運(yùn)行，待斷線問題處理好后，再重新啟動(dòng)。

當(dāng)需要做冷卻工作時(shí)，先將斷線傳感器4旋轉(zhuǎn)到遠(yuǎn)離金剛線2的位置，然后再用水對(duì)裝置進(jìn)行冷卻，冷卻完畢，再將斷線傳感器4旋轉(zhuǎn)回靠近金剛線2的位置，避免了冷卻水濺到斷線傳感器4上導(dǎo)致誤報(bào)警事故的發(fā)生。

當(dāng)需要更換傳動(dòng)輥1時(shí)，可以通過限位板將斷線傳感器4拆卸下來，更換完成，再將其安裝回去。

綜上所述，本實(shí)用新型所述的金剛線切割裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，制造方便，通過將斷線傳感器設(shè)置為可拆卸可旋轉(zhuǎn)的方式，斷線報(bào)警靈敏度高，且能夠有效避免誤報(bào)警事故的發(fā)生，不會(huì)影響傳動(dòng)輥的更換，減少人工勞動(dòng)強(qiáng)度，提高工作效率。

以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。